KR102172246B1 - Apparatus and method for inspecting display based on machine vision - Google Patents

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KR102172246B1
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Abstract

Disclosed are a display inspection device and a display inspection method based on machine vision. According to one embodiment of the present invention, the display inspection method based on machine vision comprises: a step of obtaining a first inspection image capturing a display panel when the display panel is mounted on an inspection stage; a step of performing first inspection with respect to overall states of the display panel based on the first inspection image; a step of setting a partial area of the display panel as a specific inspection area based on a result of the first inspection; a step of obtaining a second inspection image capturing the specific inspection area; and a step of performing second inspection with respect to color uniformity and brightness uniformity of the specific inspection area based on the second inspection image.

Description

머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING DISPLAY BASED ON MACHINE VISION}Machine vision-based display inspection device and method {APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING DISPLAY BASED ON MACHINE VISION}

본원은 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present application relates to a machine vision-based display inspection apparatus and method.

머신 비전은 다양한 소프트웨어 및 하드웨어의 조합으로 여러 산업에서 생산되는 제품의 품질을 관리하기 위한 기술을 총칭하며, 생산 라인 상에 장착된 카메라, 광학계, 조명 등의 하드웨어를 통해 다양한 제조 산업 분야의 최종 제품을 검사하기 위하여 제품의 이미지를 획득하고, 획득한 이미지를 분석하고 검사하기 위한 소프트웨어를 통해 이미지 프로세싱을 수행한다.Machine vision is a generic term for technology to manage the quality of products produced in various industries with a combination of various software and hardware, and the final product in various manufacturing industries through hardware such as cameras, optical systems, and lighting installed on the production line. In order to inspect the product, an image of the product is acquired, and image processing is performed through software for analyzing and inspecting the acquired image.

이와 관련하여, 제품의 품질 검사 및 공정 자동화에 대한 필요성 증가, 비전 가이드 로봇 시스템에 대한 수요 증가, 특정 용도의 머신 비전 시스템에 대한 수요 증가 등에 의해 머신 비전 관련 시장이 지속적으로 성장하고 있다.In this regard, the machine vision-related market is continuously growing due to the increasing need for product quality inspection and process automation, increasing demand for vision guide robot systems, and increasing demand for machine vision systems for specific purposes.

소정의 제품 생산을 위한 공정과 연계된 머신 비전 검사 시스템을 도입하기 위하여는 통상적으로 검사 환경의 확인 및 시스템의 사양 결정을 위하여 머신 비전 시스템 공급업체 측의 인원이 직접 해당 현장을 방문하여 조건을 체크하고 여러 번의 테스트를 통해 사양을 결정하였으므로 종래의 머신 비전 시스템은 그 도입에 많은 시간과 비용이 낭비되는 문제점을 갖고 있었다.In order to introduce a machine vision inspection system linked to a process for producing a predetermined product, the machine vision system supplier's personnel directly visit the site and check the conditions in order to check the inspection environment and determine the system specifications. Since the specification was determined through several tests, the conventional machine vision system had a problem that a lot of time and money were wasted in its introduction.

이를 보완하고자 카메라, 렌즈, 케이블, 내장 프로세서 등으로 구성된 통합형 머신 비전 시스템인 스마트 카메라가 출시된바 있으나, 머신 비전에 대한 지식이 부족한 일반인들은 손쉽게 접근하기가 어렵다는 문제점과 스마트 카메라의 가격이 매우 고가이어서 머신 비전 시스템을 도입하고자 하는 현장에서 검사용으로 활용하기에 적절하지 않은 문제점을 갖는다.To compensate for this, a smart camera, an integrated machine vision system composed of cameras, lenses, cables, and built-in processor, has been released.However, the problem that it is difficult for ordinary people who lack knowledge about machine vision to easily access them, and the price of smart cameras is very high. Subsequently, there is a problem that is not suitable for use for inspection in the field where the machine vision system is to be introduced.

디스플레이는 각종 전자기기에서 화면 표시 장치로 사용되는 산업 분야로, 이러한 디스플레이 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)와 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode; OLED) 표시 장치가 주로 이용된다. 액정 표시 장치는 굴절율 및 유전율 등의 이방성을 갖는 액정의 전기적 및 광학적 특성을 이용하여 화상을 표시하는 것으로, 각 화소가 데이터 신호에 따른 액정 배열 방향의 가변으로 편광판을 투과하는 광 투과율을 조절할 수 있다. 유기 발광 다이오드 표시 장치는 전자와 정공의 재결합으로 유기 발광층을 발광시키는 자발광 소자로 휘도가 높고 구동 전압이 낮으며 초박막화가 가능한 장점을 갖는다. 유기 발광 다이오드 표시 장치는 각 화소의 구동 회로가 데이터 신호에 따라 유기 발광 다이오드로 공급되는 전류의 크기를 조절할 수 있다. A display is an industrial field used as a screen display device in various electronic devices, and such display devices include a liquid crystal display (LCD) and an organic light emitting diode (OLED) display device. The liquid crystal display displays an image by using the electrical and optical characteristics of a liquid crystal having anisotropy such as refractive index and dielectric constant, and each pixel can adjust the light transmittance through the polarizing plate by varying the liquid crystal arrangement direction according to the data signal. . The organic light emitting diode display is a self-luminous device that emits light through an organic emission layer through recombination of electrons and holes, and has advantages of high luminance, low driving voltage, and ultra-thin film. In the organic light emitting diode display, the driving circuit of each pixel may adjust the amount of current supplied to the organic light emitting diode according to a data signal.

특히, 유기 발광 다이오드의 제조 공정에서 가장 큰 원가를 차지하는 OLED 패널 제작 시의 높은 수율을 달성하기 위하여는 공정 최적화 및 패널 검사 기술이 필수적이다. 또한, 패턴이 미세화되고 커버글라스와 같은 부속품에 대한 수율 향상도 디스플레이 분야 제조 공정에서 그 중요성이 부각되고 있어 자동화 검사장비에 대한 수요 증가가 예측된다.In particular, in order to achieve a high yield when manufacturing an OLED panel, which accounts for the largest cost in the manufacturing process of an organic light emitting diode, process optimization and panel inspection technology are essential. In addition, the importance of the pattern being refined and the yield improvement for accessories such as cover glass is emerging in the manufacturing process in the display field, and the demand for automated inspection equipment is expected to increase.

본원의 배경이 되는 기술은 한국등록특허공보 제10-1182768호에 개시되어 있다.The technology behind the present application is disclosed in Korean Patent Publication No. 10-1182768.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 검사 대상체인 디스플레이 패널의 전체 영역을 고려한 1차 검사를 선행하여 수행하고 1차 검사 결과에 기초하여 세부 검사 영역을 설정하고, 설정된 세부 검사 영역에 대한 2차 검사를 통해 디스플레이 패널의 결함을 세밀하게 탐지할 수 있는 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치 및 방법을 제공하려는 것을 목적으로 한다.The present application is to solve the above-described problems of the prior art, prior to performing a first inspection considering the entire area of the display panel as an object, setting a detailed inspection area based on the first inspection result, and setting the detailed inspection area An object of the present invention is to provide a machine vision-based display inspection apparatus and method capable of detecting a defect of a display panel in detail through a secondary inspection of

다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical problem to be achieved by the embodiment of the present application is not limited to the technical problems as described above, and other technical problems may exist.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법은, 디스플레이 패널이 검사 스테이지에 안착된 상태에서 상기 디스플레이 패널을 촬영한 제1검사 이미지를 획득하는 단계, 상기 제1검사 이미지에 기초하여 상기 디스플레이 패널의 전체 상태에 대한 제1검사를 수행하는 단계, 상기 제1검사 결과에 기초하여 상기 디스플레이 패널 중 일부 영역을 세부 검사 영역으로 설정하는 단계, 상기 세부 검사 영역을 촬영한 제2검사 이미지를 획득하는 단계 및 상기 제2검사 이미지에 기초하여 상기 세부 검사 영역의 밝기 균일도 및 색상 균일도에 대한 제2검사를 수행하는 단계를 포함할 수 있다.As a technical means for achieving the above-described technical problem, the machine vision-based display inspection method according to an embodiment of the present application acquires a first inspection image taken of the display panel while the display panel is seated on an inspection stage. Performing a first inspection on the entire state of the display panel based on the first inspection image, setting a partial area of the display panel as a detailed inspection area based on the first inspection result, And obtaining a second inspection image photographing the detailed inspection area, and performing a second inspection for brightness uniformity and color uniformity of the detailed inspection area based on the second inspection image.

또한, 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법은, 상기 세부 검사 영역으로 설정하는 단계 이후에, 설정된 상기 세부 검사 영역의 위치 정보 및 면적 정보에 기초하여 상기 세부 검사 영역에 조사되는 광을 조정하는 단계를 포함할 수 있다.In addition, the machine vision-based display inspection method according to an embodiment of the present application, after the step of setting the detailed inspection area, is irradiated to the detailed inspection area based on the set location information and area information of the detailed inspection area. It may include adjusting the light.

또한, 상기 세부 검사 영역으로 설정하는 단계는, 상기 제1검사 결과 상기 디스플레이 패널의 얼라인 상태 및 압흔 상태 중 적어도 하나가 미리 설정된 기준을 미충족하는 것으로 검출된 결함 영역을 포함하도록 상기 세부 검사 영역을 설정할 수 있다.In addition, the step of setting the detailed inspection area as a result of the first inspection comprises setting the detailed inspection area to include a defect area detected as not satisfying a preset criterion at least one of an alignment state and an indentation state of the display panel. Can be set.

또한, 상기 세부 검사 영역으로 설정하는 단계는, 상기 디스플레이 패널의 유형 정보, 상기 디스플레이 패널에 적용된 공정 정보 및 검출된 상기 결함 영역과 연계된 결함 유형 정보 중 적어도 하나를 고려하여 상기 결함 영역과 관련도가 소정 수준 이상일 것으로 예측되는 연관 영역을 더 포함하도록 상기 세부 검사 영역을 설정할 수 있다.In addition, the setting of the detailed inspection area may include a degree of relation to the defect area in consideration of at least one of type information of the display panel, process information applied to the display panel, and defect type information associated with the detected defect area. The detailed inspection area may be set to further include a related area predicted to be equal to or greater than a predetermined level.

