KR100768122B1

KR100768122B1 - Apparatus for testing panel status and method thereof

Info

Publication number: KR100768122B1
Application number: KR1020060015830A
Authority: KR
Inventors: 최대용; 이상갑; 김창수
Original assignee: (주)알티에스
Priority date: 2006-02-17
Filing date: 2006-02-17
Publication date: 2007-10-17
Also published as: KR20070082772A

Abstract

본 발명에 따른 패널 상태 검사 장치는 그 상부에 임의의 패널 또는 보정판을 고정시키는 테이블; 상기 테이블을 이동시키는 모터; 상기 테이블의 상부에 위치하고, 상기 패널에 전원을 공급하는 프로브; 상기 프로브의 상부에 위치하고, 그 하부에 위치한 패널 또는 보정판, 프로브를 촬영하는 위치 조정용 카메라; 상기 패널에 전원이 인가된 후 패널의 상태를 검사하기 위해 패널의 영상을 획득하는 패널 상태 검사용 카메라; 및 상기 테이블에 고정되어 공급되는 보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상의 보정마크를 이용하여 위치 조정용 카메라의 기준 위치를 결정하며, 새로 테이블에 고정되어 공급되는 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상을 분석하여 상기 공급된 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원 공급선이 일치하도록 테이블의 이동을 제어하며, 상기 프로브의 전원 공급선이 패널의 전원 인입선과 접촉하면 패널 상태 검사용 카메라에서 패널의 영상을 획득하여 패널의 상태를 검사하는 기능을 포함하는 제어부;를 포함한다.Panel state inspection apparatus according to the present invention comprises a table for fixing any panel or correction plate on the top; A motor for moving the table; A probe positioned at an upper portion of the table to supply power to the panel; A position adjusting camera positioned on an upper portion of the probe and positioned on a lower portion of the probe or a correction plate; A panel state inspection camera for acquiring an image of the panel to inspect the state of the panel after power is applied to the panel; And acquiring an image of a correction plate fixedly supplied to the table with a positioning camera, determining a reference position of the positioning camera using the correction mark of the acquired image, and displaying an image of a panel newly fixed and supplied to the table. Acquired by a positioning camera, and analyzing the obtained image to control the movement of the table to match the power supply line of the supplied panel and the power supply line of the probe, and if the power supply line of the probe contacts the power lead of the panel And a controller including a function of inspecting a state of the panel by acquiring an image of the panel in the state inspection camera.

따라서 본 발명은 패널상태를 보다 용이하고 신속하게 검사할 수 있다.Therefore, the present invention can inspect the panel state more easily and quickly.

패널, 보정판, 카메라, 프로브, 오프셋 Panel, compensator, camera, probe, offset

Description

패널 상태 검사 장치 및 그 방법{Apparatus for testing panel status and method thereof} Apparatus for testing panel status and method

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 패널 상태 검사 장치를 간략히 도시한 도면이다.1 is a view briefly showing a panel state inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 테이블 위에 패널 또는 보정판이 안착된 것을 보여준 평면도이다.FIG. 2 is a plan view illustrating a panel or a correction plate mounted on the table of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 위치 조정용 카메라를 이용하여 패널 또는 보정판을 촬영했을 때, 그 영상면을 나타내는 도면이다.3 is a view showing an image plane when a panel or a correction plate is photographed using a position adjusting camera according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선의 일치 정도를 알아보기 위해 위치 조정용 카메라를 이용하여 촬영한 것을 보여주는 사시도이다.Figure 4 is a perspective view showing a photographing using a position adjustment camera to determine the degree of matching of the power supply line of the probe and the power lead-in line of the panel or the correction plate according to an embodiment of the present invention.

도 5는 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선의 일치할 경우, 그 상부에서 위치 조정용 카메라로 촬영한 평면도이다.5 is a plan view taken by a position adjusting camera from the upper side when the power supply line of the probe and the power lead-in line of the panel or the correction plate.

도 6은 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선의 일치하지 않을 경우와, 이를 보정한 것을 위치 조정용 카메라를 이용하여 그 상부에서 촬영한 평면도이다.FIG. 6 is a plan view taken when the power supply line of the probe does not coincide with the power lead line of the panel or the correction plate, and the correction is taken from the upper portion of the probe using a positioning camera.

도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 일시예에 따른 패널 상태 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.7A to 7C are flowcharts illustrating a panel state inspection method according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 8은 일반적인 TFT-패널의 구성을 보여주기 위한 도면이다. 8 is a view for showing the configuration of a general TFT-panel.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 테이블 11 ~ 13 : 스톱퍼10: Table 11-13: Stopper

20 : 보정판 20a : 패널 20: correction plate 20a: panel

21, 22 : 보정판의 보정 마크 21a, 22a : 패널의 정렬 마크21, 22: correction mark on the correction plate 21a, 22a: alignment mark on the panel

24 ~ 26 : 보정판의 전원 인입선 24a ~ 26a : 패널의 전원 인입선24 to 26: power lead wire of the correction plate 24a to 26a: power lead wire of the panel

30 : 프로브 31a ~ 31c : 프로브의 전원 공급선 30: probe 31a to 31c: power supply line of the probe

41, 42 : 위치 조정용 카메라 43 : 위치조정용 카메라 영상면41, 42: Position adjusting camera 43: Position adjusting camera image surface

43' : 위치조정용 카메라 영상면의 중심점43 ': center point of the image plane for positioning camera

50 : 패널 상태 검사용 카메라 60 : 제어부 50: camera for inspecting panel status 60: control unit

70 : 디스플레이부(모니터) 80 : 모터 70: display unit (monitor) 80: motor

본 발명은 패널 상태 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 보정판 등을 이용하여 위치조정용 카메라의 기준 위치/오프셋 값을 설정하고, 실제 제공되는 패널에 상기 값들을 적용시켜 빠르면서 용이하게 패널의 상태를 검사할 수 있는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a panel state and a method thereof, and in particular, sets a reference position / offset value of a positioning camera using a correction plate and the like, and applies the values to an actually provided panel to quickly and easily state the panel. It relates to an apparatus and a method capable of inspecting.

먼저, 도 8을 참조하여 일반적인 패널(예 : TFT-LCD 패널) 모듈에 대해 살펴보기로 한다. First, a general panel (eg, TFT-LCD panel) module will be described with reference to FIG. 8.

