KR100766341B1

KR100766341B1 - Apparatus for collection carbon nano tube

Info

Publication number: KR100766341B1
Application number: KR1020060001240A
Authority: KR
Inventors: 최석민; 장석원; 김형석
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2006-01-05
Filing date: 2006-01-05
Publication date: 2007-10-11
Also published as: KR20070073395A

Abstract

본 발명은 탄소 나노 튜브의 대량 생산을 의한 탄소나노튜브 생산 자동화 시스템에서 탄소 나노 튜브의 합성이 진행되는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 탄소 나노 튜브 합성 장치는 탄소나노튜브의 생성공간을 제공하는 반응로; 반응로를 가열하는 가열부, 반응로의 생성공간에 위치되며 합성기판들이 놓여지는 보트; 반응로의 생성공간으로 소스가스를 공급하는 노즐유닛을 갖는 가스 공급부를 포함하며, 노즐 유닛은 서로 다른 높이에서 소스가스를 공급하는 분사부들을 포함한다.The present invention relates to an apparatus for synthesizing carbon nanotubes in a carbon nanotube production automation system by mass production of carbon nanotubes. Carbon nanotube synthesis apparatus of the present invention is a reactor for providing a space for the production of carbon nanotubes; A heating unit for heating the reactor, a boat located in the production space of the reactor and having a composite substrate thereon; It includes a gas supply unit having a nozzle unit for supplying the source gas to the production space of the reactor, the nozzle unit includes an injection unit for supplying the source gas at different heights.

이러한 본 발명에 의하면, 반응로 전체에 소스가스를 균일하게 공급 분포시킬 수 있어 탄소나노튜브의 생산성을 향상시킬 수 있다. According to the present invention, the source gas can be uniformly supplied and distributed throughout the reactor, thereby improving the productivity of the carbon nanotubes.

CNT, 탄소나노튜브, 합성기판, 노즐, 샤워헤드 CNT, carbon nanotube, composite substrate, nozzle, shower head

Description

탄소나노튜브 합성을 위한 장치{APPARATUS FOR COLLECTION CARBON NANO TUBE}Apparatus for synthesizing carbon nanotubes {APPARATUS FOR COLLECTION CARBON NANO TUBE}

도 1은 탄소 나노 튜브의 생산 시스템을 설명하기 위한 구성도이다.1 is a configuration diagram illustrating a production system of carbon nanotubes.

도 2는 도 1의 촉매도포부의 구성도이다. FIG. 2 is a diagram illustrating the catalyst coating of FIG. 1.

도 3은 도 2에 표시된 A-A′ 선을 따라 절단된 평면도이다. 3 is a plan view taken along the line AA ′ of FIG. 2.

도 4a 내지 도 4c는 촉매 도포부에서의 촉매 도포 과정을 단계적으로 설명하기 위한 도면들이다. 4A to 4C are diagrams for explaining the catalyst application process step by step in the catalyst coating unit.

도 5는 도 1의 기판 보관부와 제 1이송장치를 보여주는 평면도이다. 5 is a plan view illustrating the substrate storage part and the first transfer device of FIG. 1.

도 6은 기판 보관부의 측면도이다. 6 is a side view of the substrate storage portion.

도 7은 기판 보관부의 카세트를 보여주는 사시도이다. 7 is a perspective view showing a cassette of the substrate storage portion.

도 8은 제 1이송장치의 사시도이다. 8 is a perspective view of the first transfer device.

도 9는 도 1의 회수부의 사시도이다. 9 is a perspective view of a recovery part of FIG. 1.

도 10은 도 9의 회수부의 평면도이다. 10 is a plan view of the recovery part of FIG.

도 11은 회수부에서의 탄소 나노 튜브 회수 과정을 설명하기 위한 도면이다.11 is a view for explaining a carbon nanotube recovery process in the recovery unit.

도 12는 탄소 나노 튜브 생성을 위한 시스템에서의 공정 순서도이다. 12 is a process flow diagram in a system for carbon nanotube production.

도 13은 변형된 촉매 공급부를 설명하기 위한 촉매 도포부의 구성도이다.13 is a block diagram of a catalyst coating unit for explaining the modified catalyst supply unit.

도 14a 및 도 14b는 반응 챔버에서의 소스가스 흐름을 설명하기 위한 도면들 이다.14A and 14B are views for explaining the source gas flow in the reaction chamber.

도 15는 도 14a에 도시된 노즐유닛을 보여주는 사시도이다.FIG. 15 is a perspective view illustrating the nozzle unit illustrated in FIG. 14A.

도 16은 변형된 노즐유닛을 보여주는 사시도이다.16 is a perspective view showing a modified nozzle unit.

도 17은 도 16에 도시된 변형된 노즐유닛을 통한 소스 가스의 흐름을 보여주는 도면이다. 17 is a view showing a flow of source gas through the modified nozzle unit shown in FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* * Explanation of symbols for the main parts of the drawings *

100 : 반응 챔버100: reaction chamber

200 : 스테이션부200: station

300 : 제 1이송장치300: first transfer device

400 : 기판 보관부400: substrate storage

500 : 촉매 도포부500: catalyst coating unit

600 : 회수부600: recovery unit

700 : 제 2이송장치700: second transfer device

본 발명은 탄소 나노 튜브의 대량 생산을 의한 탄소나노튜브 생산 자동화 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 탄소 나노 튜브의 합성이 진행되는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a carbon nanotube production automation system by mass production of carbon nanotubes, and more particularly, to a device for synthesizing carbon nanotubes.

탄소 나노 튜브(Carbon Nano tubes)는 하나의 탄소 원자에 이웃하는 세 개의 탄소 원자가 결합되어 육각 환형을 이루고, 이러한 육각 환형이 벌집 형태로 반복된 평면이 말려 원통형 또는 튜브를 이룬 형태를 가진다. Carbon nanotubes (carbon nanotubes) is formed by combining three carbon atoms adjacent to one carbon atom to form a hexagonal ring, and the hexagonal ring is a honeycomb-shaped plane is rolled to form a cylindrical or tube.

탄소 나노 튜브는 그 구조에 따라 금속적인 도전성 또는 반도체적인 도전성을 나타낼 수 있는 성질을 가진다. 재료로서 여러 기술 분야에 폭넓게 응용될 수 있어 미래의 신소재로 각광을 받고 있다. 예컨대, 탄소 나노 튜브는 이차 전지, 연료 전지 또는 수퍼 커패시터와 같은 전기 화학적 저장 장치의 전극, 전자파 차폐, 전계 방출 디스플레이, 또는 가스 센서 등에 적용가능하다.Carbon nanotubes have properties that can exhibit metallic conductivity or semiconductor conductivity depending on their structure. As a material, it can be widely applied to various technical fields, and it is attracting attention as a new material of the future. For example, carbon nanotubes are applicable to electrodes of electrochemical storage devices such as secondary cells, fuel cells or supercapacitors, electromagnetic shielding, field emission displays, or gas sensors.

이러한 탄소 나노 튜브는 대부분 수작업에 의존한 소량 생산으로 이루어진다. 특히, 합성기판에 촉매를 도포하는 작업이나, 합성기판을 반응관에 로딩/언로딩하는 작업, 탄소 나노 튜브가 합성된 합성기판을 반응로에서 언로딩하여 합성기판으로부터 탄소 나노 튜브를 회수하는 과정 등이 작업자에 의해 진행되기 때문에 연속공정 및 대량 생산이 어렵다. Most of these carbon nanotubes consist of small quantities of hand-dependent production. In particular, a process of applying a catalyst to a synthetic substrate, loading / unloading a synthetic substrate into a reaction tube, and recovering carbon nanotubes from the synthetic substrate by unloading the synthetic substrate on which the carbon nanotubes are synthesized in the reactor. It is difficult to carry out continuous process and mass production because the back is made by worker.

대량 생산을 위해서는 반응로의 구경이 대형화되어야 하며, 대형의 반응로에는 그에 걸맞은 다단/다열 구조의 보트가 사용된다. 그러나, 다단 및 다열 구조의 보트는 합성기판들의 위치에 따라 가스 밀도 편차(보트의 앞열과 뒷열, 아랫단과 윗단의 가스 밀도)가 심각하게 발생된다. 일반적으로 소스가스는 무거워서 반응로 바닥으로 가라앉는 현상이 있다. 이러한 현상때문에, 소스가스는 앞열 아랫단에 위치하는 합성기판으로 과도하게 집중되는 경향이 있고, 뒷열 윗단에 위치하는 합성기판으로는 상대적으로 적은 양의 소스가스만이 공급되면서 전체적인 탄소나노튜브의 생산성이 떨어지는 문제점이 발생되고 있다. For mass production, the size of the reactor must be large, and the large reactor uses a multistage / multi-row boat. However, the boat having a multi-stage and multi-row structure seriously causes gas density deviation (gas density in the front row and the rear row of the boat, the bottom row and the top row) depending on the position of the composite substrates. Generally, the source gas is heavy and sinks to the bottom of the reactor. Because of this phenomenon, the source gas tends to be excessively concentrated on the composite substrate located in the lower row of the front row, and the composite substrate located in the upper row of the rear row supplies only a relatively small amount of source gas, thereby improving the overall carbon nanotube productivity. The falling problem is occurring.

본 발명은 소스가스가 반응로 전체에 균일하게 분포될 수 있는 탄소나노튜브 합성 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a carbon nanotube synthesis apparatus that the source gas can be uniformly distributed throughout the reactor.

본 발명은 소스가스의 사용 효율을 높일 수 있는 탄소나노튜브 합성 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a carbon nanotube synthesis apparatus that can increase the use efficiency of the source gas.

본 발명은 생산성을 향상시킬 수 있는 탄소나노튜브 합성 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a carbon nanotube synthesis apparatus that can improve the productivity.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 합성기판에 탄소 나노 튜브를 합성하기 위한 장치는 탄소나노튜브의 생성공간을 제공하는 반응로; 상기 반응로를 가열하는 가열부; 상기 반응로의 생성공간에 위치되며 합성기판들이 놓여지는 보트; 상기 반응로의 생성공간으로 소스가스를 공급하는 노즐유닛을 갖는 가스 공급부를 포함하되; 상기 노즐 유닛은 서로 다른 높이에서 소스가스를 공급하는 분사부들을 포함한다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the apparatus for synthesizing carbon nanotubes on a composite substrate is a reactor for providing a space for producing carbon nanotubes; A heating unit for heating the reactor; A boat located in the production space of the reactor and on which synthetic substrates are placed; It includes a gas supply unit having a nozzle unit for supplying a source gas to the production space of the reactor; The nozzle unit includes injection parts for supplying source gas at different heights.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 분사부들은 상기 보트보다 높은 위치에서 소스가스를 공급하는 제1분사부; 및 상기 제1분사부보다 낮은 위치에서 소스가스를 공급하는 제2분사부를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the injection unit may include a first injection unit for supplying a source gas at a higher position than the boat; And a second injection unit supplying a source gas at a position lower than the first injection unit.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1분사부는 상기 보트에 인접하도록 길게 형성된 적어도 하나 이상의 롱 노즐을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first spraying part may include at least one long nozzle formed to be adjacent to the boat.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2분사부는 상기 롱 노즐보다 짧은 길이 를 갖는 적어도 하나 이상의 미듐 노즐을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the second injection unit may include at least one medium nozzle having a length shorter than that of the long nozzle.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2분사부는 소스가스가 상기 반응로 전면적에 걸쳐 균일하게 확산되도록 복수의 분사구들을 갖는 샤워헤드를 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the second injection unit may include a shower head having a plurality of injection holes so that the source gas is uniformly spread over the entire reaction furnace.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 분사부들는 위쪽을 향하도록 경사진 분사 각도를 갖는다.According to an embodiment of the present invention, the jets have an inclined jet angle to face upward.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보트는 다단 및 다열로 이루어질 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the boat may be composed of multiple stages and multiple rows.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공된 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This example is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize clearer explanations.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 17을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명은 소스가스의 사용 효율을 높여 탄소 나노 튜브의 생산성을 향상시킬 수 있는 탄소나노튜브 합성 장치를 제공하며, 또한 그러한 합성장치를 갖는 자동화 및 대량 생산이 가능한 탄소 나노 튜브 생산 시스템(1)을 제공한다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 17. The present invention provides a carbon nanotube synthesis apparatus that can improve the productivity of carbon nanotubes by increasing the use efficiency of source gas, and also provides an automated and mass-produced carbon nanotube production system (1) having such a synthesis apparatus. to provide.