또한, 상기 연관 영역은, 디스플레이 패널의 유형 또는 디스플레이 패널에서 발생 가능한 결함의 유형에 따른 결함 형상 분포에 대한 데이터를 저장하는 미리 구축된 데이터베이스를 참조하여 결정될 수 있다.In addition, the association area may be determined with reference to a pre-built database that stores data on a defect shape distribution according to a type of a display panel or a type of defect that may occur in the display panel.

또한, 상기 제2검사를 수행하는 단계는, 상기 디스플레이 패널이 OLED 패널이면, 상기 디스플레이 패널에 포함된 복수의 셀 중 상기 세부 검사 영역에 대응되는 셀이 점등된 상태에서 촬영된 상기 제2검사 이미지에 기초하여 수행될 수 있다.In addition, the performing of the second inspection may include, if the display panel is an OLED panel, the second inspection image taken while a cell corresponding to the detailed inspection area among a plurality of cells included in the display panel is lit. Can be performed on the basis of.

한편, 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치는, 검사 대상체인 디스플레이 패널이 안착되는 검사 스테이지, 상기 디스플레이 패널에 소정의 광을 조사하는 광 조사부, 상기 디스플레이 패널에 소정의 광이 조사된 상태에서 상기 디스플레이 패널을 촬영한 검사 이미지를 획득하는 카메라부 및 상기 검사 이미지에 기초하여 상기 디스플레이 패널의 얼라인 상태, 압흔 상태, 밝기 균일도 및 색상 균일도 중 적어도 하나에 대한 검사를 수행하는 검사부를 포함할 수 있다.On the other hand, the machine vision-based display inspection apparatus according to an exemplary embodiment of the present disclosure includes an inspection stage on which a display panel as an object is mounted, a light irradiation unit that irradiates a predetermined light to the display panel, and a predetermined light is applied to the display panel. A camera unit that acquires an inspection image photographed of the display panel in the irradiated state, and an inspection unit that performs inspection on at least one of an alignment state, an indentation state, brightness uniformity, and color uniformity of the display panel based on the inspection image It may include.

또한, 상기 검사부는, 상기 디스플레이 패널이 상기 검사 스테이지에 안착된 상태에서 상기 카메라부가 상기 디스플레이 패널을 촬영한 제1검사 이미지에 기초하여 상기 디스플레이 패널의 전체 상태에 대한 제1검사를 수행하는 제1검사부, 상기 제1검사 결과에 기초하여 상기 디스플레이 패널 중 일부 영역을 세부 검사 영역으로 설정하는 영역 설정부, 상기 카메라부가 설정된 상기 세부 검사 영역을 촬영한 제2검사 이미지에 기초하여 상기 세부 검사 영역의 밝기 균일도 및 색상 균일도에 대한 제2검사를 수행하는 제2검사부를 포함할 수 있다.In addition, the inspection unit, a first inspection for the entire state of the display panel based on the first inspection image, the camera unit photographed the display panel in a state in which the display panel is seated on the inspection stage. An inspection unit, an area setting unit for setting a partial area of the display panel as a detailed inspection area based on the first inspection result, and a second inspection image of the detailed inspection area set by the camera unit It may include a second inspection unit that performs a second inspection on the brightness uniformity and color uniformity.

또한, 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치는, 설정된 상기 세부 검사 영역의 위치 정보 및 면적 정보에 기초하여 상기 카메라부의 촬영 방향 및 상기 카메라부의 초점 거리를 조정하고, 상기 광 조사부가 상기 세부 검사 영역을 향하여 광을 조사하도록 상기 광 조사부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.In addition, the machine vision-based display inspection apparatus according to an embodiment of the present disclosure adjusts the photographing direction of the camera unit and the focal length of the camera unit based on the set location information and area information of the detailed inspection area, and the light irradiation unit May include a control unit for controlling the light irradiation unit to irradiate light toward the detailed inspection area.

또한, 상기 영역 설정부는, 상기 제1검사 결과, 상기 디스플레이 패널의 얼라인 상태 및 압흔 상태 중 적어도 하나가 미리 설정된 기준을 미충족하는 것으로 검출된 결함 영역 및 상기 디스플레이 패널의 유형 정보, 상기 디스플레이 패널에 적용된 공정 정보 및 검출된 상기 결함 영역과 연계된 결함 유형 정보 중 적어도 하나를 고려하여 상기 결함 영역과 관련도가 소정 수준 이상일 것으로 예측되는 연관 영역을 포함하도록 상기 세부 검사 영역을 설정할 수 있다.In addition, the area setting unit, as a result of the first inspection, detects that at least one of an alignment state and an indentation state of the display panel does not meet a preset criterion, and information on the type of the display panel, and the display panel In consideration of at least one of applied process information and defect type information associated with the detected defect area, the detailed inspection area may be set to include a related area predicted to have a degree of relevance of the defect area or higher.

또한, 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치는, 상기 검사 스테이지에 검사 대상에 해당하는 상기 디스플레이 패널을 공급하는 로딩부 및 상기 제1검사 결과 및 상기 제2검사 결과 중 적어도 하나에 기초하여 검사 완료된 상기 디스플레이 패널을 구분하여 배출하는 언로딩부를 포함할 수 있다.In addition, the machine vision-based display inspection apparatus according to an embodiment of the present disclosure includes a loading unit supplying the display panel corresponding to an inspection object to the inspection stage, and at least one of the first inspection result and the second inspection result. It may include an unloading unit that separates and discharges the inspected display panel on the basis of.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.The above-described problem solving means are merely exemplary and should not be construed as limiting the present application. In addition to the above-described exemplary embodiments, additional embodiments may exist in the drawings and detailed description of the invention.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 검사 대상체인 디스플레이 패널의 전체 영역을 고려한 1차 검사를 선행하여 수행하고 1차 검사 결과에 기초하여 세부 검사 영역을 설정하고, 설정된 세부 검사 영역에 대한 2차 검사를 통해 디스플레이 패널의 결함을 세밀하게 탐지할 수 있는 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치 및 방법을 제공할 수 있다.According to the above-described problem solving means of the present application, the first inspection in consideration of the entire area of the display panel, which is the object to be examined, is performed in advance, and the detailed inspection area is set based on the first inspection result, and the second inspection area is It is possible to provide a machine vision-based display inspection apparatus and method capable of detecting a defect in a display panel in detail through inspection.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 검사 대상체인 디스플레이 패널에 대한 전체 검사인 1차 검사에서 탐지된 결함 영역 및 해당 디스플레이 패널의 유형, 디스플레이 패널에 적용된 제조 공정 등을 고려하여 탐지된 결함 영역과 관련도가 높을 것으로 예측되는 연관 영역을 함께 세부 검사 영역으로 설정하고 후속하여 세부적인 2차 검사를 수행함으로써 검사 속도의 향상 및 미세한 결함을 놓치지 않고 효과적으로 탐지하는 검사 정확도의 향상을 함께 획득할 수 있다.According to the above-described problem solving means of the present application, the defect area detected in consideration of the defect area detected in the primary inspection, which is the entire inspection of the display panel as an object, the type of the display panel, and the manufacturing process applied to the display panel, By setting the related area predicted to have high relevance as a detailed inspection area and subsequently performing a detailed secondary inspection, it is possible to obtain both an improvement in inspection speed and inspection accuracy that effectively detects minute defects without missing. .

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치에 의해 탐지된 디스플레이 패널의 결함 발생 정보를 데이터베이스화 하여 관리하고 이를 추후의 검사에 활용함으로써 검사가 많이 반복될수록 연관성 있는 결함을 용이하게 탐지하고 나아가 결함 발생 빈도가 높아 공정 상의 하자가 존재하는 것으로 예측되는 제조 공정에 대한 피드백을 제공할 수 있다.According to the above-described problem solving means of the present application, the defect occurrence information of the display panel detected by the machine vision-based display inspection device is managed as a database and used for subsequent inspection, so that the more the inspection is repeated, the easier the related defect is. In addition, it is possible to provide feedback on the manufacturing process that is predicted to have defects in the process due to the high frequency of defects.

다만, 본원에서 얻을 수 있는 효과는 상기된 바와 같은 효과들로 한정되지 않으며, 또 다른 효과들이 존재할 수 있다.However, the effect obtainable in the present application is not limited to the effects as described above, and other effects may exist.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치를 포함하는 머신 비전 검사 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치의 검사부의 구성도이다.
도 4는 세부 검사 영역 중 연관 영역을 설정하기 위하여 고려되는 디스플레이 패널의 유형 또는 디스플레이 패널에서 발생 가능한 결함의 유형에 따른 결함 형상 분포에 대한 데이터를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법에 대한 동작 흐름도이다.
1 is a schematic configuration diagram of a machine vision inspection system including a machine vision-based display inspection apparatus according to an embodiment of the present disclosure.
2 is a schematic configuration diagram of a machine vision-based display inspection apparatus according to an embodiment of the present application.
3 is a block diagram of an inspection unit of a machine vision-based display inspection apparatus according to an embodiment of the present disclosure.
4 is a diagram illustrating data on a defect shape distribution according to a type of a display panel considered to set a related area among detailed inspection areas or a type of defect that may occur in the display panel.
5 is a flowchart illustrating a machine vision-based display inspection method according to an exemplary embodiment of the present disclosure.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present application. However, the present application may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in the drawings, parts not related to the description are omitted in order to clearly describe the present application, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결" 또는 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. Throughout the present specification, when a part is said to be "connected" with another part, it is not only the case that it is "directly connected", but also "electrically connected" or "indirectly connected" with another element interposed therebetween. "Including the case.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a member is positioned "on", "upper", "upper", "under", "lower", and "lower" of another member, this means that a member is located on another member. It includes not only the case where they are in contact but also the case where another member exists between the two members.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification of the present application, when a certain part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

본원은 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present application relates to a machine vision-based display inspection apparatus and method.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치를 포함하는 머신 비전 검사 시스템의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a machine vision inspection system including a machine vision-based display inspection apparatus according to an embodiment of the present disclosure.

도 1을 참조하면, 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 검사 시스템(10)은 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치(100)(이하, '검사 장치(100)'라 한다.) 및 검사 결과 표시 단말(200)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a machine vision inspection system 10 according to an exemplary embodiment of the present disclosure includes a machine vision-based display inspection apparatus 100 (hereinafter referred to as “inspection apparatus 100”) and an inspection result display terminal. It may include (200).

