KR100819904B1 - Metallic ink, and method for forming of electrode using the same and substrate - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 Ag/Pd 나노 미립자 분산액의 입도분포 그래프이다. 1 is a graph of particle size distribution of Ag / Pd nanoparticle dispersions.
도 2는 Ag/Pd 나노 미립자 분산액의 TEM 사진이다. 2 is a TEM photograph of an Ag / Pd nanoparticle dispersion.
도 3은 잉크젯 패터닝을 통해 형성된 Ag/Pd 금속 배선의 사진이다. 3 is a photograph of Ag / Pd metal wiring formed through inkjet patterning.
도 4는 250℃에서 열처리된 금속 배선의 SEM 사진이다. 4 is a SEM photograph of a metal wiring heat treated at 250 ° C.
도 5는 560℃에서 열처리된 금속 배선의 SEM 사진이다. 5 is a SEM photograph of a metal wiring heat treated at 560 ° C.
본 발명은 금속성 잉크, 그리고 이 잉크를 이용한 전극형성방법 및 기판에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노(nano) 크기의 금속 초미립자가 분산된 금속성 잉크를 조성함에 있어서, 금속산화물 및/또는 금속 부분 축중합 산화물을 금속 초미립자와 함께 독립된 형태로 분산, 함유시킴으로써, 잉크젯 프린터기에 의한 패터닝이 가능하고, 특히 기재에 대한 부착력이 우수한 금속성 잉크, 그리고 상기 잉크 를 잉크젯 프린터기로 패터닝하는 전극형성방법 및 이 방법에 의해 전극이 형성된 기판에 관한 것이다. The present invention relates to a metallic ink, and to an electrode forming method and a substrate using the ink. More particularly, the present invention relates to a metal oxide and / or a metal partial axis in forming a metallic ink in which nano-sized ultrafine metal particles are dispersed. By dispersing and containing the polymerized oxide in an independent form together with the ultrafine metal particles, a metallic ink capable of patterning by an inkjet printer, in particular, having excellent adhesion to a substrate, and an electrode forming method for patterning the ink with an inkjet printer and in the method The present invention relates to a substrate on which electrodes are formed.
금속은 전자공업의 발달과 더불어 그 사용 범위가 점차 넓어지고 있다. 특히 미세 분말화된 금속은 금속성 질감을 표현하거나 도전 배선을 형성할 목적으로 많이 사용되고 있다. With the development of the electronics industry, the metals are being used more and more. In particular, finely powdered metals are used for the purpose of expressing metallic texture or forming conductive wiring.
예를 들어, 이동통신 단말기, 가전제품 등의 각종 플라스틱 전자제품에는 금속색(metallic color)이 제품의 외관에 적합한 것으로 광범위하게 인식됨에 따라 금속 분말이 도료에 함유되어 코팅되고 있다. 특히 은빛 계통의 금속색은 제품에 세련되고 깔끔한 인상을 부여하며 고급스러운 외관을 표현함에 따라 은(Ag)이 많이 사용되고 있다. For example, various plastic electronic products such as mobile communication terminals and home appliances have been widely recognized as having a metallic color suitable for the appearance of the product, and thus metal powder is contained and coated in the paint. In particular, silver metallic color gives the product a refined and neat impression, and silver (Ag) is used a lot as it expresses a luxurious appearance.
또한, 금속은 우수한 전도성을 가짐으로 인하여 플라스틱이나 유리 기판 등의 기재에 도전 배선용으로 인쇄되어 PDP(플라즈마 디스플레이 패널) 등에 적용되는 각종 전극 기판의 제조에 사용되고 있다. 이때, 금속은 수 마이크로미터 내지 수십 마이크로미터(㎛) 이상의 크기로 분말화되어 사용된다. 이와 같은 금속 분말은 감광성 에폭시 수지 등의 유기 바인더와 혼합되어 페이스트화된 다음 실크스크린법 및 리쏘그래피법 등을 통하여 기재에 인쇄되고 있다. 이러한 인쇄과정을 예를 들어 설명하면, 먼저 유리 기판(기재)의 표면에 금속 페이스트 조성물을 스크린 프린팅하여 막을 형성시킨다. 그리고 형성된 막을 리쏘그래피 공정을 통하여 미세 패터닝(patterning)하여 기재 상에 미세 도전성 배선을 형성시킨다. 다음으로 유 기물을 500℃의 고온에서 태워 제거함으로써 전도성의 배선이 패터닝된 전극용 기판을 제조하고 있다. In addition, since metal has excellent conductivity, it is used for the production of various electrode substrates printed on substrates such as plastics or glass substrates for conductive wiring and applied to PDPs (plasma display panels). In this case, the metal is powdered to a size of several micrometers to several tens of micrometers (μm) or more and used. Such a metal powder is mixed with an organic binder such as a photosensitive epoxy resin, pasted, and then printed on a substrate through a silk screen method, a lithography method, or the like. For example, the printing process may be described by first screen printing a metal paste composition on a surface of a glass substrate (substrate) to form a film. The formed film is finely patterned through a lithography process to form fine conductive wiring on the substrate. Next, the organic substrate is burned and removed at a high temperature of 500 ° C. to manufacture a substrate for electrodes having conductive wiring patterned thereon.
그러나 위와 같은 방법은 장치도 크고 공정도 복잡함으로 인하여 최근에는 잉크젯 프린터기에 의한 인쇄기법이 시도되고 있다. 잉크젯을 이용한 인쇄기법은 인쇄 속도가 빠르고, 장치가 비교적 간단하며, 인쇄하고자 하는 패턴의 형태에 구애받지 않는다. 또한 미세한 선부터 굵은 선까지 인쇄선의 굵기를 자유롭게 구현할 수 있고, 공정도 단순하여 제조 단가의 절감과 제조 공정의 혁신을 이룰 수 있다. 이러한 장점으로 인하여 잉크젯 인쇄기법은 스크린인쇄나 리쏘그래피를 대체할 것으로 예상된다. However, the above method has been attempted by a printing method using an ink jet printer in recent years due to the large device and complicated process. The inkjet printing technique has a high printing speed, a relatively simple apparatus, and is independent of the type of pattern to be printed. In addition, the thickness of the printed line can be freely implemented from fine lines to thick lines, and the process is simple, thereby reducing manufacturing cost and innovating the manufacturing process. Because of these advantages, inkjet printing is expected to replace screen printing or lithography.
이때, 잉크젯 프린터기에 사용되는 금속성 잉크는 노즐에 막힘 현상이 없도록 잉크젯용 잉크특성을 만족하여야 한다. 구체적으로 금속이 나노 크기로 초미립자화되고 응집 현상이 없도록 우수한 분산성을 가져야 한다. At this time, the metallic ink used in the ink jet printer should satisfy the ink characteristics of the ink jet so that the nozzle is not clogged. Specifically, the metal should be excellent in dispersibility so that the nanoparticles are made into nano particles and have no agglomeration phenomenon.
최근 잉크젯 기술을 통한 인쇄기법의 도입 일환으로 100나노미터 미만의 은 입자가 분산된 용액이 개발되어 PDP의 제조에 응용되고 있으며, 그 연구 또한 활발히 진행되고 있다. 분산성이 우수한 금속 초미립자의 제조방법에 대한 연구는 1980년대 이 후 Langmuir, 1996, 12, 4723; Chem. Rev. 2004, 104, 3893; J. Phys. Chem. B., 1988, 102, 8378; J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 882; J. Phys. Chem. B., 1999, 103, 5488, 그리고 대한민국 공개특허 제10-2002-7007534호 등의 많은 문헌과 특허들에서 꾸준히 발표되고 있다. 제조방법으로는 크게 환원제에 의한 화학적 환원방법과 기상 중에서 금속을 증발시킨 후 응축시켜 얻는 가스 증발법으로 나눌 수 있다. 이렇게 제조된 금속 초미립자는 용제，수지，분산제 등과 함께 교반된 다음，초음파의 인가，그리고 볼밀, 샌드밀 등에 의해 분산, 처리되어 금속 초미립자 분산액으로 제조된다. Recently, as part of the introduction of a printing technique through inkjet technology, a solution in which silver particles of less than 100 nanometers are dispersed has been developed and applied to the production of PDP. Research on the preparation of ultrafine metal particles having excellent dispersibility has been carried out since the 1980s Langmuir, 1996, 12, 4723; Chem. Rev. 2004, 104, 3893; J. Phys. Chem. B., 1988, 102, 8378; J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 882; J. Phys. Chem. B., 1999, 103, 5488, and many publications and patents, such as Korean Patent Publication No. 10-2002-7007534. The production method can be largely divided into a chemical reduction method using a reducing agent and a gas evaporation method obtained by condensation after evaporating the metal in the gas phase. The ultrafine metal particles thus prepared are stirred with a solvent, a resin, a dispersant, and the like, and then applied with ultrasonic waves, dispersed and processed by a ball mill, a sand mill, or the like, to prepare a ultrafine metal dispersion.
위와 같이 얻어진 고농도, 저점도의 금속성 잉크(금속 초미립자 분산액) 중에서 은(Ag) 잉크의 경우는 우수한 전도성을 갖는 이유로 인하여 PDP나 기타 디스플레이의 잉크젯 패터닝을 통한 전극 형성에 가장 유용하게 사용되고 있다. Among the high concentration and low viscosity metallic inks (metal ultrafine particle dispersions) obtained as described above, silver (Ag) inks are most usefully used for forming electrodes through inkjet patterning of PDPs or other displays because of their excellent conductivity.
