KR100502156B1 - 멤스 알에프 스위치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 멤스 알에프 스위치에 관한 것으로, 기판 상부의 일측에 상호 이격되어 형성된 입력전극 및 출력전극과; 상기 입력전극 및 출력전극 각각으로부터 이격되고, 상호 소정거리 이격되어 기판에 형성된 한 쌍의 앵커(Anchor)들과; 상기 한 쌍의 앵커들 상부 일측에 각각 연장되고, 상기 기판 상부로부터 부상되어 형성된 한 쌍의 제 1 구조물들과; 상기 한 쌍의 제 1 구조물들의 종단에 일측과 타측이 각각 연결된 제 2 구조물과; 상기 제 2 구조물의 중심 측면에서 상기 입력전극 및 출력전극의 상측으로 이격된 위치까지 상기 제 1 구조물들 사이로 연장된 제 3 구조물과; 상기 한 쌍의 앵커들의 상호 대향하는 각각의 측면에서 상기 제 3 구조물로 연장된 한 쌍의 제 4 구조물들과; 상기 제 3 구조물의 하부면에 형성되며 도전성물질로 이루어진 접극자(Armature)와; 상기 제 1 구조물들 각각에 형성되며, 인가전압에 따라 변형이 발생되는 압전구동부들로 구성된다.

따라서, 본 발명은 저전압으로도 큰 힘을 유발시켜 스위치 온 상태를 능동적으로 일으키고 유지할 수 있는 능동형 RF 스위치를 구현할 수 있으며, 인가전압의 조절에 따라 접극자가 입출력 전극에 접촉되는 접촉력을 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에서는 접극자 사이의 거리를 종래의 정전인력형 구조보다 길게 할 수 있어, 오프시 접극자와 입출력 전극 사이의 절연성을 높일 수 있는 효과가 있다.

더불어, 본 발명의 구조에서는 스프링 복원력을 크게 하기 위해 압전 구동부의 너비를 크게 하여도 스위치 온 상태를 위해 더 큰 힘이 소요되지 않고, 스위치 온 상태가 더욱 용이해지는 효과가 있다.

Description

멤스 알에프 스위치 {MEMS RF switch}

본 발명은 멤스 알에프(MEMS RF)스위치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 저전압으로도 큰 힘을 유발시켜 스위치 온 상태를 능동적으로 일으키고 유지할 수 있는 능동형 RF 스위치를 구현할 수 있으며, 인가전압의 조절에 따라 접극자가 입출력 전극에 접촉되는 접촉력을 용이하게 조절할 수 있는 멤스 알에프 스위치에 관한 것이다.

일반적으로 알에프(RF, radio frequency) 스위치는 극초단파, 즉 파장이 1mm에서 1m까지인 마이크로파를 사용하는 시스템에서 고전력 저잡음 증폭기와 함께 필수 불가결한 부재로서, RF 신호를 통과시키거나 통과시키지 않는 기능을 수행한다.

알에프 스위치 중, MEMS(Micro Electro Mechanical System) RF 스위치는 마이크로파나 밀리미터파를 이용하는 무선통신 시스템에서 신호의 선별 전송(Signal routing)이나 임피던스 정합 회로(Impedance matching circuit) 등에 널리 사용되는 응용 소자이다.

최근, 다양한 MEMS RF 스위치에 관한 연구가 활발히 진행되어 왔는데, 이동 통신 단말기 시장의 폭발적인 증가에 따라 MEMS RF 스위치의 중요성은 더욱 증가되고 있다. 이에 따라 다양한 형태의 MEMS RF 스위치가 제시되고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 MEMS RF 스위치의 기본적인 구성요소가 기판 상에 형성되어 있는 상태를 도시한 개략적인 평면도로서, 기판(20) 상부의 일측에 상부전극 패드(11)가 형성되어 있고, 상기 기판(20) 상부의 타측에 상호 이격된 입력 및 출력전극(31a,31b)이 형성되어 있고, 상기 상부전극 패드(11)와 입력 및 출력전극(31a,31b) 사이의 기판(20) 상부에 하부전극(14)이 형성되어 있다.