도 8을 참조하면, 패널은 두 개의 유리(Glass)사이에 액정이 주입된 LCD 패널(1)과, LCD 패널(10)을 구동시키기 위한 구동회로들(2, 3) 및 이들 구동회로를 제어하는 제어신호들을 발생하는 타이밍 컨트롤러(timing controller ; 4)를 포함하는 구동부, 그리고 백라이트(backlight ; 6)를 포함한 섀시(chassis) 구조물로 구성된다. 이들로 구성된 조립품들은 통상적으로 TFT-패널(또는 패널)이라고 하며, 이 패널은 노트북 컴퓨터(notebook computer), 텔레비젼(television ; TV), 모니터(monitor)와 같은 시스템에서 디스플레이 기능을 담당하는 장치로 사용된다.Referring to FIG. 8, the panel controls the LCD panel 1 in which liquid crystal is injected between two glasses, driving circuits 2 and 3 for driving the LCD panel 10, and these driving circuits. The driving unit includes a timing controller 4 for generating control signals, and a chassis structure including a backlight 6. Assemblies consisting of these are commonly referred to as TFT-panels (or panels), which are used as devices for display functions in systems such as notebook computers, televisions, and monitors. do.

도 8에서 백라이트(6)는 인버터(6a), 형광 램프(fluorescent lamp ; 6b), 반사판(6c) 등으로 구성되어, 광원으로 사용되는 형광 램프(6b)로부터 밝기가 균일한 평면광을 만든다. 램프(6b)는 크게 CCFT(Cold Cathode Fluorenscence Tube), HCFT(Hot Cathode Fluorenscence Tube)로 구분되고, 반사판(6c)은 빛의 반사각을 변화시키는 역할을 수행한다.In FIG. 8, the backlight 6 is composed of an inverter 6a, a fluorescent lamp 6b, a reflecting plate 6c, and the like to produce plane light with uniform brightness from the fluorescent lamp 6b used as a light source. The lamp 6b is largely classified into a Cold Cathode Fluorenscence Tube (CCFT) and a Hot Cathode Fluorenscence Tube (HCFT), and the reflector 6c serves to change a reflection angle of light.

한편, LCD 패널(1)은, 구동회로들(2, 3)로부터 입력된 각각의 화소 신호 전압에 응답하여 백라이트(6)로부터 입사된 백색 평면광이 화소에 투과되는 빛을 제어함으로써 컬러 영상을 표시한다.On the other hand, the LCD panel 1 controls the light transmitted by the white plane light incident from the backlight 6 in response to the pixel signal voltages input from the driving circuits 2 and 3 to control the color image. Display.

그러나 종래에는 상기와 같이 이루어지는 LCD 패널의 상태를 육안으로 검사 하였다. 이에 따라, 종래에는 상기 LCD 패널의 상태를 정확하게 검사하는 것이 어려웠다. However, conventionally, the state of the LCD panel made as described above was visually inspected. Accordingly, it has been difficult to accurately inspect the state of the LCD panel in the related art.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 보정판 등을 이용하여 위치조정용 카메라의 기준 위치/오프셋 값을 설정하고, 실제 제공되는 패널에 상기 값들을 적용시켜 빠르면서 용이하게 패널의 상태를 검사할 수 있는 장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, the object is to set the reference position / offset value of the positioning camera using a correction plate, etc., and apply the values to the panel actually provided quickly and easily An apparatus and method for inspecting the state of a panel are provided.

상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명에 따른 패널 상태 검사 장치는 그 상부에 임의의 패널 또는 보정판을 고정시키는 테이블; 상기 테이블을 이동시키는 모터; 상기 테이블의 상부에 위치하고, 상기 패널에 전원을 공급하는 프로브; 상기 프로브의 상부에 위치하고, 그 하부에 위치한 패널 또는 보정판, 프로브를 촬영하는 위치 조정용 카메라; 상기 패널에 전원이 인가된 후 패널의 상태를 검사하기 위해 패널의 영상을 획득하는 패널 상태 검사용 카메라; 및 상기 테이블에 고정되어 공급되는 보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상의 보정마크를 이용하여 위치 조정용 카메라의 기준 위치를 결정하며, 새로 테이블에 고정되어 공급되는 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상을 분석하여 상기 공급된 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원 공급선이 일치하도 록 테이블의 이동을 제어하며, 상기 프로브의 전원 공급선이 패널의 전원 인입선과 접촉하면 패널 상태 검사용 카메라에서 패널의 영상을 획득하여 패널의 상태를 검사하는 기능을 포함하는 제어부;를 포함한다.In order to achieve the above object, a panel state inspection apparatus according to the present invention includes a table for fixing an arbitrary panel or a correction plate thereon; A motor for moving the table; A probe positioned at an upper portion of the table to supply power to the panel; A position adjusting camera positioned on an upper portion of the probe and positioned on a lower portion of the probe or a correction plate; A panel state inspection camera for acquiring an image of the panel to inspect the state of the panel after power is applied to the panel; And acquiring an image of a correction plate fixedly supplied to the table with a positioning camera, determining a reference position of the positioning camera using the correction mark of the acquired image, and displaying an image of a panel newly fixed and supplied to the table. Acquired by a positioning camera, and analyzes the obtained image to control the movement of the table to match the power supply line of the supplied panel and the power supply line of the probe, and when the power supply line of the probe contacts the power lead of the panel And a controller including a function of inspecting a state of the panel by acquiring an image of the panel in the panel state inspection camera.

상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치는 상기 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 보정판의 보정 마크의 중심점이 일치했을 때의 그 위치를 말하고, 상기 패널의 영상 분석은 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점의 일치 여부를 분석하는 것을 말하며, 만약 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 것을 특징으로 한다.The reference position of the position adjusting camera refers to a position when the center point of the position adjusting camera image plane and the center point of the correction mark of the correction plate coincide. It is to analyze whether or not the center point of the position adjustment camera image plane fixed to the coincidence. If the center point of the alignment mark of the panel does not coincide with the center point of the position adjustment camera image plane fixed to the reference position, the table is moved. It is characterized by matching the center point.

