KR100762856B1 - 마스크 블랭크의 제조방법, 및 마스크 블랭크 제조용스퍼터링 타겟 - Google Patents
마스크 블랭크의 제조방법, 및 마스크 블랭크 제조용스퍼터링 타겟 Download PDFInfo
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Abstract
Description
타겟 A | 타겟 B | 타겟 C | |
핀홀 0.2㎛ 이상 | 0.2 | 1.1 | 12.1 |
파티클 0.2㎛ 이상 | 0.4 | 2.1 | 15.8 |
Claims (17)
- 기판상에 마스크 패턴을 형성하기 위한 박막을 갖는 마스크 블랭크의 제조방법에 있어서,상기 박막은 스퍼터링 타겟을 이용하여 스퍼터링법으로 형성되고,상기 스퍼터링 타켓으로서, 타겟재와 백킹 플레이트가 결합제를 통하여 접합되어 이루어지며, 상기 스퍼터링 타겟의 측벽에 상기 결합제의 노출을 방지하도록 금속막이 형성된 스퍼터링 타겟을 이용하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 박막은, 상기 기판의 표면을 위를 향하도록 배치하고, 상기 스퍼터링 타겟의 타겟면을 중력 방향에 대하여 0도 내지 90도 사이의 각도로 배치하여, 스퍼터링법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 백킹 플레이트가, 베이스부와, 상기 베이스부에 대하여 볼록(凸)형상으로 돌출한 부분으로서 그 상부면에서 상기 타겟재를 접합하기 위한 접합부를 가지고,상기 백킹 플레이트의 접합부에서의 타겟재를 접합하는 부분의 면적보다도 면적이 큰 타겟재를, 상기 타겟재를 접합하는 부분으로부터 전주에 걸쳐 삐져 나오 도록, 상기 타겟재를 접합하는 부분에 결합제를 개재하여 접합한 상기 스퍼터링 타겟을,전면 에로젼형 마그네트론 캐소드를 이용한 스퍼터링법에 적용하여, 상기 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 기판상에 마스크 패턴을 형성하기 위한 박막을 갖는 마스크 블랭크의 제조방법에 있어서,상기 박막은 회전 기구를 갖는 기판 받침대와, 기판의 중심축으로부터 그 중심이 어긋난 위치에, 비스듬하게 아래를 향하는 각도로 상기 기판과 대향하는 스퍼터링 타겟을 갖는 DC 마그네트론 스퍼터 장치를 이용하고,기판을 회전시키면서 스퍼터링에 의해 성막되는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조방법.
- 제 4항에 있어서, 상기 백킹 플레이트가, 베이스부와, 상기 베이스부에 대하여 볼록 형상으로 돌출한 부분으로서 그 상부면에서 상기 타겟재를 접합하기 위한 접합부를 가지고,상기 백킹 플레이트의 접합부에서의 타겟재를 접합하는 부분의 면적보다도 면적이 큰 타겟재를, 상기 타겟재를 접합하는 부분으로부터 전주에 걸쳐 삐져 나오도록, 상기 타겟재를 접합하는 부분에 결합제를 개재하여 접합한 상기 스퍼터링 타겟을,전면 에로젼형 마그네트론 캐소드를 이용한 스퍼터링법에 적용하여, 상기 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조방법.
- 제 5항에 있어서, 상기 금속막은, 백킹 플레이트의 볼록 형상 구조와, 타겟재가 상기 접합 부분으로부터 삐져 나오도록 한 구성의 조합에 의해 형성되는 오목(凹)부를 반 이상 메우도록 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조 방법.
- 제 4항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속막은, 백킹 플레이트와 같은 재료인 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조 방법.
- 제 4항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속막의 표면이 거친 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조 방법.
- 제 7항에 있어서, 상기 금속막의 표면이 거친 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조 방법.
- 제1, 2, 4, 5 또는 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크 블랭크는, ArF 또는 F2 엑시머 레이저를 노광광으로 하는 단파장용 마스크 블랭크인 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조 방법.
- 기판상에 패턴을 형성하기 위한 박막을 갖는 마스크 블랭크를 제조할 때에 이용되는 스퍼터링 타겟으로서,상기 스퍼터링 타겟은 상기 박막을 형성하기 위한 타겟재와, 백킹 플레이트와, 결합제와, 금속막을 가지며,상기 백킹 플레이트가, 베이스부와, 상기 베이스부에 대하여 볼록(凸)형상으로 돌출한 부분으로서 그 상부면에서 상기 타겟재를 접합하기 위한 접합부를 가지고,상기 타겟재가, 상기 백킹 플레이트의 접합부에서의 상기 타겟재와의 접합 부분으로부터 전체 주위에 걸쳐 삐져 나오도록 하여, 상기 백킹 플레이트에서의 상기 접합 부분과 상기 결합제를 통하여 접합되어 있으며,상기 금속막이, 상기 스퍼터링 타겟의 측벽에 상기 결합제의 노출을 방지하도록 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제조용 스퍼터링 타겟.
- 기판상에 패턴을 형성하기 위한 박막을 갖는 마스크 블랭크를 제조할 때에 이용되는 스퍼터링 타겟으로서,상기 스퍼터링 타겟 전체가, 상기 박막을 형성하기 위한 타겟재로 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제조용 스퍼터링 타겟.
- 기판상에 패턴을 형성하기 위한 박막을 갖는 마스크 블랭크를 제조할 때에 이용되는 스퍼터링 타겟으로서,상기 스퍼터링 타겟은, 상기 박막을 형성하기 위한 타겟재와, 백킹 플레이트와, 결합제를 가지며,상기 타겟재가, 상기 백킹 플레이트에서의 상기 타겟재와의 접합 부분과 상기 결합제를 통하여 접합되어 있으며,상기 타겟재의 두께가, 상기 스퍼터링 타겟을 사용했을 때에 상기 결합제에 가해지는 열의 영향에 의해 상기 결합제가 용출하지 않을 정도의 두께인 5 내지 15mm인 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제조용 스퍼터링 타겟.
- 제 11항 내지 13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 상기 박막을 형성할 때에, 상기 타겟재가 상기 결합제보다도 중력 방향 측으로 위치하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 제조용 스퍼터링 타겟.
- 제 11항 내지 13항 중 어느 한 항에 기재된 스퍼터링 타겟을 이용하여, 기판상에 박막을 형성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조방법.
- 제 14항에 기재된 스퍼터링 타겟을 이용하여 기판상에 박막을 형성하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조 방법.
- 기판상에 마스크 패턴을 형성하기 위한 박막을 가지는 마스크 블랭크의 제조 방법에 있어서,상기 박막은, 스퍼터링 타겟을 이용하여 스퍼터링법으로 형성하는 것으로 하고,상기 스퍼터링 타겟으로서, 타겟재와 백킹 플레이트가 결합제를 개재하여 접합되어 이루어지고,상기 백킹 플레이트가, 베이스부와, 상기 베이스부에 대하여 볼록(凸)형상으로 돌출한 부분으로서 그 상부면에서 상기 타겟재를 접합하기 위한 접합부를 가지고,상기 백킹 플레이트의 접합부에서의 타겟재를 접합하는 부분의 면적보다도 면적이 큰 타겟재를, 상기 타겟재를 접합하는 부분으로부터 전주에 걸쳐 삐져 나오도록, 상기 타겟재를 접합하는 부분에 상기 결합제를 개재하여 접합한 상기 스퍼터링 타겟을,전면 에로젼형 마그네트론 캐소드를 이용한 스퍼터링법에 적용하여, 상기 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 제조방법.
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