CN103035850A - 基板检测及修复装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板检测及修复装置。本发明涉及的基板检测及修复装置，通过旋转用于承载支撑基板的检测单元而将基板竖立起来，从而拉近基板与操作者之间的距离，并能够将操作者对基板的视线角度设定为舒适的角度。因此具有检测操作非常方便的效果。而且，基板支撑固定在检测单元上，而检测单元的探针在基板的下侧进行升降的同时与基板的电极线连接或不连接。即，具有小尺寸和小体积的探针在进行升降，且探针设置在检测单元的内部，因此，具有缩减设置基板检测及修复装置的空间的效果。而且，不需要用于移动基板的高价装置，可降低基板检测及修复装置的成本。

Description

基板检测及修复装置

技术领域

本发明涉及一种基板检测及修复装置，点亮基板并对其进行检查，对检查后发现的缺陷能够进行修复。

背景技术

平板显示器大致分为液晶显示器（LCD,Liquid Crystal Display），等离子显示器（PDP，Plasma Display Panel）,发光二极管（LED,Light-Emitting Diode）显示器，有机发光二极管（OLED,Organic Light-Emitting Diode）显示器等。

有机发光二极管显示器具有低电压驱动，发光效率高，可视角度广，响应速度快等优点，作为可显示高清晰影像的新一代平板显示器而备受瞩目。

有机发光二极管显示器的制造过程中包括检测过程和修复过程。检测过程是向基板上形成的阳极线和阴极线供给电源而检查基板的缺陷，修复过程是利用激光修复检测出的基板上的缺陷部位。

制造平板显示器时，在检测装置上检测基板有无缺陷，发现基板存在缺陷，则将基板移送至修复装置，并对基板的缺陷部位进行修复。然后，将经修复的基板重新移送至检测装置进行复检。即，分别配备检测装置和修复装置，所以为了进行基板检测→修复→复检，还需要移送基板，从而存在降低生产率的缺点。

为解决上述问题，开发了一种实现检测装置和修复装置一体化的检测及修复装置。

现有的基板检测及修复装置，在点亮基板进行检查时，操作者将基板水平放置的状态下进行检查。而这样，基板距离操作者较远，所以操作者需要弯腰或低头，从而非常不便。

另外，在现有的基板检测及修复装置上固定有探针（Probe），该探针用于与基板的阳极线和阴极线连接并向基板供给电源，将基板从下往上移送，并使基板的阳极线和阴极线连接到探针上。即，通过移送基板将基板与探针连接，所以需要对应于基板移送空间的较大的安装空间。另外，需要用于移动基板的高价装置，进而提高成本。

发明内容

本发明是为解决上述现有技术中存在的问题而提出，本发明的目的在于，提供一种可方便操作者进行基板检测的基板检测及修复装置。

本发明的另一目的在于，提供一种可缩减安装空间的同时又能够降低成本的基板检测及修复装置。

技术解决方案

为了达到上述目的，本发明涉及的基板检测及修复装置，包括：工作台；检测单元，被设置在所述工作台上，并承载支撑着形成有阳极线和阴极线的基板，且具有向所述基板供给电源的多个探针（Probe），用于检测所述基板有无缺陷；修复单元，以能够向X轴方向和Y轴方向移动的方式设置在所述工作台上，以修复所述基板的缺陷部位；所述检测单元被设置成在所述工作台上能够以一侧面为基准使另一侧面旋转，所述探针位于所述基板的下侧，且可升降地设置，从而与所述基板的所述阳极线和所述阴极线连接或不连接。本发明的有益效果是：

本发明涉及的基板检测及修复装置，通过旋转用于承载支撑基板的检测单元而将基板竖立起来，从而拉近基板与操作者之间的距离，能够将操作者对基板的视线角度设定为舒适的角度。因此，具有检测操作非常方便的效果。

另外，基板被支撑固定在检测单元上，检测单元的探针在基板的下侧进行升降的同时与基板的电极线连接或不连接。即，小尺寸及小体积的探针在进行升降，而且探针设置在检测单元的内部，因此，能够缩减基板检测及修复装置的安装空间。