검사 장치(100) 및 검사 결과 표시 단말(200) 상호간은 네트워크(20)를 통해 통신할 수 있다. 네트워크(20)는 단말들 및 서버들과 같은 각각의 노드 상호간에 정보 교환이 가능한 연결 구조를 의미하는 것으로, 이러한 네트워크(20)의 일 예에는, 3GPP(3rd Generation Partnership Project) 네트워크, LTE(Long Term Evolution) 네트워크, 5G 네트워크, WIMAX(World Interoperability for Microwave Access) 네트워크, 인터넷(Internet), LAN(Local Area Network), Wireless LAN(Wireless Local Area Network), WAN(Wide Area Network), PAN(Personal Area Network), wifi 네트워크, 블루투스(Bluetooth) 네트워크, 위성 방송 네트워크, 아날로그 방송 네트워크, DMB(Digital Multimedia Broadcasting) 네트워크 등이 포함되나 이에 한정되지는 않는다.The test apparatus 100 and the test result display terminal 200 may communicate with each other through the network 20. The network 20 refers to a connection structure in which information exchange is possible between respective nodes such as terminals and servers, and examples of such a network 20 include a 3rd Generation Partnership Project (3GPP) network, and a Long Term Evolution) network, 5G network, WIMAX (World Interoperability for Microwave Access) network, Internet, LAN (Local Area Network), Wireless LAN (Wireless Local Area Network), WAN (Wide Area Network), PAN (Personal Area) Network), a wifi network, a Bluetooth network, a satellite broadcasting network, an analog broadcasting network, and a Digital Multimedia Broadcasting (DMB) network, but are not limited thereto.

검사 결과 표시 단말(200)은 예를 들면, 스마트폰(Smartphone), 스마트패드(SmartPad), 태블릿 PC등과 PCS(Personal Communication System), GSM(Global System for Mobile communication), PDC(Personal Digital Cellular), PHS(Personal Handyphone System), PDA(Personal Digital Assistant), IMT(International Mobile Telecommunication)-2000, CDMA(Code Division Multiple Access)-2000, W-CDMA(W-Code Division Multiple Access), Wibro(Wireless Broadband Internet) 단말기 같은 모든 종류의 유무선 통신 장치일 수 있다.The test result display terminal 200 includes, for example, a smartphone, a smart pad, a tablet PC, and a personal communication system (PCS), a global system for mobile communication (GSM), a personal digital cellular (PDC), PHS(Personal Handyphone System), PDA(Personal Digital Assistant), IMT(International Mobile Telecommunication)-2000, CDMA(Code Division Multiple Access)-2000, W-CDMA(W-Code Division Multiple Access), Wibro(Wireless Broadband Internet) ) It can be any kind of wired or wireless communication device such as a terminal.

본원의 검사 장치(100)는 LCD, OLED 등의 디스플레이 패널의 불량 유무를 검사할 수 있다.The inspection apparatus 100 of the present application may inspect the presence or absence of defects in display panels such as LCD and OLED.

도 2는 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치의 개략적인 구성도이다.2 is a schematic configuration diagram of a machine vision-based display inspection apparatus according to an embodiment of the present application.

도 2를 참조하면, 검사 장치(100)는, 로딩부(110), 검사 스테이지(120), 광 조사부(130), 카메라부(140), 검사부(150), 제어부(160) 및 언로딩부(170)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the inspection apparatus 100 includes a loading unit 110, an inspection stage 120, a light irradiation unit 130, a camera unit 140, an inspection unit 150, a control unit 160, and an unloading unit. It may include 170.

로딩부(110)는, 검사 스테이지(120)에 검사 대상에 해당하는 디스플레이 패널(1)을 공급할 수 있다. 검사 스테이지(120)에는 로딩부(110)에 의해 공급된 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)이 안착될 수 있다.The loading unit 110 may supply the display panel 1 corresponding to the inspection target to the inspection stage 120. A display panel 1 as an object supplied by the loading unit 110 may be mounted on the inspection stage 120.

본원의 일 실시예에 따르면, 로딩부(110)는 공급되는 디스플레이 패널(1)의 유형 정보를 획득하는 센서(미도시)를 포함할 수 있다. 또한, 로딩부(110)에 구비되는 센서(미도시)는 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)에 적용된 공정 정보를 획득할 수 있다. 여기서, 공정 정보는 디스플레이 패널(1)을 제조하는 각각의 하위 공정(프로세스)에 관한 정보로서, 로딩부(110)에 의해 검사 장치(100)로 공급되기에 앞서 선행된 복수의 공정 간의 순서 정보, 각각의 하위 공정 별 작업 내용에 관한 정보(공정에 활용된 기기, 작업자, 작업 대상 파트, 작업 일시/시각 등)를 포함할 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니다.According to an exemplary embodiment of the present disclosure, the loading unit 110 may include a sensor (not shown) that acquires type information of the supplied display panel 1. In addition, a sensor (not shown) provided in the loading unit 110 may obtain process information applied to the display panel 1 as an object. Here, the process information is information on each sub-process (process) of manufacturing the display panel 1, and information on the sequence between a plurality of preceding processes prior to being supplied to the inspection apparatus 100 by the loading unit 110 , It may include information on the work content for each sub-process (equipment used in the process, worker, work target part, work date/time, etc.), but is not limited thereto.

예를 들어, 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)에는 선행된 공정이 완료될 때마다 해당 공정과 연계된 공정 정보를 포함하는 식별 태그가 부착되고, 로딩부(110)의 센서(미도시)가 부착된 식별 태그를 읽음으로써 디스플레이 패널(1)의 유형 정보 및 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)에 적용된 공정 정보를 획득하는 것일 수 있다.For example, an identification tag including process information related to the process is attached to the display panel 1, which is an object, whenever a preceding process is completed, and a sensor (not shown) of the loading unit 110 is attached. By reading the identified identification tag, type information of the display panel 1 and process information applied to the display panel 1 as an object may be obtained.

상기에서 설명한 디스플레이 패널(1)의 유형 정보 및 디스플레이 패널(1)에 적용된 공정 정보를 획득하는 센서는 본원의 구현예에 따라 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)이 안착되는 검사 스테이지(120)에 마련되는 것일 수 있다. 달리 말해, 로딩부(110) 및 검사 스테이지(120) 중 적어도 하나는 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)의 유형 정보 및 디스플레이 패널(1)에 적용된 공정 정보 중 적어도 하나를 획득하는 센서를 포함할 수 있다.The sensor for acquiring the type information of the display panel 1 described above and the process information applied to the display panel 1 is provided on the inspection stage 120 on which the display panel 1 as an object is mounted according to the embodiment of the present application. It can be. In other words, at least one of the loading unit 110 and the inspection stage 120 may include a sensor that acquires at least one of type information of the display panel 1 as an object and process information applied to the display panel 1. have.

광 조사부(130)는 검사 스테이지(120)에 안착된 디스플레이 패널(1)에 소정의 광을 조사할 수 있다.The light irradiation unit 130 may irradiate a predetermined light onto the display panel 1 mounted on the inspection stage 120.

카메라부(140)는, 디스플레이 패널에 광 조사부(130)에 의해 소정의 광이 조사된 상태에서 디스플레이 패널(1)을 촬영한 검사 이미지를 획득할 수 있다. 이와 관련하여, 후술하는 바와 같이 카메라부(140)에 의해 촬영되는 검사 이미지는 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)의 전체 영역을 촬영한 제1검사 이미지 및 1차 검사 결과에 따라 세부 검사 영역으로 설정된 영역을 촬영한 제2검사 이미지를 포함할 수 있다.The camera unit 140 may acquire an inspection image taken of the display panel 1 in a state in which a predetermined light is irradiated onto the display panel by the light irradiation unit 130. In this regard, as described later, the inspection image captured by the camera unit 140 is set as a detailed inspection area according to the first inspection image and the primary inspection result of the entire area of the display panel 1 as the object. It may include a second inspection image photographing the area.

검사부(150)는, 카메라부(140)에 의해 획득된 검사 이미지에 기초하여 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)의 얼라인 상태, 압흔 상태, 밝기 균일도 및 색상 균일도 중 적어도 하나에 대한 검사를 수행할 수 있다.The inspection unit 150 may perform an inspection on at least one of an alignment state, an indentation state, a brightness uniformity, and a color uniformity of the display panel 1, which is an object, based on the inspection image acquired by the camera unit 140. I can.

도 3은 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치의 검사부의 구성도이다.3 is a block diagram of an inspection unit of a machine vision-based display inspection apparatus according to an embodiment of the present disclosure.

도 3을 참조하면, 검사부(150)는, 제1검사부(151), 영역 설정부(152) 및 제2검사부(153)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the inspection unit 150 may include a first inspection unit 151, an area setting unit 152, and a second inspection unit 153.

제1검사부(151)는 디스플레이 패널(1)이 검사 스테이지에 안착된 상태에서 카메라부(140)가 안착된 디스플레이 패널(1)을 촬영한 제1검사 이미지에 기초하여 디스플레이 패널(1)의 전체 상태에 대한 제1검사를 수행할 수 있다. 여기서, 제1검사 이미지란, 디스플레이 패널(1)의 전체 영역을 촬영한 것을 의미할 수 있다. 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이 검사 스테이지(120)의 상면에 안착된 디스플레이 패널(1)을 카메라부(140)가 상측에서 하측 방향으로 촬영하는 경우, 상하 방향에 직교하는 면방향을 기준으로 디스플레이 패널(1)의 전체 영역이 포함되도록 하는 촬영 위치, 촬영 방향 및 초점 거리에 기초하여 카메라부(140)가 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)을 촬영하여 제1검사 이미지를 획득하는 것으로 이해될 수 있다.The first inspection unit 151 includes the entire display panel 1 based on the first inspection image taken of the display panel 1 on which the camera unit 140 is mounted while the display panel 1 is mounted on the inspection stage. A first check for the condition can be performed. Here, the first inspection image may mean a photograph of the entire area of the display panel 1. Specifically, as shown in FIG. 1, when the camera unit 140 photographs the display panel 1 seated on the upper surface of the inspection stage 120 from the upper side to the lower side, based on the surface direction orthogonal to the vertical direction. It will be understood that the camera unit 140 acquires a first inspection image by photographing the display panel 1 as an object based on a photographing position, a photographing direction, and a focal distance such that the entire area of the display panel 1 is included. I can.

