KR100831008B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은, 유지전극 및 주사전극의 각 버스전극을 흑색 및 백색 일체형으로 형성하고, 또한 이를 건식공정으로 형성하는 것으로서, 서로 마주하여 이격 배치되는 제1 기판과 제2 기판, 상기 양 기판 사이에 배치되어 방전셀들을 구획하는 격벽, 상기 방전셀 내에 형성되는 형광체층, 상기 제1 기판에서 상기 제1 방향을 따라 형성되는 어드레스전극, 및 상기 제2 기판에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 나란하게 형성되는 제1 전극과 제2 전극을 포함하며, 상기 제1 전극 및 제2 전극 각각은, 상기 제2 기판에 형성되는 투명전극과, 상기 투명전극 상에 형성되는 버스전극을 포함하며, 상기 버스전극은 백색의 결정질 은(Ag)과 흑색을 일체로 포함한다.

버스전극, 건식공정, 흑색, 백색, 일체, 결정질

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법 {PLASMA DISPLAY PANEL AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 분해하여 개략적으로 도시한 사시도이다.

도2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라 자른 단면도이다.

도3은 본 발명의 일 실시예에서 방전셀과 전극의 배치 관계를 도시한 평면도이다.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법의 순서도이다.

도5는 전면기판에 포토폴리머를 형성하는 순서도이다.

도6은 전면기판에 버스전극을 형성하는 순서도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 제1 기판(배면기판) 11 : 어드레스전극

13, 21 : 제1, 제2 유전층 16 : 격벽

16a : 제1 격벽부재 16b : 제2 격벽부재

17 : 방전셀 19 : 형광체층

20 : 제2 기판(전면기판) 23 : 보호막

31 : 제1 전극(유지전극) 32 : 제2 전극(주사전극)

31a, 32a : 투명전극 31b, 32b : 버스전극

51 : 포토폴리머 51: 커버 필름

53, 63 : 롤 61 : 버스전극 필름

62 : 캐리어 필름 P50 : 포토폴리머 패턴

P50a : 비노광된 부분 P50b : 노광된 부분

P60 : 버스전극 패턴 61a, 61b : 도전성 부분

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 흑색 및 백색 일체형 버스전극을 건식공정으로 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널은 기체방전을 통하여 얻어진 플라즈마로부터 방사되는 진공자외선(VUV: Vacuum Ultra-Violet)을 이용하여 형광체를 여기시킴으로서 발생되는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 가시광으로 영상을 구현하는 디스플레이 소자이다.

일례로서, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 배면기판 상에 어드레스전극들을 형성하고, 어드레스전극들을 유전층으로 덮고 있다. 격벽들은 유전층 위의 각 어드레스전극들 사이에 배치되어 스트라이프(stripe) 모양으로 형성되고, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 형광체층은 격벽들에 형성된다. 이 배면기판에 대향하는 전면기판에는 어드레스전극들과 교차하는 방향을 따라 한 쌍의 유지전극과 주사전극으로 구성되는 표시전극들이 형성되고, 유전층과 MgO 보호막이 이 표시전극들을 덮고 있다. 배면기판 상의 어드레스전극들과 전면기판 상의 표시전극들 쌍이 교차하는 지점에 방전셀이 형성된다. 이 플라즈마 디스플레이 패널의 내부에는 수백만 개 이상의 단위 방전셀들이 매트릭스(Matrix) 형태로 배열된다.

이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널에서, 유지전극 및 주사전극은 각각 투명전극과 버스전극을 구비한다.

이 버스전극을 형성하는 제조방법은 전면기판에 흑색층을 인쇄, 건조하여 형성하고, 이 흑색층에 백색층 인쇄, 건조하여 형성한 후, 전체적으로 노광, 현상 및 소성하는 공정을 포함한다.

이 제조방법은 습식공정을 적용하는 것으로서, 복잡한 공정과 많은 시간을 소요하며, 환경적으로 유해한 물질을 사용한다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 기존의 습식공정을 대신하는 건식공정이 소개되고 있다.

본 발명의 목적은 유지전극 및 주사전극의 각 버스전극을 흑색 및 백색 일체형으로 형성하고, 또한 이를 건식공정으로 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은, 서로 마주하여 이 격 배치되는 제1 기판과 제2 기판, 상기 양 기판 사이에 배치되어 방전셀들을 구획하는 격벽, 상기 방전셀 내에 형성되는 형광체층, 상기 제1 기판에서 상기 제1 방향을 따라 형성되는 어드레스전극, 및 상기 제2 기판에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 나란하게 형성되는 제1 전극과 제2 전극을 포함하며, 상기 제1 전극 및 제2 전극 각각은, 상기 제2 기판에 형성되는 투명전극과, 상기 투명전극 상에 형성되는 버스전극을 포함하며, 상기 버스전극은 백색의 결정질 은(Ag)과 흑색을 일체로 포함할 수 있다.