본 발명은 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치시킨 후, 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원공급선이 일치하지 않는 경우, 테이블을 소정 거리(오프셋 값)만큼 더 이동시켜 두 선을 일치시키는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, after the center point of the alignment mark of the panel coincides with the center point of the positioning camera image plane fixed to the reference position, the table is a predetermined distance (offset) when the power lead line of the panel does not match the power supply line of the probe. Move two more lines) to match the two lines.

본 발명은 상기 테이블에 구비된 다수개의 스톱퍼와 진공 흡입부를 이용하여 상기 패널 또는 보정판을 테이블에 고정시키는 것을 특징으로 하는 패널상태 검사 장치. The apparatus of claim 1, wherein the panel or the compensating plate is fixed to the table using a plurality of stoppers and a vacuum suction unit provided in the table.

한편, 본 발명에 따른 패널 상태 검사 방법은 보정판을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계; 보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계; 상기 획득된 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상 면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계; 상기 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 그 위치(위치 조정용 카메라의 기준 위치)를 저장하는 단계; 임의의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계; 상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계; 상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계; 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계; 및 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하면 프로브를 하향시켜 패널에 전원을 공급하고, 패널의 상태를 검사하는 단계를 포함함을 특징으로 한다.On the other hand, the panel state inspection method according to the invention is fixed to the upper part of the table, and then supplying to the probe side; Acquiring an image of the correction plate with a positioning camera; Determining whether or not the center point of the obtained correction mark of the correction plate and the center point of the position adjusting camera image plane coincide with each other; Storing a position (reference position of the position adjusting camera) when the center point of the correction mark of the correction plate coincides with the center point of the position adjusting camera image surface; Securing any panel to the top of the table and then feeding it to the probe; Acquiring an image of the panel with a positioning camera; Determining whether or not the center point of the obtained alignment mark of the panel coincides with the center point of the position adjusting camera image plane fixed to a reference position; Determining whether the power supply line of the probe coincides with the power lead line of the panel when the center point of the alignment mark of the panel coincides with the center point of the position adjusting camera image plane fixed to the reference position; And lowering the probe to supply power to the panel when the power supply line of the probe and the power inlet line of the panel coincide with each other, and inspecting a state of the panel.

본 발명은 상기 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that it further comprises the step of matching the two center points by moving the table in the x, y, θ direction if the center point of the correction mark of the correction plate and the center point of the position adjusting camera image plane do not coincide.

또한, 본 발명은 상기에서 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다.In addition, the present invention further comprises the step of matching the two center points by moving the table in the x, y, θ direction if the center point of the alignment mark of the panel and the center point of the positioning camera image plane fixed to the reference position does not match. It is characterized by.

또한, 본 발명은 상기에서 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키는 단계; 및 상기 테이블의 이동 거리(x, y, θ)인 오프셋 값을 저장하는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다.In addition, the present invention comprises the steps of matching the power supply line of the probe and the power supply line of the panel by moving the table in the x, y, θ direction if the power supply line of the probe and the power lead-in line of the panel does not match; And storing an offset value that is a moving distance (x, y, θ) of the table.

또한, 본 발명은 다른 하나의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계; 상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계; 상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점을 상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치와 일치시키는 단계; 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계; 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 오프셋 값을 적용하여 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키는 단계; 및 프로브를 하향시켜 패널에 전원을 공급하고, 패널의 상태를 검사하는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다. In addition, the present invention after fixing the other panel on the top of the table, the step of supplying to the probe; Acquiring an image of the panel with a positioning camera; Matching a center point of the obtained alignment mark of the panel with a reference position of the positioning camera; Determining whether the power supply line of the probe and the power lead-in of the panel match; If the power supply line of the probe does not match the power lead-in of the panel, applying an offset value to match the power supply line of the probe with the power lead-in of the panel; And lowering the probe to supply power to the panel, and inspecting a state of the panel.

또한, 본 발명에서는 프로브에서 패널로의 전원 공급이 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선의 접촉으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the power supply from the probe to the panel is characterized by the contact between the power supply line of the probe and the power lead-in line of the panel.

또한, 본 발명에서는 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치/불일치 여부 판단은 프로브 상부에 위치한 위치 조정용 카메라를 이용하여 상기 프로브의 전원 공급선과 보정판의 전원 인입선을 동시에 촬영하여 상기 두 선의 일치/불일치 여부로 판단하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, whether the power supply line of the probe and the power lead-in of the panel match or mismatch is determined by simultaneously photographing the power supply line of the probe and the power lead-in of the compensating plate by using a positioning camera located on the upper portion of the probe. It is characterized by determining whether there is a mismatch.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하고자 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도면부호 표기 방식을 간략히 설명하면 다음과 같다.First, the brief description of the reference numerals are as follows.

본 발명에서는 테이블의 상부에 보정판 또는 패널을 위치시키는 데, 상기 테 이블의 상부에 보정판을 위치시킬 때에는 도면부호를 20 내지 26으로 표기하였으며, 상기 테이블의 상부에 패널을 위치시킬 때에는 도면부호를 20a 내지 26a로 표기하였다. 일례로, 도면부호 20은 보정판, 21은 보정판의 보정 마크, 24는 보정판의 전원 인입선을 나타내며, 도면부호 20a는 패널, 21a는 패널의 정렬(얼라이먼트) 마크, 24a는 패널의 전원 인입선을 나타낸다. In the present invention, the correction plate or panel is located on the upper part of the table, and when the correction plate is placed on the upper part of the table, reference numerals are indicated by 20 to 26, and when the panel is positioned on the upper part of the table, the reference number is 20a. To 26a. For example, reference numeral 20 denotes a correction plate, 21 denotes a correction mark of the correction plate, 24 denotes a power lead-in line of the correction plate, reference numeral 20a denotes a panel, 21a denotes a panel alignment mark, and 24a denotes a power lead-in line of the panel.

한편, 본 발명에 따른 보정판과 패널은 그 외형적인 형태는 유사하다. 다만, 패널은 실제 제품(LCD 패널, PDP 패널 등)에 해당하고, 보정판은 가상의 패널이라 보면 될 것이다. 따라서 본 명세서에서는 위치 조정용 카메라의 기준 위치값을 보정판을 이용하여 구하였으나, 실제 제품인 패널을 사용하여 구할 수도 있다.On the other hand, the correction plate and the panel according to the present invention is similar in appearance. However, the panel corresponds to a real product (LCD panel, PDP panel, etc.), and the correction plate may be regarded as a virtual panel. Therefore, in the present specification, the reference position value of the position adjusting camera is obtained by using a correction plate, but may also be obtained by using a panel which is a real product.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 패널 상태 검사 장치는 테이블(10), 모터(80), 프로브(30), 하나 이상의 위치 조정용 카메라(41)(42), 패널 상태 검사용 카메라(50) 및 제어부(60)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the panel state inspection apparatus according to the present invention includes a table 10, a motor 80, a probe 30, one or more position adjusting cameras 41 and 42, and a panel state inspection camera 50. And a controller 60.