도 1은 본 발명의 탄소 나노 튜브 생산 시스템의 일 예를 개략적으로 보여주는 구성도이다. 도 1을 참조하면, 시스템(1)은 합성기판(10), 탄소나노튜브 합성 장치(이하 반응 챔버라함)(100), 그리고 전후처리실을 갖는다. 1 is a schematic view showing an example of a carbon nanotube production system of the present invention. Referring to FIG. 1, the system 1 has a composite substrate 10, a carbon nanotube synthesis apparatus (hereinafter referred to as a reaction chamber) 100, and a post-process chamber.

합성기판(10)은 탄소 나노 튜브(도 7의 30)의 합성이 이루어지는 기저판(base plate)으로서 사용된다. 탄소 나노 튜브(30)가 합성되는 합성기판(10)으로는 실리콘 웨이퍼(silicon wafer), ITO(Induim Tin Oxide) 기판, 코팅된 유리(ITO-coated glass), 소다라임 유리, 코닝 유리, 전이금속이 증착된 기판, 알루미나 등이 사용될 수 있다. 그러나 탄소 나노 튜브(30)를 합성(성장,생성)시키기에 충분한 강성을 가진다면 합성 기판은 상술한 종류의 기판 외에 다양한 종류가 사용될 수 있다.The synthetic substrate 10 is used as a base plate on which carbon nanotubes (30 in FIG. 7) are synthesized. The composite substrate 10 on which the carbon nanotubes 30 are synthesized includes a silicon wafer, an induim tin oxide (ITO) substrate, coated glass (ITO-coated glass), soda-lime glass, corning glass, and transition metal. This deposited substrate, alumina or the like can be used. However, if the carbon nanotube 30 has sufficient rigidity for synthesizing (growing, producing), various kinds of synthetic substrates may be used in addition to the above-described substrates.

반응 챔버(100)는 합성 기판(10) 상에 탄소 나노 튜브(30)를 생성하는 공정을 수행하고, 전후처리실은 반응 챔버(100)로/로부터 로딩/언로딩되는 합성기판(10)에 대한 전처리 공정 및 후처리 공정을 수행한다. 전처리 공정 및 후처리 공정은 기판에 촉매(20)를 도포하는 공정, 또는 합성 기판 상에 생성된 탄소 나노 튜브(30)를 회수하는 공정 등을 포함한다. 전후처리실은 스테이션부(200), 제 1이송장치(300), 기판 보관부(400), 촉매 도포장치(이하 촉매 도포부)(500), 회수부(600), 그리고 제 2이송장치(700)를 가진다. The reaction chamber 100 performs a process of generating carbon nanotubes 30 on the composite substrate 10, and the pre- and post-processing chambers are used for the composite substrate 10 loaded / unloaded from / to the reaction chamber 100. Pretreatment and post-treatment processes are carried out. The pretreatment step and the post-treatment step include a step of applying the catalyst 20 to the substrate, a step of recovering the carbon nanotubes 30 generated on the synthetic substrate, and the like. The post-processing chamber includes a station part 200, a first transfer device 300, a substrate storage part 400, a catalyst coating device (hereinafter referred to as a catalyst application part) 500, a recovery part 600, and a second transfer device 700. )

스테이션부(200)는 반응 챔버(100)로부터 언로딩되는 합성기판(10)이 대기 중에 노출되는 것을 방지한다. 제 1이송장치(300)는 반응 챔버(100)로/로부터 합성기판을 로딩/언로딩한다. 기판 보관부(400)는 반응 챔버(100)로/로부터 로딩되거나 언로딩되는 합성기판을 저장한다. 촉매 도포부(500)는 합성기판(10)이 반응 챔버(100)로 로딩되기 전에 합성기판(10) 상에 촉매(20)를 도포하는 공정을 수행한다. 회수부(600)는 반응 챔버(100)로부터 언로딩된 합성 기판(10) 상에 생성된 탄소 나 노 튜브(30)를 합성 기판(10)으로부터 회수하는 공정을 수행한다. 제 2이송장치(700)는 기판 보관부(400), 촉매 도포부(500), 그리고 회수부(600) 간에 합성기판(10)을 이송한다. The station unit 200 prevents the composite substrate 10 unloaded from the reaction chamber 100 from being exposed to the atmosphere. The first transfer device 300 loads / unloads the composite substrate into / from the reaction chamber 100. Substrate storage 400 stores a composite substrate that is loaded or unloaded into / from reaction chamber 100. The catalyst applicator 500 performs a process of applying the catalyst 20 on the synthetic substrate 10 before the synthetic substrate 10 is loaded into the reaction chamber 100. The recovery unit 600 performs a process of recovering the carbon nanotubes 30 generated on the composite substrate 10 unloaded from the reaction chamber 100 from the composite substrate 10. The second transfer device 700 transfers the synthetic substrate 10 between the substrate storage unit 400, the catalyst application unit 500, and the recovery unit 600.

일 예에 의하면, 스테이션부(200)는 반응 챔버(100)의 일측에 반응 챔버(100)와 나란하게 배치된다. 스테이션부(200)는 제 1영역(240)과 제 2영역(260)을 가진다. 제 1영역(240)은 반응 챔버(100)와 인접하게 배치되며, 제 1영역(240)에는 기판 보관부(400)가 위치된다. 제 2영역(260)은 제 1영역(240)을 기준으로 반응 챔버(100)와 반대 방향에 제공되며 제 1이송장치(300)가 위치된다. 반응 챔버(100)와 제 2영역(260)은 제 1방향(42)으로 동일 선상에 위치되도록 배치된다. 제 1영역(240)은 상부 영역(242)과 하부 영역(244)을 가진다. 상부 영역(242)은 반응 챔버(100) 및 제 2영역(260)과 동일 선상에 위치되는 영역이고, 하부 영역(244)은 상부 영역(242)으로부터 제 1방향(42)과 수직한 제 2방향(44)으로 연장되는 영역이다. 제 1영역(240)과 제 2영역(260)은 각각 대체로 직사각의 형상을 가진다. According to an example, the station unit 200 is disposed side by side with the reaction chamber 100 on one side of the reaction chamber 100. The station unit 200 has a first area 240 and a second area 260. The first region 240 is disposed adjacent to the reaction chamber 100, and the substrate storage unit 400 is positioned in the first region 240. The second region 260 is provided in a direction opposite to the reaction chamber 100 with respect to the first region 240 and the first transfer device 300 is located. The reaction chamber 100 and the second region 260 are disposed in the same direction in the first direction 42. The first region 240 has an upper region 242 and a lower region 244. The upper region 242 is a region located on the same line as the reaction chamber 100 and the second region 260, and the lower region 244 is a second perpendicular to the first direction 42 from the upper region 242. It is an area extending in the direction 44. The first region 240 and the second region 260 are generally rectangular in shape.

촉매 도포부(500)와 회수부(600), 그리고 제 2이송장치(700)는 스테이션부(200)와 인접하게 위치되며, 제 1영역(240)의 상부 영역(242)을 기준으로 하부 영역(244)과 반대되는 위치에 제 1방향(42)과 평행한 방향으로 나란하게 배치된다. 제 2이송장치(700)는 스테이션부(200)의 제 1영역(240)과 대향되는 위치에 배치된다. 또한, 제 2이송장치(700)는 촉매 도포부(500)와 회수부(600) 사이에 위치된다.The catalyst applicator 500, the recovery part 600, and the second transfer device 700 are positioned adjacent to the station part 200 and have a lower area based on the upper area 242 of the first area 240. It is disposed side by side in a direction parallel to the first direction 42 at a position opposite to the (244). The second transfer device 700 is disposed at a position opposite to the first area 240 of the station unit 200. In addition, the second transfer device 700 is located between the catalyst applicator 500 and the recovery part 600.

다음에는 본 발명의 시스템의 각각의 구성요소에 대해 상세히 설명한다.Next, each component of the system of the present invention will be described in detail.

도 1 및 도 14를 참조하면, 반응 챔버(100)는 반응로(reaction tube;120), 가열부(140), 보트(160), 가스 공급부(150), 가스 배기부(180), 잔류가스 검출부(170)를 포함한다.1 and 14, the reaction chamber 100 includes a reaction tube 120, a heating unit 140, a boat 160, a gas supply unit 150, a gas exhaust unit 180, and a residual gas. The detector 170 is included.

반응로(120)는 석영(quartz) 또는 그라파이트(graphite) 등과 같이 열에 강한 재질로 이루어진다. 반응로(120)는 대체로 원통 형상으로 제공될 수 있다. 반응로(120)의 전단에는 반응로(120) 내부를 외부로부터 밀폐하는 플랜지(132)가 설치되며, 반응로의 후단에는 게이트 밸브(222)와 반응로(120)를 연결하는 플랜지(134)가 설치된다. The reactor 120 is made of a heat resistant material such as quartz or graphite. Reactor 120 may be provided in a substantially cylindrical shape. A flange 132 is provided at the front of the reactor 120 to seal the inside of the reactor 120 from the outside, and a flange 134 connecting the gate valve 222 and the reactor 120 to the rear end of the reactor. Is installed.

보트(160)는 합성기판(10)이 다단으로 놓여지는 2층 구조로, 반응로(120) 내에 위치된다. 보트(160)는 반응로(120) 내에 하나만 제공되거나 복수개가 제공될 수 있다. 보트(160)는 충분히 큰 크기로 제공되어, 하나의 보트(160)에 반응로(120)의 길이방향(상술한 제 1방향(42))을 따라 복수 개의 합성기판(10)이 놓여질 수 있다. 선택적으로 보트(160)는 상하 방향 및 길이 방향으로 각각 복수 개의 합성기판들(10)을 지지할 수 있는 크기 및 구조를 가질 수 있다. 일 예에 의하면, 보트(160)들은 상하로 2개씩 그리고 길이방향으로 2개씩 합성기판(10)을 지지할 수 있는 크기 및 구조를 가진다. 보트(160)들은 반응로(120) 내에 고정설치될 수 있다.The boat 160 is a two-layer structure in which the synthetic substrate 10 is placed in multiple stages and is located in the reactor 120. Only one boat 160 may be provided in the reactor 120, or a plurality of boats 160 may be provided. The boat 160 is provided with a sufficiently large size so that a plurality of synthetic substrates 10 may be placed in one boat 160 along the longitudinal direction of the reactor 120 (the first direction 42 described above). . Optionally, the boat 160 may have a size and a structure capable of supporting the plurality of composite substrates 10 in the vertical direction and the longitudinal direction, respectively. According to an example, the boats 160 have a size and a structure capable of supporting the composite substrate 10 two vertically and two longitudinally. The boats 160 may be fixedly installed in the reactor 120.

또한, 보트(160)는 하나의 합성기판(10)을 지지할 수 있는 크기로 제공될 수 있다. 이 경우, 보트(160)는 하나 또는 복수개가 제공될 수 있다. 보트(160)가 복수개 제공되는 경우, 보트(160)들은 반응로(120)의 길이방향(상술한 제 1방향(42))을 따라 복수개가 배치되거나, 선택적으로 제 1방향(42)과 수직한 상하방향으로 적 층될 수 있다. In addition, the boat 160 may be provided in a size capable of supporting one composite substrate 10. In this case, one or more boats 160 may be provided. When a plurality of boats 160 are provided, a plurality of boats 160 may be disposed along the longitudinal direction of the reactor 120 (first direction 42 described above), or optionally perpendicular to the first direction 42. It can be laminated in one vertical direction.

가열부(140)는 반응로(120)를 공정온도로 가열하기 위한 것으로, 가열부(140)는 반응로(120)의 외벽을 감싸도록 설치되는 두꺼운 단열벽(142)과, 이 단열벽(142) 안쪽에 코일 형상의 열선(144)을 포함한다. 공정 진행 중 반응로(120)는 대략 섭씨 500 - 1100도(℃)(공정온도)로 유지될 수 있다. The heating unit 140 is for heating the reactor 120 to a process temperature, the heating unit 140 is a thick heat insulating wall 142 is installed to surround the outer wall of the reactor 120, and the heat insulating wall ( 142 includes a coil-shaped hot wire 144 inside. The reactor 120 during the process may be maintained at approximately 500-1100 degrees Celsius (℃) (process temperature).