另外，不需要用于移动基板的高价装置，可降低基板检测及修复装置的成本。

附图说明

图1是本发明的一实施例涉及的基板检测及修复装置的立体图。

图2是示出图1所示的检测单元旋转状态的侧视图。

图3是示出旋转图1所示的检测单元的状态下操作者检测基板的概略侧视图。

图4是图1所示的检测单元的放大立体图。

图5是示出图4所示的按压板向外侧移动的状态的立体图。

图6是图5的“A”部分的放大图。

图7是图6所示的探针的截面图。

附图标记：

100：工作台        200：检测单元

261：探针          271：按压板

300：修复单元      400：暗室

具体实施方式

下面，参照附图和能够实施本发明的具体实施例详细说明本发明。为了使本领域的技术人员能够充分实施，详细说明这些实施例。应理解为，本发明的各种实施例彼此不同，但相互并不排斥。例如，这里所记载的一实施例的具体形状、具体结构和特性，在不脱离本发明精神和范围的情况下，也可以由其他实施例来实现。另外，应理解为，各自公开的实施例中的个别构成要素的位置或配置，在不脱离本发明精神和范围的情况下也可进行变更。因此，后述的详细说明并无限定之意，准确地说明，本发明的保护范围仅以权利要求书所记载的内容为准，包含与其权利要求所主张的内容等同的所有范围。为方便起见，也有可能夸张地表现出附图所示的实施例的长度、面积、厚度及形态。

以下，参照附图详细说明本发明的一实施例涉及的基板检测及修复装置。

图1是本发明的一实施例涉及的基板检测及修复装置的立体图，图2是示出图1所示的检测单元旋转状态的侧视图。

如图所示，本实施例涉及的基板检测及修复装置包括：工作台100，检测单元200和修复单元300。

检测单元200被设置在工作台100上，用于承载支撑基板50。检测单元200包括探针（Probe）261（参照图6），该探针261用于向基板50供给电源并点亮基板50的各像素，以检测基板50有无缺陷。这时，在基板50的一侧和另一侧外缘部上分别形成有阳极线和阴极线，该阳极线和阴极线与探针261连接以接收供给的电源。

以下，在基板50上形成的阳极线与阴极线称为‘电极线’。

修复单元300能够向X轴方向和Y轴方向移动地设置在工作台100上，以修复基板50的点缺陷（Point Defect）部位或线缺陷（Line Defect）部位。

本实施例涉及的检测单元200可旋转地设置。详细说明，检测单元200的一侧面被支撑在工作台100上，而另一侧面以该一侧面为基准可旋转地设置。即，检测单元200相对于工作台100可旋转地设置，从水平状态相对于工作台100形成规定角度的进行旋转。

检测单元200旋转，则承载支撑在检测单元200上的基板50也一同旋转，并与工作台100形成规定的角度。这样，能够使供给电源而被点亮的基板50以规定角度竖起，使其位于接近操作者的位置，从而能够将操作者对基板50的视线角度设定为舒适的角度，因此非常便利。

优选检测单元200通过电机202或气缸（未图示）等以工作台100为基准旋转约80度左右。

图3是示出旋转图1所示的检测单元的状态下操作者检测基板的概略侧视图，对此加以说明。

如图所示，点亮基板50（参照图1）后，操作者通过目测检查基板50有无缺陷时，当基板50周围的照度在规定值以上，则很难判断基板50有无缺陷。因此，设置本实施例涉及的基板检测及修复装置的使用空间的照度保持在规定值以下。

此时，为了使操作者能够更加准确地判断基板50有无缺陷，在工作台100的一侧形成有作为操作空间的暗室400。这样，能够使检测单元200的另一侧面侧向暗室400侧旋转的状态下判断基板50有无缺陷，从而操作者能够更加准确地判断基板50有无缺陷。

参照图4至图6说明本实施例涉及的检测单元200。图4是图1所示的检测单元的放大立体图，图5是示出图4所示的按压板向外侧移动的状态的立体图，图6是图5的“A”部分的放大图。

如图所示，检测单元200包括设置在工作台100（参照图1）上的底台210。底台210的中央部设置有长度方向与X轴方向平行的第一支撑块220，在第一支撑块220上承载支撑着用于检测或修复的基板50（参照图1）的中央部。

在第一支撑块220上设置有第一钳位器231。第一钳位器231由相互对置的一对构成，其中一个设置在第一支撑块220的一端侧，另一个设置在第一支撑块220的另一端侧。第一钳位器231以相互靠近或远离的形式运动，以支撑与X轴方向垂直的基板50的一侧面和另一侧面。

第一支撑块220上设置有电机233，电机233上连接有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠上设置有第一钳位器231。因此，所述滚珠丝杠通过电机233进行正反旋转时，第一钳位器231随着滚珠丝杠进行直线往返运动。

底台210上设置有一对第二支撑块240。第二支撑块240隔着第一支撑块220分别设置在第一支撑块240的一侧和另一侧的底台210部位上。即，以第一支撑块220为基准，其中一个第二支撑块240设置在+Y轴方向上，另一个第二支撑块240设置在-Y轴方向上。

