KR100756438B1

KR100756438B1 - 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치

Info

Publication number: KR100756438B1
Application number: KR1020060130967A
Authority: KR
Inventors: 오정후; 이경용; 박금성
Original assignee: 주식회사 영우디에스피
Priority date: 2006-12-20
Filing date: 2006-12-20
Publication date: 2007-09-07

Abstract

본 발명은 외부로부터 영상신호를 받기 위하여 엘씨디 셀에 전원을 인가하여 엘씨디 셀에 대한 결함여부를 판별하도록 한 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치는 검사대상이 되는 셀(L)이 놓여지는 수평판(111)을 구비한 검사스테이지(110); 상기 수평판에 설치되어 수평판에 놓여지는 셀을 정확한 검사위치로 안내하는 셀 가이드수단(120); 상기 수평판상에 설치되어 수평판에 셀이 놓여지는 것에 의하여 셀의 쇼트패드와 전기적으로 접속되는 리드핀(131)들로 이루어진 제1프로브(130); 상기 제1프로브의 리드핀들과 연결된 상태로 상기 수평판 하부면으로 노출된 전극단자(140)들; 및 검사스테이지의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되어 상기 전극단자들과 선택적으로 접속됨으로써 외부의 영상신호를 제1프로브를 통해 셀측으로 전달하는 제2프로브(150)를 포함하여 구성된다.

엘씨디 셀, 셀검사, 얼라인, 프로브

Description

엘씨디 셀 검사용 프로빙장치{Probeing apparatus for testing cell of LCD}

도 1은 종래의 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치를 나타내는 정면도.

도 2는 도 1의 측면도.

도 3은 도 1의 평면도.

도 4는 본 발명의 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치를 나타내는 정면도.

도 5는 본 발명을 구성하는 셀 가이드수단을 나타내기 위한 수평판의 나타내는 사시도.

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도.

도 7은 본 발명을 구성하는 셀 가이드수단의 다른 실시예를 나타내기 위한 수평판의 사시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

110...검사스테이지 111...수평판

120...셀 가이드수단 121...셀 안착홈

123...x축고정클램퍼 124...y축고정클램퍼

125...x축이동클램퍼 126...y축이동클램퍼

130...제1프로브 131,151...리드핀

140...전극단자 150...제2프로브

160...이송로봇 161...수직지지대

162...수평이송부재 163...수평지지대

164...수직로드실린더 L...셀

P...쇼트패드

일반적으로, 평판형 표시장치의 하나인 엘씨디(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.

통상적으로, 엘씨디(LCD: Liquid Crystal Display)를 제조하는 공정은 유리 기판에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 TFT 공정과, 유리 기판에 배향막을 도포하고 액정을 주입함으로써 완제품 셀(cell)을 제작하는 셀공정과, 완성된 셀에 구동 IC 및 피시비(PCB)를 부착하고 백라이트유닛(back light unit) 및 하우징을 조립하는 모듈(module) 공정으로 이루어진다.

상기 공정 중 완제품 셀(cell)을 제조하는 셀공정은 기판에 액정을 주입하는 액정주입공정과, 절단공정(scribing), 엣지그라인딩(Edge Grinding) 공정 및 완성된 셀의 제조공정상 발생될 수 있는 결함을 검사하기 위한 셀 검사공정 등으로 이루어진다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 종래의 셀 검사장치는 검사대상이 되는 셀이 안착되는 수평판(11)을 가지는 검사스테이지(10)와, 상기 검사스테이지(10) 상부에 놓여진 셀(L)을 일정 위치에 정렬시키는 제1얼라인수단(20)과, 셀 검사위치로 이동된 상기 수평판(11) 상부에 위치되어 구비된 이송장치나 승강장치를 통해 자체적으로 위치를 제어하면서 셀(L)이 정확한 셀 검사위치에 위치되었는지를 감지하는 얼라인카메라(30)와, 상기 검사스테이지(10) 하부에 위치되어 상기 얼라인카메라(30)의 제어신호에 따라 검사스테이지(10)의 위치를 미세 제어하는 제2얼라인수단(40)으로 구성된다.