가스 공급부(150)는 소스가스 공급원(151), 불활성가스(아르곤 또는 질소) 공급원(152), 공급라인(153) 그리고 노즐유닛(154)을 포함한다.The gas supply unit 150 includes a source gas supply source 151, an inert gas (argon or nitrogen) supply source 152, a supply line 153, and a nozzle unit 154.

반응로(120)의 전단에 설치되는 플랜지(132)에는 가스공급부(150)로부터의 가스 공급을 위한 노즐유닛(154)이 장착된다. 노즐유닛(154)은 플랜지(132)에 형성된 포트를 통해 반응로(120) 내부로 가스를 공급한다.The flange 132 installed at the front of the reactor 120 is equipped with a nozzle unit 154 for supplying gas from the gas supply unit 150. The nozzle unit 154 supplies gas into the reactor 120 through a port formed in the flange 132.

반응로(120)의 크기가 대형화되고 보트(160) 사이즈가 커짐에 따라 반응로(120) 전구간에서의 가스 확산 및 가스농도는 중요한 요소로 작용하게 되며, 이를 위해 본 발명의 노즐 유닛(154)은 다음과 같은 구조적인 특징을 갖는다. As the size of the reactor 120 is increased and the size of the boat 160 is increased, gas diffusion and gas concentration in all sections of the reactor 120 serve as important factors, and for this, the nozzle unit 154 of the present invention. Has the following structural features:

도 14a 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 노즐 유닛(154)은 서로 다른 높이에서 소스가스를 공급하는 제1,2분사부(156,158)들을 갖는다. As shown in FIGS. 14A to 15, the nozzle unit 154 has first and second injection parts 156 and 158 supplying source gas at different heights.

제1분사부(156)는 보트(160)보다 높은 위치에 배치되는 것이 바람직하며, 제2분사부(158)는 제1분사부(156)보다 낮은 위치에 배치된다. 제1분사부(156)는 가능한 보트(160)와 인접하게 위치되도록 긴 파이프로 이루어지는 롱 노즐(156a)들을 포함한다. 그리고 제2분사부(158)는 제1분사부의 롱 노즐(156a)보다는 짧은 길이의 파이프로 이루어지는 미듐 노즐(158a)들을 포함한다. The first injection unit 156 is preferably disposed at a higher position than the boat 160, and the second injection unit 158 is disposed at a lower position than the first injection unit 156. The first injector 156 includes long nozzles 156a made of long pipes to be located as close to the boat 160 as possible. The second spray unit 158 includes medium nozzles 158a formed of a pipe having a shorter length than the long nozzle 156a of the first spray unit.

도 14b에서 점선으로 도시한 바와 같이, 롱 노즐(156a)들과 미듐 노즐(158a)들은 위쪽을 향하는 분사각도를 갖도록 설치될 수 있다. 롱 노즐(156a)들과 미듐 노즐(158a)들이 경사진 분사각도를 갖는 경우, 소스가스는 포물선을 그리면서 좀 더 먼 곳(보트의 뒷열)까지 충분하게 공급될 수 있는 것이다. 이처럼, 노즐 유닛(154)은 반응로(120)의 크기, 보트(160)에 배치되는 합성기판(10)들의 위치 및 개수에 따라 노즐의 형상, 개수, 길이 그리고 분사각도를 조금씩 변경할 수 있다. As shown by a dotted line in FIG. 14B, the long nozzles 156a and the medium nozzles 158a may be installed to have an upward spray angle. When the long nozzles 156a and the medium nozzles 158a have inclined injection angles, the source gas can be supplied to a farther place (back row of the boat) while drawing a parabola. As such, the nozzle unit 154 may change the shape, number, length, and injection angle of the nozzle little by little depending on the size of the reactor 120 and the position and number of the composite substrates 10 arranged in the boat 160.

다층 다열 구조의 보트(160) 구조를 갖는 본 발명은 다단 구조의 노즐 유닛(154)을 적용함으로써 소스가스가 보트(160)의 앞열과 뒷열 그리고 상단과 하단으로 균일하게 공급될 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 이처럼, 다단(상중)구조의 분사부(156,158)들을 갖는 노즐 유닛(154)은 대형 반응로에서의 균일한 가스 확산 및 균일한 가스 농도 분포에 매우 효과적으로 대응할 수 있다. The present invention having the boat 160 structure of the multi-layered multi-layer structure has a special effect that the source gas can be uniformly supplied to the front row and the rear row and the upper and lower rows of the boat 160 by applying the nozzle unit 154 of the multi-stage structure. Have As such, the nozzle unit 154 having the injection stages 156 and 158 of the multi-stage structure can cope very effectively with uniform gas diffusion and uniform gas concentration distribution in a large reactor.

도 16 및 도 17은 변형된 노즐 유닛(154')을 보여주는 도면들이다.16 and 17 show a modified nozzle unit 154 ′.

도 16 및 도 17을 참조하면, 노즐유닛(154')은 제1분사부(156)와 제2분사부(158')를 갖는다. 16 and 17, the nozzle unit 154 ′ has a first spray unit 156 and a second spray unit 158 ′.

제1분사부는 보트(160)보다 높은 위치에 배치되는 것이 바람직하며, 보트(160)와 인접하게 위치되도록 긴 파이프로 이루어지는 롱 노즐(156a)들을 포함한다. 제2분사부(158')는 제1분사부(156) 아래에 위치되며, 소스가스를 반응로(120) 전면적에 걸쳐 균일하게 확산되도록 하는 샤워헤드(159)를 포함한다. 제2분사부(158')의 샤워헤드(159)의 전면에는 다수의 분사구(159a)들이 형성되어 있어 소스가스가 분사구(159)들을 통해 반응로(120) 전면적에 걸쳐 균일하게 공급 확산될 수 있다. The first spray unit is preferably disposed at a higher position than the boat 160 and includes long nozzles 156a made of a long pipe to be positioned adjacent to the boat 160. The second spray unit 158 ′ is positioned below the first spray unit 156 and includes a shower head 159 to uniformly diffuse the source gas over the entire surface of the reactor 120. A plurality of injection holes 159a are formed on the front surface of the shower head 159 of the second injection unit 158 'so that source gas can be uniformly supplied and diffused through the injection holes 159 over the entire area of the reactor 120. have.

여기서, 소스가스로는 주로 아세틸렌, 에틸렌, 메탄, 벤젠, 크실렌, 일산화탄소 및 이산화탄소로 이루어지는 그룹에서 선택된 적어도 하나가 사용될 수 있다. 소스가스는 열분해에 의해 라디칼로 분해되며 이 라디칼들이 합성기판(10)위에 도포된 촉매와 반응하여 탄소나노튜브를 합성한다.Here, at least one selected from the group consisting mainly of acetylene, ethylene, methane, benzene, xylene, carbon monoxide and carbon dioxide may be used as the source gas. The source gas is decomposed into radicals by pyrolysis, and the radicals react with the catalyst applied on the synthetic substrate 10 to synthesize carbon nanotubes.

가스 배기부(180)는 반응로(120) 내부의 가스 배기를 위한 것으로, 가스배기덕트(184), 가스배기덕트(184)에 연결되는 메인 배기라인(185) 그리고 상기 메인 배기라인(185)으로부터 분기되는 제1배기라인인 송풍배기라인(186)과 제2배기라인인 진공배기라인(187)을 포함한다. 가스배기덕트(184)는 반응로(120)의 타단에 설치되는 플랜지(134)에 설치된다. 이들 송풍배기라인(186)과 진공배기라인(187)에는 제1,2밸브(186a,187a)가 설치되며, 이들은 배기 제어부(미도시됨)에 의해 선택적으로 개폐된다. The gas exhaust unit 180 is for exhausting the gas inside the reactor 120, and includes a main gas exhaust duct 184, a main exhaust line 185 connected to the gas exhaust duct 184, and the main exhaust line 185. And a blowout exhaust line 186, which is a first exhaust line, branched from the vacuum exhaust line 187, which is a second exhaust line. The gas exhaust duct 184 is installed at the flange 134 installed at the other end of the reactor 120. The blower exhaust line 186 and the vacuum exhaust line 187 are provided with first and second valves 186a and 187a, which are selectively opened and closed by an exhaust control unit (not shown).

잔류가스 검출부(170)는 반응로(120) 내에 잔류하는 소스가스(이하, 잔류가스)(특히, 잔류가스 중에 수소 가스)가 남아 있는지를 검출하여, 반응로(120)로부터 합성기판(10)의 언로딩을 단속하기 위한 것이다. 잔류가스 검출부(170)는 가스 검출기(172)와 제어부(178)를 포함한다. 가스검출기(172)는 수소가스의 농도를 검출하는 가스센서를 갖는 검출부와, 검출부로 검출 대상 기체가 유입되는 제1,2흡입포트 그리고 검출부를 통과한 검출 대상 기체가 배기되는 배출포트를 포함한다. 제1흡입포트는 가스 배기부(180)의 가스배기덕트(184)에 연결되도록 설치되며, 제2흡입포트는 외부 공기가 유입되도록 설치된다. 가스검출기(172)는 지속적으로 가스 를 흡입하는 압력이 걸리기 때문에, 가스 검출기(172)는 제1,2흡입포트에 설치된 밸브 조작을 통해 필요한 단계에서만 반응로(120)의 잔류가스를 검출하게 된다. 즉, 공정중에는 반응로 외부의 가스(공기)가 유입되도록 제2흡입포트를 열어놓고, 공정이 끝나고 제1게이트 밸브(222)를 오픈하기 바로 전에는 제1흡입포트를 열어놓고 반응로(120)의 잔류가스를 검출하게 된다. The residual gas detector 170 detects whether source gas (hereinafter, referred to as residual gas) (particularly, hydrogen gas in the residual gas) remaining in the reactor 120 remains, and then, from the reactor 120, synthesizes the substrate 10. Is to crack down on unloading. The residual gas detector 170 includes a gas detector 172 and a controller 178. The gas detector 172 includes a detector having a gas sensor for detecting the concentration of hydrogen gas, first and second suction ports through which the gas to be detected flows into the detector, and a discharge port through which the gas to be detected passing through the detector is exhausted. . The first suction port is installed to be connected to the gas exhaust duct 184 of the gas exhaust unit 180, and the second suction port is installed to allow external air to flow therein. Since the gas detector 172 is constantly pressurized to inhale gas, the gas detector 172 detects residual gas in the reactor 120 only at a necessary stage through a valve operation installed at the first and second suction ports. . That is, during the process, the second suction port is opened so that gas (air) outside the reactor flows, and the first suction port is opened just before the first gate valve 222 is opened after the process is completed, and the reactor 120 is opened. The residual gas of the is detected.

제어부(178)는 가스검출기(172)에서 검출된 잔류가스의 농도값에 따라 제1게이트 밸브(222)의 잠금 상태를 유지 또는 해제하게 된다. 예를 들어, 가스 검출기(172)에서 잔류가스의 수소 농도값이 일정값 이상 검출되면, 제어부(178)는 제1게이트 밸브(222)의 잠금 상태를 계속 유지시킨다. 반대로, 가스검출기(172)에서 잔류가스의 수소 농도값이 일정값 이하로 검출되면, 제어부(178)는 제1게이트 밸브(222)의 잠금 상태를 해제시켜 다음 스텝이 진행되도록 한다. The controller 178 maintains or releases the locked state of the first gate valve 222 according to the concentration value of the residual gas detected by the gas detector 172. For example, when the hydrogen concentration value of the residual gas is detected by the gas detector 172 or more, the controller 178 keeps the locked state of the first gate valve 222. On the contrary, when the hydrogen concentration value of the residual gas is detected at the gas detector 172 to a predetermined value or less, the controller 178 releases the lock state of the first gate valve 222 to allow the next step to proceed.