또한, 대한민국 공개특허 제10-2002-0074167호에는 잉크젯용 잉크특성을 만족시키는 것으로서 금속 초미립자 분산액으로 이루어진 잉크 및 그 제법에 제시되어 있다. 그리고 대한민국 공개특허 제10-2002-0080393호에는 상기 공개특허에 제시된 잉크를 사용하고, 잉크젯 프린터기로 형성하는 플랫 패널 디스플레이의 전극형성방법이 제시되어 있다. In addition, Korean Patent Laid-Open No. 10-2002-0074167 discloses an ink made of ultrafine metal dispersion liquid and a method for manufacturing the same as satisfying ink characteristics for inkjet. In addition, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2002-0080393 discloses a method of forming an electrode of a flat panel display using the ink disclosed in the above-described patent and forming an inkjet printer.
그러나 종래 기술에 따른 금속 초미립자 분산액(금속성 잉크)은 기재에 대한 부착력이 현저히 떨어지는 문제점이 있다. 금속 나노 크기 입자의 표면은 화학적으로 불안정하여 공기 중에서 쉽게 변성된다. 이에 따라 페터닝된 도전 배선은 시간이 지남에 따라 색변화가 일어나고, 특히 급격한 부착력 저하를 나타낸다. 이와 같이 부착력이 저하되면, 금속 도전 배선의 탈착이 발생하여 전극으로서 치명적인 결함을 가지며, 이는 결국 금속성 잉크의 PDP 공정에 대한 적용이 불가능하게 되는 요인이 된다. However, the ultrafine metal dispersion (metallic ink) according to the prior art has a problem that the adhesion to the substrate is significantly lowered. The surface of metal nano-sized particles is chemically unstable and easily denatures in air. As a result, the patterned conductive wiring changes color with time, and in particular, shows a sudden drop in adhesion. As such, when the adhesive force is lowered, desorption of the metal conductive wiring occurs, which causes a fatal defect as an electrode, which becomes a factor that makes it impossible to apply the metallic ink to the PDP process.
또한, 일반적으로 금속성 잉크는 고온에서 열처리되는 경우 부착력이 향상됨과 동시에 전도도가 향상되는데, 종래 기술에 따른 금속성 잉크는 고온 처리 시 증 발 현상이 발생하는 문제점이 있다. In addition, in general, the metallic ink is improved in adhesion and conductivity at the same time when the heat treatment at a high temperature, the metallic ink according to the prior art has a problem that the evaporation phenomenon occurs during high temperature treatment.
따라서 경비 절감과 생산성 향상에 유리한 잉크젯 프린터로 인쇄가 가능한 것으로서, 나노 크기의 금속이 분산된 금속성 잉크가 개발되었으나 잉크젯 패터닝 후 부착력 문제를 개선하지 않고서는 실용화하는 것이 불가능하므로 부착력을 개선한 새로운 잉크젯용 금속성 잉크가 절실히 요구되고 있다. Therefore, it is possible to print with an inkjet printer which is advantageous for cost reduction and productivity improvement. Although a metallic ink in which nano-sized metals are dispersed has been developed, it is impossible to be practically applied without improving the adhesion problem after inkjet patterning. There is an urgent need for metallic inks.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로, 기재와 밀착력을 향상시키는 수단을 갖게 함으로써 부착력이 향상된 금속성 잉크, 그리고 이를 이용한 전극형성방법 및 기판을 제공하는 데에 목적이 있다. The present invention has been invented to solve the problems of the prior art as described above, and has an object to provide a metallic ink having improved adhesion, and an electrode forming method and a substrate using the same by providing a means for improving adhesion between the substrate and the substrate. have.
또한, 본 발명은 고온에서의 열처리 시 증발이 없으며 부착력 및 전도도가 향상된 금속성 잉크, 그리고 이를 이용한 전극형성방법 및 기판을 제공하는 데에 다른 목적이 있다. In addition, another object of the present invention is to provide a metallic ink which has no evaporation during heat treatment at high temperature and has improved adhesion and conductivity, and an electrode forming method and a substrate using the same.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 100 나노미터 크기 이하의 금속산화물 나노 미립자와 금속 부분 축중합 산화물 중에서 선택된 적어도 하나 이상의 산화물과, 100 나노미터 크기 이하의 금속 나노 미립자가 용매 내에 독립된 형태로 분산된 금속성 잉크를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention, at least one oxide selected from metal oxide nanoparticles of 100 nanometers or less size and metal partial polycondensation oxide, and metal nanoparticles of 100 nanometers or less dispersed in an independent form in a solvent To provide a metallic ink.
또한, 본 발명은 100 나노미터 크기 이하의 금속산화물 나노 미립자와 금속 부분 축중합 산화물 중에서 선택된 적어도 하나 이상의 산화물과, 100 나노미터 크기 이하의 금속 나노 미립자가 용매 내에 독립된 형태로 분산된 금속성 잉크를 제조하는 단계와; The present invention also provides a metallic ink in which at least one oxide selected from metal oxide nanoparticles having a size of 100 nanometers or less and metal partial polycondensation oxide and metal nanoparticles having a size of 100 nanometers or less are dispersed in a solvent in an independent form. Making a step;
기재에 상기 금속성 잉크를 잉크젯 프린터기로 패터닝하는 단계와;Patterning the metallic ink on a substrate with an ink jet printer;
상기 패터닝된 금속성 잉크를 열처리하는 단계;를 포함하는 전극형성방법을 제공한다. And heat-treating the patterned metallic ink.
이때, 상기 금속 나노 미립자는 제2금속보다 전도도가 높은 제1금속과, 이 제1금속과 합금을 이루어 열적 안정성을 부여하는 제2금속으로 구성된 합금이거나, 상기 제1금속 및 제2금속 미립자의 혼합으로 이루어진 것이 바람직하다. In this case, the metal nano-particles are alloys composed of a first metal having a higher conductivity than the second metal and a second metal that forms an alloy with the first metal to impart thermal stability, or the first metal and the second metal particles Preference is given to mixing.
또한, 상기 열처리 단계에서는 60℃ 이상에서 수행되는 것이 바람직하며, 우수한 전도도 및 부착력과 강도를 얻기 위해 더욱 바람직하게는 450℃ 이상의 고온에서 열처리하는 것이 좋다. In addition, the heat treatment step is preferably carried out at 60 ℃ or more, more preferably to heat treatment at a high temperature of more than 450 ℃ to obtain excellent conductivity and adhesion and strength.
이에 더하여, 본 발명은 위와 같은 전극형성방법에 의해 전극이 형성된 기판을 제공한다. In addition, the present invention provides a substrate on which an electrode is formed by the above electrode forming method.
본 발명에 따르면, 금속산화물 및/또는 금속 부분 축중합 산화물에 의해 기재에 대한 부착력이 증대된다. 또한, 금속 나노 미립자가 합금(또는 혼합)으로 구성된 경우 증발 현상이 개선되어 고온에서의 열처리가 가능하고, 이에 의해 부착력 및 전도도가 향상된다. According to the present invention, the adhesion to the substrate is increased by the metal oxide and / or the metal partial polycondensation oxide. In addition, when the metal nanoparticles are composed of an alloy (or mixed), the evaporation phenomenon is improved to allow heat treatment at a high temperature, thereby improving adhesion and conductivity.
이하, 본 발명을 보다 상세히 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
본 발명자들은 종래의 금속성 잉크가 가지는 부착력 저하 문제와 고온 열처리 시 금속이 증발하여 패터닝된 금속 배선에 치명적인 결함을 주는 문제를 해결하기 위해 계속적인 연구를 거듭해 왔다. 이러한 연구과정에서 금속 나노 미립자가 독립적으로 분산된 경우 응집을 발생시키지 않고 잉크젯에 필수적인 유동성도 유지하며 잉크 특성이 우수함을 알 수 있었으며, 여기에 나노 입자로서 금속산화물 및/또는 금속 부분 축중합 산화물(즉, 금속산화물의 부분 축합물)이 금속 나노 미립자와 함께 독립적으로 분산된 경우 패터닝 후의 부착력이 획기적으로 증대됨을 발견하고 본 발명을 완성하게 되었다. 또한, 금속 나노 미립자의 금속을 합금으로 구성하되, 전도성을 만족시킬 수 있는 제1금속과, 이 제1금속보다 전도성은 떨어지나 제1금속과 합금을 이루어 열적 안정성을 부여하는 제2금속으로 구성하는 경우 고온 처리 시 증발 현상이 해결되고, 이와 같이 고온 처리되면 부착력과 함께 전도도가 향상됨을 알 수 있었다. The present inventors have been continually researching to solve the problem of deterioration in adhesion force of the conventional metallic ink and the problem of causing fatal defects in the patterned metal wiring by evaporation of the metal during high temperature heat treatment. In this process, when the metal nanoparticles were dispersed independently, it was found that they do not generate agglomeration, maintain fluidity necessary for inkjet, and have excellent ink properties. As the nanoparticles, metal oxides and / or metal partial polycondensation oxides ( That is, when the partial condensate of the metal oxide) is independently dispersed together with the metal nanoparticles, it has been found that the adhesion force after the patterning is dramatically increased and the present invention has been completed. In addition, a metal of the metal nanoparticles is composed of an alloy, but a first metal capable of satisfying the conductivity and a second metal which is less conductive than the first metal but forms an alloy with the first metal to impart thermal stability. In the case of high temperature treatment, the evaporation phenomenon was solved, and when the high temperature treatment was performed, it was found that the conductivity and adhesion were improved.