상기 버스전극은 95% 이상의 은(Ag)을 포함할 수 있다. 상기 버스전극은 5% 미만의 바인더를 포함할 수 있다. 상기 버스전극은 0.5-1㎛의 두께를 형성할 수 있다.

상기 버스전극은 코발트(Co) 산화물 및 류테늄(Ru) 산화물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은, 제1 기판에 어드레스전극, 유전층, 격벽 및 형광체층을 형성하는 제1 기판 형성단계, 제2 기판에 투명전극, 버스전극, 유전층 및 보호막을 형성하는 제2 기판 형성단계, 상기 제1 기판 및 제2 기판을 봉착하는 봉착단계, 및 상기 봉착된 제1 기판 및 제2 기판 사이 공간의 잔류 가스를 배출하고, 이 공간에 방전 가스를 충전하는 배기/충전단계를 포함하며, 상기 제2 기판 형성단계 중, 상기 버스전극을 형성하는 단계는, 소정의 패턴으로 상기 제2 기판에 포토폴리머를 형성하는 단계와, 상기 포토폴리머의 패턴 상에 버스전극의 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 포토폴리머 형성단계는, 상기 제2 기판 상에 시트 형상의 포토폴리머를 라미네이션하는 단계, 상기 포토폴리머를 소정의 패턴으로 노광하는 단계, 및 상기 포토폴리머에 부착된 커버 필름을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 포토폴리머 레미네이션 단계는 롤을 통하여 열과 압력을 가할 수 있다.

상기 버스전극 패턴을 형성하는 단계는, 노광된 상기 포토폴리머 패턴 상에 시트 형상의 버스전극 필름을 라미네이션하는 단계, 상기 버스전극 필름에서 캐리어 필름을 제거하여, 상기 포토폴리머의 비노광된 부분에 마주하는 도전성 부분을 상기 캐리어 필름에 부착한 채로 제거하고, 상기 포토폴리머의 노광된 부분에 마주하는 도전성 부분을 노광된 부분에 부착해 두는 단계, 및 상기 포토폴리머와 상기 도전성 부분을 소성하여, 상기 도전성 부분으로 상기 버스전극의 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 버스전극 필름을 라미네이션하는 단계는, 롤을 통하여 압력을 가할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 분해하여 개 략적으로 도시한 사시도이고, 도2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라 자른 단면도이다.

이 도면들을 참조하면, 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 기설정된 간격을 두고 서로 마주 배치되어 봉착(封着)되는 제1 기판(이하, "배면기판"이라 한다)(10)과 제2 기판(이하, "전면기판"이라 한다)(20) 및 이 기판들(10, 20) 사이에 구비되는 격벽(16)을 포함한다. 이 격벽(16)은 배면기판(10)과 전면기판(20) 사이에서 소정의 높이로 형성되어 다수의 방전셀들(17)을 구획한다. 이 방전셀들(17)은 기체방전으로 진공자외선을 발생시킬 수 있도록 방전가스(일례로 네온(Ne)과 제논(Xe)을 포함하는 혼합가스)를 충전하고 있으며, 이 진공자외선을 흡수하여 가시광을 방출하는 형광체층(19)을 구비하고 있다.

이 플라즈마 디스플레이 패널은 기체방전으로 화상을 구현하기 위하여, 배면기판(10)과 전면기판(20) 사이에서 각 방전셀(17)에 대응하도록 어드레스전극(11)과 제1 전극(이하 "유지전극"이라 한다)(31) 및 제2 전극(이하 "주사전극"이라 한다)(32)을 구비하고 있다.

일례로서, 어드레스전극(11)은 배면기판(10)의 내부 표면에 제1 방향(도면의 y축 방향)을 따라 신장(伸長) 형성되어, y축 방향으로 인접하는 방전셀들(17)에 연속적으로 대응한다. 또한 다수의 어드레스전극들(11)은 y축 방향과 교차하는 제2 방향(도면의 x축 방향)을 따라 인접하는 방전셀들(17)에 대응하도록 나란하게 배치된다.