한편, 제1게이트밸브(222)는 스테이션부(200)와 반응 챔버(100) 사이에 설치되어, 이들 간에 합성기판(10)이 이동되는 통로를 개폐하게 된다. 제 1게이트 밸브(222)는 반응 챔버(100)와 인접하여 배치될 경우 반응 챔버(100) 내 복사열에 의해 게이트 밸브의 오링 등이 손상될 수 있다. 이를 방지하기 위해 반응 챔버(100)의 길이를 충분히 길게 하여 가열부(140)와 제1게이트 밸브(222)간 충분한 거리를 충분히 유지하도록 할 수 있다. 그러나 이 경우 반응 챔버(100)의 길이 증가로 인해 시스템(1)이 대형화된다. On the other hand, the first gate valve 222 is installed between the station 200 and the reaction chamber 100, and opens and closes the passage through which the composite substrate 10 is moved between them. When the first gate valve 222 is disposed adjacent to the reaction chamber 100, the O-ring of the gate valve may be damaged by radiant heat in the reaction chamber 100. In order to prevent this, the length of the reaction chamber 100 may be sufficiently long to sufficiently maintain a sufficient distance between the heating unit 140 and the first gate valve 222. In this case, however, the system 1 becomes larger due to the increase in the length of the reaction chamber 100.

본 실시예에 의하면, 시스템(1)의 대형화를 방지함과 동시에 제 1게이트 밸브(222)가 복사열에 의해 손상되는 것을 방지하기 위해 제 1게이트 밸브(222)와 반 응 챔버(100) 사이에 열 차단부재(190)가 설치된다. 열 차단부재(190)로는 반응 챔버(100)로부터 제 1게이트 밸브(222)로 전해지는 복사열을 차단하기 위한 알루미나와 같이 열전도율이 낮은 재질의 차단판이 사용될 수 있다. 일반 금속재질로 차단판을 사용할 경우 금속 차단판의 열변형 및 차단효율을 높이기 위해 냉각수를 공급할 수 있다. 차단부재(190)는 제 1게이트 밸브(222)가 닫혀 있는 동안에는 제 1게이트 밸브(222)의 전방에 위치되고, 제 1게이트 밸브(222)가 개방된 때에는 합성기판(10)의 이동경로를 방해하지 않는 위치로 이동된다. According to this embodiment, between the first gate valve 222 and the reaction chamber 100 to prevent the system 1 from being enlarged and to prevent the first gate valve 222 from being damaged by radiant heat. The heat blocking member 190 is installed. As the heat blocking member 190, a blocking plate of a material having a low thermal conductivity such as alumina for blocking radiant heat transmitted from the reaction chamber 100 to the first gate valve 222 may be used. When the barrier plate is used as a general metal material, cooling water can be supplied to increase the thermal deformation and the barrier efficiency of the barrier plate. The blocking member 190 is positioned in front of the first gate valve 222 while the first gate valve 222 is closed. When the first gate valve 222 is opened, the blocking member 190 moves the movement path of the composite substrate 10. Move to a location that does not interfere.

본 실시예에서는 탄화수소를 열분해 하여 탄소 나노 튜브(30)를 생산하는 열분해법(pyrolysis of hydrocarbon)이 적용된 구조를 가진 반응 챔버(100)를 예를 들어 설명하였으나, 이는 하나의 예에 불과하며, 본 발명의 시스템(1)은 레이저증착법, 플라즈마 화학 기상 증착법, 열화학 기상증착법, 플레임(flame) 합성방법 등의 다양한 생성방식이 적용된 구조를 가진 반응 챔버가 사용될 수 있다. In the present embodiment, a reaction chamber 100 having a structure to which pyrolysis of hydrocarbon is applied by pyrolyzing hydrocarbons to produce carbon nanotubes 30 is described as an example, but this is only one example. As the system 1 of the present invention, a reaction chamber having a structure to which various production methods such as laser deposition, plasma chemical vapor deposition, thermochemical vapor deposition, and flame synthesis can be applied may be used.

스테이션부(200)는 외부와 격리된 챔버(200a)를 포함한다. 스테이션부(200)와 반응 챔버(100) 사이에는 이들 간에 합성기판(10)이 이동되는 통로를 개폐하는 제 1게이트 밸브(222)가 설치되고, 스테이션부(200)와 제 2이송장치(700) 사이에는 이들 간에 합성기판(10)이 이동되는 통로를 개폐하는 제 2게이트 밸브(224)가 설치된다. The station unit 200 includes a chamber 200a isolated from the outside. A first gate valve 222 is installed between the station unit 200 and the reaction chamber 100 to open and close a passage through which the composite substrate 10 moves, and the station unit 200 and the second transfer device 700 are provided therebetween. The second gate valve 224, which opens and closes the passage through which the composite substrate 10 moves between them, is installed between them.

스테이션부(200)에는 그 내부로 질소, 아르곤 등과 같은 불활성가스를 공급하는 가스 공급부재(280)가 설치된다. 불활성 가스는 스테이션부(200) 내부에 공기(특히, 산소)를 제거하고 스테이션부(200) 내부를 비활성 가스 분위기를 유지한다. 이는 스테이션부(200) 내에 반응 챔버(100)로부터 합성기판(10)이 언로딩될 때, 합성기판(10) 상에 생성된 고온의 탄소 나노 튜브(30)가 산소와 접촉되는 것을 방지한다. 가스 공급부재(280)는 제 1영역(240)에 제공되는 것이 바람직하다.The station unit 200 is provided with a gas supply member 280 for supplying an inert gas such as nitrogen, argon, and the like into the station unit 200. The inert gas removes air (particularly oxygen) inside the station unit 200 and maintains an inert gas atmosphere inside the station unit 200. This prevents the hot carbon nanotubes 30 generated on the composite substrate 10 from contacting with oxygen when the composite substrate 10 is unloaded from the reaction chamber 100 in the station unit 200. The gas supply member 280 is preferably provided in the first region 240.

합성기판(10)은 반응 챔버(100)로 로딩되기 전에, 촉매 도포부(500)에서 상면에 촉매(20)(금속막)가 도포된다. 도 2는 도 1에 도시된 촉매 도포부(500)의 구성도이고, 도 3은 도 2의 선 A-A′를 따라 절단후 상부에서 바라본 촉매 도포부(500)의 평면도이다. Before the synthetic substrate 10 is loaded into the reaction chamber 100, the catalyst 20 (metal film) is coated on the upper surface of the catalyst applying unit 500. FIG. 2 is a configuration diagram of the catalyst applicator 500 shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of the catalyst applicator 500 viewed from the top after cutting along the line A-A 'of FIG. 2.

도 2와 도 3을 참조하면, 촉매 도포부(500)는 스테이지(590), 촉매 공급부(520) 그리고 브러시 유닛(580)을 갖는다. 이들은 밀폐된 투명한 케이스(510) 내부에 설치된다. 2 and 3, the catalyst applicator 500 includes a stage 590, a catalyst supply part 520, and a brush unit 580. They are installed inside the sealed transparent case 510.

공정 진행시 합성기판(10)은 케이스(510)의 일측에 형성된 출구를 통해 스테이지(590) 상에 놓여진다. 스테이지(590)는 사이에 합성기판(10)이 위치되도록 일정간격 이격되어 서로 대향되도록 배치되는 2개의 측판들(592)과 각각의 측판(592)에 안쪽으로 돌출되도록 설치되어 합성기판(10)의 가장자리 영역을 지지하는 복수의 지지돌기들(594)을 가진다. 각각의 측판(592)에 지지돌기(594)는 복수개가 설치될 수 있다. During the process, the composite substrate 10 is placed on the stage 590 through an outlet formed at one side of the case 510. The stage 590 is installed to protrude inwardly on the two side plates 592 and the respective side plates 592 which are spaced apart from each other so as to face each other so that the composite substrate 10 is located therebetween. It has a plurality of support protrusions 594 supporting the edge region of the. A plurality of support protrusions 594 may be installed on each side plate 592.

촉매 공급부(520)는 촉매 저장 탱크(521)와 정량 공급부(560)를 포함한다. The catalyst feeder 520 includes a catalyst storage tank 521 and a metered feeder 560.

촉매 저장 탱크(521)는 스테이지(590) 상부에 배치되며 합성기판(10) 상면에 일정량의 촉매(20)를 공급하는 토출구(526a)를 갖는다. 브러시 유닛(580)은 합성기판(10) 상면으로 공급된 촉매(20)를 합성기판(10) 상면에 균일한 두께로 펴준다. The catalyst storage tank 521 is disposed above the stage 590 and has a discharge port 526a for supplying a predetermined amount of the catalyst 20 to the upper surface of the synthetic substrate 10. The brush unit 580 spreads the catalyst 20 supplied to the upper surface of the synthetic substrate 10 to a uniform thickness on the upper surface of the synthetic substrate 10.

브러시 유닛(580)은 가이드 레일(584), 도포용 브러시(587), 그리고 이동체(588)를 포함한다. 가이드 레일(584)은 합성기판(10)이 놓여지는 스테이지(590)의 양측에 길이방향으로 설치된다. 이동체(588)는 가이드 레일(584)에 이동 가능하게 설치되며, 이동체(588)는 리니어모터 구동방식, 실린더 구동방식, 모터 구동방식과 같은 공지의 직선 이동 구동부(586)에 의해 직선 이동된다. 도포용 브러시(587)는 촉매(20)를 합성기판(10) 전면에 균일한 두께로 펴 준다. 도포용 브러시(587)는 스테이지(590)의 상부에 합성기판(10)과는 촉매 도포 두께만큼 이격되도록 위치된다. 도포용 브러시(587)는 그 양단이 이동체(588)에 연결되어 이동체(588)와 함께 슬라이드 방식으로 이동된다. 도포용 브러시(587)는 진행방향에 대하여 특정한 경사면을 갖는 플레이트 형상으로 제공될 수 있다. The brush unit 580 includes a guide rail 584, an application brush 587, and a movable body 588. The guide rails 584 are installed in the longitudinal direction on both sides of the stage 590 on which the composite substrate 10 is placed. The movable body 588 is movably installed on the guide rail 584, and the movable body 588 is linearly moved by a known linear movement driver 586 such as a linear motor drive method, a cylinder drive method, and a motor drive method. The coating brush 587 spreads the catalyst 20 in a uniform thickness on the entire surface of the synthetic substrate 10. The coating brush 587 is positioned above the stage 590 to be spaced apart from the synthetic substrate 10 by a thickness of a catalyst coating. Both ends of the coating brush 587 are connected to the movable body 588 and are moved in a slide manner together with the movable body 588. The application brush 587 may be provided in a plate shape having a specific inclined surface with respect to the advancing direction.

도포용 브러시(587)는 합성기판(10) 상면에 도포되는 촉매(20)의 도포 두께에 따라 이동체(588) 상에서 높낮이 조절이 가능하도록 설치되며, 도포용 브러시(587)의 높낮이 조절은 수직이동기(589)에 의해 이루어진다. 수직이동기(589)는 이동체(588)의 상단에 고정결합되는 상부판(589a), 이와 대향되도록 이동체(588)의 하단에 고정결합되는 하부판(589b), 그리고 상부판(589a)과 하부판(589b)을 연결하도록 수직하게 배치된 가이드축(589c)을 가진다. 가이드축(589c)에는 통상의 구동기(도시되지 않음)에 의해 가이드축(589c)을 따라 상하방향으로 직선 이동되며, 도포용 브러시(587)가 고정장착되는 브라켓(589d)이 설치된다. The coating brush 587 is installed to adjust the height on the movable body 588 according to the coating thickness of the catalyst 20 applied on the upper surface of the composite substrate 10, and the height adjusting of the coating brush 587 is performed by the vertical mover. (589). The vertical mover 589 includes an upper plate 589a fixedly coupled to the upper end of the movable body 588, a lower plate 589b fixedly coupled to the lower end of the movable body 588 to face the upper plate 589a, and an upper plate 589a and the lower plate 589b. ) Has a guide shaft 589c disposed vertically. The guide shaft 589c is linearly moved up and down along the guide shaft 589c by a normal driver (not shown), and a bracket 589d to which the application brush 587 is fixedly mounted is provided.

