KR100771096B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents
기판 처리 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100771096B1 KR100771096B1 KR1020060072619A KR20060072619A KR100771096B1 KR 100771096 B1 KR100771096 B1 KR 100771096B1 KR 1020060072619 A KR1020060072619 A KR 1020060072619A KR 20060072619 A KR20060072619 A KR 20060072619A KR 100771096 B1 KR100771096 B1 KR 100771096B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- suction
- fluid
- chuck
- fume
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
Claims (8)
- 삭제
- 기판 처리 장치에 있어서:기판이 놓여지는 척을 갖는 기판 지지부재;상부가 개방되고, 상기 척 주변을 감싸도록 형상지어진 하부 챔버; 및기판 처리 과정에서 기판 상부에 존재하는 흄(fume)을 강제 흡입하는 흡입 부재를 포함하되;상기 흡입부재는상기 흄이 흡입되는 적어도 하나의 흡입구를 갖는 그리고 상기 기판의 상부 중앙에 위치되는 흡입관을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 기판 처리 장치에 있어서:기판이 놓여지는 척을 갖는 기판 지지부재;상부가 개방되고, 상기 척 주변을 감싸도록 형상지어진 하부 챔버;기판 처리 과정에서 기판 상부에 존재하는 흄(fume)을 강제 흡입하는 흡입 부재;기판에 대한 처리 공정이 외부와 격리된 밀폐 공간에서 진행되도록 상기 하부 챔버의 상부를 밀폐하는 상부 챔버; 및상기 상부 챔버에 의해 밀폐된 공간으로 건조 유체를 공급하는 간접분사노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제3항에 있어서,상기 흡입 부재는 상기 흄이 흡입되는 흡입구를 갖는 그리고 상기 상부 챔버의 중앙에 수직하게 설치되는 흡입관을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 흡입부재는상기 흡입관의 내부에 이중관 구조로 설치되며 기판 표면으로 유체를 직접 분사하는 직접분사노즐관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 흡입 부재는 상기 흡입구의 위치를 변경시키기 위해 상기 흡입관을 상하 이동시키는 위치조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 흡입관은 하단 둘레면에 다수의 흡입구들을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제3항에 있어서,상기 상부 챔버는상기 간접분사노즐로부터 분사되는 건조유체가 상기 상부 챔버의 중앙으로 향하도록 안내하는 환형 공간;상기 환형 공간을 따라 상기 상부 챔버의 중앙으로 모여진 건조 유체가 기판을 향해 빠져나오는 중앙 개구; 및상기 중앙 개구를 통해 빠져나가는 건조 유체가 기판의 중심으로부터 가장자리로 점차 확산되도록 건조 유체를 안내하는 안내면을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060072619A KR100771096B1 (ko) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 기판 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060072619A KR100771096B1 (ko) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 기판 처리 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100771096B1 true KR100771096B1 (ko) | 2007-10-29 |
Family
ID=38816159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060072619A KR100771096B1 (ko) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 기판 처리 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100771096B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101011872B1 (ko) | 2007-10-30 | 2011-01-31 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리방법 및 기판처리장치 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030065953A (ko) * | 2002-02-02 | 2003-08-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기판 세정공정용 반도체 제조장치 및 그를 이용한반도체 기판 세정공정 |
-
2006
- 2006-08-01 KR KR1020060072619A patent/KR100771096B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030065953A (ko) * | 2002-02-02 | 2003-08-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기판 세정공정용 반도체 제조장치 및 그를 이용한반도체 기판 세정공정 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101011872B1 (ko) | 2007-10-30 | 2011-01-31 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리방법 및 기판처리장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100797079B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR100816740B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP2007335868A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
US20080066783A1 (en) | Substrate treatment apparatus and substrate treatment method | |
JP6817748B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR101035983B1 (ko) | 매엽식 기판 처리 장치 및 그 장치에서의 배기 방법 | |
KR20090126181A (ko) | 액처리 장치, 액처리 방법 및 기억 매체 | |
JP4787038B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR102223972B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP5318010B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR100797080B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR100715984B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR100749547B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100771096B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100811824B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100831989B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100732520B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100776281B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100749548B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR101329301B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100757849B1 (ko) | 기판 처리 방법 | |
KR100784789B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR102649167B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP7002605B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR100794586B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판의 건조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Publication of correction | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121023 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131022 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141022 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151013 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161011 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171020 Year of fee payment: 11 |