또한, 본 발명에서는 상기 제어부(60)로부터 신호를 전달받아 상기에서 진행되는 일련의 작업을 디스플레이하는 디스플레이부(예 : 모니터 등)(70) 및 카메라로부터 전달받은 데이터를 저장하고, 제어부가 다양한 연산을 수행할 수 있도록 다양한 정보를 포함하고 있는 메모리부를 더 포함할 수 있다.In addition, the present invention receives a signal from the control unit 60 and stores the data received from the display unit (for example, a monitor, etc.) 70 and the camera to display a series of operations in progress, the control unit is a variety of operations It may further include a memory unit including a variety of information to perform the.

테이블(10)은 x, y, θ방향으로 이동 가능하다. 즉, 테이블(10)은 x방향, y 방향으로 이동 가능할 뿐만 아니라 그 중심을 기준으로 소정각도(θ)만큼 회전도 가능하다. The table 10 is movable in the x, y, and θ directions. That is, the table 10 may not only be movable in the x direction and the y direction, but also may be rotated by a predetermined angle θ with respect to the center thereof.

또한, 테이블(10)은 보정판(20) 또는 임의의(새로운) 패널(20a)을 그 상부에 위치시켜 x, y, θ방향으로 이동시킨다.In addition, the table 10 moves the compensating plate 20 or any (new) panel 20a on its top to move in the x, y, and θ directions.

상기 테이블(10)의 상부에는 보정판(20) 또는 패널(20a)을 위치시킬 수 있는 공간과 장치가 구비된다. 그 장치의 일례로는, 패널(20a)을 고정시키기 위해 3개 정도의 스톱퍼(Stopper)(11~13)를 구비하며, 또한 상기 테이블의 하부에 진공 흡입부(미도시)를 설치하여 상기 보정판 또는 패널을 테이블과 밀착시킨다. 이에 따라, 본 발명에서는 보정판(20) 또는 패널(20a)을 이동시킬 때 자리 이탈을 방지할 수 있다.The upper part of the table 10 is provided with a space and a device for positioning the correction plate 20 or panel 20a. One example of the device is provided with about three stoppers 11 to 13 to fix the panel 20a, and a vacuum suction unit (not shown) is provided at the bottom of the table to correct the plate. Or the panel is in close contact with the table. Accordingly, in the present invention, when the corrector plate 20 or the panel 20a is moved, the seat departure can be prevented.

보정판(20) 및 패널(20a)의 구조는 앞에서도 언급한 바와 같이 거의 유사하다. 즉, 보정판(20) 및 패널(20a)의 양 가장자리에는 각각 보정마크 및 정렬마크(얼라인먼트 마크){도 2에서의 21, 22(21a, 22a)에 해당함}가 형성되며, 보정판(20) 및 패널(20a)의 앞부분에는 다수개의 전원 인입선{도 4에서의 24 ~ 26(24a ~ 26a)에 해당함}이 있다.The structures of the compensating plate 20 and the panel 20a are almost similar as mentioned above. That is, correction marks and alignment marks (alignment marks) (corresponding to 21, 22 (21a, 22a) in FIG. 2) are formed at both edges of the correction plate 20 and the panel 20a, respectively. In front of the panel 20a, there are a plurality of power lead-in wires (corresponding to 24 to 26 (24a to 26a) in FIG. 4).

상기에서 보정마크 및 정렬마크는 바람직하게는 그 형태, 크기 및 위치 등이 같다. 다만, 상기 보정마크는 사용자가 임의로 그 형태 또는 크기를 변경할 수는 있지만, 그 위치는 같아야 한다. 보다 정확히 설명하면, 보정판 및 패널에 있는 보정마크 및 정렬마크의 중심점 위치는 같아야 한다.The correction mark and alignment mark in the above is preferably the same shape, size and position. However, the correction mark can be arbitrarily changed in shape or size by the user, but the position should be the same. More precisely, the center point positions of the calibration marks and alignment marks on the calibration plate and panel should be the same.

모터(80)는 제어부(60)의 제어에 따라 테이블을 x, y, θ방향으로 이동시킨 다. The motor 80 moves the table in the x, y, and θ directions under the control of the controller 60.

프로브(30)는 패널(20a)에 전원을 공급하며, 바람직하게는 테이블(10)의 상부에 위치한다. The probe 30 supplies power to the panel 20a and is preferably located above the table 10.

프로브(30)에는 패널(20a)에 전원을 공급시키기 위한 다수개의 전원 공급선(도 4에서의 31a ~ 31c에 해당함)이 구비된다. The probe 30 is provided with a plurality of power supply lines (corresponding to 31a to 31c in FIG. 4) for supplying power to the panel 20a.

위치 조정용 카메라(41)(42)는 프로브(30)의 상부에 위치하여 그 하부에 위치한 패널 또는 보정판, 프로브를 촬영하여 그 영상을 획득한다. 여기서, 획득된 영상은 제어부(60)에 전달된다.The position adjusting cameras 41 and 42 are positioned at the upper portion of the probe 30 and photograph a panel, a correction plate, and a probe positioned below the probe 30 to obtain an image thereof. Here, the obtained image is transmitted to the controller 60.

상기 위치 조정용 카메라(41)(42)는 하나 이상 구비시키는데, 바람직하게는 얼라인먼트 마크(정렬 마크)의 개수(예: 2개)에 맞춰 구비시킨다.One or more of the position adjusting cameras 41 and 42 is provided, preferably in accordance with the number of alignment marks (alignment marks) (for example, two).

패널 상태 검사용 카메라(50)는 프로브(30)와 패널(20a)간 전기적 연결이 이루어진 후, 패널의 상태를 검사하기 위해 패널의 영상을 획득하는 장치이다. 여기서, 획득된 영상은 제어부(60)에 전달된다.The panel state inspection camera 50 is an apparatus for acquiring an image of a panel to inspect the state of the panel after electrical connection is made between the probe 30 and the panel 20a. Here, the obtained image is transmitted to the controller 60.