촉매 저장 탱크(521)는 내부에 저장된 촉매(20)를 합성기판(10) 상으로 공급한다. 촉매 저장 탱크(521)는 덮개방식의 상부면(522), 측면(524), 그리고 토출구 (526a)가 형성된 하부면(526)을 가진다. 측면(524)은 대체로 수직한 상측부(524a), 이로부터 아래로 연장되며 아래로 갈수록 안쪽으로 경사진 중간측부(524b), 그리고 이로부터 아래로 대체로 수직하게 연장되며 좁은 통로를 제공하는 하측부(524c)를 가진다. 상술한 구조로 인해 상측부(524a)에 의해 제공된 공간에는 하측부(524c)에 의해 제공된 공간에 비해 동일 높이에 해당되는 영역에 많은 량의 촉매(20)가 저장된다. 상술한 중간측부(524b)의 형상에 의해 상측부(524a)에 의해 제공된 공간 내 촉매(20)는 원활하게 하측부(524c)에 의해 제공된 공간으로 공급된다. The catalyst storage tank 521 supplies the catalyst 20 stored therein onto the synthetic substrate 10. The catalyst storage tank 521 has a lid top surface 522, a side surface 524, and a bottom surface 526 on which a discharge port 526a is formed. Side 524 is a generally vertical upper portion 524a, a middle side portion 524b extending downwardly therefrom and inclined inwardly downward, and a lower portion extending generally vertically downwardly therefrom and providing a narrow passageway. Has 524c. Due to the above-described structure, a large amount of catalyst 20 is stored in the space provided by the upper portion 524a in a region corresponding to the same height as compared to the space provided by the lower portion 524c. Due to the shape of the intermediate side portion 524b described above, the catalyst 20 in the space provided by the upper portion 524a is smoothly supplied into the space provided by the lower portion 524c.

촉매 저장 탱크(521)에는 합성기판(10) 상면으로 설정된 량만큼 촉매(20)가 공급되도록 하는 정량 공급부(560)가 설치된다. 정량 공급부(560)는 설정된 량의 촉매(20)가 담겨질 수 있는 정량 공간(568)을 제공할 수 있는 상부 차단판(564)과 하부 차단판(562)을 가진다. 상부 차단판(564)과 하부 차단판(562)는 하측부(524c)에 제공된다. 정량 공간(568)은 촉매 저장 탱크(521)의 토출구(526a) 상부에 위치되며, 상부 차단판(564)은 정량 공간(568)의 상단으로 제공되고, 하부 차단판(562)은 정량 공간(568)의 하단으로 제공된다. 상부 차단판(564)과 하부 차단판(562)은 실린더(566)와 같은 구동수단에 의해 작동된다. 하부 차단판(562)이 닫혀진 상태에서 상부 차단판(564)이 닫혀지면, 하부 차단판(562)과 상부 차단판(564) 사이에 설정된 량 만큼의 촉매(20)가 정량공간(568)에 채워진다. The catalyst storage tank 521 is provided with a quantitative supply unit 560 for supplying the catalyst 20 by an amount set to the upper surface of the synthetic substrate 10. The metered feeder 560 has an upper barrier plate 564 and a lower barrier plate 562 that can provide a quantitative space 568 in which a set amount of catalyst 20 can be contained. The upper blocking plate 564 and the lower blocking plate 562 are provided at the lower side 524c. The metering space 568 is located above the discharge port 526a of the catalyst storage tank 521, the upper blocking plate 564 is provided to the top of the metering space 568, the lower blocking plate 562 is the metering space ( 568). The upper block plate 564 and the lower block plate 562 are operated by driving means such as the cylinder 566. When the upper blocking plate 564 is closed while the lower blocking plate 562 is closed, the amount of the catalyst 20 that is set between the lower blocking plate 562 and the upper blocking plate 564 enters the metering space 568. Is filled.

하부 차단판(562)이 개방되면 정량 공간(568)에 담겨진 촉매(20)가 토출구(526a)를 통해 합성기판(10) 상면으로 공급된다. 한편, 촉매 저장 탱크(521)의 중간측부(524b)에는 촉매(20)를 교반시키는 교반기(540)가 설치된다. 교반기(540)의 교반날개(542)는 촉매(20)가 정량 공간으로 공급되기 전 회전하여 촉매 저장 탱크(521) 내부의 빈공간을 제거함과 동시에 촉매(20)가 정량 공간(568)으로 자연스럽게 공급되도록 유도하는 역할을 갖는다. When the lower blocking plate 562 is opened, the catalyst 20 contained in the metering space 568 is supplied to the upper surface of the synthetic substrate 10 through the discharge port 526a. On the other hand, an agitator 540 is provided in the middle side portion 524b of the catalyst storage tank 521 to stir the catalyst 20. The stirring blade 542 of the stirrer 540 rotates before the catalyst 20 is supplied to the quantitative space to remove the empty space inside the catalyst storage tank 521 and the catalyst 20 naturally moves to the quantitative space 568. Has a role of inducing supply.

도 4a 내지 도 4c는 촉매 도포부(500)에서의 촉매 도포 과정을 단계적으로 설명하기 위한 도면들이다. 도 4a 내지 도 4c를 참조하면, 합성기판(10)이 제 2이송장치(700)에 의해 스테이지(590)에 놓여지면, 하부 차단판(562)이 실린더(566)에 의해 작동되어 측방향으로 이동되면서 정량 공간(568) 하부를 개방하게 되고, 정량 공간(568)에 담겨져 있던 설정된 량의 촉매(20)가 합성기판(10) 상면으로 떨어진다(도 4a). 합성기판(10) 상면에 수북하게 쌓인 촉매(20)는 브러시 유닛(580)에 의해 합성기판(10) 전면에 균일한 두께로 도포된다(도 4b, 도 4c). 즉, 도포용 브러시(587)는 이동체(588)와 함께 합성기판(10)의 일단에서 타단까지 슬라이드 이동하면서 촉매(20)를 합성기판(10) 전면에 균일하게 도포시킨다. 이때 촉매(20)의 균일한 도포를 위한 진동모터와 같은 진동기가 추가로 설치될 수 있다. 진동기는 도포용 브러시(587) 또는 합성기판(10)에 진동을 가해줄 수 있는 곳에 설치되는 것이 바람직하다. 4A to 4C are diagrams for explaining the catalyst application process in the catalyst applying unit 500 step by step. 4A to 4C, when the composite substrate 10 is placed on the stage 590 by the second transfer device 700, the lower blocking plate 562 is operated by the cylinder 566 to move laterally. While moving, the lower part of the quantitative space 568 is opened, and the set amount of the catalyst 20 contained in the quantitative space 568 falls to the upper surface of the synthetic substrate 10 (FIG. 4A). Catalyst 20 stacked on the upper surface of the synthetic substrate 10 is applied to the entire surface of the synthetic substrate 10 by a brush unit 580 in a uniform thickness (Figs. 4b, 4c). That is, the application brush 587 uniformly applies the catalyst 20 to the entire surface of the synthetic substrate 10 while slidingly moving from one end to the other end of the synthetic substrate 10 together with the moving body 588. In this case, a vibrator such as a vibration motor for uniform application of the catalyst 20 may be additionally installed. The vibrator is preferably installed where it can apply vibration to the application brush 587 or the composite substrate 10.

여기서, 촉매(20)는 예를 들면 철, 백금, 코발트, 니켈, 이트륨 등의 전이금속과 또는 이들의 합금 및 산화마그네슘(MgO), 알루미나(Al2O3), 실리카(SiO2) 등의 다공성 물질이 혼합된 분말형태일 수 있으며, 또는 이러한 소재가 포함된 액상 의 촉매(20)일 수 있다. Here, the catalyst 20 is a mixture of transition metals such as iron, platinum, cobalt, nickel, and yttrium, and alloys thereof, and porous materials such as magnesium oxide (MgO), alumina (Al2O3), and silica (SiO2). It may be in the form of powder, or may be a liquid catalyst 20 containing such a material.

도 13에서와 같이, 촉매(20)가 액상인 경우에는 촉매 공급부(520')는 액상의 촉매가 담겨진 촉매 저장 탱크(530), 공급라인(532), 공급라인(532) 상에 설치되는 정량공급용 펌프(534) 그리고 액상의 촉매(20)를 합성기판 상면으로 공급하는 공급노즐(536)을 포함할 수 있으며, 공급노즐(536)은 합성기판(10)의 폭과 대응되는 길이를 갖는 슬릿타입의 노즐로 이루어진다. 공급노즐(536)은 가이드레일(538)을 따라 합성기판의 일측에서 타측까지 이동하면서 합성기판(10)에 균일한 두께로 촉매를 도포할 수 있으며, 이 경우 공급노즐(536)이 합성기판(10)에 직접 촉매를 균일하게 도포함으로써 브러시 유닛을 생략할 수 있다. As shown in FIG. 13, when the catalyst 20 is in the liquid phase, the catalyst supply part 520 ′ is fixed on the catalyst storage tank 530, the supply line 532, and the supply line 532 in which the liquid catalyst is contained. It may include a supply pump 534 and a supply nozzle 536 for supplying the liquid catalyst 20 to the upper surface of the synthetic substrate, the supply nozzle 536 has a length corresponding to the width of the synthetic substrate 10 It consists of a slit type nozzle. The supply nozzle 536 may apply the catalyst to the synthetic substrate 10 with a uniform thickness while moving from one side to the other side of the synthetic substrate along the guide rail 538, in which case the supply nozzle 536 may be a synthetic substrate ( The brush unit can be omitted by uniformly applying the catalyst directly to 10).

상술한 예에서는 도포용 브러시(587)가 이동하면서 합성기판(10) 상에 촉매(20)를 균일하게 도포하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 도포용 브러시(587)는 고정되고 스테이지가 이동될 수 있다. 그러나 촉매 도포부(500)의 공간을 줄이기 위해 상술한 예와 같이 도포용 브러시(587)가 이동되는 것이 바람직하다.In the above-described example, it has been described that the catalyst 20 is uniformly coated on the synthetic substrate 10 while the application brush 587 moves. Alternatively, the application brush 587 is fixed and the stage can be moved. However, in order to reduce the space of the catalyst coating unit 500, it is preferable that the coating brush 587 is moved as in the above-described example.

또한, 상술한 예에서는 촉매(20)는 촉매 도포부(500)에서 별도로 합성기판(10) 상에 도포되고, 반응 챔버(100) 내에서는 촉매(20)가 도포된 합성기판(10) 상에 탄소나노튜브(30)를 생성시키는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 촉매 도포부를 제거하고, 반응 챔버 내에서 촉매 가스 및 소스가스를 공급하여 합성기판 상에 촉매 도포 및 탄소 나노 튜브의 생성이 이루어질 수 있다.In addition, in the above-described example, the catalyst 20 is applied on the synthetic substrate 10 separately from the catalyst applying unit 500, and in the reaction chamber 100 on the synthetic substrate 10 to which the catalyst 20 is applied. It has been described as generating carbon nanotubes 30. Alternatively, however, the catalyst applicator may be removed, and the catalyst gas and the source gas may be supplied in the reaction chamber to apply the catalyst and generate carbon nanotubes on the synthetic substrate.

도 5는 기판 보관부(400)와 제 1이송장치(300)의 평면도이고, 도 6은 기판 보관부의 측면도이다. 도 5와 도 6을 참조하면, 기판 보관부(400)는 합성기판(10) 을 보관하는 카세트(420), 수직 레일들(442), 수평 레일(444), 그리고 이동 프레임들(446)을 가진다. 수직 레일들(442)은 제 1영역(240)의 모서리 부분에 각각 배치된다. 수직 레일들(442)은 상하 방향으로 긴 로드 형상을 가지며, 이동 프레임(446)의 상하 이동을 안내한다. 각각의 수직 레일(442)에는 수직 레일(442)을 따라 수직 구동부(도시되지 않음)에 의해 상하로 이동되는 브라켓(448)이 결합된다. 각각의 이동 프레임(446)은 제 1방향(42)을 따라 길게 제공되며, 서로 대향되도록 배치된다. 이동 프레임(446)은 브라켓(448)에 고정결합되어 브라켓(448)과 함께 수직 레일(442)을 따라 상하로 직선이동된다. 각각의 이동 프레임(446)의 양단은 각각 제 1방향(42)으로 서로 대향되는 브라켓들에 고정설치되며, 이동 프레임들(446)은 브라켓(448)과 함께 상하로 이동된다. 이동 프레임(446) 상에는 수평 레일(444)이 고정 설치된다. 각각의 수평 레일(444)은 제 2방향(44)을 따라 길게 제공되며, 수평 레일들(444)은 서로 대향되도록 배치된다. 수평 레일(444)은 제 1영역(240) 전체 영역에 걸쳐 제공되며, 수평 레일(444) 상에는 수평 레일(444)을 따라 제 2방향(44)으로 이동가능하도록 카세트(420)가 장착된다. 5 is a plan view of the substrate storage unit 400 and the first transfer device 300, Figure 6 is a side view of the substrate storage unit. 5 and 6, the substrate storage unit 400 may include a cassette 420, a vertical rails 442, a horizontal rail 444, and moving frames 446 for storing the composite substrate 10. Have The vertical rails 442 are disposed at corners of the first region 240, respectively. The vertical rails 442 have a long rod shape in the vertical direction and guide the vertical movement of the moving frame 446. Each vertical rail 442 is coupled with a bracket 448 that is moved up and down by a vertical drive (not shown) along the vertical rail 442. Each moving frame 446 is provided long along the first direction 42 and is disposed to face each other. The moving frame 446 is fixedly coupled to the bracket 448 and linearly moves up and down along the vertical rail 442 together with the bracket 448. Both ends of each moving frame 446 are fixed to brackets facing each other in the first direction 42, and the moving frames 446 are moved up and down together with the bracket 448. The horizontal rail 444 is fixedly installed on the moving frame 446. Each horizontal rail 444 is provided long along the second direction 44, and the horizontal rails 444 are disposed to face each other. The horizontal rail 444 is provided over the entire area of the first region 240, and the cassette 420 is mounted on the horizontal rail 444 to be movable in the second direction 44 along the horizontal rail 444.