상기 제1얼라인수단(20)은 수평판(11)에 배치된 x,y축 이동블럭(21)과, 상기 x,y축 이동블럭(21)에 각각 연결되어 검사스테이지(10) 상부에 놓여진 셀(L)이 일정 위치에 정렬되도록 상기 x,y축 이동블럭(21)을 독립적으로 이동시키는 x,y축 로드실린더(22)로 구성된다.

상기 제2얼라인수단(40)은 검사스테이지(10) 하부에 설치되어 상기 검사스테이지(10)를 x축으로 이동시키는 x축이송모듈(41)과, 상기 x축이송모듈(41)의 하부에 연결되어 상기 x축이송모듈(41)을 y축으로 이송시키는 y축이송모듈(42)과, 상기 x,y축이송모듈(41,42)에 각각 구비되어 상기 얼라인카메라(30)의 제어신호에 따라 해당 x,y축이송모듈(41,42)을 구동시키는 정역모터(미도시)로 구성된다.

상기 얼라인카메라(30)는 수평판(11) 상부에 일정거리를 두고 설치되어 상기 셀(L)을 촬영한 다음 셀(L)에 미리 표시된 표식의 위치를 분석하여 정상적인 검사위치에 놓여졌는지를 판단한다.

그리고 셀 검사위치로 이동된 상기 수평판(11)의 상부로부터 일정간격 떨어져 승강 가능하게 설치된 프로브장치(50)와 메인카메라(60)를 통해 셀(L) 내부의 회로검사와 화상검사를 통해 결함여부를 판별하게 된다.

상기 프로브장치(50)는 셀 검사위치 전방에 설치된 베이스(51)와, 베이스(51)에 설치된 승강부재(52)에 고정된 콘택트블록(53)으로 구성되어 상기 수평판(11)상에 놓여진 셀(L)의 미세한 쇼트패드에 전기적으로 접속됨으로써 상기 셀(L)로 외부의 영상신호를 전달한다.

이중 상기 콘택트블록(53)에는 셀(L)의 쇼트패드를 외부의 영상 신호 입력장치인 패턴제너레이터(pattern generator)(미도시)와 전기적으로 연결시키기 위한 콘택트어셈블리(54)가 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 착탈이 가능하도록 결합된다. 그리고 상기 콘택트어셈블리(54)는 콘택트블록(53)의 하단부에 소정간격으로 배열되며 셀(L)의 쇼트패드들과 접속되는 리드핀(55)을 가진다. 상기 리드핀(55)은 예컨대 포고핀(pogo pin), 니들핀(needle pin), 블레이드핀(blade pin) 등 다양한 형태로 구성된다.

그리고 상기 메인카메라(60)는 검사스테이지(10) 상부와 하부에 각각 설치되어 셀(L)에 광원을 제공하는 프론트라이트(61) 및 백라이트(62)를 구비하며, 검사 스테이지(10) 상부에는 점등된 셀(L)의 상태를 촬영하여 셀(L) 내부의 회로연결이 정상적으로 이루어졌는지를 판단한다.

이와 같이 구성된 셀 검사장치는 다음과 같은 과정에 따라 셀 내부의 회로검사와 화상검사를 수행한다.

먼저, 이전공정에서 조립이 완료된 셀(L)이 검사스테이지(10) 상부에 올려지면 검사스테이지(10) 상부에 위치된 얼라인카메라(30)가 상기 셀(L)을 촬영한 다음 셀(L)에 표시된 표식의 위치를 분석하여 정상적인 검사위치에 놓여졌는지를 판단하게 된다. 만일 정상위치에 놓여져 있지 않다고 판단되면, 제1얼라인수단(20)과 제2얼라인수단(40)에 신호를 보내어 셀(L)이 정상적인 검사위치에 놓여지도록 셀(L)과 검사스테이지(10)의 위치를 미세 제어한다.

셀(L)이 정상적인 검사위치에 놓여지면 프로브장치(50)가 하강하면서 셀(L)에 형성된 쇼트패드와 전기적으로 접속되면서 외부로부터의 영상신호가 셀(L)로 전달된다. 이와 동시에 셀(L) 하부와 상부에 위치된 백라이트(62)와 프론트라이트(61)가 점등되면서 셀(L)을 비추게 된다.