본 발명에 따른 금속성 잉크는, 금속산화물 나노 미립자와 금속 부분 축중합 산화물 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상의 산화물과, 금속 나노 미립자가 용매 내에 독립적으로 분산된 형태로서, A)금속산화물 나노 미립자 및/또는 B)금속 부분 축중합 산화물과, C)금속 나노 미립자 그리고 D)분산액를 적어도 포함한다. The metallic ink according to the present invention is a form in which one or two or more oxides selected from metal oxide nanoparticles and metal partial polycondensation oxides, and metal nanoparticles are independently dispersed in a solvent, A) metal oxide nanoparticles and / or B A) metal partial polycondensation oxide, C) metal nano fine particles, and D) dispersion.
본 발명의 바람직한 형태에 따라서, 상기 금속 나노 미립자(C)는 합금이거나 단일 금속들의 혼합으로 이루어진 형태로서 전도도가 높은 제1금속과, 이 제1금속과 합금을 이루어 열적 안정성을 부여하는 제2금속으로 구성되거나, 상기 제1금속 및 제2금속 미립자의 혼합으로 구성된다. According to a preferred embodiment of the present invention, the metal nano-particles (C) is an alloy or a mixture of single metals, the first metal having a high conductivity, and the second metal forming an alloy with the first metal to impart thermal stability. Or a mixture of the first metal and the second metal fine particles.
상기 금속산화물 나노 미립자(A)는 100㎚(나노미터) 이하, 구체적으로는 1㎚ 내지 100㎚의 크기를 갖는다. 바람직하게는 잉크젯 토출이 원활히 수행될 수 있는 크기로서 50㎚ 이하의 크기를 갖는다. 이때, 금속산화물 나노 미립자(A)의 크기가 100㎚을 초과하여 너무 큰 경우에는 잉크젯 프린터기의 노즐이 막힐 우려가 있어 바람직하지 않다. The metal oxide nanoparticles (A) has a size of 100 nm (nanometer) or less, specifically 1 nm to 100 nm. Preferably, the ink jet ejection has a size of 50 nm or less as a size that can be performed smoothly. At this time, when the size of the metal oxide nanoparticles (A) is too large exceeding 100 nm, the nozzle of the inkjet printer may be clogged, which is not preferable.
위와 같은 금속산화물 나노 미립자(A)를 구성하는 금속원소는 1A족, 1B족, 2A족, 2B족, 3A족, 3B족, 4A족, 4B족, 5A족, 5B족, 전이 금속, 란탄족 및 악티늄족 등으로서, 금속(및 반금속)이면 본 발명에 포함하며, 예를 들어 Li, Na, K, Rb, Cs, Fr 등의 1A족(알칼리 금속); Cu, Ag, Au 등의 1B족; Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Ra 등의 2A족(알칼리 토금속); Zn, Cd 등의 2B족; Sc, Y 등의 3A족; Al, Ga, In 등의 3B족; Ti, Zr, Hf 등의 4A족; Si, Ge, Sn, Pb 등의 4B족; V, Nb, Ta 등의 5A족; Sb, Bi 등의 5B족; Mn, Ni, Fe, Cr, Co, Cu, Mo, W, Te, Re, Ru, Os, Rh, Ir, Pd, Pt 등의 전이 금속; La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 등의 란탄족; Ac, Th, Pa, U, Np, Pu, Am, Cm, Bk, Cf, Es, Fm, Md, No, Lr 등의 악티늄족 금속원소 등을 예로 들 수 있다. 바람직하게는 기재에 양호한 밀착성을 갖게 하는 것으로서, 상기 금속산화물 나노 미립자(A)는 규소(Si), 비스무트(Bi), 마그네슘(Mg), 이트륨(Y), 세리움(Ce), 티타늄(Ti), 지르코니움(Zr), 바나디움(V), 크로미움(Cr), 망간(Mn), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 구리(Cu), 은(Ag), 아연(Zn), 알루미늄(Al), 갈리움(Ga), 인듐(In), 주석(Sn) 및 안티몬(Sb) 등의 산화물로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 구체적인 예로는 산화규소(SiO2, 실리카), 산화비스무트(BiO, Bi2O3, Bi2O5), 산화주석(SnO2), 산화인듐(In2O3), 산화티타늄(TiO2), 산화아연(ZnO2), 산화안티몬(Sb2O3), 산화마그네슘(MgO), 산화칼슘(CaO) 및 산화철(FeO2) 등으로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합을 사용할 수 있다. 그리고 100 나노미터 이하의 크기로 용제에 분산된 형태로 사용한다. The metal elements constituting the metal oxide nanoparticles (A) as described above are group 1A, 1B, 2A, 2B, 3A, 3B, 4A, 4B, 5A, 5B, transition metal, lanthanide And actinium groups, and the like (metals and semimetals) included in the present invention, for example, Group 1A (alkali metal) such as Li, Na, K, Rb, Cs, Fr; 1B group, such as Cu, Ag, Au; Group 2A (alkaline earth metals) such as Be, Mg, Ca, Sr, Ba, and Ra; 2B group, such as Zn and Cd; Group 3A, such as Sc and Y; 3B group, such as Al, Ga, In; 4A group, such as Ti, Zr, and Hf; 4B group, such as Si, Ge, Sn, and Pb; Group 5A, such as V, Nb, and Ta; Group 5B such as Sb and Bi; Transition metals such as Mn, Ni, Fe, Cr, Co, Cu, Mo, W, Te, Re, Ru, Os, Rh, Ir, Pd, Pt; Lanthanides such as La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu; Actinium group metal elements, such as Ac, Th, Pa, U, Np, Pu, Am, Cm, Bk, Cf, Es, Fm, Md, No, Lr, etc. are mentioned. Preferably, the metal oxide nanoparticles (A) have good adhesion to the substrate, and the metal oxide nanoparticles (A) include silicon (Si), bismuth (Bi), magnesium (Mg), yttrium (Y), cerium (Ce), and titanium (Ti). ), Zirconium (Zr), vanadium (V), chromium (Cr), manganese (Mn), iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), neodymium (Nd), copper (Cu), At least one selected from the group consisting of oxides such as silver (Ag), zinc (Zn), aluminum (Al), gallium (Ga), indium (In), tin (Sn), and antimony (Sb) It can be mixed and used. Specific examples include silicon oxide (SiO 2 , silica), bismuth oxide (BiO, Bi 2 O 3, Bi 2 O 5 ), tin oxide (SnO 2 ), indium oxide (In 2 O 3 ), titanium oxide (TiO 2 ), One or a mixture of two or more selected from the group consisting of zinc oxide (ZnO 2 ), antimony oxide (Sb 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), calcium oxide (CaO), iron oxide (FeO 2 ), and the like may be used. . And it is used in the form of dispersed in the solvent to the size of less than 100 nanometers.
상기 금속 부분 축중합 산화물(B)은 기재에 밀착성을 갖게 할 수 있는 것이면 사용 가능하며, 예를 들어 아래의 화학식 1 등으로 나타내어지는 금속 알콕사이드 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 사용하거나, 상기 금속 알콕사이드 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 가수분해와 축합반응을 진행시켜 얻은 축중합물을 사용할 수 있다. The metal partial polycondensation oxide (B) can be used as long as it can give adhesion to the substrate, and for example, one or two or more selected from metal alkoxides represented by the following formula (1) or the like, or the metal One or two or more selected from alkoxides can be used a condensation product obtained by carrying out a hydrolysis and condensation reaction.
[화학식 1][Formula 1]
Ma(OR)b M a (OR) b
(위 식에서, M은 금속이고, R은 수소 또는 사슬 내에 다양한 관능기를 가진 탄화수소(알킬 그룹, 아릴 그룹 등)이며, a와 b는 0보다 큰 정수 또는 소수이다.)(In the above formula, M is a metal, R is hydrogen or a hydrocarbon (alkyl group, aryl group, etc.) with various functional groups in the chain, and a and b are integers or decimals greater than 0.)
또한, 상기 금속 부분 축중합 산화물(B)은 아래의 화학식 2로 나타내어지는 무기계 축중합 폴리머를 유용하게 사용할 수 있다. In addition, the metal partial condensation polymerization oxide (B) may be usefully used an inorganic condensation polymerization polymer represented by the following formula (2).
[화학식 2][Formula 2]
MxOy(OR)z M x O y (OR) z
(위 식에서, M은 금속이고, R은 수소 또는 사슬 내에 다양한 관능기를 가진 탄화수소(알킬 그룹, 아릴 그룹 등)이며, x, y, z 는 0보다 큰 정수 또는 소수이다.) (Wherein, M is a metal, R is hydrogen or a hydrocarbon (alkyl group, aryl group, etc.) with various functional groups in the chain, x, y, z is an integer or prime number greater than zero.)
아울러, 상기 금속 부분 축중합 산화물(B)은 금속(M)과 아래의 화학식 3으로 나타내어지는 베타디케톤류의 착물을 유용하게 사용할 수 있다. In addition, the metal partial condensation polymerization oxide (B) may be usefully used as a complex of the metal (M) and beta diketones represented by the formula (3) below.
[화학식 3][Formula 3]
(위 식에서, R 및 R'는 수소 또는 사슬 내에 다양한 관능기를 가진 탄화수소(알킬 그룹, 아릴 그룹 등)이다.)(Wherein R and R 'are hydrogen or hydrocarbons having various functional groups in the chain (alkyl groups, aryl groups, etc.))