도 2는 종래 기술에 따른 MEMS RF 스위치가 오프(Off)된 상태를 도시한 단면도로서, 도 1에 도시된 상부전극 패드(11)에는 상부전극(12)이 전기적으로 접촉되고, 상기 하부전극(14)으로부터 부상되어 있고, 상기 상부전극(12)의 상, 하부면을 절연막(13)으로 감싸서 형성한 탄성지지보(18)가 형성되어 있다.

그리고, 상기 탄성지지보(18)는 상기 입력 및 출력전극(31a,31b)으로부터 이격된 상측까지 연장되고, 상기 탄성지지보(18)의 선단의 하부에는 접극자(15)가 형성되어 있다.

이렇게 형성된 종래 기술에 따른 MEMS RF 스위치는 동작원리는 설명하면, 먼저, 도 2에 도시된 RF 스위치는 오프 상태이다.

즉, RF 스위치가 오프 상태를 유지하려면, 상기 상부 및 하부전극(12,14)에 전압을 인가하지 않으면 된다.

그럴 경우, 양 전극사이에 정전인력이 유발되지 않아, 상기 접극자(15)는 하부의 입력전극(31a) 및 출력전극과 소정 거리로 이격되어, 입력전극(31a)과 출력전극은 단선되고, 스위치는 비작동 상태인 오프 상태가 된다.

도 3은 종래 기술에 따른 MEMS RF 스위치가 온(On)된 상태를 도시한 단면도로서, RF 스위치 온 상태는 상부전극(12)과 하부전극(14) 사이에 전압차를 인가하면, 상부전극(12)과 하부전극(14)은 서로 끌어당기는 정전인력이 발생하고, 상기 상부전극(12) 영역의 탄성지지보(18)는 하부전극(14)에 접촉된다.

그러므로, 탄성지지보(18)의 끝단에 있는 접극자(15)도 아래로 처지게 되고, 도 4에 도시된 바와 같이, 접극자(15)는 입력전극(31a)과 출력전극(31b)에 접촉되어 두 전극(31a,31b)을 전기적으로 연결시킨다.

이러한 상태가 스위치 온이다.

여기서, 스위치 온 상태에서 오프 상태로 복원되는 과정은 도 3의 상태에서 도 2의 상태로 변화되는 과정인데, 스위치 오프를 위해 대향되는 상부 및 하부전극(12,14) 사이에 인가 전압차이를 제거시킴으로 인해 유발되었던 정전인력도 사라지게 된다.

따라서, 탄성지지보를 아래 방향으로 끌어내리고 있던 정전인력의 손실로 인해 초기의 평형상태로 되돌아가고자 하는 탄성지지보의 스프링 복원력에 의해 탄성지지보는 도 2와 같은 상태로 되돌아가게 된다.

이와 같이, 전술된 도 1 내지 3에 도시된 종래 기술의 MEMS RF 스위치는 미국특허 US6046659호에 기재되어 있으며, 정전인력이 탄성지지보의 스프링 저항력을 이겨낼 정도로 커야 접극자가 입출력 전극들과 접촉되도록 탄성지지보가 움직여 스위치로서의 제 기능을 발휘하게 되는데, 정전인력은 대향 전극간 거리의 역수에 비례하므로 거리가 조금만 멀어도 작게 되는 단점이 있다.

그래서, 지금까지의 정전인력형 MEMS RF 스위치의 구동 전압은 수십 볼트로 매우 큰 편이었다.

그러므로, 저전압 상태인 수 볼트의 전압만이 허용되는 분야에서는 사용하기가 곤란하였다.