이와 같이, 셀(L)에 전원이 인가되고 백라이트가 셀(L)을 비추게 되면 셀(L) 내부에 존재하는 화상이 표시되는 화상표시영역들과 화상이 표시되지 않는 화상 비표시영역들에서 점등이 이루어지게 되는데, 이때 메인카메라(60)가 점등된 셀(L)의 상태를 촬영하여 셀(L) 내부의 회로연결이 정상적으로 이루어졌는지를 판단한다.

즉, 상기 메인카메라(60)는 프론트라이트(61)에 의해 조사된 광원이 셀(L)에 의해 반사된 것을 촬영하고, 촬영된 데이터를 분석하여 셀(L) 내부에 액정이 정상 적으로 분포되어 있는지의 여부와, 셀(L)에 파티클 등의 이물질이 존재하는지 여부, 얼룩이 존재하는지의 여부를 판단하게 된다.

상기와 같은 과정을 통해 셀(L)의 검사가 완료되면, 검사결과에 따라 양품과 불량품을 선별하는 선별공정을 거친 후 양품으로 판정된 셀(L)들은 소정의 매거진(magazine)에 차례로 탑재되어 후속되는 모듈공정으로 이송된다.

그러나 이와 같이 구성된 종래의 셀 검사장치는 다음과 같은 문제점을 갖는다.

첫째, 종래의 셀 검사장치는 얼라인카메라(30)가 셀(L)에 표시된 표식의 위치를 분석하여 정상적인 검사위치에 셀(L)이 놓여졌는지를 판단하는 방식을 따르고 있으므로 셀 검사 신뢰도가 낮다는 문제를 가진다. 즉, 셀(L)에 표시된 표식은 셀의 사양에 따라 그 표시위치와 형태가 다르고, 촬영조건이나 주위환경 변화에 따라서 촬영된 이미지의 품질이 달라지므로 셀(L)의 위치에 대한 인식정확도가 떨어질 수밖에 없으며 이는 셀(L)의 얼라인 정확도도 함께 떨어뜨리게 되므로 결국 셀 검사 신뢰도가 저하되는 것이다.

둘째, 종래의 셀 검사장치는 미세하게 형성된 쇼트패드에 프로브장치(50)가 정확하게 접속되도록 제1얼라인수단(20), 얼라인카메라(30) 및 제2얼라인수단(40)등 다수의 얼라인장치들을 구비하여야만 하므로 장치의 구성이 매우 복잡하고 막대한 설치비용이 소요되는 문제가 있다.

셋째, 종래의 셀 검사장치는 검사대상이 되는 셀(L)의 사양에 따라 예컨대, 메인카메라(60)의 포커스 설정, 검사스테이지(10)의 위치 설정, 얼라인 장비에 새 로운 얼라인 정보입력과 같은 별도의 셋팅작업이 이루어져야 하고 경우에 따라서는 얼라인 장비를 교체시켜야 하는 등의 많은 준비시간이 소요되므로 생산성이 저하되는 문제가 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 이루어진 것으로서, 다양한 사양의 셀에 대한 검사가 얼라인 과정 없이 자동으로 신속하고 정확하게 이루어지게 되는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치를 제공하는 데 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 검사대상이 되는 셀이 놓여지는 수평판을 구비한 검사스테이지; 상기 수평판에 설치되어 수평판에 놓여진 셀을 정확한 검사위치로 안내하는 셀 가이드수단; 상기 수평판상에 설치되어 수평판에 셀이 놓여지는 것에 의하여 셀의 쇼트패드와 전기적으로 접속되는 리드선들로 이루어진 제1프로브; 상기 제1프로브의 리드선들과 연결된 상태에서 상기 검사스테이지 하부로 노출된 전극단자들; 및 검사스테이지의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되어 상기 전극단자들과 선택적으로 접속됨으로써 외부의 영상신호를 제1프로브를 통해 셀측으로 전달하는 제2프로브를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미 와 개념으로 해석되어야만 한다.