이 어드레스전극들(11)은 상기한 바와 같이 배면기판(10)의 내부 표면을 덮어 이루어지는 제1 유전층(13)으로 덮여진다. 이 제1 유전층(13)은 방전시, 양이온 또는 전자가 어드레스전극(11)에 직접 충돌하는 것을 방지하여 어드레스전극(11)의 손상을 방지하고, 또한 벽전하를 형성 및 축적한다. 이 어드레스전극(11)은 배면기판(10)에 배치되어 가시광이 전방으로 조사되는 것을 방해하지 않으므로 불투명한 전극으로 형성될 수 있다. 즉 어드레스전극(11)은 우수한 통전성을 가지는 금속 전극으로 형성될 수 있다.

이 격벽(16)은 실제로 제1 유전층(13) 상에 구비되어 방전셀들(17)을 구획한다. 이 격벽(16)은 y축 방향으로 신장 형성되는 제1 격벽부재들(16a)과, 이 제1 격벽부재들(16a) 사이에서 x축 방향으로 신장 형성되는 제2 격벽부재들(16b)을 포함하여, 방전셀들(17)을 매트릭스(matrix) 구조로 형성하고 있다.

또한, 격벽은 y축 방향으로 신장 형성되는 제1 격벽부재들로 형성되어, 방전셀들을 스트라이프(stripe) 구조로 형성할 수 있다(미도시). 즉 방전셀들은 y축 방향을 따라 개방되는 구조를 형성하게 된다.

이 실시예에는 방전셀(17)을 매트릭스 구조로 형성하는 격벽(16)이 예시되어 있으며, 이 상태에서 제2 격벽부재들(16b)가 제거되면 제1 격벽부재들(16a)에 의하여 스트라이프 구조의 방전셀이 형성된다. 따라서 여기서 스트라이프 구조의 방전셀에 대한 별도 도시를 생략한다.

이 방전셀들(17) 각각에 형성되는 형광체층(19)은, 일례를 들면, 격벽(16)의 측면과, 격벽들(16) 사이에 위치하는 제1 유전층(13)의 표면에 형광체 페이스트를 도포하고, 이를 건조 및 소성함으로써 형성된다.

이 형광체층(19)은 y축 방향을 따라 형성되는 방전셀들(17)에서 동일 색상의 형광체로 형성된다. 또한 형광체층(19)은 x축 방향을 따라 반복적으로 배치되는 방전셀들(17)에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 형광체에 의하여 반복적으로 형성된다.

한편, 유지전극(31)과 주사전극(32)은 전면기판(20)의 내부 표면에 구비되어, 방전셀들(17)에서 기체방전을 일으키도록 각 방전셀(17)에 대응하여 면방전 구조를 형성한다. 도3을 참조하면, 유지전극(31)과 주사전극(32)은 어드레스전극(11)과 교차하는 x축 방향을 따라 형성된다.

이 유지전극(31)과 주사전극(32) 각각은 방전을 일으키는 투명전극(31a, 32a)과, 이 투명전극(31a, 32a)에 전압 신호를 각각 인가하는 버스전극(31b, 32b)을 포함하여 형성된다. 이 투명전극들(31a, 32a)은 방전셀(17) 내부에서 면방전을 일으키는 부분으로서, 방전셀(17)의 개구율 확보를 위하여 투명한 소재(일례로서 ITO: Indium Tin Oxide)로 형성된다. 버스전극들(31b, 32b)은 투명전극들(31a, 32a)의 높은 전기 저항을 보상하도록 통전성이 우수한 금속 소재로 형성된다.

투명전극들(31a, 32a)은 y축 방향을 따라 방전셀(17)의 외곽에서 중심으로 각 폭(W31, W32)을 가지고 서로 면방전 구조를 형성하며, 각 방전셀(17)의 중심 부분에서 방전갭(DG)을 형성한다. 버스전극들(31b, 32b)은 투명전극들(31a, 32a) 상에 각각 배치되고 방전셀(17)의 외곽에서 x축 방향으로 신장 형성된다. 따라서 버스전극들(31b, 32b)에 전압 신호를 인가하게 되면 각 버스전극들(31b, 32b)에 연결되는 투명전극들(31a, 32a) 각각에 전압 신호가 인가된다.

또한, 투명전극은 x축 방향을 따라 하나로 연결되어 각 방전셀들에서 방전을 일으킬 수 있다(미도시).