한편, 종래의 RF 스위치는 정전인력이 다른 구동 방식에 비해 미약한 편이므로, 이러한 미약한 정전인력으로 탄성지지보를 움직이게 하기 위해서는 스프링 계수를 작게 하여야 한다.

여기서, 스프링 계수가 작다는 것은 탄성지지보가 작은 힘에도 쉽게 움직일 정도로 연약하다는 것을 뜻한다.

따라서, 탄성지지보가 연약함으로 인해 발생하는 가장 커다란 문제점은, 스위치 온 상태에서 오프 상태로 전환시에 탄성지지보를 아래로 붙들고 있던 정전인력이 사라짐으로 인해, 탄성지지보는 스프링 복원력으로 원래 상태로 되돌아오려고 한다.

그런데, 스프링 계수가 작음으로 인해 스프링 복원력도 작아지게 됨으로서, 접극자와 입출력 전극을 떨어지게 하는 힘이 작게 된다.

그러므로, 종래의 RF 스위치를 장기간 반복적으로 사용되면, 접극자와 입출력 전극의 접촉 표면이 마모되거나, 또는 스프링 복원력이 자연적으로 발생하는 정전인력 등보다 작아지게 되어, 서로 붙어서 떨어지지 않는 문제점이 발생하게 됨으로써,어 더 이상 스위치로서의 기능을 수행할 수 없는 치명적인 결함을 갖고 있다.

더불어, 정전인력은 대향 전극간 거리의 역수에 비례함으로, 접극자와 입출력 전극과의 거리를 크게 하면 정전인력이 약해져서 탄성지지보를 아래쪽으로 끌어당길 수 없게 된다.

대향전극간 거리를 크게 하면 정전인력을 크게 할 수 있는 반면에, 거리를 가깝게 할수록, 스위치 오프시 접극자와 입출력 전극의 전기적 절연성이 저하되는 단점이 있다.

결국, 종래의 정전인력형의 RF 스위치는 대향 전극판 사이의 거리를 일정 이하로 하여야 한다는 기본적인 제한을 갖고 있을 수밖에 없다는 단점이 있다.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 저전압으로도 큰 힘을 유발시켜 스위치 온 상태를 능동적으로 일으키고 유지할 수 있는 능동형 RF 스위치를 구현할 수 있으며, 인가전압의 조절에 따라 접극자가 입출력 전극에 접촉되는 접촉력을 용이하게 조절할 수 있는 멤스 알에프 스위치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 접극자 사이의 거리를 종래의 정전인력형 구조보다 길게 할 수 있어, 오프시 접극자와 입출력 전극 사이의 절연성을 높일 수 있는 멤스 알에프 스위치를 제공하는 데 있다.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, 기판 상부의 일측에 상호 이격되어 형성된 입력전극 및 출력전극과;

상기 입력전극 및 출력전극 각각으로부터 이격되고, 상호 소정거리 이격되어 기판에 형성된 한 쌍의 앵커(Anchor)들과;

상기 한 쌍의 앵커들 상부 일측에 각각 연장되고, 상기 기판 상부로부터 부상되어 형성된 한 쌍의 제 1 구조물들과;

상기 한 쌍의 제 1 구조물들의 종단에 일측과 타측이 각각 연결된 제 2 구조물과;

상기 제 2 구조물의 중심 측면에서 상기 입력전극 및 출력전극의 상측으로 이격된 위치까지 상기 제 1 구조물들 사이로 연장된 제 3 구조물과;

상기 한 쌍의 앵커들의 상호 대향하는 각각의 측면에서 상기 제 3 구조물로 연장된 한 쌍의 제 4 구조물들과;

상기 제 3 구조물의 하부면에 형성되며 도전성물질로 이루어진 접극자(Armature)와;

상기 제 1 구조물들 각각에 형성되며, 인가전압에 따라 변형이 발생되는 압전구동부들로 구성된 멤스 알에프 스위치가 제공된다.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는, 기판 상부의 일측에 상호 이격되어 형성된 입력전극 및 출력전극과;

