KR100726434B1 - 수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치 - Google Patents
수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100726434B1 KR100726434B1 KR1020050069374A KR20050069374A KR100726434B1 KR 100726434 B1 KR100726434 B1 KR 100726434B1 KR 1020050069374 A KR1020050069374 A KR 1020050069374A KR 20050069374 A KR20050069374 A KR 20050069374A KR 100726434 B1 KR100726434 B1 KR 100726434B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- actuator
- substrate
- signal line
- mems switch
- mems
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H2237/00—Mechanism between key and laykey
- H01H2237/004—Cantilever
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
Description
Claims (11)
- 하부기판 및 상부기판;상기 하부기판 상부 표면상에 서로 소정의 간격으로 이격되어 증착되는 제1 신호라인 및 제2 신호라인;상기 하부기판 상부 표면을 기준으로, 상기 제1 및 제2 신호라인 상 방향에 위치하며, 상기 제1 및 제2 신호라인 각각과 소정의 간격으로 이격된 액츄에이터; 및상기 상부기판 측에 마련되어, 상기 액츄에이터의 상 방향에 위치하며, 소정의 구동 전압이 인가되면, 상기 액츄에이터를 상기 제1 신호라인 및 제 2 신호라인과 접촉하게 하는 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF(radio frequency) MEMS(micro-electro- mechanical systerms) 스위치.
- 제 1항에 있어서,상기 액츄에이터 및 상기 고정부는 콤(comb) 구조로서, 서로 맞물리는 것을 특징으로 하는 RF MEMS 스위치.
- 제 1항에 있어서,상기 액츄에이터는 브리지(bridge) 형태로 스위칭 동작을 하는 것을 특징으로 하는 RF MEMS 스위치.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 하부기판에 의해서 지지되며, 상기 고정부를 고정시키는 지지대;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF MEMS 스위치.
- 기판;상기 기판 상부 표면 상에 서로 소정의 간격으로 이격되어 증착되는 제1 신호라인 및 제2 신호라인;상기 제1 신호라인과 일체를 이루며, 상기 기판 상부 표면으로부터 소정의 간격으로 부상된 액츄에이터; 및상기 기판 상부 표면을 기준으로, 상기 액츄에이터의 상 방향에 위치하며, 소정의 구동 전압이 인가되면, 상기 액츄에이터를 상기 제2 신호라인과 하나의 컨택 포인트에서 접촉하게 하는 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF(radio frequency) MEMS(micro-electro- mechanical systerms) 스위치.
- 제 6항에 있어서,상기 액츄에이터 및 상기 고정부는 콤(comb) 구조로서, 서로 맞물리는 것을 특징으로 하는 RF MEMS 스위치.
- 제 6항에 있어서,상기 액츄에이터는 상기 제1 신호라인에 의해서 지지되는 것을 특징으로 하는 RF MEMS 스위치.
- 제 6항에 있어서,상기 액츄에이터는 캔틸레버(cantilever) 형태로 스위칭 동작을 하는 것을 특징으로 하는 RF MEMS 스위치.
- 제 6항에 있어서,상기 기판과 본딩을 이루면서, 상기 고정부를 고정시키는 다른 기판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF MEMS 스위치.
- 제 6항에 있어서,상기 기판에 의해서 지지되며, 상기 고정부를 고정시키는 지지대;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF MEMS 스위치.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050069374A KR100726434B1 (ko) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치 |
US11/417,242 US7501911B2 (en) | 2005-07-29 | 2006-05-04 | Vertical comb actuator radio frequency micro-electro-mechanical system switch |
JP2006206708A JP4355717B2 (ja) | 2005-07-29 | 2006-07-28 | コーム構造のアクチュエータを含むrf−memsスイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050069374A KR100726434B1 (ko) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070014589A KR20070014589A (ko) | 2007-02-01 |
KR100726434B1 true KR100726434B1 (ko) | 2007-06-11 |
Family
ID=37693688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050069374A KR100726434B1 (ko) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7501911B2 (ko) |
JP (1) | JP4355717B2 (ko) |
KR (1) | KR100726434B1 (ko) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4540443B2 (ja) * | 2004-10-21 | 2010-09-08 | 富士通コンポーネント株式会社 | 静電リレー |
EP1850360A1 (en) * | 2006-04-26 | 2007-10-31 | Seiko Epson Corporation | Microswitch with a first actuated portion and a second contact portion |
KR100837741B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2008-06-13 | 삼성전자주식회사 | 미세 스위치 소자 및 미세 스위치 소자의 제조방법 |
KR101030549B1 (ko) * | 2008-12-30 | 2011-04-21 | 서울대학교산학협력단 | 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 |
US8519809B1 (en) | 2011-03-07 | 2013-08-27 | Advanced Numicro Systems, Inc. | MEMS electrical switch |
EP2514713B1 (en) | 2011-04-20 | 2013-10-02 | Tronics Microsystems S.A. | A micro-electromechanical system (MEMS) device |
CN104201059B (zh) * | 2014-09-03 | 2016-01-20 | 太原理工大学 | 基于静电斥力和引力混合驱动的射频mems开关 |
CN106158512A (zh) * | 2015-04-08 | 2016-11-23 | 北京大学 | 一种金属钼基微继电器及其制备方法 |
CN106546232B (zh) * | 2015-11-05 | 2019-09-06 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种mems陀螺仪及其制造工艺 |
US9758366B2 (en) | 2015-12-15 | 2017-09-12 | International Business Machines Corporation | Small wafer area MEMS switch |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020083262A (ko) * | 2001-04-26 | 2002-11-02 | 삼성전자 주식회사 | Mems 릴레이 및 그 제조방법 |
KR20020089987A (ko) * | 2001-05-25 | 2002-11-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 엠에프이엘 소자의 제조방법 |
US6657525B1 (en) | 2002-05-31 | 2003-12-02 | Northrop Grumman Corporation | Microelectromechanical RF switch |