본 발명에서, 금속 부분 축중합 산화물(B)은 상기 화학식 1의 금속 알콕사이드; 상기 화학식 2의 무기계 축중합 폴리머; 및 금속(M)과 상기 화학식 3의 착물;로부터 선택된 어느 하나를 유용하게 사용할 수 있으며, 또한, 이들을 2 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 즉, 금속 알콕사이드와 무기계 축중합 폴리머의 혼합, 금속 알콕사이드(또는 무기계 축중합 폴리머)와 착물의 혼합, 또는 이들 3 종류의 혼합을 사용할 수 있다. 이와 같은 금속 부분 축중합 산화물(B)을 구성하는 금속(M)은 1A족, 1B족, 2A족, 2B족, 3A족, 3B족, 4A족, 4B족, 5A족, 5B족, 전이 금속, 란탄족 및 악티늄족 등의 금속원소를 포함하며, 바람직하게는 Si, Ti, Bi, Mg, Y, Ce, Zr, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Nd, Cu, Ag, Zn, Al, Ga, In, Sn 및 Sb 중에서 선택된 어느 하나이다.In the present invention, the metal partial polycondensation oxide (B) is a metal alkoxide of the formula (1); Inorganic condensation polymer of Formula 2; And a metal (M) and a complex of Formula 3; may be usefully used, and two or more thereof may be mixed. In other words, a mixture of a metal alkoxide and an inorganic condensation polymer, a mixture of a metal alkoxide (or an inorganic condensation polymer) and a complex, or a mixture of these three kinds can be used. The metal (M) constituting the metal partial polycondensation oxide (B) is a group 1A, 1B, 2A, 2B, 3A, 3B, 4A, 4B, 5A, 5B, or transition metal. And metal elements such as lanthanide and actinium, preferably Si, Ti, Bi, Mg, Y, Ce, Zr, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Nd, Cu, Ag, Zn , Al, Ga, In, Sn and Sb is any one selected.
본 발명에 따른 금속성 잉크 내에는 이상에서 설명한 금속산화물 나노 미립자(A) 및/또는 금속 부분 축중합 산화물(B)이 고형분 전체 중량기준으로 0.01% ~ 30%로 함유된 것이 좋다. 구체적으로, 금속산화물 나노 미립자(A)를 포함한 전체 고형분(A+B+C, A+C 또는 B+C) 중에서 A 및/또는 B(A, B, 또는 A+B)가 0.01중량% ~ 30중량%로 조성되는 것이 좋다. 바람직하게는 0.1% ~ 10%가 좋다. 이때, 금속 나노 미립자(C) 대비 금속산화물 나노 미립자(A) 및/또는 금속 부분 축중합 산화물(B)의 중량비가 너무 높으면 부착력은 증대되나 잉크젯 패터닝된 도전 배선의 전도도가 감소되며, 너무 작으면 양호한 부착력을 도모하기 어렵다. In the metallic ink according to the present invention, the metal oxide nanoparticles (A) and / or the metal partial condensation polymerization oxide (B) described above may be contained in an amount of 0.01% to 30% based on the total weight of the solid content. Specifically, in the total solids (A + B + C, A + C or B + C) including the metal oxide nano fine particles (A) A and / or B (A, B, or A + B) is 0.01% by weight to It is preferable to be composed of 30% by weight. Preferably 0.1% to 10% is good. At this time, if the weight ratio of the metal oxide nanoparticles (A) and / or the metal partial polycondensation oxide (B) to the metal nanoparticles (C) is too high, the adhesion is increased, but the conductivity of the inkjet patterned conductive wiring is reduced, and if it is too small, It is difficult to achieve good adhesion.
상기 금속 나노 미립자(C)는 100㎚(나노미터) 이하, 구체적으로는 1㎚ 내지 100㎚의 크기를 갖는다. 금속 나노 미립자(C)는 예를 들어 은(Ag), 금(Au), 백금(Pt), 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 니켈(Ni) 등으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 사용할 수 있으며, 바람직하게는 2종 이상의 금속으로 구성된 합금이거나, 2종 이상의 혼합인 것이 좋다. The metal nanoparticles (C) have a size of 100 nm (nanometer) or less, specifically 1 nm to 100 nm. As the metal nanoparticles (C), for example, silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), copper (Cu), palladium (Pd), nickel (Ni) and the like may be used. It may be, preferably an alloy composed of two or more metals, or a mixture of two or more metals.
이때, 상기 금속 나노 미립자(C)가 합금일 경우에는, 여러 종류의 금속들 중 에서 다른 금속들에 비하여 비교적 전도도가 높은 금속(제1금속)과, 이 제1금속보다 전도도는 떨어지나 제1금속과 합금을 이루어 열적 안정성을 부여하는 금속(제2금속)으로 구성된 것이 바람직하다. 아울러, 2종 이상의 혼합일 경우에도 다른 금속들에 비하여 비교적 전도도가 높은 제1금속과, 이 제1금속과 합금을 이루어 열적 안정성을 부여하는 제2금속의 혼합으로 이루어지는 바람직하다. 이때, 상기 제1금속은 은(Ag), 금(Au), 백금(Pt) 및 구리(Cu) 등으로부터 선택된 어느 하나를 사용할 수 있으며, 상기 제2금속은 팔라듐(Pd) 및 니켈(Ni) 등으로부터 선택된 어느 하나를 사용할 수 있다. 아울러, 상기 제2금속은 가능한 한 450℃ 이상의 온도에서도 증발 현상이 없는 금속이 더욱 좋다. In this case, when the metal nanoparticles (C) is an alloy, a metal (first metal) having a relatively higher conductivity than other metals among various kinds of metals, and having a lower conductivity than the first metal, the first metal It is preferred to be composed of a metal (second metal) which forms an alloy with and gives thermal stability. In addition, even in the case of mixing two or more kinds, it is preferable that a mixture of the first metal having a relatively higher conductivity than other metals and a second metal forming an alloy with the first metal to impart thermal stability. In this case, the first metal may be any one selected from silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), copper (Cu), and the like. The second metal may include palladium (Pd) and nickel (Ni). Any one selected from the like can be used. In addition, the second metal is more preferably a metal without evaporation even at a temperature of 450 ℃ or more.
상기 금속 나노 미립자(C)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라서 전도도가 우수하며 가격 면에서도 유리한 특성을 가지는 은(Ag)을 적어도 포함하는 합금이 유용하게 사용할 수 있으며, 더욱 바람직하게는 은(Ag)과 팔라듐(Pd)으로 구성된 합금(Ag/Pd 합금)을 사용하는 것이 좋다. 이와 같이 금속 나노 미립자(C)가 합금으로 구성된 경우, 나노 크기의 합금 미립자로 직접 제조된 후 잉크 내에 분산되게 한다. 또한, 각각의 단일 금속 나노 미립자가 잉크 내에 적정의 비율로 혼합 분산되는 경우에는, 각각의 단일 금속 나노 미립자가 혼합 분산된 잉크는 잉크젯 패터닝된 후 열처리 과정에서 합금으로 변화된다. According to a preferred embodiment of the present invention, the metal nano fine particles (C) may be usefully used as an alloy including at least silver (Ag) having excellent conductivity and advantageous properties in terms of price, and more preferably silver (Ag). ) And an alloy composed of palladium (Pd) (Ag / Pd alloy) is recommended. As such, when the metal nanoparticles (C) are made of an alloy, the metal nanoparticles (C) are directly made of nano-sized alloy particles and then dispersed in the ink. In addition, when each single metal nanoparticle is mixed and dispersed in the ink at an appropriate ratio, the ink in which each single metal nanoparticle is mixed and dispersed is converted into an alloy in the heat treatment process after inkjet patterning.
위와 같이 금속 나노 미립자(C)가 합금(또는 혼합)으로 구성되어지되, 전도도가 높은 제1금속, 그리고 제1금속과 합금을 이루어 열적 안정성을 부여하는 제2금속으로 구성되는 경우, 상기 제1금속에 의해 도전 배선에서 요구되는 기본적인 전도성을 만족시키며, 상기 제2금속에 의해 450℃ 이상, 구체적으로는 450℃ ~ 650℃의 고온에서도 증발 현상 없이 열처리를 가능케 한다. 즉, 제2금속이 고온 처리 시 발생되는 증발 현상을 방지하여 고온 처리를 가능케 하며, 이러한 고온 처리에 의해 기재와의 부착력이 증대된다. 또한, 고온 처리에 의해 더욱 향상된 전도도를 갖게 한다. When the metal nano-particles (C) is composed of an alloy (or mixed) as described above, the first metal having a high conductivity, and the second metal formed of an alloy with the first metal to impart thermal stability, the first The metal satisfies the basic conductivity required in the conductive wiring, and the second metal enables heat treatment without evaporation even at a high temperature of 450 ° C or higher, specifically 450 ° C to 650 ° C. That is, the second metal prevents the evaporation phenomenon generated during the high temperature treatment to enable a high temperature treatment, and the adhesion to the substrate is increased by the high temperature treatment. In addition, the high temperature treatment allows further improved conductivity.