상기 입력전극 및 출력전극 각각으로부터 상측으로 이격되어 있고, 구동시 입력 및 출력전극에 접촉되어 전기적으로 연결시키는 접극자와;

상기 접극자와 연결된 말단구조물과;

상기 말단구조물의 중간에 형성된 지렛대와;

전압에 따라 상기 지렛대를 기준으로 상기 말단구조물을 상측과 하측방향으로 움직여, 상기 접극자를 입력 및 출력전극에 접촉 또는 비접촉시키는 구동부로 구성된 멤스 알에프 스위치가 제공된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명에 따른 MEMS RF 스위치의 사시도로서, 기판(100) 상부의 일측에 상호 이격되어 형성된 입력전극 및 출력전극(110,120)과; 상기 입력전극 및 출력전극(110,120) 각각으로부터 이격되고, 상호 소정거리 이격되어 기판(100)에 형성된 한 쌍의 앵커(Anchor)들(131a,131b)과; 상기 한 쌍의 앵커들(131a,131b) 상부 일측에 각각 연장되고, 상기 기판(100) 상부로부터 부상되어 형성된 한 쌍의 제 1 구조물들(132a,132b)과; 상기 한 쌍의 제 1 구조물들(132a,132b)의 종단 각각에 일측과 타측이 각각 연결된 제 2 구조물(133)과; 상기 제 2 구조물(133)의 중심 측면에서 상기 입력전극 및 출력전극(110,120)과 이격된 상측의 위치까지 상기 제 1 구조물들(132a,132b) 사이로 연장된 제 3 구조물(134)과; 상기 한 쌍의 앵커들(131a,131b)의 상호 대향하는 각각의 측면에서 상기 제 3 구조물(134)로 연장된 한 쌍의 제 4 구조물들(135a,135b)과; 상기 제 3 구조물(134)의 하부면에 형성되며 도전성물질로 이루어진 접극자(Armature)(130)와; 상기 제 1 구조물들(132a,132b) 각각에 형성되며, 인가전압에 따라 변형이 발생되는 압전구동부들(151,152)로 구성된다.

상기 압전구동부들(151,152)은 하부전극/압전막/상부전극으로 구성된 압전 캐패시터 형태이다.

도 6은 본 발명에 따른 MEMS RF 스위치가 비작동, 오프(Off) 상태의 측면도로서, 압전구동부들에 전압이 인가되지 않으면, 본 발명의 MEMS RF 스위치는 오프 상태가 된다.

이 오프 상태에서는, 압전구동부(152)들이 동작되지 않아, 접극자(130)는 입력전극 및 출력전극(120)과 일정한 거리를 두고 부상된 상태로 존재한다.

따라서, 입력 전극과 출력 전극(120)은 단선되어 스위치가 비작동 상태인 오프 상태가 된다.

도 7은 본 발명에 따른 MEMS RF 스위치가 작동, 온(On) 상태의 측면도로서, 압전구동부들의 상부전극과 하부전극에 전압차가 형성되도록 전압을 인가시키면, 본 발명의 MEMS RF 스위치는 온 상태가 된다.

즉, 상부전극은 낮은 전압을 인가하고, 하부전극은 높은 전압을 인가한다. 예를 들어, 상부전극은 그라운드 전압 상태가 되도록 하고, 하부전극에 대략 5V정도의 전압을 인가하면, 도 7에서 도시된 바와 같이, 압전구동부(152)들의 하부전극과 상부전극에 인가되는 전압의 차이에 의해 그 중간에 위치한 압전막에는 기계적 변형이 발생하여, 상기 압전구동부들을 지지하는 제 1 구조물(132a,132b)들은 상측 방향으로 굽힘 변형이 일어나게 된다.

이로 인해, 상기 제 2 구조물들과 연결된 제 3 구조물 영역은 상측 방향(+Z축)으로 움직이게 되고, 반면에 제 3 구조물과 앵거에 연결된 제 4 구조물에 의해, 입출력 전극 방향의 제 3 구조물 영역은 하측 방향(-Z축)으로 움직이게 된다.