KR20040043371A (ko) * | 2002-11-18 | 2004-05-24 | 삼성전자주식회사 | Mems스위치 |
US6914711B2 (en) | 2003-03-22 | 2005-07-05 | Active Optical Networks, Inc. | Spatial light modulator with hidden comb actuator |
KR20060078897A (ko) * | 2004-12-30 | 2006-07-05 | 주식회사 두산 | 발아대두와 발아흑미를 이용하여 제조한 두부 및 그제조방법 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5278368A (en) * | 1991-06-24 | 1994-01-11 | Matsushita Elec. Works, Ltd | Electrostatic relay |
JPH10228853A (ja) | 1997-02-14 | 1998-08-25 | Fujitsu Takamizawa Component Kk | リードスイッチ及びその集合体 |
US6310526B1 (en) * | 1999-09-21 | 2001-10-30 | Lap-Sum Yip | Double-throw miniature electromagnetic microwave (MEM) switches |
US6469602B2 (en) | 1999-09-23 | 2002-10-22 | Arizona State University | Electronically switching latching micro-magnetic relay and method of operating same |
US6621387B1 (en) * | 2001-02-23 | 2003-09-16 | Analatom Incorporated | Micro-electro-mechanical systems switch |
US7190245B2 (en) | 2003-04-29 | 2007-03-13 | Medtronic, Inc. | Multi-stable micro electromechanical switches and methods of fabricating same |
US6949985B2 (en) * | 2003-07-30 | 2005-09-27 | Cindy Xing Qiu | Electrostatically actuated microwave MEMS switch |
US7215229B2 (en) | 2003-09-17 | 2007-05-08 | Schneider Electric Industries Sas | Laminated relays with multiple flexible contacts |
JP2005166622A (ja) | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Deiakkusu:Kk | マイクロマシンスイッチ |
-
2005
- 2005-07-29 KR KR1020050069374A patent/KR100726434B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-05-04 US US11/417,242 patent/US7501911B2/en active Active
- 2006-07-28 JP JP2006206708A patent/JP4355717B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020083262A (ko) * | 2001-04-26 | 2002-11-02 | 삼성전자 주식회사 | Mems 릴레이 및 그 제조방법 |
KR20020089987A (ko) * | 2001-05-25 | 2002-11-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 엠에프이엘 소자의 제조방법 |
US6657525B1 (en) | 2002-05-31 | 2003-12-02 | Northrop Grumman Corporation | Microelectromechanical RF switch |
KR20040043371A (ko) * | 2002-11-18 | 2004-05-24 | 삼성전자주식회사 | Mems스위치 |
US6914711B2 (en) | 2003-03-22 | 2005-07-05 | Active Optical Networks, Inc. | Spatial light modulator with hidden comb actuator |
KR20060078897A (ko) * | 2004-12-30 | 2006-07-05 | 주식회사 두산 | 발아대두와 발아흑미를 이용하여 제조한 두부 및 그제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7501911B2 (en) | 2009-03-10 |
JP2007042644A (ja) | 2007-02-15 |
JP4355717B2 (ja) | 2009-11-04 |
US20070024390A1 (en) | 2007-02-01 |
KR20070014589A (ko) | 2007-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100726434B1 (ko) | 수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치 | |
US7122942B2 (en) | Electrostatic RF MEMS switches | |
US4742263A (en) | Piezoelectric switch | |
US7583169B1 (en) | MEMS switches having non-metallic crossbeams | |
US8018308B2 (en) | Downward type MEMS switch and method for fabricating the same | |
JP3651671B2 (ja) | マイクロメカニカルスイッチ及びその製造方法 | |
KR100631204B1 (ko) | Mems 스위치 및 그 제조방법 | |
KR100612893B1 (ko) | 트라이 스테이트 rf 스위치 | |
US7978045B2 (en) | Multi-actuation MEMS switch | |
US20070290773A1 (en) | Electromechanical switch with partially rigidified electrode | |
WO2007002549A1 (en) | Ultra-low voltage capable zipper switch | |
EP1672661A2 (en) | MEMS switch and method of fabricating the same | |
KR100633101B1 (ko) | 비대칭 스프링 강성을 갖는 rf 멤스 스위치 | |
US7164334B2 (en) | Electrostatic actuator, microswitch, micro optical switch, electronic device, and method of manufacturing electrostatic actuator | |
JP2006252956A (ja) | マイクロマシンスイッチ及び電子機器 | |
KR101030549B1 (ko) | 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 | |
JP2006331742A (ja) | 電気機械スイッチ | |
CN100373516C (zh) | 翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法 | |
KR100502156B1 (ko) | 멤스 알에프 스위치 | |
JP4970150B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR20020076131A (ko) | 정전 마이크로 릴레이, 그 정전 마이크로 릴레이를 이용한무선장치, 계측장치 및 접점 개폐방법 | |
KR100493532B1 (ko) | 정전식 양방향 미세기전 액추에이터 | |
KR100620958B1 (ko) | Mems 스위치 및 그 제조방법 | |
KR100378360B1 (ko) | 수평 동작형 MEMs 스위치 | |
KR100323715B1 (ko) | 마이크로 스위치 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130522 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140522 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150522 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160518 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170522 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180518 Year of fee payment: 12 |