제어부(60)에서는 상기 장치들(위치조정용 카메라, 모터, 프로브, 패널 상태 검사용 카메라, 디스플레이부 등)을 제어한다.The controller 60 controls the devices (positioning camera, motor, probe, camera for inspecting panel status, display unit, etc.).

즉, 상기 제어부(60)는 테이블(10)에 고정되어 공급되는 보정판(20)의 영상을 위치조정용 카메라(41)(42)로 획득하고, 상기 획득된 영상의 보정마크를 이용하여 위치 조정용 카메라(41)(42)의 기준 위치를 결정한다.That is, the controller 60 acquires an image of the correction plate 20 fixedly supplied to the table 10 with the positioning cameras 41 and 42, and uses the correction mark of the obtained image to adjust the positional camera. (41) The reference position of 42 is determined.

상기에서 위치 조정용 카메라(41)(42)의 기준 위치는 상기 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 보정판(20)의 보정 마크의 중심점이 일치했을 때의 그 위치 를 말한다.(도 3 참조)In the above, the reference position of the positioning cameras 41 and 42 refers to the position when the center point of the positioning camera image plane coincides with the center point of the correction mark of the correction plate 20 (see FIG. 3).

또한, 상기 제어부는 새로 테이블에 고정되어 공급되는 패널(20a)의 영상을 위치 조정용 카메라(41)(42)로 획득하고, 상기 획득된 영상을 분석하여 상기 공급된 패널(20a)의 전원 인입선과 프로브(30)의 전원 공급선이 일치하도록 테이블(10)의 이동을 제어한다.In addition, the controller acquires an image of the panel 20a, which is newly fixed and supplied to a table, by the position adjusting cameras 41 and 42, and analyzes the obtained image to determine a power lead line of the supplied panel 20a. The movement of the table 10 is controlled to coincide with the power supply line of the probe 30.

상기 패널의 영상 분석은 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점의 일치 여부를 분석하는 것을 말한다.(도 3 참조)The image analysis of the panel refers to analyzing whether or not the center point of the alignment mark of the panel coincides with the center point of the positioning camera image plane fixed to the reference position (see FIG. 3).

만약, 상기 공급된 패널(20a)의 전원 인입선과 프로브(30)의 전원 공급선이 일치하면 제어부(60)는 프로브(30)를 하향시켜 프로브(30)의 전원 공급선과 패널(20a)의 전원 인입선을 접촉시킨다. 또한, 상기에서 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 접촉하면 제어부(60)는 패널 상태 검사용 카메라(50)를 제어하여 패널의 영상을 획득하여 패널의 상태(휘도 등)를 검사한다. If the power lead-in of the supplied panel 20a and the power supply line of the probe 30 coincide with each other, the controller 60 moves down the probe 30 so that the power supply line of the probe 30 and the power lead-in of the panel 20a are lowered. Touch In addition, when the power supply line of the probe is in contact with the power supply line of the panel, the controller 60 controls the panel state inspection camera 50 to acquire an image of the panel and inspect the state of the panel (luminance, etc.).

본 발명에서는 보정판(20)을 이용하여 위치 조정용 카메라(41)(42)의 기준 위치를 결정한 후, 새로운 패널(20a)을 공급하게 된다. In the present invention, after determining the reference position of the positioning cameras 41 and 42 using the correction plate 20, a new panel 20a is supplied.

그리고나서, 상기 패널의 정렬마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 일치시킨 후, 프로브의 전원 인입선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 상부에서 카메라(41)(42)를 이용하여 촬영한다. 그 결과, 프로브(30)의 전원 인입선과 패널(20a)의 전원 인입선이 일치하면 앞에서도 언급한 바와 같이 프로브(30)를 하향시켜 패널에 전원을 공급한다.Then, the center point of the alignment mark of the panel coincides with the center point of the positioning camera image plane fixed at the reference position, and then the camera 41 and 42 are positioned on the upper part of the power lead line of the probe and the power lead line of the panel. ) To shoot. As a result, when the power lead wire of the probe 30 and the power lead wire of the panel 20a coincide with each other, as described above, the probe 30 is lowered to supply power to the panel.

그러나 프로브(30)의 전원 인입선과 패널(20a)의 전원 인입선이 일치하지 않으면 본 발명에서는 테이블(10)을 소정거리만큼 이동시켜 프로브(30)의 전원 인입선과 패널(20a)의 전원 인입선이 일치시킨다. 여기서, 상기 테이블(10)의 이동 거리를 오프셋 값(x, y, θ)이라 한다.(도 6 참조)However, if the power lead wire of the probe 30 and the power lead wire of the panel 20a do not match, in the present invention, the power lead wire of the probe 30 and the power lead wire of the panel 20a coincide by moving the table 10 by a predetermined distance. Let's do it. Here, the moving distance of the table 10 is called an offset value (x, y, θ) (see FIG. 6).

추후, 다른 패널이 공급되면 상기 패널의 정렬마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 일치시킨 후 곧바로 상기 오프셋 값을 이용하여 테이블을 이동시키면 프로브의 전원 인입선과 패널의 전원 인입선이 일치시킬 수 있다.Later, when another panel is supplied, the center point of the alignment mark of the panel and the center point of the image camera for positioning position fixed at the reference position are moved, and then the table is moved by using the offset value. Power leads can be matched.

앞에서도 언급한 바와 같이, 본 발명에서는 보정판(20)을 이용하여 위치 조정용 카메라의 기준 위치값을 구할 수 있다.As mentioned above, in the present invention, the reference position value of the position adjusting camera can be obtained using the correction plate 20.

상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치값을 구하기 위해서는 보정판의 보정마크(21)(22)의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면(43)의 중심점(43')을 일치시켜야 한다. 그런 후 상기 위치 조정용 카메라(41)(42)의 현 위치값(위치 조정용 카메라의 기준 위치값)을 저장하면 된다. In order to obtain the reference position value of the position adjusting camera, the center point of the correction marks 21 and 22 of the correction plate must match the center point 43 'of the position adjusting camera image surface 43. Then, the current position values (reference position values of the position adjustment camera) of the position adjustment cameras 41 and 42 may be stored.