도 5에 도시된 바와 같이, 카세트(420)는 점선으로 표시된 대기위치와 실선으로 표시된 로딩/언로딩 위치(X2)(반응 챔버와 연결되는 제 1게이트 밸브(222) 바로 앞) 사이에서 수평 이동된다. 대기 위치(X1)는 제 1영역(240)의 하부 영역(244) 내 위치이고 로딩/언로딩 위치(X2)는 제 1영역(240)의 상부 영역(242) 내 위치이다. 카세트(420)는 반응 챔버(100)로/로부터 합성기판(10)을 로딩/언로딩할 때와 제 2이송장치(700)에 의한 합성기판(10) 이송시 로딩/언로딩 위치(X2)로 이동되며, 합성기판(10)의 온도를 낮추기 위해 대기할 때에는 대기위치(X1)로 이동한다. As shown in Fig. 5, the cassette 420 is moved horizontally between the standby position indicated by the dotted line and the loading / unloading position X2 indicated by the solid line (just before the first gate valve 222 connected to the reaction chamber). do. The standby position X1 is a position in the lower region 244 of the first region 240 and the loading / unloading position X2 is a position in the upper region 242 of the first region 240. The cassette 420 is loaded / unloaded position (X2) when loading / unloading the composite substrate 10 into / from the reaction chamber 100 and when transferring the composite substrate 10 by the second transfer device 700. Is moved to, and when waiting to lower the temperature of the composite substrate 10 is moved to the standby position (X1).

도 7은 카세트(420)의 사시도이다. 반응 챔버(100)로 로딩될 합성기판(10) 및 반응 챔버(100)로부터 언로딩된 합성기판들(10)은 카세트(420)에 보관된다. 도 7을 참조하면, 카세트(420)는 지지부들(422), 상판(424) 및 하판(426), 그리고 수직축들(428)을 가진다. 상판(424)과 하판(426)은 대체로 직사각 형상으로 제공되며 상하로 서로 마주보도록 배치된다. 수직축들(428)은 상판(424)과 하판(426)의 서로 마주보는 모서리 영역을 연결하며 4개가 제공된다. 수직축(428)에는 합성기판(10)이 카세트(420)에 적층되어 보관되도록 합성기판(10)을 지지하는 지지부들(422)이 설치된다. 각각의 지지부(422)는 합성기판(10)의 가장자리 부분을 지지하는 4개의 지지블럭(423)을 가진다. 지지부들(422)은 2개의 그룹으로 그룹지어진다. 제 1그룹에 속하는 지지부들(422a, 이하 제 1지지부)은 반응 챔버(100)로 로딩될 합성기판(10)들을 지지하며, 제 2그룹에 속하는 지지부들(422b, 이하 제 2지지부)은 반응 챔버(100)로부터 언로딩된 합성기판(10)들을 지지한다. 일 예에 의하면, 제 1지지부(422a) 및 제 2지지부(422b)는 각 4개씩 제공되며, 제 1지지부들(422a)은 제 2지지부들(422b)의 상부에 위치되도록 제공된다.7 is a perspective view of the cassette 420. The composite substrate 10 to be loaded into the reaction chamber 100 and the composite substrates 10 unloaded from the reaction chamber 100 are stored in the cassette 420. Referring to FIG. 7, the cassette 420 has supports 422, an upper plate 424 and a lower plate 426, and vertical axes 428. The upper plate 424 and the lower plate 426 are generally provided in a rectangular shape and are disposed to face each other up and down. The vertical axes 428 connect four corner portions of the upper plate 424 and the lower plate 426 facing each other. Support portions 422 supporting the composite substrate 10 are installed on the vertical axis 428 so that the composite substrate 10 is stacked and stored in the cassette 420. Each support 422 has four support blocks 423 for supporting the edge of the composite substrate 10. The supports 422 are grouped into two groups. The supports 422a (hereinafter referred to as the first support) belonging to the first group support the composite substrates 10 to be loaded into the reaction chamber 100, and the supports 422b (hereinafter referred to as the second support) belonging to the second group react. The unloaded composite substrates 10 are supported from the chamber 100. In an example, four first support parts 422a and four second support parts 422b are provided, and the first support parts 422a are provided to be positioned above the second support parts 422b.

제 2지지부들(422b) 간의 상하 간격은 제 1지지부들(422a) 간의 상하 간격보다 넓게 제공된다. 상술한 구조로 인해 카세트(420) 전체 높이는 줄이면서 반응 챔버(100)로부터 언로딩된 합성기판(10)의 상면에 생성된 탄소 나노 튜브(30)(CNT)가 인접한 합성기판(10)과 접촉되지 않도록 하는 공간을 충분히 제공할 수 있다.The vertical space between the second supports 422b is wider than the vertical space between the first supports 422a. Due to the structure described above, the carbon nanotubes 30 (CNT) generated on the upper surface of the unloaded synthetic substrate 10 from the reaction chamber 100 are in contact with the adjacent composite substrate 10 while reducing the overall height of the cassette 420. It can provide enough space to prevent it.

카세트(420)의 제 1지지부(422a)들에 보관중인 합성기판(10)들은 제 1이송장치(300)에 의해 반응 챔버(100) 내부로 로딩된다. 반응 챔버(100)의 보트(160)에는 4장의 합성기판(10)들이 놓여지게 된다. 제 1이송장치(300)는 합성기판을 하나씩 순차적으로 반응 챔버(100)로/로부터 로딩하고 언로딩한다. 합성기판(10)들의 로딩이 완료되면, 반응 챔버(100)에서 탄소 나노 튜브(30) 생성을 위한 공정이 진행된다. 반응 챔버(100)에서 공정이 진행되는 동안, 또 다른 4장의 합성기판(10)들은 촉매 도포부(500)에서 촉매 도포 후 카세트(420)의 제 1지지부(422a)들에서 대기하게 된다. 반응 챔버(100)에서 탄소 나노 튜브(30)의 생성 공정이 완료되면, 고온 상태의 합성기판(10)은 제 1이송장치(300)에 의해 반응 챔버(100)로부터 언로딩되어 카세트(420)의 제 2지지부(422b)에 수납되며, 고온의 합성기판(10)은 제 2지지부(422b)에서 일정시간 동안 냉각 과정을 거친다. 냉각은 자연 냉각 방식에 의해 이루어진다. 선택적으로 냉각수 등과 같은 냉각 수단을 사용하여 강제 냉각할 수 있다.한편, 탄소 나노 튜브(30) 생성이 완료된 합성기판(10)들이 신속하게(일정온도로 떨어지는 것을 기다리지 않고) 반응 챔버(100)로부터 인출되면, 카세트(420)의 제 1지지부(422a)에서 대기중인 4장의 합성기판(탄소 나노 튜브(30) 생성을 위해 대기중인 합성기판)(10)이 반응 챔버(100)로 로딩된다. 이렇게 반응 챔버(100)에서는 반응로(120) 온도가 공정온도를 유지한 상태에서 신속하게 합성기판(10)들이 로딩됨으로써 반응로(120)의 공정온도로 높이기 위한 승온 과정을 생략할 수 있다. The composite substrates 10 stored in the first supporting portions 422a of the cassette 420 are loaded into the reaction chamber 100 by the first transfer device 300. Four synthetic substrates 10 are placed in the boat 160 of the reaction chamber 100. The first transfer device 300 sequentially loads and unloads the composite substrate into / from the reaction chamber 100 one by one. When the loading of the synthetic substrates 10 is completed, a process for generating the carbon nanotubes 30 is performed in the reaction chamber 100. While the process is performed in the reaction chamber 100, another four synthetic substrates 10 are waited at the first supporting portions 422a of the cassette 420 after the catalyst is applied at the catalyst applying unit 500. When the production process of the carbon nanotubes 30 in the reaction chamber 100 is completed, the synthetic substrate 10 in a high temperature state is unloaded from the reaction chamber 100 by the first transfer device 300 to draw the cassette 420. The second support portion 422b is stored in the high temperature synthetic substrate 10 undergoes a cooling process for a predetermined time in the second support portion 422b. Cooling is achieved by natural cooling. Optionally, forced cooling may be performed using a cooling means such as cooling water or the like. On the other hand, the composite substrates 10 on which the carbon nanotubes 30 have been generated are rapidly removed from the reaction chamber 100 without waiting for the temperature to drop to a certain temperature. When withdrawn, four synthetic substrates (synthetic substrates waiting for generation of the carbon nanotubes 30) 10 which are waiting at the first support 422a of the cassette 420 are loaded into the reaction chamber 100. As such, in the reaction chamber 100, the temperature increase process for increasing the process temperature of the reactor 120 may be omitted by rapidly loading the composite substrates 10 while the temperature of the reactor 120 maintains the process temperature.

탄소 나노 튜브(30)가 생성된 합성기판(10)들은 일정온도 이하로 떨어질 때까지 카세트(420)의 제 2지지부(422b)들에서 대기하게 된다. 합성기판(10)들이 대 기하는 카세트(420)는 스테이션부(200) 내부에 위치된다. 스테이션부(200)의 내부는 불활성가스로 채워져 있기 때문에, 카세트(420)에서 대기 중인 합성기판(10)들은 외부의 공기(특히 산소)와 접촉되지 않는다. 예컨대, 반응 챔버(100)에서 공정을 마친 합성기판(10)이 일정 온도 이하로 떨어진 상태에서는 상관없지만, 합성기판(10)이 고온 상태에서 상온의 대기 중에 노출되면, 합성기판(10) 표면에 생성된 탄소 나노 튜브(30)가 대기중의 산소와 반응하면서 변형을 일으키게 된다. 본 발명에서는 이러한 문제를 예방하기 위해 반응 챔버(100)에서 언로딩된 합성기판(10)들이 산소와의 접촉되지 않도록 상술한 바와 같이 불활성가스로 채워진 스테이션부(200)를 제공하였다. The composite substrates 10 on which the carbon nanotubes 30 are formed are waited at the second support portions 422b of the cassette 420 until they fall below a predetermined temperature. The cassette 420 waiting for the composite substrate 10 is located inside the station unit 200. Since the inside of the station part 200 is filled with inert gas, the synthetic substrates 10 waiting in the cassette 420 are not in contact with outside air (especially oxygen). For example, the synthesis substrate 10 that has been processed in the reaction chamber 100 may not be in a state where the temperature falls below a predetermined temperature. The produced carbon nanotubes 30 react with oxygen in the atmosphere to cause deformation. In the present invention, in order to prevent such a problem, the unloaded synthetic substrate 10 in the reaction chamber 100 is provided with a station part 200 filled with an inert gas as described above so as not to come into contact with oxygen.