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치는 크게 검사대상이 되는 셀(L)이 놓여지는 검사스테이지(110)와, 상기 셀(L)을 정확한 검사위치로 안내하는 셀 가이드수단(120)과, 셀(L)의 쇼트패드(P)와 접속되는 제1프로브(130)와, 상기 제1프로브(130)의 리드선들과 일대일로 연결된 상태에서 수평판(111)의 하부면으로 노출된 전극단자(140)들과, 상기 전극단자(140)들에 선택적으로 접속되는 제2프로브(150)로 구성된다.

상기 검사스테이지(110)는 셀(L) 검사가 이루어지는 곳으로서 검사대상이 되는 셀(L)이 놓여지는 수평판(111)을 가진다. 상기 수평판(111)은 놓여지는 셀(L)의 사양이 달라질 경우를 대비하여 검사스테이지(110)의 본체로부터 탈착이 가능하도록 설치된다.

상기 검사스테이지(110)는 검사공정 이전의 작업라인에서 셀(L)을 공급받아 검사위치로 이동시킬 수 있도록 별도의 이동수단(미도시)을 구비하여 자체적으로 이동가능하게 설치되어도 무방하다.

상기 수평판(111)에는 이전의 셀(L) 공급단계에서 수평판(111)에 놓여진 셀(L)이 정확한 검사위치에 위치되도록 안내하는 셀 가이드수단(120)이 설치된다.

상기 셀 가이드수단(120)은 검사대상이 되는 셀(L)이 정확한 검사위치에 안착되어지도록 상기 검사스테이지(110)의 수평판(111)에 형성된 셀 안착홈(121)이 바람직하다. 이 경우, 상기 셀 안착홈(121)의 내벽면(122)은 외측으로 경사지게 형성될 수 있다. 이렇게 하면 상기 내벽면(122)이 셀(L)이 이전공정에서 공급되어질 때 셀(L)의 가장자리를 가이드하게 되므로 상기 셀(L)은 내벽면(122)을 따라 안착홈(121) 내부로 원활하게 안착되게 된다. 따라서, 상기 셀(L)은 별도의 얼라인 과정없이 정확한 검사위치에 놓일 수 있게 된다.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 셀 가이드수단(120)의 다른 실시예로서, 상기 검사스테이지(110)의 상부면에는 상기 수평판(111)에 설치되어 수평판(111)에 놓여진 셀(L)을 정확한 검사위치로 안내하는 클램핑 부재가 구비될 수 있다.

상기 클램핑 부재는 검사위치에 놓여진 셀(L)의 두 측면을 지지하도록 검사스테이지(110) 상부면에 고정된 x축고정클램퍼(123) 및 y축고정클램퍼(124), 그리고 상기 고정클램퍼에 대향되도록 검사스테이지(110)의 수평판(111)에 설치되어 수평판(111)에 놓여진 셀(L)을 해당 고정클램프(123,124)측으로 밀어서 밀착시키는 x축이동클램퍼(125) 및 y축이동클램퍼(126)로 구성될 수 있다. 상기 이동클램퍼들은 검사스테이지(110) 상부면에 설치된 로드실린더를 통해 이동력을 부여받는다. 상기 로드실린더들은 x,y축이동클램퍼(125,126)에 각각 연결되어 수평판(111) 상부에 놓여진 셀(L)이 일정 위치에 정렬되도록 상기 x,y축이동클램퍼들(125,126)을 독립적으로 이동시킨다.

또한, 상기 클램핑 부재는 상기 셀 안착홈(121)과 함께 설치되어도 무방하다. 이 경우, 상기 클램핑 부재는 셀 안착홈(121)에 셀(L)이 안착되지 못할 경우 상기 셀(L)의 측면을 밀어서 셀 안착홈(121)에 정상적으로 안착되도록 정렬시킴과 동시에 검사도중 상기 셀(L)이 외부의 충격에 유동되어 셀(L)의 쇼트패드(P)와 제1 프로브(130)와의 접속이 끊어지지 않도록 안정적으로 고정시킨다.