또한, 전체 상태를 검사한다는 것은 예를 들어 제1검사를 통해 제1검사 이미지로부터 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)의 전체적인 상태, 예를 들어, 균열(crack), 이물, 얼룩, 훼손 등 시각적으로 확인 가능한 결함의 존부를 판단하는 외형 검사, 디스플레이 패널(1)의 유형 정보에 기초하여 미포함(누락)된 부품의 존부, 부품 개수 카운팅, 소정의 표시면 패턴 충족 여부, 규격(사이즈, 폴딩(folding) 각도, 면적 등) 검사, 색상 검사, 표면 보호용 부재(예를 들면 필름 등)의 접합 적합성 등을 검사한다는 것을 의미할 수 있다.In addition, inspecting the entire state is, for example, from the first inspection image through the first inspection, the overall state of the display panel 1 as the object, for example, a crack, foreign matter, stain, damage, etc. visually. Appearance inspection to determine the presence or absence of identifiable defects, presence or absence of non-included (missing) parts based on the type information of the display panel 1, counting of the number of parts, whether a predetermined display surface pattern is met, specifications (size, folding ) Angle, area, etc.) inspection, color inspection, it may mean that the bonding suitability of the surface protection member (for example, film, etc.) is inspected.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 제1검사는 제1검사 이미지를 기초로 한 디스플레이 패널(1)의 얼라인 상태 및 압흔 상태에 대한 검사를 포함할 수 있다.In addition, according to an exemplary embodiment of the present disclosure, the first inspection may include an inspection of an alignment state and an indentation state of the display panel 1 based on the first inspection image.

구체적으로, 압흔 상태에 대한 제1검사는, 디스플레이 패널(1)의 하위 제조 공정에서 디스플레이 패널(1)에 가해진 불측의 국부적인 압력으로 인하여 특정 영역이 밝거나 어둡게 나타나는 제1검사 이미지의 소정 영역을 결함 영역으로 탐지하는 것을 의미할 수 있다. 예를 들어, 압흔 상태 검사는 제1검사 이미지의 픽셀의 RGB 값, 디스플레이 패널(1)에 대한 분광 분석 결과, 휘도 분포 검사 등을 통해 수행될 수 있다.Specifically, the first inspection for the indentation state is a predetermined area of the first inspection image in which a specific area is bright or dark due to an unfavorable local pressure applied to the display panel 1 in a lower manufacturing process of the display panel 1 It may mean detecting as a defective area. For example, the indentation state inspection may be performed through an RGB value of a pixel of the first inspection image, a spectral analysis result of the display panel 1, a luminance distribution inspection, and the like.

특히, 휴대용 전자기기에 탑재되는 디스플페이 패널(1)의 경우, 전자기기의 화면을 저전압 구동, 저소비 전력, 풀 칼라 구현 등의 세부 제어 특성을 구현하있도록 디스플레이 패널(1)의 내부에 실장되는 여러 형태의 고밀도 반도체 칩을 포함할 수 있다. 예를 들어, 이러한 반도체 칩을 디스플레이 패널(1)에 실장하기 위한 방식으로는 COG(chip on glass)방식, FOG(film on glass)방식, COF(chip on flex)방식, TFOG(touch film on glass)방식, OLB(outer lead bonding)방식 등이 적용될 수 있다. 이러한 실장 방식의 공정에 의해 통상적으로 디스플페이 패널(1)의 전극에 절연성의 고분자물질인 이방성 도전 필름(ACF)을 부착되고, ACF상에 반도체 칩을 배치한 후 적절한 압력으로 가압함에 따라 범프(bump)와 디스플레이 패널(1)의 전극이 접촉하여 상호 도통하게 제조될 수 있다. 이처럼 디스플레이 패널(1) 상에 특정 반도체 칩을 실장하는 공정을 포함하여 디스플레이 패널이 제조된 경우, 이방성 도전 필름(ACF) 등의 부착상태는 디스플레이 패널(1) 및 해당 디스플레이 패널(1)이 탑재되는 제품의 양품/불량 여부를 판정하는데 지대한 영향을 끼칠 수 있다. 따라서, 디스플레이 패널(1)에 반도체 칩을 본딩(실장)하는 공정을 통과한 디스플레이 패널(1)의 경우에는 이물검사, 반도체 칩 탑재위치검사, 압흔(도전입자의 압흔 개수, 압흔 강도, 압흔 길이, 압흔 분포)과 연계된 검사 과정이 필수적일 수 있다.In particular, in the case of the display panel 1 mounted in a portable electronic device, the screen of the electronic device is mounted inside the display panel 1 to implement detailed control characteristics such as low voltage driving, low power consumption, and full color realization. It may include various types of high-density semiconductor chips. For example, as a method for mounting such a semiconductor chip on the display panel 1, COG (chip on glass) method, FOG (film on glass) method, COF (chip on flex) method, TFOG (touch film on glass) method ) Method, outer lead bonding (OLB) method, etc. can be applied. By such a mounting process, an anisotropic conductive film (ACF), which is an insulating polymer material, is usually attached to the electrode of the display panel 1, and the bump is applied by pressing the semiconductor chip on the ACF with an appropriate pressure. (bump) and the electrode of the display panel 1 may be in contact with each other to be manufactured to be conductive. When a display panel is manufactured including the process of mounting a specific semiconductor chip on the display panel 1 as described above, the display panel 1 and the corresponding display panel 1 are mounted in the attached state of an anisotropic conductive film (ACF). It can have a great influence on determining whether a product is good or bad. Therefore, in the case of the display panel 1 that has passed through the process of bonding (mounting) the semiconductor chip to the display panel 1, foreign matter inspection, semiconductor chip mounting position inspection, indentation (number of indentations of conductive particles, indentation strength, indentation length) , Indentation distribution) and the related inspection process may be essential.

또한, 얼라인 상태에 대한 제1검사는, 검사 대상체인 디스플레이 패널(1) 상이 소정의 기준 표시(예를 들면, Fiducial Mark)를 인식하거나 디스플레이 패널(1)의 코너, 모서리 등의 특성 객체를 인식하여 디스플레이 패널(1)의 정위치 오차 및 회전 오차를 계산하여 판단하는 것을 의미할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따르면, 얼라인 상태에 대한 제1검사는 디스플레이 패널(1)의 하위 제조 공정에서 삽입된 기준 표시(예를 들어, 십자형 또는 원형 마크)를 제1검사 이미지의 서브 픽셀(Sub-pixel) 단위로 탐지하여 탐지된 기준 표시 간의 상대적 위치 관계를 통해 디스플레이 패널(1)의 정위치 오차 또는 회전 오차에 대한 정상/불량 여부를 판단하는 것일 수 있다.In addition, the first inspection for the alignment state recognizes a predetermined reference mark (for example, a fiducial mark) on the display panel 1 as the object, or recognizes characteristic objects such as corners and corners of the display panel 1. It may mean recognizing and calculating and determining the correct position error and rotation error of the display panel 1. According to an exemplary embodiment of the present disclosure, the first inspection for the alignment state is performed by applying a reference mark (eg, a cross or circular mark) inserted in a sub-manufacturing process of the display panel 1 to a sub-pixel of the first inspection image ( It may be to determine whether a correct position error or a rotation error of the display panel 1 is normal/defective through a relative positional relationship between the detected reference displays by detecting in a sub-pixel) unit.

영역 설정부(152)는, 제1검사부(151)의 제1검사 결과(예를 들어, 디스플레이 패널(1)의 얼라인 상태 및 압흔 상태에 대한 검사 결과)에 기초하여 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)의 전체 영역 중 일부 영역을 세부 검사 영역으로 설정할 수 있다.The area setting unit 152 includes a display panel, which is an object, based on a first inspection result of the first inspection unit 151 (for example, an inspection result for an alignment state and an indentation state of the display panel 1). Part of the entire area of 1) can be set as a detailed inspection area.

본원의 일 실시예에 따르면, 영역 설정부(152)는, 제1검사 결과 디스플레이 패널(1)의 얼라인 상태 및 압흔 상태 중 적어도 하나가 미리 설정된 기준을 미충족하는 것으로 검출된 결함 영역을 포함하도록 세부 검사 영역을 설정할 수 있다. 다만, 이에만 한정되는 것은 아니며, 제1검사에 포함된 복수 유형의 검사 중 소정의 검사 유형에 대하여 미리 설정된 검사 기준에 기초하여 이를 미충족하는 영역이 결함 영역으로 설정되는 것일 수 있다. 여기서, 결함 영역을 설정하기 위하여 고려되는 제1검사에서의 검사 유형은 디스플레이 패널(1)의 유형 정보, 디스플레이 패널(1)이 탑재되는 최종 제품 유형 정보 등에 기초하여 특정 유형으로 결정되는 것일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present disclosure, the area setting unit 152 includes a defect area detected as that at least one of an alignment state and an indentation state of the display panel 1 as a result of the first inspection does not meet a preset criterion. Detailed inspection area can be set. However, the present invention is not limited thereto, and an area that does not meet the predetermined inspection criteria for a predetermined type of inspection among the plurality of types of inspection included in the first inspection may be set as a defect area. Here, the type of inspection in the first inspection considered to set the defect area may be determined as a specific type based on type information of the display panel 1, information on the type of a final product on which the display panel 1 is mounted, and the like. .

또한, 얼라인 상태 또는 압흔 상태 각각에 대하여 결함 영역이 검출되기 위한 미리 설정된 기준은 검사 장치(100)가 설치되는 검사 환경 정보(온 습도 정보, 진동 정보 등), 디스플레이 패널(1)의 유형 정보, 디스플레이 패널(1)이 탑재되는 제품이 유형 정보 등에 기초하여 설정될 수 있다. 다른 예로, 얼라인 상태 또는 압흔 상태 각각에 대하여 결함 영역이 검출되기 위한 미리 설정된 기준은 검사 장치(100)에 인가된 별도의 사용자 입력에 의해 커스터마이징 될 수 있다.In addition, the preset criteria for detecting the defective area for each of the alignment state or the indentation state are information on the inspection environment in which the inspection device 100 is installed (temperature and humidity information, vibration information, etc.), and type information of the display panel 1. , The product on which the display panel 1 is mounted may be set based on type information or the like. As another example, a preset criterion for detecting a defective area for each of the alignment state or the indentation state may be customized by a separate user input applied to the inspection apparatus 100.