한편, 카세트(420)의 제 2지지부(422b)들에서 일정시간 동안 대기한 합성기판(10)들은 제 2게이트 밸브(224)를 통해 제 2이송장치(700)에 의해 회수부(600)로 옮겨진다. 그리고, 회수부(600)에서 탄소 나노 튜브(30)의 회수를 마친 합성기판(10)은 촉매 도포부(500)에서 촉매(20)를 도포한 후 다시 카세트(420)의 제 1지지부(422a)에 수납된다. Meanwhile, the composite substrates 10 waited for a predetermined time in the second support parts 422b of the cassette 420 are transferred to the recovery part 600 by the second transfer device 700 through the second gate valve 224. Transferred. After the carbon nanotubes 30 have been recovered from the recovery part 600, the synthetic substrate 10 is coated with the catalyst 20 from the catalyst applicator 500, and again, the first support part 422a of the cassette 420. ) Is stored.

이처럼, 본 발명의 시스템에서는 총 8장의 합성기판들이 두 그룹으로 나누어서 교대로 반응 챔버에서 탄소 나노 튜브(30) 합성 공정을 연속적으로 진행하기 때문에 처리량 향상을 기대할 수 있고, 그에 따라 대량 생산이 가능한 이점이 있다. As described above, in the system of the present invention, a total of eight synthetic substrates are divided into two groups, and thus the carbon nanotube 30 synthesis process is continuously performed in the reaction chamber alternately, and thus the throughput can be expected to be improved, thereby allowing mass production. There is this.

도 8은 제 1이송장치의 사시도이다. 도 8을 참조하면, 제 1이송장치(300)는 합성기판(10)을 지지하는 아암(320), 블레이드(340), 수직 레일들(362), 수평 레일(364), 이동 프레임들(366), 그리고 이동블럭(368)을 가진다. 수직 레일들(362)은 제 2영역(260)의 모서리 부분에 각각 배치된다. 수직 레일들(362)은 상하 방향으로 긴 로드 형상을 가지며, 이동 프레임(366)의 상하 이동을 안내한다. 각각의 수직 레일(362)에는 수직 레일(362)을 따라 수직 구동부(도시되지 않음)에 의해 상하로 이동되는 브라켓(365)이 결합된다. 각각의 이동 프레임(366)은 제 2방향(44)을 따라 길게 제공되며, 서로 대향되도록 배치된다. 이동 프레임(366)은 브라켓(365)에 고정결합되어 브라켓(365)과 함께 수직 레일(362)을 따라 상하로 직선이동된다. 각각의 이동 프레임(366)의 양단은 각각 제 2방향(44)으로 서로 대향되는 브라켓들(365)에 고정설치되며, 이동 프레임들(366)은 브라켓(365)과 함께 상하로 이동된다. 이동 프레임(366)들 상에는 수평 레일(364)이 고정설치된다. 각각의 수평 레일(364)은 제 1방향(42)으로 길게 제공된다. 수평 레일(364)은 제 2영역(260) 전체 영역에 걸쳐 제공되며, 수평 레일(364) 상에는 수평 레일(364)을 따라 제 2방향(44)으로 이동가능하도록 이동블럭(368)이 장착된다. 이동블럭(368)에는 제 1방향(42)을 따라 길게 설치된 아암(320)이 고정설치되고, 아암(320)에는 합성기판(10)을 지지하는 블레이드(340)가 장착된다.8 is a perspective view of the first transfer device. Referring to FIG. 8, the first transfer apparatus 300 includes an arm 320 supporting the composite substrate 10, a blade 340, vertical rails 362, a horizontal rail 364, and moving frames 366. ), And a moving block 368. The vertical rails 362 are disposed at corners of the second region 260, respectively. The vertical rails 362 have a long rod shape in the vertical direction and guide the vertical movement of the moving frame 366. Each vertical rail 362 is coupled with a bracket 365 which is moved up and down by a vertical drive (not shown) along the vertical rail 362. Each moving frame 366 is elongated along the second direction 44 and is disposed to face each other. The moving frame 366 is fixedly coupled to the bracket 365 and linearly moved up and down along the vertical rail 362 together with the bracket 365. Both ends of each of the moving frames 366 are fixed to brackets 365 facing each other in the second direction 44, and the moving frames 366 are moved up and down together with the brackets 365. Horizontal rails 364 are fixedly installed on the moving frames 366. Each horizontal rail 364 is provided elongated in the first direction 42. The horizontal rail 364 is provided over the entire area of the second region 260, and the movable block 368 is mounted on the horizontal rail 364 to be movable in the second direction 44 along the horizontal rail 364. . The movable block 368 is fixedly provided with an arm 320 installed along the first direction 42. The arm 320 is equipped with a blade 340 for supporting the composite substrate 10.

카세트(420)의 제 2지지부(422b)들에서 일정시간 동안 냉각 과정을 마친 합성기판(10)들은 제 2게이트 밸브(224)를 통해 제 2이송장치(700)에 의해 회수부(600)로 옮겨진다. The composite substrates 10 that have been cooled for a predetermined time in the second support parts 422b of the cassette 420 are transferred to the recovery part 600 by the second transfer device 700 through the second gate valve 224. Transferred.

도 9 및 도 10은 각각 회수부의 사시도 및 평면도이고, 도 11은 회수부에서의 탄소 나노 튜브(30) 회수 과정을 설명하기 위한 도면이다. 9 and 10 are respectively a perspective view and a plan view of the recovery unit, Figure 11 is a view for explaining the carbon nanotube 30 recovery process in the recovery unit.

도 9 내지 도 11을 참조하면, 회수부(600)는 상면이 개방된 케이스(602)를 갖는다. 합성기판(10)이 놓여지는 스테이지(620)는 케이스 상면에 위치된다. 스테이지(620)의 하단(케이스의 개방된 상면 아래)에는 합성기판(10)으로부터 회수되는 탄소 나노 튜브(30)가 저장되는 회수통(660)이 위치된다. 그리고 케이스 상면에는 회수유닛(640)이 설치된다. 이 회수유닛(640)은 합성기판(10) 상면으로부터 탄소 나노 튜브(30)를 회수통(660)으로 쓸어주기 위한 것이다. 회수유닛(640)에는 합성기판(10)의 길이방향으로 설치되는 가이드 레일(646)이 제공된다. 가이드 레일(646)에는 이동체(644)가 설치되며, 이동체(644)에는 회수용 브러시(642)가 설치된다. 회수용 브러시(642)는 부드러운 모 재질로 이루어지거나 또는 일반 금속/플라스틱 재질이 사용될 수 있다. 회수용 브러시(642)는 합성기판(10)의 일측에서부터 길이방향으로 슬라이드 이동하면서 합성기판(10) 상면의 탄소 나노 튜브(30)를 회수통(660)으로 쓸어낸다. 회수용 브러시(642)는 이동체(644)에서 높낮이 조절이 가능할 수 있다. 한편, 회수통의 저면에는 회수통으로 회수되는 탄소나노튜브의 무게를 측정하기 위한 전자저울(690)이 설치될 수 있으며, 전자저울(690)에서 측정된 값은 외부에 설치된 모니터(692)를 통해 누적량과 현재 회수량 등이 표시된다. 작업자는 모니터에 표시되는 값을 보고 정확한 생산량 산출이 가능하다. 9 to 11, the recovery part 600 has a case 602 with an open top surface. The stage 620 on which the composite substrate 10 is placed is located on the upper surface of the case. At the bottom of the stage 620 (below the open top surface of the case), a recovery container 660 in which the carbon nanotubes 30 recovered from the synthetic substrate 10 are stored is located. And a recovery unit 640 is installed on the upper surface of the case. The recovery unit 640 is for sweeping the carbon nanotubes 30 from the upper surface of the synthetic substrate 10 into the recovery container 660. The recovery unit 640 is provided with a guide rail 646 installed in the longitudinal direction of the composite substrate 10. The movable body 644 is installed in the guide rail 646, and the recovery brush 642 is installed in the movable body 644. The recovery brush 642 may be made of a soft bristle material, or a general metal / plastic material may be used. The recovery brush 642 sweeps the carbon nanotubes 30 on the upper surface of the synthetic substrate 10 into the recovery container 660 while slidingly moving in one direction from one side of the synthetic substrate 10. The recovery brush 642 may be adjustable in height in the movable body 644. On the other hand, the bottom of the recovery container may be provided with an electronic balance 690 for measuring the weight of the carbon nanotubes recovered by the recovery container, the value measured in the electronic balance 690 through the monitor 692 installed outside The cumulative amount and the current recovery amount are displayed. The operator can see the value displayed on the monitor and calculate the exact yield.

상술한 예에서는 회수용 브러시(642)가 이동하면서 합성기판(10) 상에 촉매(20)를 쓸어내는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 회수용 브러시(642)는 고정되고 스테이지가 이동될 수 있다. 그러나 회수부(600)의 공간을 줄이기 위해 상술한 예와 같이 회수용 브러시(642)가 이동되는 것이 바람직하다.In the above-described example, it has been described that the catalyst 20 is swept out on the synthetic substrate 10 while the recovery brush 642 is moved. Alternatively, however, the recovery brush 642 can be fixed and the stage can be moved. However, in order to reduce the space of the recovery unit 600, it is preferable that the recovery brush 642 is moved as in the above-described example.

탄소 나노 튜브(30)가 회수된 합성기판(10)은 제 2이송장치(700)에 의해 촉 매 도포부(500)로 제공되어 앞에서 언급한 촉매 도포 과정을 거친 후 카세트(420)의 제 1지지부(422a)에 수납된다. The composite substrate 10 from which the carbon nanotubes 30 have been recovered is provided to the catalyst applying unit 500 by the second transfer device 700 to undergo the above-described catalyst application process, and then the first of the cassettes 420. It is stored in the support part 422a.

도 12를 참조하면, 이러한 구성을 갖는 탄소 나노 튜브(30) 대량 생산을 위한 시스템에서의 공정 진행은 촉매 도포단계(S110), 탄소 나노 튜브(30) 생성 단계(S120), 냉각(대기)단계(S130), 회수단계(S140)를 가진다. Referring to Figure 12, the process in the system for mass production of carbon nanotubes 30 having such a configuration is a catalyst coating step (S110), carbon nanotubes 30 production step (S120), cooling (standby) step (S130), has a recovery step (S140).

촉매 도포 단계(S110)는 촉매 저장 탱크(521)에서 1회 도포량에 해당되는 촉매(20)가 합성기판(10) 상면으로 공급되면, 브러시 유닛(580)의 도포용 브러시(587)가 이동하면서 합성기판(10) 상면에 촉매(20)를 고르게 분포시킨다. 이렇게 촉매(20) 도포가 완료된 합성기판(10)은 제 2이송장치(700)에 의해 스테이션부(200)에 설치된 기판 보관부(400)의 카세트(420)에 수납된다. 카세트(420)의 제 1지지부(422a)에 수납된 합성기판(10)은 반응 챔버(100)로부터 공정을 마친 합성기판(10)이 언로딩된 직후 제 1이송장치(300)에 의해 반응 챔버(100)의 보트(160)로 로딩된다. 합성기판(10)의 로딩이 완료되면 반응 챔버(100)에서 탄소 나노 튜브(30) 생성을 위한 공정이 진행된다(S120). In the catalyst applying step S110, when the catalyst 20 corresponding to a single coating amount is supplied from the catalyst storage tank 521 to the upper surface of the synthetic substrate 10, the application brush 587 of the brush unit 580 moves. The catalyst 20 is evenly distributed over the synthetic substrate 10. The composite substrate 10 having the catalyst 20 coated thereon is accommodated in the cassette 420 of the substrate storage unit 400 installed in the station unit 200 by the second transfer device 700. The composite substrate 10 accommodated in the first supporting portion 422a of the cassette 420 is formed by the first transfer device 300 immediately after the composite substrate 10 which has been processed from the reaction chamber 100 is unloaded. Loaded into boat 160 of 100. When the loading of the synthetic substrate 10 is completed, a process for generating the carbon nanotubes 30 is performed in the reaction chamber 100 (S120).

탄소나노튜브 생성을 위한 공정(s120)은 다음과 같다. Process for producing carbon nanotubes (s120) is as follows.

