KR100841826B1 - 기판처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 처리액에 의해 기판을 처리하는 기판처리장치로서, 상기 장치는,처리액을 저류하고, 기판을 수용해서 처리액에 의해 기판에 대한 처리를 행하는 처리조;상기 처리조의 주위를 둘러싸는 챔버;기판을 지지하면서, 상기 처리조 내부의 처리위치와, 상기 챔버 내에서의 상기 처리조 상방의 대기위치에 걸쳐 승강하는 승강지지기구;상기 처리조의 처리액을 배출하는 배출부;상기 승강지지기구의 대기위치와 처리위치 사이를 칸막이하도록, 상기 처리조의 상부를 개폐하는 개폐기구;상기 개폐기구에 설치되고, 상기 개폐기구가 닫히고, 또한 상기 배출부로부터 처리액을 배출시킨 상태에서, 상기 처리조 내부를 향해서 유기용제를 포함하는 불활성 가스를 공급하는 하방노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 개폐기구에 설치되며, 상기 개폐기구가 닫히고, 또한 상기 승강지지기구를 대기위치로 이동시킨 상태에서, 대기위치에 있는 기판을 향해서 유기용제를 포함하는 불활성 가스를 공급하는 상방노즐을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 개폐기구보다 하방에 있고, 상기 처리조와 상기 챔버의 내벽 사이에 설치되며, 상기 챔버 내의 하부위치를 둘러싸는 씰판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제2항에 있어서,상기 개폐기구보다 하방에 있고, 상기 처리조와 상기 챔버의 내벽 사이에 설치되며, 상기 챔버 내의 하부위치를 둘러싸는 씰판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 개폐기구는, 상기 처리조 상부에 대하여 개폐가능한 한 쌍의 판상부재를 구비하고,상기 하방노즐은, 상기 판상부재 내부에 형성되고, 유기용제를 포함하는 불활성 가스가 공급되는 하방측 공급로와, 상기 판상부재의 상기 처리조측에 형성되고, 상기 하방측 공급로에 연통접속된 복수의 하방측 공급구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제5항에 있어서,상기 판상부재의 상기 처리조측에 설치된 다공질부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제2항에 있어서,상기 개폐기구는, 상기 처리조 상부에 대하여 개폐가능한 한 쌍의 판상부재를 구비하고,상기 상방노즐은, 상기 판상부재 내부에 형성되고, 유기용제를 포함하는 불활성 가스가 공급되는 상방측 공급로와, 상기 판상부재의 상기 처리조측과는 반대측에 형성되고, 상기 상방측 공급로에 연통접속된 복수의 상방측 공급구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제7항에 있어서,상기 판상부재의 상기 처리조측과는 반대측에 설치된 다공질부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 처리액에 의해 기판을 처리하는 기판처리장치로서, 상기 장치는,처리액을 저류하고, 기판을 수용해서 처리액에 의해 기판에 대한 처리를 행하는 처리조;상기 처리조의 주위를 둘러싸는 챔버;기판을 지지하면서, 상기 처리조 내부의 처리위치와, 상기 챔버 내에서 상기 처리조 상방의 대기위치에 걸쳐 승강하는 승강지지기구;상기 승강지지기구의 대기위치와 처리위치 사이를 칸막이하도록, 상기 처리조의 상부를 개폐하는 개폐기구;상기 개폐기구에 설치되고, 상기 개폐기구가 닫히고, 또한 상기 승강지지기구를 대기위치로 이동시킨 상태에서, 대기위치에 있는 기판을 향해서 유기용제를 포함하는 불활성 가스를 공급하는 상방노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제9항에 있어서,상기 개폐기구는, 상기 처리조 상부에 대하여 개폐가능한 한 쌍의 판상부재를 구비하고,상기 상방노즐은, 상기 판상부재 내부에 형성되고, 유기용제를 포함하는 불활성 가스가 공급되는 상방측 공급로와, 상기 판상부재의 상기 처리조측과는 반대측에 형성되고, 상기 상방측 공급로에 연통접속된 복수의 상방측 공급구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 챔버는, 상기 승강지지기구를 대기위치로 이동시킨 상태에서, 대기위치에 있는 기판을 향해서 유기용제를 포함하는 불활성 가스를 공급하는 고정노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제2항에 있어서,상기 챔버는, 상기 승강지지기구를 대기위치로 이동시킨 상태에서, 대기위치에 있는 기판을 향해서 유기용제를 포함하는 불활성 가스를 공급하는 고정노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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