상기 금속 나노 미립자(C)는 예를 들어 Ag/Pd 합금 나노 미립자인 경우 금속 전체 중량 기준(Ag+Pd)으로 Pd(제2금속)의 함유량은 0.05% ~ 50%가 좋다. 바람직하게는 0.1% ~ 50%가 좋다. Pd의 함유량이 0.1% 미만일 경우 도전성 배선이 450℃ 이상에서 열처리될 때 증발 현상이 나타나서 부착력 및 배선의 전도성이 현격히 떨어질 수 있다. Pd의 함유량이 0.1% 이상일 경우에 증발 현상은 없어지며 팔라듐이 증대됨에 따라 도전 배선의 열적 안정성과 기재에 대한 부착력은 현저히 좋아진다. 아울러, Pd의 함유량이 50%를 초과하면 Pd의 낮은 전도도로 인하여 은 배선의 전도도가 현저히 감소할 수 있다. 따라서 450℃ 이상의 고온 처리 시에는 Pd는 0.1% ~ 50%로 함유되는 것이 열적 안정성 및 전도도 측면에서 바람직하다. For example, when the metal nanoparticles (C) are Ag / Pd alloy nanoparticles, the content of Pd (second metal) is 0.05% to 50% based on the total weight of the metal (Ag + Pd). Preferably 0.1% -50% is good. If the content of Pd is less than 0.1%, an evaporation phenomenon may occur when the conductive wire is heat-treated at 450 ° C. or higher, and the adhesion and the conductivity of the wire may be significantly reduced. When the Pd content is 0.1% or more, evaporation is eliminated and as palladium increases, thermal stability of the conductive wiring and adhesion to the substrate are remarkably improved. In addition, when the content of Pd exceeds 50%, the conductivity of the silver wiring may be significantly reduced due to the low conductivity of Pd. Therefore, at a high temperature of 450 ° C. or higher, it is preferable to contain 0.1% to 50% of Pd in terms of thermal stability and conductivity.
또한, 본 발명에 따르면, 상기와 같이 Pd의 함유량 즉, 제2금속의 함유량을 적정 범위 내에서 조절하여 적용 제품에 요구되는 전도도와 열적 안정성을 조절할 수 있다. 즉, 전도도보다는 열적 안정성이 더 요구되는 제품의 경우에는 Pd의 함유량을 높이면 된다. In addition, according to the present invention, as described above, the content of Pd, that is, the content of the second metal, may be adjusted within an appropriate range to adjust conductivity and thermal stability required for the applied product. That is, in the case of products requiring more thermal stability than conductivity, the content of Pd may be increased.
상기 분산액(D)은 이상에서 설명한 금속산화물 나노 미립자(A), 금속 부분 축중합 산화물(B), 및 금속 나노 미립자(C)가 용매 내에 독립적으로 분산되어 있도 록 하는 것으로서, 이는 분산제와 용매로 이루진다. The dispersion (D) is to allow the metal oxide nanoparticles (A), the metal partial polycondensation oxide (B), and the metal nanoparticles (C) described above to be independently dispersed in a solvent. Is done.
상기 분산액(D)의 분산제로는 금속 표면에 착체(錯體)를 형성할 수 있는 관능기를 가지는 유기물로부터 선택되며, 예를 들어 알킬 아민, 카르복실산아미드, 아미노카르복실산염, 시트르산 나트륨 염 등을 사용할 수 있다. 이때, 상기 알킬 아민의 알킬 그룹은 탄소수가 4 ~ 20, 바람직하게는 4 ~ 12를 사용하여 금속 나노 미립자(C)를 비극성 용매에 충분히 분산될 수 있도록 한다. 또한, 분자량(Mw)이 1,000 ~ 40,000, 바람직하게는 10,000 ~ 20,000의 폴리비닐피롤리돈(PVP), 또는 분자량(Mw)이 1,000 ~ 40,000, 바람직하게는 10,000 ~ 20,000의 폴리비닐알콜 등을 사용할 수 있다. 그리고 상용 제품으로는 독일 BYK사의 BYK-108, BYK-1000 또는 BYK-antiterra-U 등의 분산제를 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.As a dispersing agent of the said dispersion (D), it is selected from the organic substance which has a functional group which can form a complex on a metal surface, For example, alkyl amine, carboxylic acid amide, amino carboxylate, sodium citrate salt, etc. Can be used. At this time, the alkyl group of the alkyl amine has 4 to 20, preferably 4 to 12 carbon atoms to sufficiently disperse the metal nanoparticles (C) in a nonpolar solvent. In addition, polyvinylpyrrolidone (PVP) having a molecular weight (Mw) of 1,000 to 40,000, preferably 10,000 to 20,000, or polyvinyl alcohol having a molecular weight (Mw) of 1,000 to 40,000, preferably 10,000 to 20,000 may be used. Can be. As a commercial product, dispersants such as BYK-108, BYK-1000 or BYK-antiterra-U of BYK of Germany may be used alone or in combination of two or more thereof.
상기 분산액(D)의 용매로는 제조된 금속 나노 미립자(C)의 표면을 개질한 계면활성제의 특성에 따라 탄소수 6 ~ 20의 비극성 탄화수소, 물 그리고 셀로솔브계나 극성 알콜계 등의 용제로부터 선택된 적어도 1 종을 사용할 수 있다. The solvent of the dispersion (D) is at least selected from solvents such as C6-C20 nonpolar hydrocarbons, water and cellosolves or polar alcohols, depending on the characteristics of the surface-modified surfactant of the metal nanoparticles (C). One kind can be used.
본 발명의 금속성 잉크는, 먼저 금속 나노 미립자 분산액을 제조한 다음, 여기에 금속산화물 나노 미립자(A) 및/또는 금속 부분 축중합 산화물(B)의 분말 또는 이들의 분산액을 혼합 분산하여 제조할 수 있으며, 상기 금속 나노 미립자 분산액의 제조는 공지된 방법을 이용하여 제조할 수 있다. 바람직하게는 액상 환원법을 이용하여 제조한다. 이때, 제조과정에서 점도는 1 ~ 100 mPaㆍs, 바람직하게는 1 ~ 50mPaㆍs, 표면장력은 25 ~ 80mN/m, 바람직하게는 30 ~ 60mN/m이 되도록 고형분의 함량이 잉크의 전체 중량 기준으로 1 ~ 70%, 바람직하게는 10 ~ 55%가 되도록 제조한다. 이에 따라 잉크젯 프린터기에 의한 패터닝이 가능한 잉크특성을 만족시킨다. The metallic ink of the present invention may be prepared by first preparing a metal nanoparticle dispersion and then mixing and dispersing a powder of the metal oxide nanoparticles (A) and / or a metal partial polycondensation oxide (B) or a dispersion thereof. In addition, the preparation of the metal nanoparticle dispersion may be prepared using a known method. Preferably it is prepared using a liquid phase reduction method. At this time, in the manufacturing process, the viscosity is 1 to 100 mPa · s, preferably 1 to 50 mPa · s, and the surface tension is 25 to 80 mN / m, preferably 30 to 60 mN / m, so that the solid content is the total weight of the ink. It is prepared to be 1 to 70%, preferably 10 to 55% as a standard. Thereby, the ink characteristic which can be patterned by an inkjet printer is satisfied.
이상에서 설명한 본 발명의 금속성 잉크는 전자 산업분야에서 유용하게 사용될 수 있다. 특히, PDP 등의 각종 패널의 전극 제조용 기판(플라스틱 또는 유리)은 물론 이동통신 단말기, 가전제품 등의 각종 플라스틱 전자제품을 구성하는 케이스 등의 기재에 다양한 인쇄기법으로 도전 배선용 또는 금속성 질감을 위해 사용될 수 있다. The metallic ink of the present invention described above can be usefully used in the electronic industry. In particular, the substrate may be used for conductive wiring or metallic texture by various printing techniques on substrates for manufacturing electrodes (plastic or glass) of various panels such as PDPs, as well as cases constituting various plastic electronic products such as mobile communication terminals and home appliances. Can be.
한편, 본 발명에 따른 전극형성방법은 플라스틱이나 유리 기판 등으로부터 선택된 기재의 표면(기재의 어느 한 면 또는 양면)에 이상에서 설명한 금속성 잉크가 적어도 1회 이상 인쇄되어 도전 배선이 형성되는 공정을 갖는다. 이때, 잉크젯 인쇄기법으로 도전 배선이 패터닝되며, 이후 열이 조사되어 열처리되는 공정을 갖는다. 열처리 공정은 60℃ 이상의 온도에서 수행될 수 있다. 바람직하게는 120℃이상, 구체적으로는 120℃ ~ 650℃의 온도에서 열처리가 수행되며, 더욱 바람직하게는 450℃ 이상의 고온, 구체적으로는 450℃ ~ 650℃의 고온에서 수행된다. 전술한 바와 같이, 고온에서 열처리된 경우 부착력은 물론 전도도가 향상된다. On the other hand, the electrode forming method according to the present invention has a process in which the conductive ink is formed by printing at least one or more times of the metallic inks described above on the surface (either one or both sides of the substrate) of a substrate selected from a plastic or a glass substrate. . At this time, the conductive wiring is patterned by an inkjet printing method, and then heat is irradiated and heat treated. The heat treatment process may be carried out at a temperature of 60 ℃ or more. Preferably, the heat treatment is performed at a temperature of 120 ° C. or higher, specifically 120 ° C. to 650 ° C., and more preferably at a high temperature of 450 ° C. or higher, specifically at a high temperature of 450 ° C. to 650 ° C. As described above, when heat treated at high temperature, the adhesion as well as the conductivity are improved.
또한, 본 발명에 따른 기판은, 기재에 상기 전극형성방법에 의해 전극(도전 배선)이 형성된 것으로서, 이는 PDP, 반도체 소자 등의 각종 전자제품의 전극으로 유용하게 사용된다. In addition, the substrate according to the present invention has an electrode (conductive wiring) formed on the substrate by the electrode forming method, which is usefully used as an electrode of various electronic products such as a PDP and a semiconductor element.
이하, 본 발명의 구체적인 시험 실시예 및 비교예를 설명한다. 하기의 실시 예는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, specific test examples and comparative examples of the present invention will be described. The following examples are merely provided to explain the present invention in more detail, whereby the technical scope of the present invention is not limited.
