KR100814263B1 - 기판 주변부 지지대 지지 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 주변부 지지대을 지지하는 장치로서, 종래에는 기판 주변부 지지대를 지지하기 위한 브라켓이 챔버바디상에 직접 고정되는 경우 상기 챔버바디내측에 설치되는 월 커버를 관통함은 물론 상기 챔버바디에 상기 브라켓과 고정구를 고정하기 위한 구조를 형성해야 해서 제작의 어려움이 있는 문제점이 있었으나, 이를 해결하기 위해 월 커버상에 상기 기판 주변부 지지대을 지지하는 브라켓을 고정할 수 있도록 하는 본 발명의 구성에 의해 화학기상증착장치의 제작을 용이하게 하는 효과가 있는 기판 주변부 지지대의 지지장치에 관한 것이다.
LCD, 기판 주변부 지지대, 월 커버, 글래스

Description

기판 주변부 지지대 지지 장치{Supporting apparatus for shadow frame}
도 1a 및 도 1b는 종래의 기판 주변부 지지대 지지장치에 대한 개념도,
도 2a 및 도 2c는 본 발명에 의한 기판 주변부 지지대 지지장치에 대한 개념도,
도 3은 본 발명에 의한 기판 주변부 지지대의 지지장치를 부착한 상태의 사용상태도,
도 4는 본 발명에 의한 분할형 기판 주변부 지지대에 대한 사시도,
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 기판 주변부 지지대을 사용한 증착공정에 대한 개념도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 기판 주변부 지지대 210 : 지지 브라켓
220 : 위치 지정 브라켓 300 : 월 커버
본 발명은 기판 주변부 지지대의 지지하기 위한 브라켓에 관한 것으로서, 특히 월 커버에 상기 기판 주변부 지지대을 지지하기 위한 브라켓을 고정시킬 수 있 는 기능을 갖는 기판 주변부 지지대의 지지장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD를 증착하여 생산하기 위하여 도 1a 내지 도 1b와 같은 구성이 이용되고 있다.
즉 LCD를 생산하기 위한 글래스(G)가 서셉터(50)상에 배치되어 있는 상태에서 반응가스가 샤워헤드(40)를 통해 분사되어 증착되게 된다.( 도 1a 참조) 이 때 상기 글래스(G)상에 배치되어 상기 글래스(G)를 누르게 되는 기판 주변부 지지대(90a)는 브라켓(90b)에 의해 지지된다.
상기 기판 주변부 지지대(90a)가 사용되는 이유는 증착공정의 고온 환경에서 상기 글래스(G)가 열변형에 의해 변형될 수 있어 상기 글래스(G)를 눌러 열변형을 방지하기 위한 것이다.
또한 상기 기판 주변부 지지대(90a)가 없는 경우에는 상기 서셉터(50)의 측면으로 반응가스의 유동에 난류가 생성되어 전반적으로 반응가스의 유동에 악영향을 미쳐 증착 두께의 균일도가 저하된다. 이와 같은 난류발생을 방지하기 위해 상기 서셉터(50)주위로 유동을 차단하는 기판 주변부 지지대(90a)가 사용된다.
종래에는 도 1b에서 도시된 바와 같이 상기 기판 주변부 지지대(90a)를 지지하는 브라켓(90b)이 브라켓 고정구(90c)에 의해 챔버 바디(10)에 직접 고정되는 구조로 되어 있다.
그러나 상술한 바와 같이 브라켓(90b)이 챔버바디(10)상에 직접 고정되는 경우 상기 챔버바디(10)내측에 설치되는 월 커버(wall cover)(80)를 관통함은 물론 상기 챔버바디(10)에 상기 브라켓(90b)과 고정구(90c)를 고정하기 위한 구조를 형 성해야 해서 제작의 어려움이 있는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 월 커버상에 상기 기판 주변부 지지대을 지지하는 브라켓을 고정할 수 있도록 하여 제작의 편의성을 증진할 수 있는 화학기상증착장치를 제공하는데에 그 목적이 있다.
상술한 목적은 챔버 바디내부에 장착되는 월 커버에 고정되는 한편 기판 주변부 지지대을 지지하는 지지 브라켓에 의해 달성될 수 있다.
이때 상기 지지 브라켓은 다수개 배치될 수 있으며 상기 기판 주변부 지지대의 상하,좌우측면의 중앙부에는 상기 기판 주변부 지지대의 위치를 셋팅할 수 있는 위치 지정 브라켓을 배치하는 것도 바람직하다.
이하 실시예와 첨부된 도면에 의해 상기 기술적 사상을 상세히 설명하기로한다.