또한, 영역 설정부(152)는 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)의 유형 정보, 디스플레이 패널(1)에 적용된 공정 정보 및 검출된 결함 영역과 연계된 결함 유형 정보 중 적어도 하나를 고려하여 결함 영역과 관련도가 소정 수준 이상일 것으로 예측되는 연관 영역을 포함하도록 세부 검사 영역을 설정할 수 있다.In addition, the area setting unit 152 considers at least one of type information of the display panel 1 as an object, process information applied to the display panel 1, and defect type information associated with the detected defect area. The detailed inspection area may be set to include a related area predicted to have a degree of relevance equal to or higher than a predetermined level.

본원의 일 실시예에 따르면, 영역 설정부(152)가 세부 검사 영역 설정을 위하여 고려하는 디스플레이 패널(1)의 유형 정보 또는 디스플레이 패널(1)에 적용된 공정 정보는 로딩부(110)에 구비된 센서(미도시)를 통해 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)이 검사 프로세스 진행에 앞서 검사 스테이지(120)로 제공(공급)되는 과정에서 획득된 것일 수 있다.According to an embodiment of the present application, type information of the display panel 1 or process information applied to the display panel 1, which the area setting unit 152 considers for setting a detailed inspection area, is provided in the loading unit 110. It may be obtained in a process in which the display panel 1 as an object to be inspected is provided (supplied) to the inspection stage 120 through a sensor (not shown) prior to the inspection process.

이와 관련하여, 본원의 일 실시예에 따르면, 결함 영역은 특히, LCD 패널의 경우 경계가 모호한 화소 결함의 발생으로 인하여 특정 영역의 화소의 크기가 주변 영역보다 크게 나타나는 이인성 결함을 포함할 수 있다. 또한, 결함 영역은 OLED 패널의 경우 재현된 화면에서의 비정상적인 불균일 부분을 포함할 수 있다. 또한, PDP 패널 또는 FED 패널의 경우 휘도 또는 색도의 가시적인 결함이 나타나는 영역이 결함 영역으로 검출될 수 있다. 달리 말해, 제1검사에 의해 검출되는 결함 영역은 디스플레이 패널(1)의 화면 특성이 균일하지 않고 얼룩진 영역을 총칭할 수 있다.In this regard, according to the exemplary embodiment of the present disclosure, the defective area may include a heterogeneous defect in which the size of a pixel in a specific area is larger than a peripheral area due to the occurrence of a pixel defect with an ambiguous boundary in the case of an LCD panel. In addition, in the case of an OLED panel, the defective area may include an abnormal non-uniform portion on the reproduced screen. In addition, in the case of a PDP panel or an FED panel, an area in which visible defects in luminance or chromaticity appear may be detected as the defect area. In other words, the defective area detected by the first inspection may collectively refer to an area where the screen characteristics of the display panel 1 are not uniform and are uneven.

이러한, 결함 영역의 발생 원인은 디스플레이 패널(1)의 제조 공정 상의 기계 오작동, 제조 공정 작업자의 실수, 공정 환경에서의 불측의 먼지, 분진 등의 이물질 개입, 적층되는 필름 성분의 불량 등에 의하여 디스플레이 패널의 각각의 화소에서 동등한 전기 광학적 특성이 유지되지 않는 경우 발생한다.The cause of the defect area is caused by a malfunction of a machine in the manufacturing process of the display panel 1, a mistake by a manufacturing process operator, an unexpected dust in the process environment, interference with foreign substances such as dust, and a defect in the layered film component. Occurs when equal electro-optical properties are not maintained in each pixel of.

본원의 일 실시예에 따르면, 영역 설정부(152)는 디스플레이 패널의 유형 또는 디스플레이 패널에서 발생 가능한 결함의 유형에 따른 결함 형상 분포에 대한 데이터를 저장하는 미리 구축된 데이터베이스(미도시)를 참조하여 연관 영역을 결정할 수 있다. According to an embodiment of the present application, the area setting unit 152 refers to a pre-built database (not shown) that stores data on a defect shape distribution according to a type of a display panel or a type of defect that can occur in the display panel. You can determine the relevant area.

즉, 결함 영역은 일반적으로 주변부와의 밝기, 색상 등의 광학적 특성이 비교적 급격하지 않고 부드럽게 변화하여 명확한 경계를 파악하기 어려워 여러 디스플레이 패널(1)에 대한 검사 결과를 종합하여 축적한 결함의 유형에 따른 결함 형상 분포에 대한 데이터를 고려하여 결함 형상 분포 패턴 중 일부에 부합하는 영역 만이 제1검사에서 결함 영역으로 검출되더라도 영역 설정부(152)는 수집된 방대한 데이터베이스 내 정보를 고려하여 해당 결함 형상 분포 패턴 중 나머지 영역을 관련 영역으로 포함하도록 세부 검사 영역을 설정할 수 있다.In other words, in general, the optical characteristics of the defect area, such as brightness and color, are not relatively abrupt and change smoothly, making it difficult to grasp a clear boundary, so that the type of defect accumulated by synthesizing the inspection results of various display panels (1) Considering the data on the distribution of the defect shape according to the result, even if only the area corresponding to a part of the defect shape distribution pattern is detected as a defect area in the first inspection, the area setting unit 152 considers the collected information in the vast database to distribute the corresponding defect shape A detailed inspection area may be set to include the remaining area of the pattern as a related area.

도 4는 세부 검사 영역 중 연관 영역을 설정하기 위하여 고려되는 디스플레이 패널의 유형 또는 디스플레이 패널에서 발생 가능한 결함의 유형에 따른 결함 형상 분포에 대한 데이터를 예시적으로 나타낸 도면이다.4 is a diagram illustrating data on a defect shape distribution according to a type of a display panel considered to set a related area among detailed inspection areas or a type of defect that may occur in the display panel.

도 4를 참조하면, 디스플레이 패널에서 발생 가능한 결함 형상 분포는 예시적으로 도 4의 (a)의 후면 결함(Back), 도 4의 (b)의 가장자리 영역 결함(Corner), 도 4의 (c)의 모서리 영역 결함(Edge), 도 4의 (d)의 누설 결함(Leak), 도 4의 (e)의 선형 결함(Line) 등을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the distribution of defect shapes that may occur in the display panel is exemplarily shown in FIG. 4(a) for rear defects (Back), edge area defects (Corner) in FIG. 4(b), and FIG. 4(c). ) Of the edge region, a leakage defect (Leak) of FIG. 4(d), a linear defect (Line) of FIG. 4(e), and the like.

종합하면, 영역 설정부(152)는 제1검사 결과를 고려한 결함 영역 및 결함 영역과 관련도가 높을 것으로 예측되는 연관 영역을 포함하는 세부 검사 영역을 설정할 수 있다.In summary, the area setting unit 152 may set a detailed inspection area including a defect area in consideration of the first inspection result and a related area predicted to have a high degree of relevance to the defect area.

또한, 전술한 미리 구축된 데이터베이스(미도시)는 탐지 가능한 결함 형상 분포 유형 각각에 대한 결함 발생 요인에 관한 확률 정보를 저장할 수 있다. 이와 관련하여, 검사 장치(100)는 제1검사 결과를 고려하여 세부 검사 영역으로 설정된 영역이 소정의 결함 형상 분포 유형에 부합하는 것으로 판단되면, 해당 결함 형상 분포에 대한 결함 발생 요인에 해당할 확률이 높은 요인을 포함하는 피드백 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 검사 장치(100)는 세부 검사 영역으로 설정된 영역의 형상 패턴에 기초하여 검사 장치(100)에 제공되기 전 디스플레이 패널(1)에 적용된 복수의 제조 공정 중 특정 제조 공정이 결함의 요인으로 판단된다는 피드백 정보를 생성할 수 있다.In addition, the above-described pre-built database (not shown) may store probability information on a defect occurrence factor for each detectable defect shape distribution type. In this regard, if the inspection apparatus 100 determines that the area set as the detailed inspection area conforms to a predetermined defect shape distribution type in consideration of the first inspection result, the probability of corresponding to the defect occurrence factor for the corresponding defect shape distribution Feedback information containing this high factor can be generated. For example, in the inspection apparatus 100, a specific manufacturing process among a plurality of manufacturing processes applied to the display panel 1 before being provided to the inspection apparatus 100 based on a shape pattern of an area set as a detailed inspection area is a factor of the defect. Feedback information that is determined to be determined can be generated.

이해를 돕기 위해 예시하면, 디스플레이 패널(1)이 제1공정 내지 제3공정을 포함하는 복수의 공정을 통과한 후 검사 장치(100)에 제공되되, 결함 형상 분포 유형 중 가장자리 영역 결함(Corner)이 탐지된 경우 제1공정에 이상이 있을 확률이 높다는 정보가 전술한 데이터베이스 내에 저장되고 선형 결함(Line)이 탐지된 경우 제2공정에 이상이 있을 확률이 높다는 정보가 전술한 데이터베이스 내에 저장되어 있다고 가정할 때, 검사 장치(100)에 의해 제1검사 후 설정된 세부 검사 영역의 형상 패턴이 가장자리 영역 결함(Corner)에 근접한 것으로 판단되면 검사 장치(100)는 제1공정의 이상을 확인할 것을 요청을 포함하는 피드백 정보를 생성할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따르면, 생성된 피드백 정보는 결과 표시 단말(200)로 전송되어 표시될 수 있다.Illustratively for better understanding, the display panel 1 is provided to the inspection apparatus 100 after passing through a plurality of processes including the first process to the third process, and the edge region defect (Corner) among the defect shape distribution types When this is detected, information indicating that the first process has a high probability of abnormality is stored in the above-described database, and when a linear defect (Line) is detected, information indicating that the second process has a high probability of having an abnormality is stored in the aforementioned database. Assuming, if it is determined that the shape pattern of the detailed inspection area set after the first inspection by the inspection device 100 is close to the edge area defect (Corner), the inspection device 100 requests to confirm the abnormality of the first process. Included feedback information can be generated. According to an embodiment of the present application, the generated feedback information may be transmitted to and displayed on the result display terminal 200.