[실시예 1]Example 1
(1) Ag 나노 미립자 분산액 제조 (1) Preparation of Ag Nanoparticle Dispersion
AgNO3 236.247g를 3차 증류수에 용해하여 금속의 농도가 30%(용액 중의 금속 중량비)가 되도록 금속화합물 수용액을 제조하였다. 다음으로, 질소 분위기 유지 하에 폴리비닐피롤리돈(PVP, Mw=40,000)을 금속 중량의 10%(Ag:PVP=0.1:1)가 되도록 첨가하여 완전히 용해될 때까지 교반한 후 용액의 온도를 60℃로 유지하였다. 이와 같이 준비된 용액에 에탄올과 데칸의 혼합용액(2:8비율) 4L를 가하여 혼합한 후 환원제로 포타슘보로하이드라드를 2mole배를 가하여 금속 환원반응을 진행시켜 Ag 초미립자 분산액을 제조하였다. 그리고 이 분산액에 BYK-108(독일 BYK사 제품) 및 PVP를 추가적으로 가하였다. 이와 같이 환원반응이 진행된 후 형성된 분산액은 약 6L로서 Ag 나노 미립자가 균일하게 분산된 상태를 유지하였다. 다음으로 분산액으로부터 Ag 나노 미립자 분말을 분리하기 위해 에탄올을 첨가하여 극성도를 변화시켜 분리하였다. 그리고 증류수 및 아세톤을 이용하여 수회 세척하여 불순물을 제거하였다. 세척과정을 통해 회수된 미립자를 하이드로 카본계열의 헥산, 데칸, 톨루엔이 혼합된 혼합용매를 이용하여 분산을 진행하였다. 이때, Ag 나노 미립자는 약 3~7nm의 입경을 가지며, 입자끼리 완전하게 고립된 상태로 용매 중에 균일하 게 분산되었다. 이 분산액은 Ag 나노 미립자가 분산액 전체 중량 기준으로 53.4중량% 함유하였으며, 점도는 25℃에서 잉크젯 패터닝이 가능한 8.7mPaㆍS였다. 또한, 이와 같이 제조된 Ag 초미립자 분산액은 상온에서 30일 경과 후에도 침전현상 없이 안정한 상태를 보임을 확인하였다. An aqueous metal compound solution was prepared by dissolving 236.247 g of AgNO 3 in tertiary distilled water such that the metal concentration was 30% (the weight ratio of the metal in the solution). Next, polyvinylpyrrolidone (PVP, Mw = 40,000) was added to 10% of the metal weight (Ag: PVP = 0.1: 1) under nitrogen atmosphere and stirred until completely dissolved, and then the temperature of the solution was increased. It was kept at 60 ° C. 4L of a mixed solution of ethanol and decane (2: 8 ratio) was added to the solution thus prepared, followed by adding 2 mole of potassium borohydride as a reducing agent to proceed with a metal reduction reaction to prepare an Ag ultrafine dispersion. In addition, BYK-108 (by BYK, Germany) and PVP were added to this dispersion. Thus, the dispersion formed after the reduction reaction was about 6L to maintain a uniform dispersion of Ag nanoparticles. Next, in order to separate the Ag nanoparticle powder from the dispersion, ethanol was added to change the polarity to separate. And impurities were removed by washing several times with distilled water and acetone. The fine particles recovered through the washing process were dispersed using a mixed solvent of hexane, decane, and toluene of hydrocarbon series. At this time, the Ag nanoparticles have a particle size of about 3 ~ 7nm, uniformly dispersed in a solvent in a completely isolated state of the particles. The dispersion contained 53.4% by weight of Ag nanoparticles based on the total weight of the dispersion, and had a viscosity of 8.7 mPa · S capable of inkjet patterning at 25 ° C. In addition, it was confirmed that the Ag ultra-fine particle dispersion prepared as described above was stable even after 30 days at room temperature without precipitation phenomenon.
(2) Pd 나노 미립자 분산액 제조 (2) Preparation of Pd Nano Particulate Dispersion
Pd(NO3)을 이용하여 앞서 기술한 Ag 나노 미립자 분산액의 제조방법과 동일하게 실시하여 Pd 초미립자 분산액을 제조하였다. Pd 초미립자는 약 5~10nm의 입경을 가지며, 입자끼리 완전하게 고립된 상태로 용매 중에 균일하게 분산이 되었다. 이 분산액은 Pd 나노 미립자가 분산액 전체 중량 기준으로 45중량% 함유하였으며, 점도는 25℃에서 13.4mPaㆍS였다. 또한, 제조된 Ag 초미립자 분산액은 상온에서 30일 경과 후에도 침전현상 없이 안정한 상태를 보임을 확인하였다. Using Pd (NO 3 ), the Pd ultra-fine particle dispersion was prepared in the same manner as the preparation method of Ag nanoparticle dispersion described above. Pd ultrafine particles have a particle size of about 5 ~ 10nm, uniformly dispersed in a solvent in a completely isolated state of the particles. This dispersion had 45 wt% of the Pd nanoparticles based on the total weight of the dispersion, and had a viscosity of 13.4 mPa · S at 25 ° C. In addition, it was confirmed that the prepared Ag ultra-fine particle dispersion shows a stable state without precipitation phenomenon even after 30 days at room temperature.
(3) 잉크 제조(3) ink manufacturing
상기 제조된 Ag 나노 미립자 분산액과 Pd 나노 미립자 분산액을 혼합하되, 금속 중량기준(Ag+Pd의 합)으로 Pd가 0.3%가 되도록 혼합하였다. 도 1은 이와 같이 혼합된 Ag/Pd 나노 미립자 분산액을 입도분석기(일본 microtrek 제품, 모델 UPA-150)를 이용하여 분석한 입도분포 그래프이고, 도 2는 상기 Ag/Pd 나노 미립자 분산액의 TEM 사진이다. 도 1 및 도 2에 보인 바와 같이, 금속 입자들은 상호간 응집됨이 없이 완전하게 고립된 상태로 균일하게 분산되어 있음을 알 수 있었다. The Ag nanoparticle dispersion and Pd nanoparticle dispersion prepared above were mixed, but were mixed so that Pd was 0.3% based on the weight of metal (sum of Ag + Pd). FIG. 1 is a particle size distribution graph of the Ag / Pd nanoparticle dispersions thus mixed using a particle size analyzer (Japanese microtrek product, model UPA-150), and FIG. 2 is a TEM image of the Ag / Pd nanoparticle dispersions. . As shown in Figures 1 and 2, it was found that the metal particles are uniformly dispersed in a completely isolated state without agglomeration with each other.
다음으로, 상기 혼합액에 직경 50nm 미만의 실리카가 혼합된 실리카 졸(일본, 닛산화학 제품, 상품명:스노우텍스)을 고형분 Ag 및 Pd 금속(Ag+Pd의 합) 중량 대비 3%가 되도록 첨가하여 잉크젯용 잉크를 제조하였다. Next, an inkjet was added to the mixed solution so that a silica sol (Japan, Nissan Chemicals, trade name: Snowtex) mixed with silica having a diameter of less than 50 nm was added to 3% of the weight of solid Ag and Pd metal (sum of Ag + Pd). Ink for ink was prepared.
(4) 시편 제조 (4) specimen manufacture
상기 제조된 잉크를 미국 Litrex 사의 잉크젯 모델 70 system에 미국 스펙트라사의 spectra SE 헤드를 장착하여 PDP용 Glass 기판에 패터닝하였다. 잉크젯 패터닝을 통해 배선을 형성함에 있어 총 길이 1160mm, 굵기 70~90㎛ 범위 내의 일정한 두께를 얻기 위해 2회 중복 프린팅하였다. 잉크는 노즐의 막힘 현상 없이 효과적으로 토출되어 패터닝됨을 알 수 있었다. 위와 같이 잉크젯 패터닝을 통해 형성된 Ag/Pd 금속 배선의 사진을 도 3에 나타내었다. The prepared ink was patterned on a glass substrate for PDP by mounting a spectra SE head of Spectra of USA in an
다음으로, 위와 같이 패터닝된 금속 배선에 대하여 250℃와 560℃에서 열처리하여 본 실시예에 따른 시편을 완성하였다. 이때, 250℃에서는 30분 동안 열을 조사하였으며, 560℃에서는 20분 동안 열을 조사하였다. 도 4는 250℃에서 열처리된 금속 배선의 SEM 사진이고, 도 5는 560℃에서 열처리된 금속 배선의 SEM 사진이다. Next, the specimens according to the present embodiment were completed by heat treatment at 250 ° C. and 560 ° C. with respect to the patterned metal wires. At this time, the heat was irradiated for 30 minutes at 250 ℃, the heat was irradiated for 20 minutes at 560 ℃. FIG. 4 is a SEM photograph of the metal interconnection heat-treated at 250 ° C., and FIG. 5 is a SEM photograph of the metal interconnection heat-treated at 560 ° C.
(5) 부착력, 전도도, 열적 안정성 평가 (5) Evaluation of adhesion, conductivity, thermal stability
상기와 같이 제조된 시편에 대하여 부착력, 전도도 및 화학 안정성을 평가하 였다. 부착력은 패터닝/열처리한 후 형성된 금속 배선에 3M 테이프(미국 3M사 제품, presure sensitive tape)를 접착시킨 후, 벗겼을 때 배선의 손상정도를 육안 관찰하여 판단하였으며, 전도도는 일본 미쓰비시사의 4-Point probe 테스터기(Loresta MP MCP-T350)를 이용하여 측정하였다. 그리고 열적 안정성은 패터닝/열처리 후 시편의 광투과도를 측정 비교하고, 고온에서의 금속 증발 현상 발생 여부를 확인하여 평가하였다. The adhesion, conductivity and chemical stability of the specimens prepared as described above were evaluated. Adhesion was determined by attaching 3M tape (presure sensitive tape, manufactured by 3M, USA) to metal wires formed after patterning / heat treatment, and then visually observing the damage of the wires when peeled off. Measurement was performed using a probe tester (Loresta MP MCP-T350). And thermal stability was evaluated by measuring and comparing the light transmittance of the specimen after patterning / heat treatment, and whether the metal evaporation phenomenon occurs at high temperature.
