KR100812029B1 - 도포 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 수평으로 유지된 기판의 도포 대상 영역에 처리액을 도포하는 도포 처리 장치로서,수평인 제1 방향을 따라 연장되는 슬릿 형상의 토출구로부터 상기 처리액을 토출 가능한 노즐과,상기 제1 방향에 직교하는 수평인 제2 방향에, 상기 기판의 바로 위 외부로부터 상기 처리액의 토출을 개시해야 하는 개시 위치까지 상기 기판에 대하여 상기 노즐을 상대 이동시키고, 또한, 상기 도포 대상 영역의 상부 전체를 상기 기판에 대하여 상기 노즐을 상대 이동시켜 상기 노즐에 상기 도포 대상 영역에 대한 토출 주사를 행하게 하는 이동 수단과,상기 제1 방향을 따라 연장되고, 하단의 위치가 상기 토출구의 하단 이하가 되도록, 상기 노즐의 상기 토출 주사에서의 진행의 전방 측에 상대 고정되는 보호 부재와,상기 기판에 대한 상기 토출구의 상대 높이를 조정하는 조정 수단을 구비하고,상기 조정 수단은,상기 토출구의 위치가 상기 기판의 바로 위 외부로부터 상기 기판의 단부까지일 때에는, 상기 토출구의 상대 높이를 상기 토출 주사의 경우와 동일한 기준 높이로 하고,상기 토출구의 위치가 상기 기판의 단부로부터 상기 개시 위치까지일 때에는, 상기 토출구의 상대 높이를 상기 기준 높이보다 높게 하는 것을 특징으로 하는 도포 처리 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 보호 부재의 하단은, 각각이 상기 제1 방향을 따라 연장되고, 상기 제2 방향으로 병렬 배치되는 복수의 부위로 구성되는 것을 특징으로 하는 도포 처리 장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 복수의 부위 중, 상기 토출 주사의 진행의 최전방 측의 부위를 제1 부위, 최후방 측의 부위를 제2 부위라고 하였을 때,상기 제1 및 상기 제2 부위의 각각의 상기 토출 주사의 진행의 전방 위치의 상호간의 길이는, 상기 기판의 단부로부터 상기 개시 위치까지의 길이 이상인 것을 특징으로 하는 도포 처리 장치.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 보호 부재의 하단에 의해 규정되는 상기 제2 방향의 최대 길이는, 상기 기판의 단부로부터 상기 개시 위치까지의 길이 이상인 것을 특징으로 하는 도포 처리 장치.
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Applications Claiming Priority (2)
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KR20030074378A (ko) * | 2002-03-13 | 2003-09-19 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 디바이스의 제조 방법 및 디바이스 제조 장치, 디바이스및 전자 기기 |
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- 2006-07-19 KR KR1020060067343A patent/KR100812029B1/ko active IP Right Grant
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