KR100801100B1 - 정전기 전하 제거 시스템 - Google Patents
정전기 전하 제거 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
Description
이오나이저 바를 예로 들면, 이오나이저 바는 내부에 압축 건조 공기 파이프 라인 및 전원 장치를 가지는 바 본체와 바 본체에 위치하고 전원 장치에 전기적으로 연결된 복수 개의 바늘 전극들과 바늘 전극들에 따라 바 본체상에 위치하고 압축 건조 공기 파이프 라인에 연결된 복수 개의 노즐들을 포함한다. 로봇 암(52)은 유리 기판(53)을 적재하고 위치시킬 때, 이오나이저(56)는 켜지고, CDA가 이오나이저(56)에 채워지고, 교류 전압을 가지는 바늘 전극(도 1에 도시됨)에 의하여 이온들이 발생되고 나서 유리 기판(53)상의 ESD는 이온들과 함께 CDA에 의하여 제거된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 이오나이저(56)의 커버각을 제어하기 위하여, 베이스는 이온들이 유리 기판(53)의 전 표면상에 퍼지도록 하기 위하여 특정 각도로 조절되며, 유리 기판(53)상의 ESD를 제거한다. 뿐만 아니라, 이오나이저(56)의 개수 및 위치는 유리 기판의 크기나 커버각에 따라서 조절될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 유리 기판(63)의 아랫면에 있는 ESD를 제거하기 위하여 로봇 암(62) 아래의 베이스(68)상에 위치될 수 있다. 뿐만 아니라, 이오나이저들(66)은 유리 기판(63)의 윗표면과 아랫표면상의 ESD를 동시에 제거하기 위하여 로봇 암(62)의 상면과 하면의 모두에 위치될 수 있다.
Claims (15)
- 로봇 암(arm);로봇 암의 전방에 위치한 포크(fork) 부재;로봇 암위에 위치한 링크 바 모듈(link bar module); 및링크 바 모듈에 위치하며, 정전기 전하를 제거하기 위하여 링크 바 모듈과 함께 움직이도록 구성되는 이오나이저(ionizer)를 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제1 항에 있어서,포크 부재는 복수 개의 암들을 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제1 항에 있어서, 링크 바 모듈은,제1 피봇과 제2 피봇을 가지며, 제1 피봇이 로봇 암에 연결된 제1 링크;제2 피봇과 이오나이저에 연결된 제2 링크; 및제1 피봇에 위치한 제1 서보 모터;를 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제3 항에 있어서,링크 바 모듈은 제2 피봇에 위치한 제2 서보 모터를 더 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제1 항에 있어서,이오나이저는 이오나이저 바, 팬형 이오나이저, 전자기 이오나이저 또는 포토(photo) 이오나이저인 정전기 전하 제거 시스템.
- 로봇 암;로봇 암의 전방에 위치한 포크 부재;포크 부재에 위치한 링크 바 모듈; 및링크 바 모듈에 위치하며, 정전기 전하를 제거하기 위하여 링크 바 모듈과 함께 움직이도록 구성된 이오나이저를 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제6 항에 있어서,포크 부재는 복수 개의 암들을 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제7 항에 있어서, 링크 바 모듈은,포크 부재의 최외측 암들의 외부 에지(edge)에 위치한 두 개의 궤도(track);궤도들과 이오나이저에 연결된 두 개의 고정 링크; 및고정 링크들 중 하나에 위치한 제1 서보 모터;를 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제6 항에 있어서,이오나이저는 이오나이저 바, 팬형 이오나이저, 전자기 이오나이저 또는 포토 이오나이저인 정전기 전하 제거 시스템.
- 로봇 암;로봇 암의 전방에 위치하는 포크 부재; 및로봇 암상에 위치한 이오나이저 바를 포함하며,이오나이저 바는, 내부에 압축 건조 공기 파이프 라인 및 전원 장치를 가지는 바 본체; 바 본체에 위치하고 전원 장치에 전기적으로 연결된 복수 개의 바늘 전극들; 및 바늘 전극들에 따라 바 본체상에 위치하고 압축 건조 공기 파이프 라인에 연결된 복수 개의 노즐들;을 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제10 항에 있어서,포크 부재는 복수 개의 암들을 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제11 항에 있어서,로봇 암상에는 두 개의 이오나이저 바가 배치되며, 상기 두 개의 이오나이저 바는 상기 포크 부재들이 형성하는 평면에 수직한 방향으로 이격되게 배치되는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제1 로봇 암;제1 로봇 암의 전방에 위치하는 포크 부재;제2 로봇 암;제2 로봇 암의 전방에 위치하는 플랫폼; 및플랫폼상에 위치하고, 정전기 전하를 제거하기 위하여 제2 로봇 암과 함께 움직이도록 구성된 이오나이저;를 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제13 항에 있어서,포크 부재는 복수 개의 암들을 포함하는 정전기 전하 제거 시스템.
- 제13 항에 있어서,이오나이저는 이오나이저 바, 팬형 이오나이저, 전자기 이오나이저 또는 포토 이오나이저인 정전기 전하 제거 시스템.
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