이상의 결과를 하기 [표 1] 및 [표 2]에 나타내었다. The above results are shown in the following [Table 1] and [Table 2].
[실시예 2 내지 5][Examples 2 to 5]
잉크 제조 시 Ag 나노 미립자 분산액과 Pd 나노 미립자 분산액을 혼합함에 있어 Pd의 함량이 1%(실시예 2), 5%(실시예 3), 10%(실시예 4), 30%(실시예 5)가 되도록 한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하였다. 그 결과는 하기 [표 1] 및 [표 2]와 같다. Pd content of 1% (Example 2), 5% (Example 3), 10% (Example 4), 30% (Example 5) in mixing Ag nanoparticle dispersions and Pd nanoparticle dispersions during ink preparation Was carried out in the same manner as in Example 1 except that it was The results are shown in the following [Table 1] and [Table 2].
[실시예 6]Example 6
잉크 제조 시 Pd 나노 미립자 분산액을 혼합하지 않는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하였다. 본 실시예들의 잉크는 Ag 나노 미립자 분산액과 실리카 졸이 혼합되어 이루어졌으며, 잉크젯 패터닝시 노즐 막힘 현상 없이 효과적으로 토출하여 금속 배선을 형성함을 알 수 있었다. 그러나 560℃의 고온에서 열처리 시 금속 입자의 증발 현상이 발생하였으며, 이 경우에는 전도도 또한 구현되 지 않아 고온 열처리는 적용이 어려움을 알 수 있었다. 그 결과는 하기 [표 1] 및 [표 2]와 같다. The same process as in Example 1 was carried out except that the Pd nano fine particle dispersion was not mixed during ink preparation. The ink of the present embodiments was made of a mixture of Ag nano-particle dispersion and a silica sol, it can be seen that in the inkjet patterning to form a metal wiring by effectively ejecting without clogging the nozzle. However, the evaporation phenomenon of the metal particles occurred during the heat treatment at a high temperature of 560 ℃, in this case, the conductivity was not realized, it was found that the high temperature heat treatment is difficult to apply. The results are shown in the following [Table 1] and [Table 2].
[실시예 7 내지 9][Examples 7 to 9]
잉크 제조 시 실리카 졸을 혼합하지 않는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하였다. 즉, 본 실시예들의 잉크는 Ag 나노 미립자 분산액과 Pd 나노 미립자 분산액의 혼합으로 이루어진 것이다. 이때 금속(Ag+Pd) 중의 Pd의 함량을 0.3%(실시예 7), 5%(실시예 8), 30%(실시예 9)로 변경해가며 잉크를 제조하였다. 제조된 잉크는 잉크젯 패터닝시 노즐 막힘 현상 없이 효과적으로 토출하여 금속 배선을 형성함을 알 수 있었다. 그리고 250℃는 물론 560℃의 열처리에서도 증발 현상이 없음을 알 수 있었다. 그 결과는 하기 [표 1] 및 [표 2]와 같다. The same process as in Example 1 was carried out except that silica sol was not mixed during ink preparation. That is, the ink of the present embodiments is composed of a mixture of Ag nanoparticle dispersion and Pd nanoparticle dispersion. At this time, the ink was prepared by changing the content of Pd in the metal (Ag + Pd) to 0.3% (Example 7), 5% (Example 8), 30% (Example 9). It was found that the prepared ink was effectively discharged without ink clogging in inkjet patterning to form metal wiring. And it can be seen that there is no evaporation phenomenon even in the heat treatment of 560 ℃ as well as 250 ℃. The results are shown in the following [Table 1] and [Table 2].
[실시예 10]Example 10
먼저, 상기 실시예 1에서와 같이 Ag 나노 미립자를 제조하였다. First, Ag nanoparticles were prepared as in Example 1.
그리고 테라에톡시실란[TEOS ; Teraethoxysilane (일본, 도시바 화학, 상품명:TSL8124)] 20g에 헥실트리메톡시실란[Hexyltrimethoxysilane (일본, 도시바 화학, 상품명:TSL8241)] 20g을 가하여 충분히 교반하고, 도데칸 20g을 더 첨가한 후 수산화 나트륨 수용액 10g(20wt%수용액)을 가하고, 상온에서 볼밀링을 통해 실리카 부분 축합물을 제조하였으며, 물 층을 제거 후 유기물 층에 존재하는 실리카 부분 축합물은 건조 중량으로 30중량%가 되도록 농축 제조하였다. 제조된 실리카 부분 축합물은 용매에 균일하게 분산됨을 알 수 있었다. And terraethoxysilanes [TEOS; To 20 g of Teraethoxysilane (Japan, Toshiba Chemical, trade name: TSL8124)] 20 g of Hexyltrimethoxysilane (Japan, Toshiba Chemical, trade name: TSL8241)] was added and stirred, and 20 g of dodecane was further added. 10 g (20 wt% aqueous solution) was added thereto, and a silica partial condensate was prepared through ball milling at room temperature. After removing the water layer, the silica partial condensate present in the organic layer was concentrated to a dry weight of 30% by weight. It was found that the prepared silica partial condensate was uniformly dispersed in the solvent.
다음으로, Ag 초미립자 분말에 실리카 부분 축합물을 금속 대비 3% 첨가한 후, 테트라 데칸 용매를 이용하여 교반 분산하였다. 분산된 용액은 Ag 금속은 52.3중량%를 함유하였고, 점도는 25℃에서 11.4mPaㆍS였다. 그리고 상기 분산된 용액을 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 잉크젯 패터닝한 후, 250℃와 560℃에서 열처리하여 금속 배선을 형성하였다. 이때, 560℃의 고온에서 열처리 시 금속 입자의 증발 현상이 발생하였으며, 이 경우에는 전도도 또한 구현되지 않아 고온 열처리는 적용이 어려움을 알 수 있었다. 그 결과는 하기 [표 1] 및 [표 2]와 같다. Next, 3% of the silica partial condensate was added to the Ag ultra-fine particle powder relative to the metal, and then stirred and dispersed using a tetradecane solvent. The dispersed solution contained 52.3 wt% Ag metal and had a viscosity of 11.4 mPa · S at 25 ° C. The dispersed solution was inkjet patterned in the same manner as in Example 1, and then heat-treated at 250 ° C and 560 ° C to form metal wirings. At this time, the evaporation phenomenon of the metal particles occurred during the heat treatment at a high temperature of 560 ℃, in this case, it was found that the application of high temperature heat treatment is difficult because the conductivity is not implemented. The results are shown in the following [Table 1] and [Table 2].
[실시예 11]Example 11
상기 실시예 10에서와 같이 동일한 방법으로 실리카 부분 축합물을 제조한 후 실시예 1에서와 같이 동일한 방법으로 제조된 Ag 나노 미립자 분말과 Pd 나노 미립자 분말에 중량비로 3%가 되도록 첨가하고, 분산 용매로서 테트라 데칸을 이용하여 교반 분산하였다. 분산된 용액의 Ag/Pd금속은 51.8중량%를 함유하였고, 점도는 25℃에서 13.4mPaㆍS 였다. 그리고 Pd는 전체 금속의 0.5% 중량비로 포함되었다. 이 분산된 용액을 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 잉크젯 패터닝한 후, 250℃와 560℃에서 열처리하여 금속 배선을 형성하였다. 그 결과는 하기 [표 1] 및 [표 2]와 같다.After preparing the silica partial condensate in the same manner as in Example 10, and added to the Ag nanoparticle powder and Pd nanoparticle powder prepared in the same manner as in Example 1 to 3% by weight, dispersing solvent It was stirred and dispersed using tetra decane as a. The Ag / Pd metal of the dispersed solution contained 51.8 wt%, and the viscosity was 13.4 mPa · S at 25 ° C. And Pd was included in 0.5% by weight of the total metal. The dispersed solution was inkjet patterned in the same manner as in Example 1, and then heat-treated at 250 ° C and 560 ° C to form metal wirings. The results are shown in the following [Table 1] and [Table 2].
[실시예 12 및 13][Examples 12 and 13]
먼저, 상기 실시예 1에서와 같이 Ag 나노 미립자 및 Pd 나노 미립자 분산액을 제조하였다. First, Ag nano fine particles and Pd nano fine particle dispersions were prepared as in Example 1.
그리고 500ml의 둥근 플라스크(Round Bottom Flask)에서 6-메틸-2,4-헵탄디온(6-Methyl-2,4-heptanedione)과 티타늄 이소프로폭사이드(Titanium isopropoxide)를 4 : 1 당량비로 혼합하였다. 다음으로 에탄올/헥산/테트라 데칸의(10/15/75) 혼합용매를 가한 후, 70℃의 질소 분위기 유지 하에서 20시간 동안 리플럭스(Reflux)하며 가열 교반하였다. 이후, Reflux를 하지 않고 추가적으로 2시간 동안 가열 교반하여 혼합용매 내에 존재하는 알코올 및 헥산을 실질적으로 제거하였다. 얻어진 Titanium과 6-Methyl-2,4-heptanedione의 착물 용액(Titanium heptanoate 용액)은 비극성용매에 안정적인 상태를 유지하였으며, 250℃의 열처리를 통해 Titanium oxide로 전환되었고, 함유율은 13.5%로 확인되었다.6-methyl-2,4-heptanedione and titanium isopropoxide were mixed in a 4: 1 equivalent ratio in a round bottom flask of 500 ml. . Next, a mixed solvent of ethanol / hexane / tetradecane (10/15/75) was added thereto, followed by heating and stirring with reflux for 20 hours under a nitrogen atmosphere at 70 ° C. Thereafter, the mixture was heated and stirred for an additional 2 hours without using Reflux to substantially remove the alcohol and hexane present in the mixed solvent. The obtained complex solution of Titanium and 6-Methyl-2,4-heptanedione (Titanium heptanoate solution) was maintained in a non-polar solvent, was converted to Titanium oxide through heat treatment at 250 ℃, the content was confirmed to be 13.5%.