제어부(160)는 영역 설정부(152)에 의해 설정된 세부 검사 영역의 검사 대상체인 디스플레이 패널(1) 상에서의 위치 정보 및 설정된 세부 검사 영역의 면적 정보에 기초하여 카메라부(140)의 촬영 방향 및 카메라부(140)의 초점 거리를 조정할 수 있다.The control unit 160 is based on the location information on the display panel 1 that is the object of the detailed inspection area set by the area setting unit 152 and the area information of the set detailed inspection area, the photographing direction of the camera unit 140 and the The focal length of the camera unit 140 may be adjusted.

본원의 일 실시예에 따르면, 제어부(160)는 영역 설정부(152)로부터 설정된 세부 검사 영역을 대표하는 특징점의 좌표 정보를 획득하고, 획득된 특징점의 좌표 정보에 기초하여 해당 특징점이 제2검사 이미지의 중심부에 위치하도록 하는 촬영 위치 또는 촬영 방향이 되도록 카메라부(140)를 제어할 수 있다.According to an embodiment of the present application, the control unit 160 acquires coordinate information of a feature point representing a detailed inspection area set from the area setting unit 152, and the corresponding feature point performs a second inspection based on the obtained coordinate information of the feature point. The camera unit 140 may be controlled to be a photographing position or a photographing direction positioned at the center of the image.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 제어부(160)는 영역 설정부(152)에 의해 설정된 세부 검사 영역의 면적 정보에 기초하여 세부 검사 영역을 모두 포함하되, 세부 검사 영역에 대한 밝기 균일도 및 색상 균일도에 대한 검사를 수행할 수 있는 최적의 촬영 위치, 촬영 방향 및/또는 초점 거리가 되도록 카메라부(140)를 제어할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the controller 160 includes all of the detailed inspection areas based on the area information of the detailed inspection area set by the area setting unit 152, and brightness uniformity and color for the detailed inspection area The camera unit 140 may be controlled to be an optimal photographing position, photographing direction, and/or focal length capable of performing an inspection for uniformity.

또한, 제어부(160)는 영역 설정부(152)에 의해 설정된 세부 검사 영역의 검사 대상체인 디스플레이 패널(1) 상에서의 위치 정보 및 설정된 세부 검사 영역의 면적 정보에 기초하여 광 조사부(130)가 설정된 세부 검사 영역을 향하여 광을 조사하도록 광 조사부를 제어할 수 있다.In addition, the control unit 160 may set the light irradiation unit 130 based on location information on the display panel 1 that is the object of the detailed inspection area set by the area setting unit 152 and area information of the set detailed inspection area. The light irradiation unit can be controlled to irradiate light toward the detailed inspection area.

본원의 일 실시예에 따르면, 제어부(160)는 설정된 세부 검사 영역의 형상 패턴에 기초하여 세부 검사 영역에 조사되는 광에 대한 조도, 파장 및 조사 방향 중 적어도 하나에 대한 제어 정도를 해당 형상 패턴에 대하여 요구되는 검사 특성에 부합하도록 결정할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present application, the control unit 160 determines a control degree for at least one of illuminance, wavelength, and irradiation direction for light irradiated to the detailed inspection area based on the set shape pattern of the detailed inspection area. It can be determined to match the required inspection characteristics.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 제어부(160)는 디스플레이 패널(1)이 적어도 일부 영역이 소정의 곡률을 갖는 플렉시블(Flexible) 디스플레이인 경우, 광 조사부(130)가 세부 검사 영역을 정면에서 비출 경우에 세부 검사 영역과 주변 영역 간의 음영 차이가 미비하므로, 제2검사가 수행되기 어렵다. 이에 따라 제어부(160)는 디스플레이 패널(1)의 곡률을 갖는 영역의 형상 정보에 기초하여 광 조사부(1230)가 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)에 대하여 광을 세부 검사 영역에 경사지게 조사하도록 제어하여 디스플레이 패널(1)의 세부 검사 영역에 해당하는 표면에서 난반사가 발생되도록 하여 세부 검사 영역이 난반사에 따라 제2검사 이미지 상에 선명하게 표시되도록 할 수 있다. 참고로, 상술한 플렉시블 디스플레이는 롤러블 디스플레이, 커브드 디스플레이 등을 폭넓게 포괄하는 것으로 이해됨이 바람직하다.In addition, according to an exemplary embodiment of the present application, when the display panel 1 is a flexible display in which at least a portion of the area has a predetermined curvature, the light irradiation unit 130 may view the detailed inspection area from the front. In the case of projection, since the difference in shadow between the detailed inspection area and the surrounding area is insufficient, it is difficult to perform the second inspection. Accordingly, the control unit 160 controls the light irradiation unit 1230 to irradiate light to the detailed inspection area obliquely on the display panel 1 as an object based on the shape information of the area having the curvature of the display panel 1. Diffuse reflection occurs on a surface corresponding to the detailed inspection area of the display panel 1 so that the detailed inspection area can be clearly displayed on the second inspection image according to the diffuse reflection. For reference, it is preferable that the above-described flexible display is understood to encompass a wide range of rollable displays, curved displays, and the like.

제2검사부(153)는 카메라부(140)가 영역 설정부(152)에 의해 설정된 세부 검사 영역을 촬영한 제2검사 이미지에 기초하여 세부 검사 영역의 밝기 균일도 및 색상 균일도에 대한 제2검사를 수행할 수 있다.The second inspection unit 153 performs a second inspection for brightness uniformity and color uniformity of the detailed inspection area based on a second inspection image captured by the camera unit 140 of the detailed inspection area set by the area setting unit 152. Can be done.

본원의 일 실시예에 따르면, 카메라부(140)는 설정된 세부 검사 영역의 형상 패턴에 따라 복수 개로 분할된 제2검사 이미지를 획득할 수 있다. 예시적으로, 세부 검사 영역의 형상이 전술한 도 4의 (b)와 같은 가장 자리 영역 결함(Corner) 패턴에 해당하는 경우, 각각의 코너에 대하여 분할된 제2검사 이미지가 획득될 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present disclosure, the camera unit 140 may acquire a second inspection image divided into a plurality of pieces according to a shape pattern of a set detailed inspection area. For example, when the shape of the detailed inspection area corresponds to the edge area defect (Corner) pattern as shown in FIG. 4B described above, a second inspection image divided for each corner may be obtained.

또한, 상술한 설명에서 세부 검사 영역이 설정되고 나면, 카메라부(140)가 설정된 세부 검사 영역에 대한 제2검사 이미지를 재차 촬영하는 것으로 설명하였으나, 본원의 구현예에 따라 제1검사 이미지에 대한 충분한 해상도가 확보될 수 있는 경우, 카메라부(140)는 제1검사 이미지로부터 설정된 세부 검사 영역을 기초로 소정 배율로 확대한 제2검사 이미지를 획득하는 것일 수 있다.In addition, in the above description, after the detailed inspection area is set, it has been described that the camera unit 140 captures the second inspection image for the set detailed inspection area again, but according to the embodiment of the present invention, the first inspection image is When sufficient resolution can be secured, the camera unit 140 may be to acquire a second inspection image enlarged at a predetermined magnification based on a detailed inspection area set from the first inspection image.

본원의 일 실시예에 따르면, 제2검사부(153)는 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)이 OLED 패널이면, 디스플레이 패널(1)에 포함된 복수의 셀 중 세부 검사 영역에 대응되는 셀이 점등된 상태에서 촬영된 제2검사 이미지에 기초하여 제2검사를 수행할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present disclosure, when the display panel 1 as the object of the object is an OLED panel, the cell corresponding to the detailed inspection area among a plurality of cells included in the display panel 1 is lit. The second inspection may be performed based on the second inspection image captured in the state.

언로딩부(170)는 제1검사부(151)에 의한 제1검사 결과 및 제2검사부(153)에 의한 제2검사 결과 중 적어도 하나에 기초하여 검사 완료된 디스플레이 패널(1)을 구분하여 배출할 수 있다.The unloading unit 170 separates and discharges the inspected display panel 1 based on at least one of the first inspection result by the first inspection unit 151 and the second inspection result by the second inspection unit 153. I can.

예를 들면, 언로딩부(170)는 검사부(150)에 의해 검사된 디스플레이 패널(1)이 검사결과 양품인 경우 다음 공정이 수행되는 소정의 공간으로 디스플레이 패널(1)을 배출하고, 검사결과 불량판정을 받은 경우 별도로 배출시키되 판정결과에 따라 각각 다른 방향으로 이동하여 구분된 장소에 배출할 수 있다.For example, when the display panel 1 inspected by the inspection unit 150 is a good product, the unloading unit 170 discharges the display panel 1 into a predetermined space where the next process is performed, and the inspection result If it is judged to be defective, it may be discharged separately, but may be discharged to separate places by moving in different directions according to the result of the determination.

본원의 일 실시예에 따르면, 언로딩부(170)는 세부 검사 영역으로 설정된 영역의 형상 패턴에 기초하여 검사 장치(100)에 제공되기 전 디스플레이 패널(1)에 적용된 복수의 제조 공정 중 특정 제조 공정이 결함의 요인으로 판단된다는 내용을 포함하도록 생성된 피드백 정보에 기초하여 결함의 요인으로 지적(판단)된 제조 공정이 재차 수행되도록 해당 제조 공정이 수행되는 공간으로 검사가 완료된 디스플레이 패널(1)을 배출하도록 동작할 수 있다.According to an embodiment of the present application, the unloading unit 170 is a specific manufacturing process among a plurality of manufacturing processes applied to the display panel 1 before being provided to the inspection apparatus 100 based on a shape pattern of an area set as a detailed inspection area. A display panel (1) that has been inspected in the space where the manufacturing process is performed so that the manufacturing process pointed out (determined) as the cause of the defect is performed again based on the feedback information generated to include that the process is determined as the cause of the defect. Can be operated to discharge.

본원의 일 실시예에 따르면, 로딩부(110) 및 언로딩부(170)는 레일 부재, 벨트 부재 등 디스플레이 패널(1)을 소정의 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단 및 상기 이동 수단에 디스플레이 패널(1)이 이동 과정에서 흡착되거나 또는 상기 이동 수단으로부터 탈착되도록 하는 픽커 부재, 고정 부재 등을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present application, the loading unit 110 and the unloading unit 170 are a moving means for moving the display panel 1 such as a rail member, a belt member, etc. in a predetermined direction, and a display panel ( 1) It may include a picker member, a fixing member, etc. that are adsorbed or detached from the moving means during the moving process.

이하에서는 상기에 자세히 설명된 내용을 기반으로, 본원의 동작 흐름을 간단히 살펴보기로 한다.Hereinafter, based on the details described above, the operation flow of the present application will be briefly described.