만약, 보정판의 보정마크(21)(22)의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면(43)의 중심점(43')을 일치하지 않은 경우에는 모터(80)를 제어하여 테이블(10)을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 보정한다.If the center point of the correction marks 21 and 22 of the correction plate does not coincide with the center point 43 'of the position adjusting camera image surface 43, the motor 80 is controlled to control the table 10 by x, y. in the θ direction.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선의 일치 정도를 알아보기 위해 위치 조정용 카메라를 이용하여 촬영한 것을 보여주는 사시도이다. Figure 4 is a perspective view showing a photographing using a position adjustment camera to determine the degree of matching of the power supply line of the probe and the power lead-in line of the panel or the correction plate according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 제일 하부에는 보정판(20) 또는 패널(20a)이 위치하고, 그 상부에는 프로브(30)가 위치하며, 상기 프로브(30)의 상부에는 위치 조정용 카메라(41)(42)가 위치한다. Referring to FIG. 4, a correction plate 20 or a panel 20a is positioned at the bottom thereof, a probe 30 is positioned at an upper portion thereof, and a position adjusting camera 41 and 42 is positioned at an upper portion of the probe 30. Located.

물론 상기 보정판(20) 또는 패널(20a)의 하부에는 테이블(10)이 위치한다.Of course, the table 10 is positioned below the correction plate 20 or the panel 20a.

상기 각 구성 요소에 관한 설명은 도 1 설명부분에서 상세히 이루어졌으므로 여기서는 생략하기로 한다.Description of each component is made in detail in the description of Figure 1 will be omitted here.

도 4에서 위치조정용 카메라(41)(42)의 촬영 결과, 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치되면 프로브(30)를 하향시켜 패널(20a)에 전원공급이 이루어지도록 할 수 있다. 만약 두 선이 일치하지 않으면 제어부에서는 모터를 제어하여 테이블의 위치를 조정하게 된다.As a result of photographing the positioning cameras 41 and 42 in FIG. 4, when the power supply lines 31a to 31c of the probe and the power lead lines 24a to 26a of the panel coincide with each other, the probe 30 is lowered to the panel 20a. Power supply can be made. If the two lines do not match, the controller controls the motor to adjust the position of the table.

도면부호 24, 25, 26은 보정판의 전원 인입선을 나타내며, 21, 22는 보정판의 보정마크를 나타낸다.Reference numerals 24, 25, and 26 denote power supply lines of the correction plate, and 21 and 22 denote correction marks of the correction plate.

도 5 및 도 6은 도 4에서 위치 조정용 카메라를 이용하여 그 하부에 위치한 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선을 촬영한 것을 보여준다.5 and 6 show the power supply line of the probe located below the power supply line and the power lead line of the panel or the correction plate by using the position adjustment camera in FIG.

앞에서도 언급한 바와 같이 보정판을 이용하여 위치조정용 카메라의 기준 위치값을 구할 수 있다. 또한, 새로운 패널이 공급되었을 때, 우선 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치조정용 카메라의 영상면의 중심점을 일치시킨다. 그런 후 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치 여부를 확인한다.As mentioned above, the reference plate of the positioning camera can be obtained by using the correction plate. Further, when a new panel is supplied, first the center point of the alignment mark of the panel and the center point of the image plane of the positioning camera fixed to the reference position are matched. Then, it is checked whether the power supply lines 31a to 31c of the probe and the power lead lines 24a to 26a of the panel match.

만약, 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치하면 프로브를 하향시켜 패널에 전원을 공급시키면 된다.If the power supply lines 31a to 31c of the probe and the power lead lines 24a to 26a of the panel coincide with each other, as shown in FIG. 5, the probe may be lowered to supply power to the panel.

그러나 도 6에 도시된 바와 같이, 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치하지 않는 경우에는 테이블을 소정거리(x,y,θ)만큼 이동시켜 상기 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치시켜야 한다. 여기서, 상기 테이블의 이동거리(x,y,θ)를 '오프셋 값'이라 한다.However, as shown in FIG. 6, when the power supply lines 31a to 31c of the probe and the power lead lines 24a to 26a of the panel do not coincide, the table is moved by a predetermined distance (x, y, θ). The power supply line (31a ~ 31c) of the power supply line (24a ~ 26a) of the panel must match. Here, the moving distance (x, y, θ) of the table is referred to as an 'offset value'.

상기와 같이, 오프셋 값을 구하면 추후에 새로운 다른 패널을 공급하였을 때 상기 패널의 정렬마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 일치시킨 후 곧바로 상기 오프셋 값을 이용하여 테이블을 이동시키면 프로브의 전원 인입선과 패널의 전원 인입선을 일치시킬 수 있다.As described above, when the offset value is obtained, a table using the offset value immediately after matching with the center point of the alignment mark of the panel and the center point of the positioning camera image plane fixed to the reference position when a new panel is supplied later By moving, you can match the probe's power lead with the panel's power lead.

도 1, 도 7a를 참조하면, 본 발명에서는 먼저, 테이블(10) 위에 보정판(20)을 고정시킨다. 여기서, 테이블(10) 위에 보정판(20)을 위치시킬 때 스톱퍼(11 ~ 13) 및 진공 흡입부를 구비하여 이동시 자리 이탈이 이루어지지 않도록 한다. 1 and 7A, in the present invention, the correction plate 20 is first fixed on the table 10. Here, the stopper (11 to 13) and the vacuum suction unit when placing the correction plate 20 on the table 10 so as not to leave the seat during movement.

그런 후, 본 발명에서는 상기 보정판(20)을 프로브(30) 쪽으로 공급시킨다. 물론 상기 패널(20a)의 이동은 모터 구동에 따른 테이블(10)의 이동에 의해 이루어진다.(S101) Then, in the present invention, the correction plate 20 is supplied toward the probe 30. Of course, the movement of the panel 20a is made by the movement of the table 10 according to the driving of the motor (S101).

상기와 같이 보정판을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급한 후, 본 발명에서는 위치 조정용 카메라(41)(42)를 이용하여 그 하부에 위치한 보정판(20)의 영상을 획득한다.(S102) After fixing the correction plate to the upper part of the table as described above, and supplying it to the probe side, in the present invention, the image of the correction plate 20 positioned below is obtained by using the positioning cameras 41 and 42. (S102 )

그런 후, 상기 획득된 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단한다.(S103)Then, it is determined whether or not the center point of the obtained correction mark of the correction plate coincides with the center point of the position adjusting camera image surface (S103).