제1프로브(130)는 상기 검사스테이지(110)의 수평판(111)상에 설치되어 수평판(111)에 셀(L)이 놓여질 때 셀(L)의 쇼트패드(P)와 전기적으로 접속된다. 이를 위하여 상기 제1프로브(130)는 셀(L)의 쇼트패드(P)와 일대일로 대응되도록 마주보게 형성되어 수평판(111)에 셀(L)이 놓여지는 것에 의하여 셀(L)의 바닥면에 형성된 쇼트패드(P)와 전기적으로 접속되는 리드핀(131)들을 가진다. 상기 리드핀(131)들은 예컨대 포고핀(pogo pin), 니들핀(needle pin), 블레이드핀(blade pin) 등 다양한 형태로 구성될 수 있다.

가이드수단(120)이 셀 안착홈(121)일 경우에 상기 제1프로브(130)는 셀 안착홈(121) 바닥면에 설치된다. 따라서, 셀(L)이 셀 안착홈(121)에 안착되면 별도의 얼라인 과정없이 자동적으로 셀(L)의 쇼트패드(P)와의 전기적 접속이 이루어지게 된다.

수평판(111)의 하부면에는 상기 리드핀들(131)과 일대일로 연결된 전극단자(140)들이 노출된 상태로 구비된다. 상기 전극단자(140)들은 검사스테이지(110)의 작동오차를 포함하도록 셀(L)의 쇼트패드(P) 보다 접속면적이 크고 단자간격이 넓게 형성된다.

상기 제2프로브(150)는 검사스테이지(110) 하부에 위치되어 승강동작을 통해 상기 전극단자(140)들과 일대일로 접속된다. 제2프로브(150)의 승강동작은 검사스테이지(110) 전방에 설치된 이송로봇을 통해 이루어진다.

상기 이송로봇(160)은 검사스테이지(110) 전방의 바닥에 고정된 수직지지 대(161)와, 상기 수직지지대(161)를 따라 수평으로 왕복이동하는 수평이송부재(162)와, 상기 수평이송부재(162)의 단부에 연결된 수평지지대(163)와, 수평지지대(163)에 설치된 수직로드실린더(164)로 구성될 수 있으며, 이 경우 상기 제2프로브(150)는 상기 이송로봇(160)의 수직로드실린더(164) 상단에 고정되어 수직로드실린더(164)에 의한 승강이동과 수평이송부재(162)에 의한 수평이동이 가능하도록 설치된다.

상기 제2프로브(150)는 제1프로브(130)와 마찬가지로 리드핀(151)을 통해 상기 전극단자(140)와 접속된다. 상기 리드핀(151)은 전극단자(140)들와 동일하게 전극단자(140)들은 검사스테이지(110)의 작동오차를 포함하도록 제2프로브(150)의 리드핀(151) 역시 접속부 면적이 크고 핀들의 간격이 넓게 형성된다. 따라서, 제2프로브(150)와 전극단자(140)들도 제1프로브(130)와 쇼트패드(P)와 같이 별도의 얼라인 과정 없이 제2프로브(150)와의 접속이 원활하게 이루어질 수 있다.

한편, 상기 전극단자(140)를 이루는 각 단자들과 제2프로브(150)을 이루는 각 리드핀(151)들은 검사스테이지(110)의 작동오차 범위와 이송로봇(160)의 작동오차 범위를 포함하는 크기와 간격으로 형성된다. 이렇게 하면, 검사스테이지(110)나 이송로봇(160)이 이동하면서 위치상 오차가 발생되더라도 상기 전극단자(140)들과 제2프로브(150)와의 접속이 원활하게 이루어질 수 있게 되므로 별도의 얼라인 과정이 요구되지 않는다.

따라서, 셀(L) 검사를 위한 외부의 영상신호는 제2프로브(150)측으로 입력되며, 제2프로브(150)가 선택적으로 검사스테이지(110)의 하부에서 상측으로 이동하 여 검사스테이지(110) 하부로 노출된 전극단자(140)들과 선택적으로 접속되는 것에 의하여 제1프로브(130)를 통해 셀(L)측으로 전달된다.