第二支撑块240的长度方向也与X轴方向平行的同时，与第一支撑块220平行。第二支撑块240可沿Y轴方向移动地设置，以相互靠近或远离的形式进行运动，承载支撑与Y轴方向垂直的基板50的一侧和另一侧外缘部。

第二支撑块240分别设置在托板243上，底台210上分别设置有支撑托板243的支撑导轨245。而且，托板243与支撑导轨245通过LM导轨等来相互连接，托板243沿着支撑导轨245进行直线运动。因此，第二支撑块240以相互靠近或远离的形式、即以靠近或远离第一支撑块220的形式进行运动。

第二支撑块240上分别设置有第二钳位器251。分别在任一第二支撑块240和另一个第二支撑块240上设置多个第二钳位器251，其与第二支撑块240一同运动的同时支撑与Y轴方向垂直的基板50的一侧面和另一侧面。

相互对置的一对第一钳位器231之间的距离可变，分别设置有第二钳位器251的一对相互对置的第二支撑块240之间的距离也可变，所以能够支撑各种尺寸的基板50。

基板50为有机发光二极管（OLED,Organic Light-Emitting Diode）显示器时，通过所述电极线供给电源才能检测基板50有无缺陷。

为此，本实施例涉及的检测单元200上设置有与基板50的电极线连接的多个探针261。探针261位于被检测单元200承载支撑的基板50的下侧，可升降地设置，并与基板50的所述电极线连接或不连接。

探针261分别设置在第二支撑块240上，并与第二支撑块240一同运动的同时，相对于第二支撑块240可升降地设置。

以下，对探针261的升降结构作以说明。

在第二支撑块240上分别设置有升降板263，在升降板263上分别可拆装地结合有支撑架265。此时，升降板263与第二支撑块240一同运动的同时，相对于第二支撑块240可升降地设置。而且，支撑架265与升降板263一同运动。升降板263通过气缸（无图示）等进行升降。

支撑架265上分别设置有多个探针261。因此，随着升降板263升降，支撑架265也升降，而且探针261随着支撑架265进行升降的同时与基板50的所述电极线连接或不连接。通过探针261向基板50供给电源时，基板50未发光的部位或未显现出期待颜色的基板50部位即为缺陷部位。

基板50被支撑固定在检测单元200上，而比基板50的尺寸和体积小的探针261进行升降的同时与基板50连接或不连接，故本实施例涉及的基板检测及修复装置，可以设置在相对小的空间内。

探针261的上升距离由控制部（未图示）来适当控制。但是，如果探针261被固定在支撑架265上时，探针261与基板50连接的状态下，探针261与基板50之间的作用力大于规定值以上时，探针261可能被损坏。为了避免这种情况发生，探针261相对于支撑架265可升降地设置。另外，如图7所示，在支撑架265上设置有向基板50侧弹性支撑探针261的弹性支撑构件267。

这样，探针261已连接到基板50的状态下，如果探针261继续上升，则探针261向下侧下降，从而防止探针261损坏。探针261通过弹性支撑构件267与基板50牢固地连接。

探针261上升而与基板50连接时，若基板50因探针261上升，则探针261无法与基板50牢固地连接。为了避免这种情况发生，本实施例涉及的检测单元200上设置有按压板271，该按压板271可升降地设置，并向下方按压基板50。

按压板271与第二支撑块240一同运动的同时，相对于第二支撑块240可升降地设置，从而向下方按压基板50上表面的外缘部侧。

详细说明，则在托板243上设置有支撑导轨273，在支撑导轨273上设置有水平支撑板275a，在水平支撑板275a上设置有垂直支撑板275b。而且，在垂直支撑板275b上设置有通过气缸（未图示）等进行升降的按压板271。

这样，通过机器臂等支撑基板50而承载支撑在第一支撑块220和第二支撑块240上时，第一钳位器231以相互靠近的形式运动，第二支撑块240以相互靠近的形式运动，从而支撑基板50。在这种状态下，按压板271下降而按压支撑基板50，则探针261上升而与基板50连接。因此，探针261与基板50牢固地连接。

独立于第二支撑块240的直线运动，水平支撑板275a沿着靠近或远离第一支撑块220的Y轴方向进行直线运动地设置。为此，支撑导轨273与水平支撑板275a通过LM导轨来相互连接，水平支撑板275a可沿着支撑导轨273进行直线运动地设置。因此，按压板271也独立于第二支撑块240的直线运动而进行直线运动。

维修或更换探针261时，因设置有探针261的支撑架265可拆装地结合在第二支撑块240上，因此，如图5所示，向第一支撑块220的外侧移动水平支撑板275a的状态下，更换支撑架265即可。