본 발명은 상술한 바와 같이 글래스를 지지하기 위한 기판 주변부 지지대을 월 커버상에 고정시킬 수 있는 기술적 사상으로서 화학기상증착공정에의해 LCD를 제작하는 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.
첨부된 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 기판 주변부 지지대가 브라켓에 의해 지지되고 있으며, 상기 브라켓은 월 커버에 고정되어 있음을 알 수 있다.
한편 본 발명의 브라켓은 2가지 종류가 사용되는데, 첫째는 상기 기판 주변부 지지대(100)를 지지하는 지지 브라켓(210)이고, 둘째는 상기 기판 주변부 지지 대(100)의 위치를 셋팅하는 위치 지정 브라켓(220)이다.
우선 상기 지지 브라켓(210)에 대해 도 2a를 참조하여 설명하기로 한다.
상기 지지 브라켓(210)의 경우 일측은 월 커버(300)에 고정되는 한편 타측은 상기 기판 주변부 지지대(100)를 지지하는 역할을 담당하게 된다. 또한 위치 지정 브라켓(220)은 도 2b에 도시된 바와 같이 일측은 월 커버(300)에 삽입되어 고정되나, 타측에는 상기 기판 주변부 지지대(100)가 삽입될 수 있는 공간이 형성되어 상기 기판 주변부 지지대(100)가 삽입됨에 의해 상기 기판 주변부 지지대(100)가 셋팅된 위치에 정확하게 장착될 수 있도록 한다.
상기 지지 브라켓(210)과 위치 지정 브라켓(220)의 구성에 대해서 도 3을 참조하여 설명하기로 한다.
상기 도 3에 도시된 바와 같이 상기 지지 브라켓(210)은 판체형상의 지지 브라켓 본체(211)상에 돌출되어 형성되는 돌출부(212)가 형성되고, 상기 지지 브라켓 본체(211)의 하면에는 끼움홈(213)이 형성된다.
이와 같은 구성의 지지 브라켓(210)이 상기 월 커버(300)에 삽입되는데, 상기 월 커버(300)에 형성되는 하부 돌출부(340)가 상기 지지 브라켓(210)의 끼움홈(213)에 삽입되는 한편, 상기 월 커버(300)의 상부 돌출부(330) 배면에 형성되는 수용홈(331)에 상기 지지 브라켓(210)의 돌출부(212)가 삽입되어 고정된다.
즉, 상기 월 커버(300)는 두께를 가지는 중공의 육면체이되, 상하부가 개방된 형상을 가지는 판체로서 상기 챔버 바디(C)와 밀착되게 고정되는 본체(310)와 상기 본체(310)의 일측에 관통되어 형성되는 관통부(320)와 상기 관통부(320)의 상 부에 두께방향으로 돌출되는 상부 돌출부(330)와 상기 상부 돌출부(330)의 배면측에 형성되는 수용홈(331)과, 상기 관통부(320)의 하부에 형성되는 평탄부(341)와 상기 평탄부(241)상에 돌출되어 형성되는 하부 돌출부(340)로 되어,
상기 지지 브라켓(210)의 돌출부(212)가 상기 월 커버(300)의 수용홈(331)에 삽입되고, 상기 월 커버(300)의 하부 돌출부(340)가 상기 지지 브라켓(210)의 삽입홈(213)에 삽입되어 상기 브라켓(210)이 상기 월 커버(300)에 고정된다.
한편 위치 지정 브라켓(220)은 상기 지지 브라켓(210)과 유사한 형상이나 판체 형상의 본체(221)상에 상기 기판 주변부 지지대(100)가 삽입되게 하는 삽입홈(221a)이 형성된 점이 상이하다.
이상 상술한 바와 같은 지지 브라켓(210)과 위치 지정 브라켓(220)에 의해 기판 주변부 지지대(100)가 지지되는데, 이하 도 4를 참고하여 상기 브라켓의 배치에 대해 설명하기로 한다.
본 발명이 지지 브라켓(210)은 상기 기판 주변부 지지대(100)의 안정적인 지지를 위하여 상기 기판 주변부 지지대(100)의 상하, 좌우측면에 다수개가 배치된다. 이때 상기 위치 지정 브라켓(220)은 상기 기판 주변부 지지대(100)의 상하,좌우측면의 중심부분에 배치되어, 상기 위치 지정 브라켓(220)에 상기 기판 주변부 지지대(100)가 끼움되어 셋팅된 위치에 장착된다.
한편 상기 위치 지정 브라켓(220)을 상기 기판 주변부 지지대(100)의 상하,좌우측면의 중심부분에 배치하는 이유는 증착공정의 고온환경에서 상기 기판 주변부 지지대(100) 또한 열변형에 의해 변형이 발생하게 되는데 이러한 열변형에 의한 위치오차를 최대한 줄이기 위해 상술한 바와 같이 중앙부분에 배치하게 되는 것이다.