또한, 상기 수평판(111)의 상방에는 제2프로브(150)가 수평판(111) 하부의 전극단자들(140)과 접촉될 때 수평판(111)이 상향 유동되지 않도록 수평판(111)의 상부를 가압하는 지지판(170)이 승강가능하게 설치될 수도 있다.

이 경우, 상기 지지판(170)의 하부면에는 수평판(111)과 직접 접촉되도록 돌출된 완충패드(171)가 부착되는 것이 바람직하다. 이 완충패드(171)는 수평판(111)이 가압될 때 상기 수평판(111)과 직접 접촉됨으로써, 수평판(111)이 상향유동되지 않도록 지지할 뿐 아니라, 수평판(111)으로 전달되는 가압충격을 방지한다.

상기 수평판(111)에는 상부에 설치된 카메라(60)가 수평판(111)에 놓인 셀을 촬영할 수 있도록 관통홈(미도시)이 형성된다.

본 발명의 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치를 이용하여 셀 검사가 수행되는 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 외부로부터 검사대상이 되는 셀(L)이 검사스테이지(110)의 상부면에 놓여진다. 이때, 상기 셀(L)은 검사스테이지(110) 상부면에 설치된 가이드수단(120)에 의해 가이드되므로 별도의 얼라인 과정 없이 상기 셀(L)을 정확한 검사위치에 위치시킬 수 있게 된다.

즉, 상기 가이드수단(120)이 셀 안착홈(121)일 경우에는 상기 셀(L)은 셀 안착홈(121)의 경사면을 따라 바닥면에 놓여지게 되며, 이와 동시에, 제1프로브(130)와 셀(L)의 쇼트패드(P)가 자연스럽게 접속된다.

이때, 상기 제1프로브(130)는 검사대상이 되는 셀(L)의 사양에 따라 그 위치가 달라지게 되는데, 새로운 사양의 셀(L)을 검사하고자 할 때는 기존의 수평판 대신 새로운 사양의 셀(L)에 맞도록 제1프로브(130)의 위치가 변경된 새로운 수평판(111)으로 교체시키면 된다.

또한, 상기 가이드수단(120)이 클램핑 부재일 경우에는 로드실린더가 셀(L)의 두측면이 x,y축고정클램퍼(123, 124)에 밀착될 때까지 x,y축이동클램퍼(125, 126)를 밀어서 이동시킨다. 이렇게 하면 셀(L)의 x,y축에 대향되는 두측면이 해당 x,y축고정클램퍼(123, 124)에 밀착되면서 상기 셀(L)이 정확한 검사위치로 자동정렬되게 되며 이 과정에서 제1프로브(130)와 셀(L)의 쇼트패드(P)는 자연스럽게 접속된다.

이와 같이, 제1프로브(130)와 셀(L)의 쇼트패드(P)가 접속이 완료되면, 제2프로브(150)가 승강하면서 검사스테이지(110) 하부의 전극단자(140)와 접속된다. 이때, 제2프로브(150)는 검사스테이지(110) 전방에 설치된 이송로봇(160)을 통해 이루어지게 되며, 상기 전극단자(140)와 제2프로브(150)의 리드핀(151)이 검사스테이지(110)의 작동오차와 이송로봇(160)의 작동오차를 충분히 포함하도록 접속부 면적이 크고 핀들의 간격이 넓게 형성되어 있기 때문에 별도의 얼라인 과정 없이 접속이 신속하고 원활하게 이루어지게 된다.

한편, 상기 수평판(111)의 상방에 지지판(170)이 승강가능하게 설치된 경우에는 제2프로브(150)가 전극단자(140)에 접촉될 때 지지판(170)이 하강하면서 수평판(111)의 상부를 지지한다. 이 경우, 상기 지지판(170)의 하부면에 부착된 완충패드(171)가 수평판(111)이 지지될 때 수평판(111)과 직접 접촉됨으로써, 수평 판(111)이 상향유동되지 않도록 지지하면서 수평판(111)으로 전달되는 충격을 막는다.