상기 단계 103에서 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 그 위치(위치 조정용 카메라의 기준 위치)값을 저장한다.(S104)If the center point of the correction mark of the correction plate and the center point of the image camera for position adjustment coincide in step 103, the position (reference position of the position adjustment camera) value is stored (S104).

만약 단계 103에서 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시킨다.(S105)If the center point of the correction mark of the correction plate does not coincide with the center point of the position adjusting camera image surface in step 103, the table is moved in the x, y, and θ directions to coincide the two center points.

상기에 나타난 바와 같이 본 발명에서는 단계 101 내지 단계 105를 거쳐 위치 조정용 카메라의 기준 위치값을 구한 후, 도 7b에 도시된 바와 같이 임의의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하고(S201), 위치 조정용 카메라를 이용하여 패널의 영상을 획득한다.(S202)As shown above, in the present invention, the reference position value of the positioning camera is obtained through steps 101 to 105, and an arbitrary panel is fixed to the top of the table as shown in FIG. In operation S202, an image of the panel is obtained by using a position adjusting camera.

그런 후, 상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단한다.(S203)Then, it is determined whether or not the center point of the obtained alignment mark of the panel coincides with the center point of the position adjusting camera image plane fixed at the reference position (S203).

상기 단계 203에서 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단한다.(S204)If the center point of the alignment mark of the panel coincides with the center point of the positioning camera image plane fixed at the reference position in step 203, it is determined whether the power supply line of the probe and the power lead line of the panel coincide with each other (S204).

또한, 상기 단계 204에서 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하면 프로브를 하향시켜 패널을 전원을 공급한(S205) 후, 패널의 상태를 검사한다.(S206)In addition, if the power supply line of the probe coincides with the power lead of the panel in step 204, the probe is lowered to supply power to the panel (S205), and then the state of the panel is inspected (S206).

만약, 단계 203에서 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점을 일치(S207)시킨다. If, in step 203, the center point of the alignment mark of the panel and the center point of the positioning camera image plane fixed to the reference position do not coincide, the table is moved in the x, y, and θ directions to be fixed to the center point and the reference position of the alignment mark of the panel. The center point of the positioned position adjusting camera image plane is matched (S207).

또한, 단계 204에서 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동(S208)시켜 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시킨 후, 상기 테이블의 이동거리(x, y, θ)인 오프셋 값을 저장한다(S209). 그런 후 단계 205 및 단계 206을 수행하면 된다.If the power supply line of the probe does not coincide with the power lead of the panel in step 204, the table is moved in the x, y, and θ directions (S208) to match the power supply line of the probe with the power lead of the panel, and then the table moves. An offset value that is a distance (x, y, θ) is stored (S209). Then step 205 and step 206 may be performed.

도 7c를 참조하여 다른 하나의 패널을 공급시킨 경우에 대해 살펴보기로 한다. 즉, 본 발명에서는 다른 하나의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급한다.(S301)A case in which another panel is supplied will be described with reference to FIG. 7C. That is, in the present invention, the other panel is fixed to the upper part of the table and then supplied to the probe side (S301).

그런 후, 상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득한다.(S302)Then, the image of the panel is obtained by the positioning camera (S302).

본 발명에서는 상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점을 단계 104에서 획득한 위치 조정용 카메라의 기준 위치와 일치시킨다.(S303) In the present invention, the center point of the obtained alignment mark of the panel coincides with the reference position of the positioning camera obtained in step 104 (S303).

그런 후, 본 발명에서는 상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단한다.(S304)Then, in the present invention, it is determined whether or not the power supply line of the probe and the power supply line of the panel match.

만약, 상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 단계 208에서 획득한 오프셋 값을 적용하여 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시킨다.(S307)If the power supply line of the probe and the power lead-in of the panel do not match, the offset value obtained in step 208 is applied to match the power supply line of the probe and the power lead-in of the panel (S307).

상기와 같이 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키면 본 발명에서는 프로브를 하향시켜 패널을 전원을 공급한(S305) 후, 패널의 상태를 검사한다.(S306)As described above, when the power supply line of the probe coincides with the power inlet line of the panel, the present invention lowers the probe to supply power to the panel (S305), and then inspects the state of the panel.

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and modified within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be appreciated that it can be changed.

따라서 본 발명은 보정판을 이용하여 위치조정용 카메라의 위치값과 패널 오프셋 값을 구한 후, 실제 제공되는 패널에 상기 값들을 적용시키는 패널 상태 검사 장치 및 그 방법을 제공함으로써 종래의 기술보다 용이하고 신속하게 패널의 상태를 검사할 수 있다.Accordingly, the present invention provides a panel state inspection apparatus and method for applying the above values to a panel provided after obtaining a position value and a panel offset value of a positioning camera using a correction plate, and more easily and quickly than the prior art. You can check the condition of the panel.

Claims

그 상부에 임의의 패널 또는 보정판을 고정시키는 테이블; A table for fixing any panel or correction plate thereon;

상기 테이블을 이동시키는 모터; A motor for moving the table;

상기 테이블의 상부에 위치하고, 상기 패널에 전원을 공급하는 프로브; A probe positioned at an upper portion of the table to supply power to the panel;

상기 프로브의 상부에 위치하고, 그 하부에 위치한 패널 또는 보정판, 프로브를 촬영하는 위치 조정용 카메라;A position adjusting camera positioned on an upper portion of the probe and positioned on a lower portion of the probe or a correction plate;

상기 패널에 전원이 인가된 후 패널의 상태를 검사하기 위해 패널의 영상을 획득하는 패널 상태 검사용 카메라; 및A panel state inspection camera for acquiring an image of the panel to inspect the state of the panel after power is applied to the panel; And

상기 테이블에 고정되어 공급되는 보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상의 보정마크를 이용하여 위치 조정용 카메라의 기준 위치를 결정하며, Obtaining an image of the correction plate fixedly supplied to the table with a positioning camera, and determining a reference position of the positioning camera using the correction mark of the obtained image,

새로 테이블에 고정되어 공급되는 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상을 분석하여 상기 공급된 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원 공급선이 일치하도록 테이블의 이동을 제어하며, Acquire an image of a panel, which is newly fixed to the table, using a positioning camera, and analyze the acquired image to control the movement of the table so that the power lead line of the supplied panel matches the power supply line of the probe.