따라서, 제 3 구조물 하부면의 접극자는 입력 전극과 출력전극에 접촉됨으로, 상기 입출력 전극을 전기적으로 연결시켜주게 된다.

이러한 상태가 스위치 온 상태이다.

그리고, 스위치 온 상태에서 오프 상태로 복원되는 과정은 도 7에서 도 6으로 변화되는 과정으로, 스위치 오프를 위해 압전 구동부 사이에 인가되는 전압차이를 사라지게 하면, 유발되었던 압전 구동력도 사라지게 된다.

이 때, 제 1 구조물을 상측 방향으로 들어올리므로, 접극자를 아래로 누르고 있던 압전 구동력이 손실되고, 이로 인해 초기의 평형상태로 되돌아가고자 하는 제 1 구조물의 스프링 복원력은 작용하여 도 7의 상태에서 도 6과 같은 상태로 되돌아가게 된다.

도 8은 본 발명에 따른 MEMS RF 스위치가 작동, 온(On)되어 구조가 변형되는 상태를 도시한 도면으로서, 본 발명의 MEMS RF 스위치에 있는 압전구동부가 동작되면, 상호 대향하는 상기 한 쌍의 앵커들의 각각 측면에서 상기 제 3 구조물로 연장된 한 쌍의 제 4 구조물들을 기준으로, 압전구동부와 연결된 구조물들은 상측으로 움직이고, 그 반대측은 하측으로 움직인다.

즉, 도 8에 도시된 바와 같이, 최초 'A'상태에서 'B'상태로 변형되는 것이다.

따라서, 본 발명은 기판 상부의 일측에 상호 이격되어 형성된 입력전극 및 출력전극과; 상기 입력전극 및 출력전극 각각으로부터 상측으로 이격되어 있고, 구동시 입력 및 출력전극에 접촉되어 전기적으로 연결시키는 접극자와; 상기 접극자와 연결된 말단구조물과; 상기 말단구조물의 중간에 형성된 지렛대와; 전압에 따라 상기 지렛대를 기준으로 상기 말단구조물을 상측과 하측방향으로 움직여, 상기 접극자를 입력 및 출력전극에 접촉 또는 비접촉시키는 구동부로 구성되는 것이다.

여기서, 상기 말단구조물은 도 2에 도시된 제 3 구조물과 같은 형태이며, 상기 지렛대는 상호 대향하는 상기 한 쌍의 앵커들(131a,131b) 각각의 측면에서 상기 제 3 구조물(134)에 연장된 한 쌍의 제 4 구조물들(135a,135b)로 구성되는 것이 바람직하다.

게다가, 상기 구동부는, 전술된 바와 같이, 상기 입력전극 및 출력전극(110,120)으로부터 이격되고, 상호 소정거리 이격되어 기판(100)에 형성된 한 쌍의 앵커들(131a,131b)과; 상기 한 쌍의 앵커들(131a,131b) 상부 일측에 각각 연장되고, 상기 기판(100) 상부로부터 부상되어 형성된 한 쌍의 제 1 구조물들(132a,132b)과; 상기 한 쌍의 제 1 구조물들(132a,132b)의 종단 각각에 일측과 타측이 각각 연결된 제 2 구조물(133)과; 상기 제 2 구조물(133)의 중심 측면에서 상기 입력전극 및 출력전극(110,120)의 상측으로 이격된 위치까지 상기 제 1 구조물들(132a,132b) 사이로 연장된 제 3 구조물(134)과; 상기 제 1 구조물들(132a,132b) 각각에 형성되며, 인가전압에 따라 변형이 발생되는 압전구동부들(151,152)로 구성되는 것이 바람직하다.