다시 도1 및 도2를 참조하면, 유지전극(31) 및 주사전극(32)은 어드레스전극들(11)과 교차하는 상태로 방전셀(17)에 대응하고, 서로 마주하면서 제2 유전층(21)으로 덮여진다. 이 제2 유전층(21)은 유지전극(31) 및 주사전극(32)을 기체방전으로부터 보호하면서 방전시 벽전하를 형성 및 축적한다.

이 제2 유전층(21)은 보호막(23)으로 덮여진다. 예를 들면, 보호막(23)은 제2 유전층(21)을 보호하며, 방전시 이차전자의 방출량을 증가시킨다.

이 플라즈마 디스플레이 패널 구동시, 리셋 기간에서는 주사전극(32)에 인가되는 리셋 펄스에 의하여 리셋 방전이 일어나고, 이 리셋 기간에 이어지는 스캔 기간(어드레싱 기간)에서는 주사전극(32)에 인가되는 스캔 펄스와 어드레스전극(11)에 인가되는 어드레스 펄스에 의하여 어드레스 방전이 일어난다. 그 후, 유지 기간에서는 유지전극(31)과 주사전극(32)에 번갈아 인가되는 유지 펄스에 의하여 유지 방전이 일어난다.

이 유지전극(31)과 주사전극(32)은 유지 방전에 필요한 유지 펄스를 인가하는 전극의 역할을 하고, 주사전극(32)은 리셋 펄스 및 스캔 펄스를 인가하는 전극의 역할을 하며, 어드레스전극(11)은 어드레스 펄스를 인가하는 전극의 역할을 한다. 이 유지전극(32), 주사전극(32) 및 어드레스전극(11)은 각각에 인가되는 전압 파형에 따라 그 역할을 달리할 수 있으므로 반드시 이 역할들에 한정되는 것은 아니다.

이 플라즈마 디스플레이 패널은 어드레스전극(11)과 주사전극(32)의 상호 작 용으로 인한 어드레스 방전에 의하여 켜질 방전셀(17)을 선택하고, 유지전극(31)과 주사전극(32)의 상호 작용으로 인한 유지 방전에 의하여 상기 선택된 방전셀(17)을 구동시켜, 화상을 구현한다.

한편, 본 실시예의 플라즈마 디스플레이 패널에서, 버스전극(31b, 32b)의 제조공정을 단순하게 하기 위하여, 버스전극(31b, 32b)은 건식공정에 의한 흑색과 백색의 일체로 형성된다.

이 버스전극(31b, 32b)에 대한 구성은 제조방법의 설명을 통하여 구체화된다. 따라서 도4 내지 도6을 참조하여 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 설명한다.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법의 순서도이고, 도5는 전면기판에 포토폴리머를 형성하는 순서도이며, 도6은 전면기판에 버스전극을 형성하는 순서도이다.

이 도면들을 참조하면, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은, 배면기판 형성단계(ST100), 전면기판 형성단계(ST200), 봉착단계(ST300) 및 배기/충전단계(ST400)를 포함한다.

배면기판 형성단계(ST100)는 배면기판(10)에 어드레스전극(11), 제1 유전층(13), 격벽(16) 및 형광체층(19)을 형성한다. 전면기판 형성단계(ST200)는 전면기판(20)에 투명전극(31a, 32a), 버스전극(31b, 32b), 제2 유전층(21) 및 보호막(23)을 형성한다. 봉착단계(ST300)는 상기와 같이 형성된 배면기판(10)과 전면기판(20)을 서로 봉착한다. 배기/충전단계(ST400)는 봉착된 배면기판(10)과 전면기 판(20) 사이의 방전셀들(17)이 형성하는 공간에 잔류하는 가스를 배출하고, 이 방전셀들(17)이 형성하는 공간에 방전 가스를 충전한다.

배면기판 형성단계(ST100), 봉착단계(ST300) 및 배기/충전단계(ST400)는 공지의 방법이 적용될 수 있으므로 이에 대한 구체적인 설명을 생략한다. 또한 전면기판 형성단계(ST200)에서 투명전극(31a, 32a) 형성단계, 제2 유전층(21) 형성단계, 및 보호막(23) 형성단계도 공지의 방법으로 가능하므로 이에 대한 구체적인 설명을 생략한다.

버스전극(31b, 32b)을 형성하는 단계는, 도5에 도시된 바와 같이, 소정의 패턴으로 전면기판(20)에 포토폴리머(photopolymer)(50)를 형성하는 단계(ST210)와, 도6에 도시된 바와 같이 포토폴리머(51)의 패턴(P50) 상에 버스전극(31b, 32b)의 패턴(P60)을 형성하는 단계(ST220)을 포함한다.