이와 같은 과정을 거쳐, 검사스테이지(110)상에 셀(L)이 정확한 위치에 정렬되면 프론트라이트(61) 및 백라이트(62)가 점등된 상태에서 메인카메라(60)를 통한 셀(L) 검사가 이루어지게 되며 이는 종래의 셀(L) 검사과정과 동일하므로 여기서의 상세한 설명은 생략한다.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치는 셀이 안착되는 검사스케이지의 수평판에 제1프로브를 설치하고 제1프로브와 연결된 전극단자에 선택적으로 접속되도록 제2프로브를 설치하여 셀의 안착과 동시에 셀의 쇼트패드와 프로브의 접속이 자동으로 이루어지도록 함으로써, 종래와 같이 광학적으로 셀의 얼라인 상태를 파악하는 얼라인카메라와 같은 별도의 얼라인 부재가 요구되지 않아 검사장비를 간소화시킬 수 있는 것은 물론 얼라인 신뢰도를 비롯한 셀 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 검사대상이 되는 셀의 사양에 따라 검사스테이지의 수평판을 교체하기만 하면 되므로 셀의 사양에 따라 카메라의 포커스와 얼라인 위치 등과 같은 얼라인 장비에 대한 얼라인 정보를 다시 셋팅시키거나 경우에 따라서 얼라인 장비를 교체시켜야 하는 종래와는 달리 셀의 사양에 따른 준비시간이 적게 소요되므로 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청 구범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 포함되어야 한다.

Claims

검사대상이 되는 셀이 놓여지는 수평판을 구비한 검사스테이지;

상기 수평판에 설치되어 수평판에 놓여지는 셀을 정확한 검사위치로 안내하는 셀 가이드수단;

상기 수평판상에 설치되어 수평판에 셀이 놓여지는 것에 의하여 셀의 쇼트패드와 전기적으로 접속되는 리드핀들을 구비한 제1프로브;

상기 제1프로브의 리드핀들과 연결된 상태로 수평판의 하부면으로 노출된 전극단자들; 및

검사스테이지의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되어 상기 전극단자들과 선택적으로 접속됨으로써 외부의 영상신호를 제1프로브를 통해 셀측으로 전달하는 제2프로브를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.
제 1항에 있어서,

상기 셀 가이드 수단은 상기 검사스테이지의 수평판에 설치된 클램핑부재인 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.
제 2항에 있어서,

상기 클램핑부재는

검사위치에 놓여진 셀의 두 측면을 지지하도록 검사스테이지 상부면에 고정 된 x축고정클램퍼 및 y축고정클램퍼;

상기 고정클램퍼에 대향되도록 검사스테이지의 수평판에 설치되어 수평판에 놓여진 셀을 해당 고정클램프측에 밀어서 밀착시키는 x축이동클램퍼 및 y축이동클램퍼로 구성된 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.
제 1항에 있어서,

상기 셀 가이드수단은 검사스테이지의 수평판에 형성된 셀 안착홈인 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.
제 4항에 있어서,

상기 제1프로브는 상기 셀 안착홈 바닥면에 설치되어 셀 안착홈에 셀이 안착되는 것에 의하여 셀의 쇼트패드와 전기적으로 접속이 이루어지도록 한 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.
제 1항에 있어서,

상기 검사스테이지의 전방에는 바닥에 고정된 수직지지대와, 상기 수직지지대를 따라 수평으로 왕복이동하는 수평이송부재와, 상기 수평이송부재의 단부에 연결된 수평지지대와, 수평지지대에 설치된 수직로드실린더를 구비한 이송로봇이 설치되고,

상기 제2프로브는 상기 이송로봇의 수직로드실린더 상단에 고정되어 승강과 수평이동이 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.
제 1항 또는 제6항에 있어서,

상기 전극단자들은 별도의 얼라인 과정 없이 제2프로브와의 접속이 원활하게 이루어지도록 상기 전극단자를 구성하는 각 단자와 제2프로브를 구성하는 각 리드핀들이 검사스테이지의 작동오차 범위와 이송로봇의 작동오차 범위를 포함하는 면적과 간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.
제 1항에 있어서,

상기 수평판의 상방에 승강가능하게 설치되어 제2프로브가 수평판 하부의 전극단자들과 접촉될 때 수평판이 상향 유동되지 않도록 수평판의 상부를 지지하는 지지판을 더 구비한 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.