도 5는 본원의 일 실시예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법에 대한 동작 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a machine vision-based display inspection method according to an exemplary embodiment of the present disclosure.

도 5에 도시된 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법은 앞서 설명된 검사 장치(100)에 의하여 수행될 수 있다. 따라서, 이하 생략된 내용이라고 하더라도 검사 장치(100)에 대하여 설명된 내용은 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법에 대한 설명에도 동일하게 적용될 수 있다.The machine vision-based display inspection method illustrated in FIG. 5 may be performed by the inspection apparatus 100 described above. Therefore, even if omitted below, the description of the inspection apparatus 100 may be equally applied to the description of the machine vision-based display inspection method.

도 5를 참조하면, 단계 S510에서 카메라부(140)는 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)이 검사 스테이지(120)에 안착된 상태에서 디스플레이 패널(1)을 촬영한 제1검사 이미지를 획득할 수 있다.Referring to FIG. 5, in step S510, the camera unit 140 may acquire a first inspection image taken of the display panel 1 while the display panel 1 as the object is seated on the inspection stage 120. have.

다음으로, 단계 S520에서 제1검사부(151)는 제1검사 이미지에 기초하여 디스플레이 패널의 전체 상태에 대한 제1검사를 수행할 수 있다.Next, in step S520, the first inspection unit 151 may perform a first inspection on the entire state of the display panel based on the first inspection image.

다음으로, 단계 S530에서 영역 설정부(152)는 단계 S520에서의 제1검사 결과에 기초하여 검사 대상체인 디스플레이 패널(1) 중 일부 영역을 세부 검사 영역으로 설정할 수 있다.Next, in operation S530, the area setting unit 152 may set a partial area of the display panel 1 as an object to be a detailed inspection area based on the first inspection result in operation S520.

본원의 일 실시예에 따르면, 단계 S530에서 영역 설정부(152)는 제1검사 결과 디스플레이 패널(1)의 얼라인 상태 및 압흔 상태 중 적어도 하나가 미리 설정된 기준을 미충족하는 것으로 검출된 결함 영역을 포함하도록 세부 검사 영역을 설정할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present disclosure, in step S530, the area setting unit 152 determines a defective area detected as at least one of an alignment state and an indentation state of the display panel 1 as a result of the first inspection not satisfying a preset criterion. Detailed inspection areas can be set to include.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 단계 S530에서 영역 설정부(152)는 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)의 유형 정보, 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)에 적용된 공정 정보 및 검출된 결함 영역과 연계된 결함 유형 정보 중 적어도 하나를 고려하여 결함 영역과 관련도가 소정 수준 이상일 것으로 예측되는 연관 영역을 포함하도록 세부 검사 영역을 설정할 수 있다.In addition, according to an exemplary embodiment of the present disclosure, in step S530, the area setting unit 152 includes type information of the display panel 1 as an object, process information applied to the display panel 1 as an object, and a detected defect area. In consideration of at least one of the associated defect type information, the detailed inspection area may be set to include a defect area and a related area predicted to have a degree of correlation equal to or higher than a predetermined level.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 단계 S530에서 세부 검사 영역에 포함되게 되는 연관 영역은 디스플레이 패널의 유형 또는 디스플레이 패널에서 발생 가능한 결함의 유형에 따른 결함 형상 분포에 대한 데이터를 저장하는 미리 구축된 데이터베이스(미도시)를 참조하여 결정되는 것일 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the associated area included in the detailed inspection area in step S530 is pre-built for storing data on the defect shape distribution according to the type of the display panel or the type of defect that can occur in the display panel. It may be determined by referring to a database (not shown).

다음으로, 단계 S540에서 제어부(160)는 단계 S530에서 설정된 세부 검사 영역의 디스플레이 패널(1) 상에서의 위치 정보 및 세부 검사 영역의 면적 정보에 기초하여 카메라부(140)의 촬영 방향 및 카메라부(140)의 초점 거리를 조정할 수 있다.Next, in step S540, based on the location information on the display panel 1 of the detailed inspection area and the area information of the detailed inspection area set in step S530, the control unit 160, the photographing direction of the camera unit 140 and the camera unit ( 140) focal length can be adjusted.

또한, 단계 S540에서 제어부(160)는 단계 S530에서 설정된 세부 검사 영역의 디스플레이 패널(1) 상에서의 위치 정보 및 세부 검사 영역의 면적 정보에 기초하여 광 조사부(130)에 의해 세부 검사 영역에 조사되는 광을 조정할 수 있다.Further, in step S540, the controller 160 irradiates the detailed inspection area by the light irradiation unit 130 based on the location information on the display panel 1 of the detailed inspection area set in step S530 and the area information of the detailed inspection area. Light can be adjusted.

다음으로, 단계 S550에서 카메라부(140)는 설정된 세부 검사 영역에 대한(달리 말해, 세부 검사 영역을 촬영한) 제2검사 이미지를 획득할 수 있다.Next, in step S550, the camera unit 140 may acquire a second inspection image for the set detailed inspection area (in other words, a detailed inspection area is captured).

다음으로, 단계 S560에서 제2검사부(153)는 단계 S550에서 획득된 제2검사 이미지에 기초하여 세부 검사 영역의 밝기 균일도 및 색상 균일도에 대한 제2검사를 수행할 수 있다.Next, in step S560, the second inspection unit 153 may perform a second inspection for brightness uniformity and color uniformity of the detailed inspection area based on the second inspection image acquired in operation S550.

본원의 일 실시예에 따르면, 단계 S560에서 제2검사부(1530)는 검사 대상체인 디스플레이 패널(1)이 OLED 패널이면, 디스플레이 패널(1)에 포함된 복수의 셀 중 세부 검사 영역에 대응되는 셀이 점등된 상태에서 촬영된 제2검사 이미지에 기초하여 제2검사를 수행할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present disclosure, in step S560, if the display panel 1 as the object is an OLED panel, the cell corresponding to the detailed inspection area among a plurality of cells included in the display panel 1 The second inspection may be performed based on the second inspection image captured in the lit state.

상술한 설명에서, 단계 S510 내지 S560은 본원의 구현예에 따라서, 추가적인 단계들로 더 분할되거나, 더 적은 단계들로 조합될 수 있다. 또한, 일부 단계는 필요에 따라 생략될 수도 있고, 단계 간의 순서가 변경될 수도 있다.In the above description, steps S510 to S560 may be further divided into additional steps or may be combined into fewer steps, according to an embodiment of the present disclosure. In addition, some steps may be omitted as necessary, and the order between steps may be changed.

본원의 일 실시 예에 따른 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 본 발명의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.The machine vision-based display inspection method according to an exemplary embodiment of the present disclosure may be implemented in the form of program commands that can be executed through various computer means and recorded in a computer-readable medium. The computer-readable medium may include program instructions, data files, data structures, and the like alone or in combination. The program instructions recorded in the medium may be specially designed and configured for the present invention, or may be known and usable to those skilled in computer software. Examples of computer-readable recording media include magnetic media such as hard disks, floppy disks, and magnetic tapes, optical media such as CD-ROMs and DVDs, and magnetic media such as floptical disks. -A hardware device specially configured to store and execute program instructions such as magneto-optical media, and ROM, RAM, flash memory, and the like. Examples of program instructions include not only machine language codes such as those produced by a compiler but also high-level language codes that can be executed by a computer using an interpreter or the like. The above-described hardware device may be configured to operate as one or more software modules to perform the operation of the present invention, and vice versa.

또한, 전술한 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법은 기록 매체에 저장되는 컴퓨터에 의해 실행되는 컴퓨터 프로그램 또는 애플리케이션의 형태로도 구현될 수 있다.In addition, the above-described machine vision-based display inspection method may be implemented in the form of a computer program or application executed by a computer stored in a recording medium.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The foregoing description of the present application is for illustrative purposes only, and those of ordinary skill in the art to which the present application pertains will be able to understand that it is possible to easily transform it into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present application. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present application is indicated by the claims to be described later rather than the detailed description, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present application.

10: 머신 비전 검사 시스템
100: 머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치
110: 로딩부
120: 검사 스테이지
130: 광 조사부
140: 카메라부
150: 검사부
151: 제1검사부
152: 영역 설정부
153: 제2검사부
160: 제어부
170: 언로딩부
200: 결과 표시 단말
1: 디스플레이 패널
10: machine vision inspection system
100: machine vision-based display inspection device
110: loading unit
120: inspection stage
130: light irradiation unit
140: camera unit
150: inspection unit
151: first inspection unit
152: area setting unit
153: second inspection unit
160: control unit
170: unloading unit
200: result display terminal
1: display panel

Claims (13)