공정 시작과 함께 가열부(140)에 전원이 공급된다. 반응로(120)는 가열부(140)에 의해 공정온도(500-1100도)로 가열되는데, 반응로(120)가 공정온도로 승온되기 까지 대략 20-50분 정도가 소요될 수 있다. 가열부(140)에 의해 반응로(120)가 가열되고 있는 상태(또는 반응로가 공정온도로 가열된 상태)에서 합성기판이 반응로(120)의 내부공간으로 로딩된다. 합성기판(10)들이 반응로(120)에 로딩되면, 반응로(120) 내부공간에 있는 산소를 제거하게 된다. 산소 제거 과정은 진공배기라인(187)을 개방(송풍배기라인 차단)하여 반응로(120) 내부를 진공상태(진공도 10 torr 이하)로 만들어 일정시간 유지한 다음 진공배기라인(187)을 차단하는 1단계, 반응로(120) 내부로 불활성가스를 공급하여 반응로 내부를 상압 상태로 만들고, 송풍배기라인(186)을 개방하여 불활성가스를 배기하는 2단계로 이루어진다. 산소 제거 단계는, 송풍배기라인(186)을 개방한 상태에서 반응로 내부로 불활성가스를 계속 공급하여 반응로 내부의 산소를 송풍배기라인(186)으로 배기하는 단일 단계만으로도 이루어질 수 있다. 그러나 이러한 단일 단계만으로는 산소를 완벽하게 제거하기 어렵고 또한 불활성가스가 많이 소모되는 단점이 있다. Power is supplied to the heating unit 140 at the start of the process. The reactor 120 is heated to the process temperature (500-1100 degrees) by the heating unit 140, it may take about 20-50 minutes until the reactor 120 is raised to the process temperature. In the state where the reactor 120 is being heated by the heating unit 140 (or the reactor is heated to the process temperature), the synthetic substrate is loaded into the inner space of the reactor 120. When the synthetic substrates 10 are loaded into the reactor 120, oxygen in the reactor 120 is removed. The oxygen removal process is to open the vacuum exhaust line 187 (blocking the blower exhaust line) to make the inside of the reactor 120 in a vacuum state (vacuum degree of 10 torr or less) and to maintain a predetermined time and then to block the vacuum exhaust line 187. In the first step, an inert gas is supplied into the reactor 120 to make the inside of the reactor at an atmospheric pressure, and the blower exhaust line 186 is opened to exhaust the inert gas. The oxygen removal step may be performed by a single step of continuously supplying an inert gas into the reactor in the state in which the blower exhaust line 186 is opened to exhaust oxygen inside the reactor into the blower exhaust line 186. However, such a single step is difficult to completely remove the oxygen and also has the disadvantage of consuming a lot of inert gas.

반응로(120)의 내부 온도가 공정온도에 도달되면, 소스가스가 반응로(120)의 내부공간으로 공급된다. 소스가스는 열분해에 의해 라디칼로 분해되며, 이 라디칼들이 합성기판(10) 위에 도포된 촉매와 반응하여 탄소나노튜브를 합성하게 된다. 반응로(120)에서의 탄소나노튜브 합성 공정이 완료되면 가스공급부(150)로부터 소스가스 공급이 중단된다. When the internal temperature of the reactor 120 reaches the process temperature, source gas is supplied to the internal space of the reactor 120. The source gas is decomposed into radicals by pyrolysis, and these radicals react with the catalyst applied on the synthetic substrate 10 to synthesize carbon nanotubes. When the carbon nanotube synthesis process in the reactor 120 is completed, the source gas supply from the gas supply unit 150 is stopped.

공정 가스 공급이 중단되고, 반응로(120)에 남아 있는 잔류가스는 잔류가스 제거 단계를 통해 제거된다. 잔류가스 제거 단계는 반응로(120) 내부를 진공배기라인(187)을 통해 강제 배기하여 진공상태로 만드는 1단계, 진공배기라인(187)을 차단한 상태에서 불활성 가스를 공급하여 반응로 내부를 상압 상태로 만들고, 송풍배기라인(186)을 개방하여 불활성가스를 배기하는 2단계 과정으로 진행된다. 한편, 잔류가스 제거 단계 이후에 반응로 (120)내에 잔류가스가 남아 있는지를 검출한 후 , 잔류가스의 검출 유무에 따라 반응로(120)의 개방을 단속하게 된다. 만약, 잔류가스가 남아 있는지를 확인하지 않고 제1게이트 밸브(222)를 개방하게 되면 외부로부터 유입되는 산소와 잔류가스 중에 있는 수소가스가 반응하여 폭발할 수도 있다. 따라서, 반응로(120) 내부에 잔류하는 가스 중에 수소가스가 설정농도 이하로 남아 있는지를 확인한 후, 반응로(120)를 개방하는 것이 안전하다. 만약, 반응로 내에 잔류가스가 설정농도 이상 검출되면, 잔류가스 제거 단계를 다시 실시하며, 잔류가스가 설정농도 이하로 검출되면, 반응로(120)를 개방하여 합성기판을 언로딩한다. 참고로, 외부로부터 반응로 내부로 산소 유입이 차단된 경우, 산소 제거 단계는 최초 공정 진행시 한번만 진행할 수도 있다. The process gas supply is stopped and the residual gas remaining in the reactor 120 is removed through the residual gas removing step. Residual gas removal step is a step 1 forcibly evacuating the inside of the reactor 120 through the vacuum exhaust line 187 to make a vacuum state, by supplying an inert gas in a state in which the vacuum exhaust line 187 is blocked, It is made into an atmospheric pressure state, and the blower exhaust line 186 is opened to proceed with a two step process of exhausting the inert gas. On the other hand, after detecting whether residual gas remains in the reactor 120 after the residual gas removal step, the opening of the reactor 120 is intermittent depending on whether residual gas is detected. If the first gate valve 222 is opened without checking whether the residual gas remains, oxygen introduced from the outside and hydrogen gas in the residual gas may react and explode. Therefore, after confirming whether hydrogen gas remains below the set concentration in the gas remaining inside the reactor 120, it is safe to open the reactor 120. If the residual gas is detected in the reactor above the set concentration, the residual gas removal step is performed again. If the residual gas is detected below the set concentration, the reactor 120 is opened to unload the synthetic substrate. For reference, when oxygen inflow is blocked from the outside into the reactor, the oxygen removal step may be performed only once during the initial process.

한편, 반응 챔버(100)로부터 언로딩된 합성기판(10)들은 카세트(420)의 제 2지지부(422b)에 수납된 후, 일정시간 동안 냉각 과정을 거친다(S130). 일정온도로 떨어진 합성기판(10)들은 기판 보관부(400) 밖으로 인출되어 회수부(600)로 이동된다(S140). 회수부(600)에서 탄소 나노 튜브(30) 회수를 마친 합성기판(10)은 다시 촉매 도포부(500)로 이동되어, 촉매 도포 후 카세트(420)의 제 1지지부(422a)에 수납된다. 반응 챔버(100)에서 공정을 마친 합성기판(10)들은 카세트의 제 2지지부(422b)에 수납된 후 앞에서 서술한 과정을 반복하여 실시하게 된다. Meanwhile, the synthetic substrates 10 unloaded from the reaction chamber 100 are accommodated in the second support part 422b of the cassette 420 and then cooled for a predetermined time (S130). Synthetic substrate 10 dropped to a predetermined temperature is drawn out of the substrate storage unit 400 is moved to the recovery unit 600 (S140). After the recovery of the carbon nanotubes 30 from the recovery unit 600, the synthetic substrate 10 is moved to the catalyst applying unit 500 again and is stored in the first support part 422a of the cassette 420 after the catalyst application. After completing the process in the reaction chamber 100, the synthetic substrates 10 are stored in the second support portion 422b of the cassette, and are then repeatedly performed.

본 발명에 의하면 소스가스가 반응로 전체에 균일하게 공급될 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면 소스가스의 사용 효율을 높일 수 있다.According to the present invention, the source gas can be uniformly supplied to the entire reactor. In addition, according to the present invention, the use efficiency of the source gas can be improved.

또한 본 발명에 의하면, 탄소나노튜브의 생산성을 향상시킬 수 있다. In addition, according to the present invention, it is possible to improve the productivity of the carbon nanotubes.

또한, 본 발명이 적용된 탄소 나노 튜브 생산을 위한 시스템에 의하면, 탄소 나노 튜브를 대량으로 생산할 수 있다.In addition, according to the system for producing carbon nanotubes to which the present invention is applied, carbon nanotubes can be produced in large quantities.

또한, 본 발명이 적용된 탄소 나노 튜브 생산을 위한 시스템에 의하면, 반응 챔버의 공정 온도를 계속적으로 유지할 수 있으므로 합성기판의 탄소 나노 튜브 합성을 연속적으로 진행할 수 있어 설비 가동률을 향상시킬 수 있다. In addition, according to the system for producing carbon nanotubes to which the present invention is applied, since the process temperature of the reaction chamber can be continuously maintained, the carbon nanotube synthesis of the composite substrate can be continuously performed, thereby improving facility utilization rate.

또한, 본 발명이 적용된 탄소 나노 튜브 생산을 위한 시스템에 의하면, 정확하고 신뢰성 있는 자동 촉매 공급을 통한 공정 신뢰성을 확보할 수 있다. In addition, according to the system for producing carbon nanotubes to which the present invention is applied, it is possible to secure process reliability through accurate and reliable automatic catalyst supply.

또한, 본 발명이 적용된 탄소 나노 튜브 생산을 위한 시스템에 의하면, 탄소 나노 튜브의 자동 회수를 통해 정확한 생산량 산출이 가능하다. In addition, according to the system for producing carbon nanotubes to which the present invention is applied, accurate production can be calculated through automatic recovery of carbon nanotubes.

Claims

합성기판에 탄소 나노 튜브를 합성하기 위한 장치에 있어서:Apparatus for synthesizing carbon nanotubes on a composite substrate:

탄소나노튜브의 생성공간을 제공하는 반응로;A reactor for providing carbon nanotubes;

상기 반응로를 가열하는 가열부; A heating unit for heating the reactor;

상기 반응로의 생성공간에 위치되며 합성기판들이 놓여지는 보트;A boat located in the production space of the reactor and on which synthetic substrates are placed;

상기 반응로의 생성공간으로 소스가스를 공급하는 노즐유닛을 갖는 가스 공급부를 포함하되;It includes a gas supply unit having a nozzle unit for supplying a source gas to the production space of the reactor;

상기 노즐 유닛은 The nozzle unit

소스가스를 공급하는 분사부들을 갖되, 상기 분사부들은 다른 높이에서 상기 반응로의 생성공간으로 소스가스를 분사하는 것을 특징으로 탄소 나노 튜브 합성 장치. Carbon nanotube synthesizing apparatus having an injection unit for supplying a source gas, the injection unit injects the source gas into the space of the reactor at a different height.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 분사부들은 상기 보트보다 높은 위치에서 소스가스를 공급하는 제1분사부; 및The injection unit may include a first injection unit supplying a source gas at a position higher than the boat; And

상기 제1분사부보다 낮은 위치에서 소스가스를 공급하는 제2분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노 튜브 합성 장치. And a second injection unit supplying a source gas at a position lower than the first injection unit.

제2항에 있어서,The method of claim 2,

상기 제1분사부는 상기 보트에 인접하도록 길게 형성된 적어도 하나 이상의 롱 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노 튜브 합성 장치. And the first spray unit comprises at least one long nozzle formed to be adjacent to the boat.

제3항에 있어서,The method of claim 3,

상기 제2분사부는 상기 롱 노즐보다 짧은 길이를 갖는 적어도 하나 이상의 미듐 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노 튜브 합성 장치. And the second injection part comprises at least one medium nozzle having a length shorter than that of the long nozzle.

제2항에 있어서,The method of claim 2,

상기 제2분사부는 소스가스가 상기 반응로 전면적에 걸쳐 균일하게 확산되도록 복수의 분사구들을 갖는 샤워헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노 튜브 합성 장치. And the second spray unit comprises a shower head having a plurality of injection holes so that source gas is uniformly spread over the entire reaction furnace.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 분사부들은 위쪽을 향하도록 경사지는 것을 특징으로 하는 탄소 나노 튜브 합성 장치. Carbon nanotube synthesizing apparatus characterized in that the inclined to the upward portion.

제2항에 있어서,The method of claim 2,

상기 보트는 다단 및 다열로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탄소 나노 튜브 합성 장치. The boat is a carbon nanotube synthesis apparatus, characterized in that consisting of a multi-stage and multi-row.