도5를 참조하면, 포토폴리머 형성단계(ST210)는 전면기판(20) 상에 시트 형상의 포토폴리머(51)를 라미네이션하는 단계(ST211), 이 포토폴리머(51)를 소정의 패턴(P50)으로 노광하는 단계(ST212) 및 이 포토폴리머(51)에 부착된 커버 필름(52)을 제거하는 단계(ST213)를 포함한다. 편의상, 전면기판(20)에 먼저 형성되어 있는 투명전극(31a, 32a)은 도시 생략한다.

이 포토폴리머 라미네이션 단계(ST211)는 시트 상태의 포토폴리머(51)를 롤(53)을 통하여 열과 압력을 가하면서 전면기판(20)에 라미네이션한다.

포토폴리머 노광 단계(ST212)는 포토폴리머(51) 위에 포토 마스크(54)를 대고 자외선(55)을 쏘여 포토폴리머(51)를 버스전극(31b, 32b)의 패턴과 동일 패 턴(P50)으로 노광한다.

커버 필름(52)을 제거하면, 포토폴리머(51)는 소정의 패턴(P50)으로 노광되어 전면기판(20)에 부착된 상태를 유지하게 된다. 즉 포토폴리머(51)는 비노광된 부분(P50a)과 노광된 부분(P50b)으로 패턴(P50)을 형성한다.

도6을 참조하면, 버스전극(31b, 32b)의 패턴(P60)을 형성하는 단계(ST220)는 노광된 포토폴리머 패턴(P50) 상에 버스전극 필름(61)을 라미네이션하는 단계(ST221), 이 버스전극 필름(61)에서 캐리어 필름(62)을 제거하는 단계(ST222), 및 버스전극 필름(61)에 의한 버스전극(31b, 32b) 패턴(P60)을 소성하는 단계(ST223)를 포함한다.

버스전극 필름(61) 라미네이션 단계(ST221)는 노광된 포토폴리머 패턴(P50) 상에 시트 상태의 버스전극 필름(61)을 롤(63)을 통하여 압력을 가하여 라미네이션한다.

이 시트 상태의 버스전극 필름(61)은 일례로써, 95% 이상의 은(Ag)과 5% 미만의 유기물 바인더를 함유한다. 이 은(Ag)은 결정질로 형성되어 0.5-1㎛의 두께를 형성하게 된다.

기존의 70%의 고형분과 30%의 유기물로 이루어진 패이스트를 이용하여 버스전극을 형성하는 것과 비교할 때, 본 실시예는 높은 은(Ag) 함량을 가진다. 기존의 패이스트 고형분에서 65%가 비정질 은(Ag)이고 5%가 프리트인 것과 비교할 때, 본 실시예는 더욱 높은 은의 함량을 가진다. 또한, 기존의 버스전극의 두께가 1-3㎛인 것과 비교할 때, 본 실시예의 두께는 더 얇다.

캐리어 필름(62) 제거 단계(ST222)는 버스전극 필름(61)에서 캐리어 필름(62)을 제거한다. 이때, 포토폴리머(51) 패턴(P50)의 비노광된 부분(P50a)에 마주하는 도전성 부분(61a)은 캐리어 필름(62)에 부착한 채로 제거되고, 포토폴리머(51) 패턴(P50)의 노광된 부분(P50b)에 마주하는 도전성 부분(61b)은 노광된 부분(P50b)에 부착된 상태를 유지한다.

이로써, 버스전극 필름(61)의 도전성 부분(61b)에 의하여, 포토폴리머 패턴(P50) 상에 버스전극 패턴(P60)이 형성된다.

버스전극 패턴(P60)을 소성하는 단계(ST223)는 포토폴리머(51)와 도전성 부분(61b)을 소성하여, 이 도전성 부분(61b)으로 버스전극의 패턴(P60)을 형성한다.

이 버스전극 패턴(P60)은 흑색과 백색의 일체로 버스전극(31b, 32b)을 형성한다. 이를 위하여 버스전극(31b, 32b)은 코발트(Co) 산화물 또는 류테늄(Ru) 산화물을 포함한다. 이 흑색과 백색이 일체로 형성되는 버스전극(31b, 32b)은 흑색층과 백색층을 별도로 형성하는 기존에 비하여 공정을 단순하게 한다.