이하 도 5a 와 도 5b를 참조하여 본 발명의 기판 주변부 지지대 지지장치를 사용한 경우의 증착공정에 대해 설명하기로 한다. 이하 상기 지지 브라켓(210)과 위치 지정 브라켓(220)을 통칭해서 브라켓(200)으로 칭하기로 한다.
우선 도 5a에서는 증착전의 단계를 도시하고 있다. 즉 글래스(G)가 서셉터(50)위에 배치되어 있는 상태로서 상기 서셉터(50)는 증착전의 단계로서 챔버 바디(C)의 하측에 위치하고 있고 상기 기판 주변부 지지대(100)은 상기 브라켓(200)에 의해 지지되고 있다. 이 상태에서 증착이 이루어지기 위해 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 서셉터(50)가 상승하게 되고 이에 의해 상기 글래스(G)상에 상기 기판 주변부 지지대(100)이 올려져서 동일하게 상승하여 증착공정이 수행되게 된다.
이상과 같이 종래에는 기판 주변부 지지대를 지지하기 위한 브라켓이 챔버바디상에 직접 고정되는 경우 상기 챔버바디내측에 설치되는 월 커버를 관통함은 물론 상기 챔버바디에 상기 브라켓과 고정구를 고정하기 위한 구조를 형성해야 해서 제작의 어려움이 있는 문제점이 있었는데,
본 발명인 월 커버상에 상기 기판 주변부 지지대을 지지하는 브라켓을 고정할 수 있도록 하는 구성에 의해 화학기상증착장치의 제작을 용이하게 하는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 챔버 바디(C)내부에 장착되는 월 커버(300)에 고정되는 한편 기판 주변부 지지대(100)을 지지하는 지지 브라켓(210)과; 기판주변부 지지대의 위치를 셋팅하는 위치브라켓(220)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 주변부 지지대 지지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지 브라켓(210)은 판체형상의 본체(211)와 상기 본체(211)의 일측에 돌출되는 돌출부(212)와, 상기 본체(211)의 하면에 형성되는 삽입홈(213)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 주변부 지지대 지지 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 월 커버(300)는 두께를 가지는 중공의 육면체이되, 상하부가 개방된 형상을 가지는 판체로서 상기 챔버 바디(C)와 밀착되게 고정되는 본체(310)와 상기 본체(310)의 일측에 관통되어 형성되는 관통부(320)와 상기 관통부(320)의 상부에 두께방향으로 돌출되는 상부 돌출부(330)와 상기 상부 돌출부(330)의 배면측에 형성되는 수용홈(331)과, 상기 관통부(320)의 하부에 형성되는 평탄부(341)와 상기 평탄부(241)상에 돌출되어 형성되는 하부 돌출부(340)로 되고,
    상기 지지 브라켓(210)의 돌출부(212)가 상기 월 커버(300)의 수용홈(331)에 삽입되고, 상기 월 커버(300)의 하부 돌출부(340)가 상기 지지 브라켓(210)의 삽입홈(213)에 삽입되어 상기 브라켓(210)이 상기 월 커버(300)에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 주변부 지지대 지지 장치
  4. 제1항에 있어서,
    상기 위치 브라켓(220)은 판체형상의 본체(221)와 상기 본체(221)의 일측에 돌출되는 돌출부(222)와, 상기 본체(221)의 하면에 형성되는 삽입홈(223) 및 상기 본체(221)의 상면에 형성되어 상기 기판부 주변 지지대가 삽입되기 위한 삽입홈(221a)이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 주변부 지지대 지지 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지 브라켓(210)은 상기 기판 주변부 지지대에 다수개 설치되는 한편, 상기 위치 지정 브라켓(220)은 상기 기판 주변부 지지대의 상하 및 좌우면의 중앙에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 주변부 지지대 지지 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 챔버바디(C)내에 배치되는 서포트(60)와 상기 서포트(60)상에 배치되는 서셉터(50)와 상기 서셉터(50)상에 배치되어 증착되는 글래스(G)와 상기 글래스(G)에 반응가스를 공급하는 샤워헤드(40)와 상기 샤워헤드(40)가 고정되는 디퓨져 바디(30)와 상기 디퓨져 바디(40)상에 형성되어 반응가스가 주입되는 도입부(70)와 상기 디퓨져 바디(40)와 상기 챔버 바디(C)사이에 배치되는 챔버 리드(L)를 더 포함하여 화학기상증착공정에 의해 LCD를 제작하는 것을 특징으로 하는 기판 주변부 지지대 지지 장치.
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