머신 비전 기반의 디스플레이 검사 방법에 있어서,
디스플레이 패널이 검사 스테이지에 안착된 상태에서 상기 디스플레이 패널을 촬영한 제1검사 이미지를 획득하는 단계;
상기 제1검사 이미지에 기초하여 상기 디스플레이 패널의 전체 상태에 대한 제1검사를 수행하는 단계;
상기 제1검사 결과에 기초하여 상기 디스플레이 패널 중 일부 영역을 세부 검사 영역으로 설정하는 단계;
상기 세부 검사 영역을 촬영한 제2검사 이미지를 획득하는 단계; 및
상기 제2검사 이미지에 기초하여 상기 세부 검사 영역의 밝기 균일도 및 색상 균일도에 대한 제2검사를 수행하는 단계,
를 포함하고,
상기 세부 검사 영역으로 설정하는 단계는,
상기 제1검사 결과 상기 디스플레이 패널의 얼라인 상태 및 압흔 상태 중 적어도 하나가 미리 설정된 기준을 미충족하는 것으로 검출된 결함 영역 및 상기 결함 영역과 연계된 결함 형상 분포에 기초하여 상기 결함 영역과 관련도가 소정 수준 이상일 것으로 예측되는 연관 영역을 포함하도록 상기 세부 검사 영역을 설정하되,
상기 연관 영역은, 상기 결함 형상 분포에서의 패턴의 일부 영역이 상기 결함 영역으로 검출되면, 상기 패턴의 상기 일부 영역을 제외한 나머지 영역으로 결정되는 것을 특징으로 하고,
상기 세부 검사 영역으로 설정하는 단계 이후에,
상기 결함 형상 분포에 기초하여 상기 디스플레이 패널에 적용된 복수의 제조 공정 중 결함의 요인으로 판단되는 제조 공정에 대한 정보를 포함하는 피드백 정보를 생성하는 단계,
를 더 포함하는 것인, 디스플레이 검사 방법.
In the machine vision-based display inspection method,
Obtaining a first inspection image photographed of the display panel while the display panel is seated on the inspection stage;
Performing a first inspection on the entire state of the display panel based on the first inspection image;
Setting a partial area of the display panel as a detailed inspection area based on the first inspection result;
Obtaining a second inspection image photographing the detailed inspection area; And
Performing a second inspection for brightness uniformity and color uniformity of the detailed inspection area based on the second inspection image,
Including,
The step of setting as the detailed inspection area,
As a result of the first inspection, a degree of relevance to the defect area is based on a defect area detected that at least one of an alignment state and an indentation state of the display panel does not meet a preset criterion and a defect shape distribution associated with the defect area. Setting the detailed inspection area to include a related area predicted to be at least a predetermined level,
The associated region is characterized in that when a partial region of the pattern in the defect shape distribution is detected as the defective region, it is characterized in that it is determined as a remaining region excluding the partial region of the pattern,
After the step of setting as the detailed inspection area,
Generating feedback information including information on a manufacturing process determined as a factor of a defect among a plurality of manufacturing processes applied to the display panel based on the defect shape distribution,
That further comprises a display inspection method.
제1항에 있어서,
상기 세부 검사 영역으로 설정하는 단계 이후에,
설정된 상기 세부 검사 영역의 위치 정보 및 면적 정보에 기초하여 상기 디스플레이 패널을 촬영하는 카메라의 촬영 방향 및 초점 거리를 조정하는 단계,
를 더 포함하는 것인, 디스플레이 검사 방법.
The method of claim 1,
After the step of setting as the detailed inspection area,
Adjusting a photographing direction and a focal length of a camera photographing the display panel based on the set location information and area information of the detailed inspection area,
That further comprises a display inspection method.
제2항에 있어서,
상기 세부 검사 영역으로 설정하는 단계 이후에,
설정된 상기 세부 검사 영역의 위치 정보 및 면적 정보에 기초하여 상기 세부 검사 영역에 조사되는 광을 조정하는 단계,
를 더 포함하는 것인, 디스플레이 검사 방법.
The method of claim 2,
After the step of setting as the detailed inspection area,
Adjusting light irradiated to the detailed inspection area based on the set location information and area information of the detailed inspection area,
That further comprises a display inspection method.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 연관 영역은,
디스플레이 패널의 유형 또는 디스플레이 패널에서 발생 가능한 결함의 유형에 따른 결함 형상 분포에 대한 데이터를 저장하는 미리 구축된 데이터베이스를 참조하여 결정되는 것을 특징으로 하는, 디스플레이 검사 방법.
The method of claim 1,
The related area,
A display inspection method, characterized in that it is determined with reference to a pre-built database that stores data on a defect shape distribution according to a type of a display panel or a type of defect that may occur in the display panel.
제6항에 있어서,
상기 제2검사를 수행하는 단계는,
상기 디스플레이 패널이 OLED 패널이면, 상기 디스플레이 패널에 포함된 복수의 셀 중 상기 세부 검사 영역에 대응되는 셀이 점등된 상태에서 촬영된 상기 제2검사 이미지에 기초하여 수행되는 것인, 디스플레이 검사 방법.
The method of claim 6,
The step of performing the second inspection,
If the display panel is an OLED panel, the display inspection method is performed based on the second inspection image photographed while a cell corresponding to the detailed inspection area among a plurality of cells included in the display panel is turned on.
머신 비전 기반의 디스플레이 검사 장치에 있어서,
검사 대상체인 디스플레이 패널이 안착되는 검사 스테이지;
상기 디스플레이 패널에 소정의 광을 조사하는 광 조사부;
상기 디스플레이 패널에 소정의 광이 조사된 상태에서 상기 디스플레이 패널을 촬영한 검사 이미지를 획득하는 카메라부; 및
상기 검사 이미지에 기초하여 상기 디스플레이 패널의 얼라인 상태, 압흔 상태, 밝기 균일도 및 색상 균일도 중 적어도 하나에 대한 검사를 수행하는 검사부,
를 포함하고,
상기 검사부는,
상기 디스플레이 패널이 상기 검사 스테이지에 안착된 상태에서 상기 카메라부가 상기 디스플레이 패널을 촬영한 제1검사 이미지에 기초하여 상기 디스플레이 패널의 전체 상태에 대한 제1검사를 수행하는 제1검사부;
상기 제1검사 결과에 기초하여 상기 디스플레이 패널 중 일부 영역을 세부 검사 영역으로 설정하는 영역 설정부; 및
상기 카메라부가 설정된 상기 세부 검사 영역을 촬영한 제2검사 이미지에 기초하여 상기 세부 검사 영역의 밝기 균일도 및 색상 균일도에 대한 제2검사를 수행하는 제2검사부,
를 포함하고,
상기 영역 설정부는,
상기 제1검사 결과, 상기 디스플레이 패널의 얼라인 상태 및 압흔 상태 중 적어도 하나가 미리 설정된 기준을 미충족하는 것으로 검출된 결함 영역 및 상기 결함 영역과 연계된 결함 형상 분포에 기초하여 상기 결함 영역과 관련도가 소정 수준 이상일 것으로 예측되는 연관 영역을 포함하도록 상기 세부 검사 영역을 설정하되,
상기 연관 영역은, 상기 결함 형상 분포에서의 패턴의 일부 영역이 상기 결함 영역으로 검출되면, 상기 패턴의 상기 일부 영역을 제외한 나머지 영역으로 결정되는 것을 특징으로 하고,
상기 영역 설정부는,
상기 결함 형상 분포에 기초하여 상기 디스플레이 패널에 적용된 복수의 제조 공정 중 결함의 요인으로 판단되는 제조 공정에 대한 정보를 포함하는 피드백 정보를 생성하는 것인, 디스플레이 검사 장치.
In the machine vision-based display inspection device,
An inspection stage on which a display panel, which is an object, is mounted;
A light irradiation unit irradiating a predetermined light onto the display panel;
A camera unit which acquires an inspection image photographed of the display panel while a predetermined light is irradiated on the display panel; And
An inspection unit for performing inspection on at least one of an alignment state, an indentation state, brightness uniformity, and color uniformity of the display panel based on the inspection image,
Including,
The inspection unit,
A first inspection unit configured to perform a first inspection on an overall state of the display panel based on a first inspection image captured by the camera unit of the display panel while the display panel is seated on the inspection stage;
An area setting unit configured to set a partial area of the display panel as a detailed inspection area based on the first inspection result; And
A second inspection unit for performing a second inspection for brightness uniformity and color uniformity of the detailed inspection area based on a second inspection image taken of the detailed inspection area set by the camera unit,
Including,
The area setting unit,
As a result of the first inspection, a degree of relevance to the defect area based on a defect area detected that at least one of an alignment state and an indentation state of the display panel does not meet a preset criterion and a defect shape distribution associated with the defect area Setting the detailed inspection area to include an associated area predicted to be equal to or greater than a predetermined level,
The associated region is characterized in that when a partial region of the pattern in the defect shape distribution is detected as the defective region, it is characterized in that it is determined as a remaining region excluding the partial region of the pattern,
The area setting unit,
To generate feedback information including information on a manufacturing process determined as a cause of a defect among a plurality of manufacturing processes applied to the display panel based on the defect shape distribution.
제8항에 있어서,
상기 검사부는,
상기 디스플레이 패널이 상기 검사 스테이지에 안착된 상태에서 상기 카메라부가 상기 디스플레이 패널을 촬영한 제1검사 이미지에 기초하여 상기 디스플레이 패널의 전체 상태에 대한 제1검사를 수행하는 제1검사부;
상기 제1검사 결과에 기초하여 상기 디스플레이 패널 중 일부 영역을 세부 검사 영역으로 설정하는 영역 설정부; 및
상기 카메라부가 설정된 상기 세부 검사 영역을 촬영한 제2검사 이미지에 기초하여 상기 세부 검사 영역의 밝기 균일도 및 색상 균일도에 대한 제2검사를 수행하는 제2검사부,
를 포함하는 것인, 디스플레이 검사 장치.
The method of claim 8,
The inspection unit,
A first inspection unit configured to perform a first inspection on an overall state of the display panel based on a first inspection image captured by the camera unit of the display panel while the display panel is seated on the inspection stage;
An area setting unit configured to set a partial area of the display panel as a detailed inspection area based on the first inspection result; And
A second inspection unit for performing a second inspection for brightness uniformity and color uniformity of the detailed inspection area based on a second inspection image taken of the detailed inspection area set by the camera unit,
That includes, display inspection device.
제8항에 있어서,
설정된 상기 세부 검사 영역의 위치 정보 및 면적 정보에 기초하여 상기 카메라부의 촬영 방향 및 상기 카메라부의 초점 거리를 조정하고, 상기 광 조사부가 상기 세부 검사 영역을 향하여 광을 조사하도록 상기 광 조사부를 제어하는 제어부,
를 더 포함하는 것인, 디스플레이 검사 장치.
The method of claim 8,
A control unit that adjusts the photographing direction of the camera unit and the focal length of the camera unit based on the set location information and area information of the detailed inspection area, and controls the light irradiation unit so that the light irradiation unit irradiates light toward the detailed inspection area ,
That further comprises a display inspection device.
삭제delete 제10항에 있어서,
상기 검사 스테이지에 검사 대상에 해당하는 상기 디스플레이 패널을 공급하는 로딩부; 및
상기 제1검사 결과 및 상기 제2검사 결과 중 적어도 하나에 기초하여 검사 완료된 상기 디스플레이 패널을 구분하여 배출하는 언로딩부,
를 더 포함하는 것인, 디스플레이 검사 장치.
The method of claim 10,
A loading unit supplying the display panel corresponding to an inspection object to the inspection stage; And
An unloading unit that separates and discharges the inspected display panel based on at least one of the first inspection result and the second inspection result,
That further comprises a display inspection device.
제1항 내지 제3항, 제6항 및 제 7항 중 어느 한 항의 방법을 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램으로 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.A computer-readable recording medium recorded with a program for executing the method of any one of claims 1 to 3, 6, and 7 on a computer.
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