그러나 버스전극(31b, 32b)은 흑색도(백색에 대한 흑색의 비)를 높이면, 즉 흑색의 비율이 증대되면, 선저항이 증대되고, 흑색도를 낮추면, 즉 흑색의 비율이 낮아지면, 명실콘트라스트가 저감되므로 적절한 흑색도를 필요로 한다. 따라서 버스전극(31b, 32b)에 적용하기 위한 성분비는 다소 제한적일 수 있다.

이 버스전극(31b, 32b)을 형성하는 버스전극 필름(61)은 실험을 통하여 그 성분 함유량, 예를 들면 은과 코발트 산화물의 함유량 범위 또는 은과 류테늄 산화물의 함유량 범위를 규정할 수 있다.

이상을 통해 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에 의하면, 유지전극 및 주사전극 각각을 형성하는 투명전극과 버스전극 중, 이 버스전극을 건식공정으로 흑색과 백색의 일체로 형성하므로 버스전극의 제조 공정을 단순하게 하고 또한 공정의 소요 시간을 단축하며, 아울러 환경적으로 유해 물질을 저감시키는 효과가 있다.

Claims (10)

1. 서로 마주하여 이격 배치되는 제1 기판과 제2 기판;

   상기 양 기판 사이에 배치되어 방전셀들을 구획하는 격벽;

   상기 방전셀 내에 형성되는 형광체층;

   상기 제1 기판에서 상기 제1 방향을 따라 형성되는 어드레스전극; 및

   상기 제2 기판에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 나란하게 형성되는 제1 전극과 제2 전극을 포함하며,

   상기 제1 전극 및 제2 전극 각각은,

   상기 제2 기판에 형성되는 투명전극과,

   상기 투명전극 상에 형성되는 버스전극을 포함하며,

   상기 버스전극은 95% 이상의 은(Ag)을 포함하고,

   상기 버스전극은,

   백색의 결정질 은(Ag)과,

   흑색의 코발트(Co) 산화물 및 류테늄(Ru) 산화물 중 적어도 하나를 포함하여 일체로 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널.
2. 삭제
3. 제1 항에 있어서,

   상기 버스전극은 5% 미만의 바인더를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.
4. 제1 항에 있어서,

   상기 버스전극은 0.5-1㎛의 두께를 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널.
5. 삭제
6. 제1 기판에 어드레스전극, 유전층, 격벽 및 형광체층을 형성하는 제1 기판 형성단계;

   제2 기판에 투명전극, 95% 이상의 은을 포함하는 버스전극, 유전층 및 보호막을 형성하는 제2 기판 형성단계;

   상기 제1 기판 및 제2 기판을 봉착하는 봉착단계; 및

   상기 봉착된 제1 기판 및 제2 기판 사이 공간의 잔류 가스를 배출하고, 이 공간에 방전 가스를 충전하는 배기/충전단계를 포함하며,

   상기 제2 기판 형성단계 중, 상기 버스전극을 형성하는 단계는,

   소정의 패턴으로 상기 제2 기판에 포토폴리머를 형성하는 단계와,

   상기 포토폴리머의 패턴 상에 버스전극의 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,

   상기 버스전극 패턴을 형성하는 단계는,

   노광된 상기 포토폴리머 패턴 상에 백색의 결정질 은(Ag)과, 흑색의 코발트(Co) 산화물 및 류테늄(Ru) 산화물 중 적어도 하나를 포함하여 일체로 하는 시트 형상의 버스전극 필름을 라미네이션하는 단계를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.
7. 제6 항에 있어서,

   상기 포토폴리머 형성단계는,

   상기 제2 기판 상에 시트 형상의 포토폴리머를 라미네이션하는 단계,

   상기 포토폴리머를 소정의 패턴으로 노광하는 단계, 및

   상기 포토폴리머에 부착된 커버 필름을 제거하는 단계를 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.
8. 제6 항에 있어서,

   상기 포토폴리머 레미네이션 단계는 롤을 통하여 열과 압력을 가하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.
9. 제6 항에 있어서,

   상기 버스전극 패턴을 형성하는 단계는,

   상기 버스전극 필름에서 캐리어 필름을 제거하여, 상기 포토폴리머의 비노광된 부분에 마주하는 도전성 부분을 상기 캐리어 필름에 부착한 채로 제거하고, 상기 포토폴리머의 노광된 부분에 마주하는 도전성 부분을 노광된 부분에 부착해 두는 단계, 및

   상기 포토폴리머와 상기 도전성 부분을 소성하여, 상기 도전성 부분으로 상기 버스전극의 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.
10. 제9 항에 있어서,

    상기 버스전극 필름을 라미네이션하는 단계는, 롤을 통하여 압력을 가하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.

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