다음으로, 상기 Ag 나노 미립자 분산액과 Pd 나노 미립자 분산액을 99.7 : 0.3 비율로 혼합한 다음, 여기에 상기 비극성용매에 안정하게 분산된 Titanium과 6-Methyl-2,4-heptanedione의 착물 용액을 Ag/Pd 나노 미립자에 중량비로 1%(실시예 12)와 3%(실시예 13) 비율로 가하여 혼합 교반하였다. 이와 같이 혼합 분산된 용액(잉크) 내의 Ag/Pd 금속은 각각 53.5중량%와 52.9중량%를 함유하였다. 또한 점도는 각각 9.85mPa.s와 10.4mPaㆍs로서 잉크젯용 잉크로서 적합한 점도를 나타내었다. 이와 같이 제조된 분산 용액을 실시예 1과 동일한 방법으로 잉크젯 패터닝을 실시해 본 결과, 노즐 막힘 현상 없이 효과적으로 유리 기판 상에 균일한 금속 배선을 형성하였다. 그리고 250℃와 560℃의 고온 열처리에서 증발 현상이 없고, 부 착력 등의 물성이 우수함을 알 수 있었다. 그 결과는 하기 [표 1] 및 [표 2]와 같다. Next, the Ag nanoparticle dispersion and Pd nanoparticle dispersion were mixed at a ratio of 99.7: 0.3, and then a complex solution of Titanium and 6-Methyl-2,4-heptanedione dispersed in the nonpolar solvent was added to Ag / 1% (Example 12) and 3% (Example 13) were added to Pd nanoparticles by weight and mixed and stirred. The Ag / Pd metal in this mixed dispersion solution (ink) contained 53.5 wt% and 52.9 wt%, respectively. Moreover, the viscosity showed 9.85 mPa.s and 10.4 mPa * s, respectively, and the viscosity suitable as an inkjet ink. As a result of performing inkjet patterning on the dispersion solution thus prepared in the same manner as in Example 1, uniform metal wiring was effectively formed on the glass substrate without nozzle clogging. And it can be seen that there is no evaporation phenomenon in the high temperature heat treatment of 250 ℃ and 560 ℃, and the physical properties such as adhesion. The results are shown in the following [Table 1] and [Table 2].
[비교예 1]Comparative Example 1
실시예 1에서와 같은 방법으로 Ag 초미립자 분말을 제조한 후, 테트라 데칸 용매에 균일하게 교반 분산하여 Ag 금속 잉크를 제조하였다. 제조한 Ag 잉크는 54중량%를 함유하였고, 25℃에서 9.3mPaㆍS의 점도를 나타내었다. 그리고 이 잉크에 대하여 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 잉크젯 패터닝한 후, 250℃와 560℃에서 열처리하여 금속 배선을 형성한 후, 상기 실시예들과 물성을 비교하였다. Ag ultrafine powder was prepared in the same manner as in Example 1, and then uniformly stirred and dispersed in a tetradecane solvent to prepare Ag metal ink. The prepared Ag ink contained 54 wt% and exhibited a viscosity of 9.3 mPa · S at 25 ° C. After inkjet patterning of the ink in the same manner as in Example 1, heat treatment was performed at 250 ° C and 560 ° C to form a metal wiring, and then the physical properties were compared with those of the examples.
본 비교예에 따른 시편은 패터닝 시 노즐 막힘 현상 없이 유리 기판 상에 균일한 금속 배선을 형성하였으나, 560℃의 고온에서 열처리시 증발 현상으로 인하여 전도도가 구현되지 않았으며, 부착력 또한 테이프 테스트 결과 80%이상 탈착됨을 알 수 있었다. 그 결과는 하기 [표 1] 및 [표 2]와 같다.Although the specimen according to this comparative example formed a uniform metal wire on the glass substrate without clogging the nozzle during patterning, the conductivity was not realized due to evaporation during heat treatment at a high temperature of 560 ° C. It can be seen that the detached. The results are shown in the following [Table 1] and [Table 2].
위 [표 1]의 부착력 평가에서, 80%이상 탈착은 X, 10 ~ 20% 탈착은 △, 10%미만 탈착은 ○, 미 탈착은 ◎로 나타내었다. In the adhesion evaluation of the above [Table 1], the desorption of more than 80% X, 10 ~ 20% desorption is △, less than 10% desorption is ○, non-desorption is represented by ◎.
위 [표 1] 및 [표 2]에서, "S"는 실리카(SiO2)이고, "축S"는 부분 축합 실리카(SiO2)이다. 그리고 "T"는 티타늄(Titanium)과 6-메틸-2,4-헵탄디온(6-Methyl-2,4-heptanedione)의 착물이다. In Tables 1 and 2 above, "S" is silica (SiO 2 ), and "axis S" is partially condensed silica (SiO 2 ). And "T" is a complex of titanium and 6-methyl-2,4-heptanedione.
상기 [표 1]에 나타난 바와 같이, 본 발명의 실시예들이 종래의 비교예보다 부착력이 획기적으로 증대되었음을 알 수 있다. 그리고 실시예 1 내지 5와, 실시예 7 내지 9의 비교 결과로부터 금속산화물 나노 입자나 금속 부분 축합 산화물이 첨가된 경우(실시예 1 내지 5)가 첨가되지 않은 경우(실시예 7 내지 9)보다 250℃의 낮은 온도에서도 향상된 부착력을 보임을 알 수 있다. 또한, 실시예 1 내지 5의 결과로부터 고온에서 열처리되면 부착력과 전도도가 동시에 향상됨을 알 수 있다. 아울러, 실시예 9 및 비교예 1의 비교 결과로부터 금속산화물 나노 입자나 금속 부분 축합 산화물이 첨가되지 않은 경우에도 실시예 9에서와 같이 Pd가 높은 비율로 함유되면서 고온에서 열처리되면 우수한 부착력을 가짐을 알 수 있다. As shown in Table 1, it can be seen that the embodiments of the present invention significantly increased the adhesive force than the conventional comparative example. And compared with the case where the metal oxide nanoparticles or the metal partial condensation oxide were added (Examples 1-5) without the addition (Examples 7-9) from the comparison result of Examples 1-5 and Examples 7-9. It can be seen that improved adhesion even at a low temperature of 250 ℃. In addition, it can be seen from the results of Examples 1 to 5 that the adhesion and conductivity are simultaneously improved when heat treated at a high temperature. In addition, even when the metal oxide nanoparticles or the metal partial condensation oxide were not added from the comparison results of Example 9 and Comparative Example 1, as shown in Example 9, when Pd is contained at a high rate and heat-treated at high temperature, it has excellent adhesion. Able to know.
또한, 상기 [표 2]에 나타난 바와 같이, 금속 나노 미립자가 합금(Ag/Pd)으로 된 경우(실시예 1 내지 5, 실시예 7 내지 9, 실시예 11)가 단일 금속으로 된 경우(실시예 6, 실시예 10, 비교예 1)와 비교하여 열적 안정성이 우수하여 560℃의 고온에서 증발이 발생하지 않음을 알 수 있다. In addition, as shown in Table 2 above, when the metal nanoparticles are made of an alloy (Ag / Pd) (Examples 1 to 5, Examples 7 to 9, and Example 11) of a single metal (implementation It can be seen that evaporation does not occur at a high temperature of 560 ° C. due to excellent thermal stability compared to Example 6, Example 10, and Comparative Example 1).
아울러, 착물을 적용한 실시예 12 및 13의 경우, Pd가 소량으로 함유되어도 250℃의 열처리에 의해서도 우수한 부착력을 가짐을 알 수 있다. In addition, in Examples 12 and 13 to which the complex is applied, it can be seen that even when a small amount of Pd is contained, it has excellent adhesion even by heat treatment at 250 ° C.
전술한 바와 같이, 본 발명은 잉크젯 프린터기에 의한 패터닝이 가능하면서 금속산화물 나노 입자와 금속 부분 축중합 산화물에 의해 기재에 대한 부착력이 증대되는 효과를 갖는다. 또한, 본 발명은 증발 현상이 개선되어 고온에서의 열처리가 가능하고, 이에 의해 부착력 및 전도도가 더욱 향상되는 효과를 갖는다. As described above, the present invention has the effect of increasing the adhesion to the substrate by the metal oxide nanoparticles and the metal partial polycondensation oxide while being patterned by the inkjet printer. In addition, the present invention is improved the evaporation phenomenon is possible to heat treatment at a high temperature, thereby has the effect of further improving the adhesion and conductivity.
Claims (11)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070014384A KR100819904B1 (en) | 2007-02-12 | 2007-02-12 | Metallic ink, and method for forming of electrode using the same and substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070014384A KR100819904B1 (en) | 2007-02-12 | 2007-02-12 | Metallic ink, and method for forming of electrode using the same and substrate |
Publications (1)
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