상기 프로브의 전원 공급선이 패널의 전원 인입선과 접촉하면 패널 상태 검사용 카메라에서 패널의 영상을 획득하여 패널의 상태를 검사하는 기능을 포함하는 제어부;를 포함하고, And a controller including a function of inspecting a state of the panel by acquiring an image of the panel from a panel state inspection camera when the power supply line of the probe contacts the power lead of the panel.

상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치는 상기 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 보정판의 보정 마크의 중심점이 일치했을 때의 위치이고, The reference position of the position adjusting camera is a position when the center point of the position adjusting camera image plane coincides with the center point of the correction mark on the correction plate.

상기 패널의 영상 분석은 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점의 일치 여부를 분석하는 것이며, The image analysis of the panel is to analyze whether or not the center point of the alignment mark of the panel coincides with the center point of the positioning camera image plane fixed to the reference position,

만약 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 것이고,If the center point of the alignment mark of the panel and the center point of the positioning camera image plane fixed to the reference position do not coincide, the table is moved to match the two center points.

상기에서 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치시키고 나서, 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원공급선이 일치하지 않는 경우, 테이블을 소정 거리(오프셋 값)만큼 더 이동시켜 두 선(패널의 전원 인입선과 프로브의 전원공급선)을 일치시키는 것을 특징으로 하는 패널 상태 검사 장치.When the center point of the alignment mark of the panel coincides with the center point of the positioning camera image plane fixed at the reference position, and the power supply line of the panel does not match the power supply line of the probe, the table is a predetermined distance (offset value). The panel state inspection device, characterized in that the two lines (power lead line of the panel and the power supply line of the probe) to match.

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제 1항에 있어서, The method of claim 1,

테이블에 구비된 다수개의 스톱퍼와 진공 흡입부를 이용하여 상기 패널 또는 보정판을 테이블에 고정시키는 것을 특징으로 하는 패널상태 검사 장치. Panel state inspection device, characterized in that for fixing the panel or the correction plate to the table using a plurality of stoppers and a vacuum suction unit provided on the table.

패널 상태 검사 장치를 이용한 패널 상태 검사 방법에 있어서,In the panel state inspection method using the panel state inspection device,

보정판을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계;Fixing the compensating plate to the upper part of the table, and then feeding the compensating plate toward the probe;

보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계;Acquiring an image of the correction plate with a positioning camera;

상기 획득된 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계;Determining whether or not the center point of the correction mark of the correction plate and the center point of the position-adjusting camera image plane coincide with each other;

상기 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 그 위치(위치 조정용 카메라의 기준 위치)를 저장하는 단계;Storing a position (reference position of the position adjusting camera) when the center point of the correction mark of the correction plate coincides with the center point of the position adjusting camera image surface;

임의의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계;Securing any panel to the top of the table and then feeding it to the probe;

상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계;Acquiring an image of the panel with a positioning camera;

상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 여부를 판단하는 단계;Determining whether the center point of the obtained alignment mark of the panel coincides with the center point of the position adjusting camera image plane fixed to the reference position;

상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 여부를 판단하는 단계; 및Determining whether the power supply line of the probe coincides with the power lead line of the panel when the center point of the alignment mark of the panel coincides with the center point of the image camera for positioning, which is fixed at a reference position; And

프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하면 프로브를 이동시켜패널에 전원을 공급하고, 패널의 상태를 검사하는 단계를 포함하고,And moving the probe to supply power to the panel when the power supply line of the probe and the power lead line of the panel match, and inspecting a state of the panel,

상기 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 단계;를 더 포함하며,If the center point of the correction mark of the correction plate and the center point of the position adjustment camera image plane does not match, moving the table in the x, y, θ direction to match the two center points;

상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 단계;를 더 포함하고,If the center point of the alignment mark of the panel and the center point of the positioning camera image plane fixed to the reference position does not match, moving the table in the x, y, θ direction to match the two center points;

상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키는 단계; 및 If the power supply line of the probe and the power lead-in of the panel do not match, moving the table in the x, y, and θ directions so that the power supply line of the probe matches the power lead-in of the panel; And

상기 테이블의 이동 거리(x, y, θ)인 오프셋 값을 저장하는 단계;를 더 포함하며,And storing an offset value which is a moving distance (x, y, θ) of the table.

다른 하나의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계;Securing the other panel to the top of the table and then feeding it to the probe;

상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점을 상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치와 일치시키는 단계; Matching a center point of the obtained alignment mark of the panel with a reference position of the positioning camera;

프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계;Determining whether the power supply line of the probe and the power lead-in of the panel match;

프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 오프셋 값을 적용하여 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키는 단계; 및If the power supply line of the probe does not match the power lead-in of the panel, applying an offset value to match the power supply line of the probe with the power lead-in of the panel; And

프로브를 하향시켜 패널에 전원을 공급하고, 패널의 상태를 검사하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.And lowering the probe to supply power to the panel and inspecting the state of the panel.

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제 5항에 있어서, The method of claim 5,

프로브에서 패널로의 전원 공급은 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선의 접촉으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법. The power supply from the probe to the panel is a panel state inspection method, characterized in that the contact between the power supply line of the probe and the power supply line of the panel.

제 5 항 또는 10항에 있어서, The method of claim 5 or 10,

프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치/불일치 여부 판단은 프로브 상부에 위치한 위치 조정용 카메라를 이용하여 상기 프로브의 전원 공급선과 보정판의 전원 인입선을 동시에 촬영하여 상기 두 선의 일치/불일치 여부로 판단하는 것을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.The determination of whether the power supply line of the probe and the power lead-in of the panel match or mismatch is performed by simultaneously photographing the power supply line of the probe and the power lead-in of the compensating plate by using a positioning camera located on the upper part of the probe to determine whether the two wires match or mismatch. Panel state inspection method, characterized in that.

제 5 항 또는 10항에 있어서, The method of claim 5 or 10,

테이블에 구비된 다수개의 스톱퍼와 진공 흡입부를 이용하여 상기 패널 또는 보정판을 테이블에 고정시키는 것을 특징으로 하는 패널상태 검사 방법. And a panel or a correction plate fixed to the table using a plurality of stoppers and a vacuum suction unit provided in the table.