托板243上形成有第一止动件243a和第二止动件243b。第一止动件243a限制向靠近第一支撑块220的方向运动的水平支撑板275a的运动距离，第二止动件243b限制向远离第一支撑块220的方向运动的水平支撑板275a的运动距离。即，第一止动件243a与第二止动件243b限制通过水平支撑板275a进行直线运动的按压板271的运动距离。

而且，使按压板271进行直线运动的水平支撑板275a上形成有卡止凸起275aa，该卡止凸起275aa沿水平支撑板275a的直线运动方向被卡在第一止动件243a和第二止动件243b上。

图7的未说明标记261a是用于向探针261供给电源的电线。

本实施例涉及的基板检测与修复装置，基板50被支撑固定在检测单元200上，而检测单元200的探针261在基板50的下侧进行升降的同时与基板50的所述电极线连接或不连接。即，比基板50尺寸和体积小的探针261进行升降，且探针261设置在检测单元200的内部，所以，可设置在狭窄的空间。而且，不需要用于移动基板50的单独的装置，进而降低成本。

综上所述，本发明举例图示优选实施例作以详细说明，但并不仅限于此，本发明所属技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明精神的范围内，可进行各种变形和变更。这些变形例和变更例均包含于本发明及权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基板检测及修复装置，其特征在于，包括：

工作台；

检测单元，被设置在所述工作台上，并承载支撑着形成有阳极线和阴极线的基板，且具有向所述基板供给电源的多个探针，用于检测所述基板有无缺陷；

修复单元，以能够沿X轴方向和Y轴方向移动的方式设置在所述工作台上，以修复所述基板的缺陷部位；

所述检测单元被设置成，在所述工作台上能够以一侧面为基准使另一侧面旋转，

所述探针位于所述基板的下侧，设置成可升降，并与所述基板的所述阳极线和所述阴极线连接或不连接。

2.根据权利要求1所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述工作台的一侧形成有暗室，该暗室为操作者对与所述检测单元一同旋转规定角度的所述基板进行目测检查的作业空间。

3.根据权利要求1所述的基板检测及修复装置，其特征在于，所述检测单元包括：

底台，设置在所述工作台上；

第一支撑块，长度方向与X轴方向平行地设置在所述底台上，且承载支撑所述基板的中央部侧；

一对第二支撑块，隔着所述第一支撑块分别设置在所述第一支撑块的一侧和另一侧的所述底台部位，且长度方向与X轴方向平行，可沿Y轴方向运动，并以相互靠近或远离的形式运动，且承载支撑与Y轴方向垂直的所述基板的一侧和另一侧外缘部；

一对第一钳位器，设置在所述第一支撑块的一端侧和另一端侧，以相互靠近或远离的形式运动，且分别支撑与X轴方向垂直的所述基板的一侧面和另一侧面；

第二钳位器，分别设置在所述第二支撑块上，且分别与所述第二支撑块一同运动的同时，分别支撑与Y轴方向垂直的所述基板的一侧面和另一侧面。

4.根据权利要求3所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

所述探针分别设置在所述第二支撑块侧，且分别与所述第二支撑块一同运动的同时，可相对于所述第二支撑块进行升降。

5.根据权利要求4所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述第二支撑块上分别设置有升降板，该升降板分别与所述第二支撑块一同运动的同时，可相对于所述第二支撑板进行升降，

在所述升降板上分别可拆装地结合有支撑架，

在所述支撑架上分别支撑设置有多个所述探针。

6.根据权利要求5所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

所述探针被设置成，可相对于所述支撑架升降，

在所述支撑架上设置有弹性支撑构件，该弹性支撑构件向所述基板侧弹性支撑所述探针。

7.根据权利要求5所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述第二支撑块上分别设置有多个按压板，该按压板分别与所述第二支撑块一同运动的同时，可相对于所述第二支撑块升降，并向下按压所述基板的上表面的外缘部侧。

8.根据权利要求7所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

所述按压板被设置成，能够与所述第二支撑块的运动独立地分别沿Y轴方向进行直线运动。

9.根据权利要求8所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述底台上设置有能够沿Y轴方向运动的托板，

在所述托板上设置有所述第二支撑块，

在所述托板上形成有第一止动件和第二止动件，该第一止动件限制向靠近所述第二支撑块的方向运动的所述按压板的运动距离，该第二止动件限制向远离所述第二支撑块的方向运动的所述按压板的运动距离。

10.根据权利要求9所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述按压板上形成有卡止凸起，该卡止凸起沿所述按压板的运动方向被卡在所述第一止动件或所述第二止动件上。

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