KR100813199B1 - 개구부의 각도가 상이한 증착원 및 이를 이용하는 박막증착 장치 - Google Patents
개구부의 각도가 상이한 증착원 및 이를 이용하는 박막증착 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 상면은 개방되어 복수의 개구부를 형성하고, 내부에는 증착물질을 담는 도가니; 및상기 도가니를 가열하는 가열부를 포함하는 증착원에 있어서,각각의 상기 개구부의 개방 각도는 상기 도가니의 중앙부에 존재하는 상기 개구부는 직각으로, 중앙에서 외곽으로 갈수록 중앙 쪽으로 더 기울어지게 형성되고,상기 증착원은 외부에서 공급되는 동력을 이용하는 회전 수단에 의해 회전되는 개구부의 각도가 상이한 증착원
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- 제 1 항에 있어서,상기 회전 수단은 상기 증착원의 하단에 설치된 샤프트와 상기 샤프트에 벨트 또는 기어를 연결하여 회전시키는 개구부의 각도가 상이한 증착원
- 증착하고자 하는 기판;상기 기판의 증착이 필요 없는 부분을 가려 상기 기판의 필요한 부분만 증착하게 하고 상기 기판에 결합되는 마스크;상기 기판과 상기 마스크를 지지하는 기판 처킹 시스템;상면은 개방되어 복수의 개구부를 형성하고 내부에는 증착물질을 담는 도가니와 상기 도가니를 가열하는 가열부로 이루어지는 증착원; 및외부에서 공급되는 동력을 이용하여 상기 증착원을 회전시키는 회전 수단을 포함하는 박막 증착 장치로서,각각의 상기 개구부의 개방 각도는 상기 도가니의 중앙부에 존재하는 상기 개구부는 직각으로, 중앙에서 외곽으로 갈수록 중앙 쪽으로 더 기울어지게 형성되는 박막 증착 장치
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
US8802489B2 (en) | 2010-09-15 | 2014-08-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Device and method for depositing organic material |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040034432A (ko) * | 2002-10-15 | 2004-04-28 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 성막 시스템 및 이를 이용한 성막 방법 |
KR20050045621A (ko) * | 2003-11-12 | 2005-05-17 | 엘지전자 주식회사 | 발광 유기물질 증착 장치 |
KR20050077417A (ko) * | 2004-01-28 | 2005-08-02 | 김성수 | 대면적 유기박막 증착 공정용 다점 증발원 |
-
2006
- 2006-07-31 KR KR1020060072330A patent/KR100813199B1/ko active IP Right Grant
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US9515263B2 (en) | 2010-09-15 | 2016-12-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Device and method for depositing organic material |
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