전술된 바와 같이, 본 발명은 여러층의 복잡한 적층 제조 공정을 거치지 않고 압전막을 이용한 압전 구동부의 상측으로 구동되는 움직임을 하층으로 움직이게 하는 지렛대 작용을 하는 구조물(전술된 '제 4 구조물')을 채용함으로써, 저전압으로도 큰 힘을 유발시켜 스위치 온 상태를 능동적으로 일으키고 유지할 수 있는 능동형 RF 스위치를 구현할 수 있는 장점이 있다.

또한, 압전구동부에 인가되는 전압차를 조절함으로써, 인가전압의 조절에 따라 접극자가 입출력 전극에 접촉되는 접촉력을 용이하게 조절할 수 있는 장점이 있다.

그리고, 종래의 정전인력형 구조에서는 접극자와 입출력 전극간 거리가 멀어지면, 정전인력의 기본적인 물리법칙에 의해 인력이 거리의 역수에 비례함으로, 접극자와 입출력 전극 사이의 거리를 1~2 마이크로미터 정도의 근접 거리만이 가능하였었는데, 압전구동부를 이용한 본 발명에서는 이러한 접극자 사이의 거리를 종래의 정전인력형 구조보다 길게 할 수 있어, 오프시 접극자와 입출력 전극 사이의 절연성을 높일 수 있다는 장점이 있다.

한편, 신뢰성 있는 스위치 오프 상태를 구현하기 위해서는 스프링 복원력이 커야 되는데, 종래의 구조에서 스프링 복원력이 크도록 형성하면, 스위치 온 상태를 구현하기 위해 더 큰 힘이 필요하게 되나, 본 발명의 구조에서는 스프링 복원력을 크게 하기 위해 압전 구동부의 너비를 크게 하여도 스위치 온 상태를 위해 더 큰 힘이 소요되지 않고, 스위치 온 상태가 더욱 용이해지는 장점이 있다.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 저전압으로도 큰 힘을 유발시켜 스위치 온 상태를 능동적으로 일으키고 유지할 수 있는 능동형 RF 스위치를 구현할 수 있으며, 인가전압의 조절에 따라 접극자가 입출력 전극에 접촉되는 접촉력을 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에서는 접극자 사이의 거리를 종래의 정전인력형 구조보다 길게 할 수 있어, 오프시 접극자와 입출력 전극 사이의 절연성을 높일 수 있는 효과가 있다.

더불어, 본 발명의 구조에서는 스프링 복원력을 크게 하기 위해 압전 구동부의 너비를 크게 하여도 스위치 온 상태를 위해 더 큰 힘이 소요되지 않고, 스위치 온 상태가 더욱 용이해지는 효과가 있다.

본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 MEMS RF 스위치의 기본적인 구성요소가 기판 상에 형성되어 있는 상태를 도시한 개략적인 평면도

도 2는 종래 기술에 따른 MEMS RF 스위치가 오프(Off)된 상태를 도시한 단면도

도 3은 종래 기술에 따른 MEMS RF 스위치가 온(On)된 상태를 도시한 단면도 도 4는 종래 기술에 따른 MEMS RF 스위치가 온(On)된 상태를 도시한 개략적인 평면도

도 5는 본 발명에 따른 MEMS RF 스위치의 사시도

도 6은 본 발명에 따른 MEMS RF 스위치가 비작동, 오프(Off) 상태의 측면도

도 7은 본 발명에 따른 MEMS RF 스위치가 작동, 온(On) 상태의 측면도

도 8은 본 발명에 따른 MEMS RF 스위치가 작동, 온(On)되어 구조가 변형되는 상태를 도시한 도면

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 기판 110,120 : 입력 및 출력전극

130 : 접극자 131a,131b : 앵커

132a,132b : 제 1 구조물 133 : 제 2 구조물

134 : 제 3 구조물 135a,135b : 제 4 구조물

151,152 : 압전구동부

Claims (4)

1. 기판 상부의 일측에 상호 이격되어 형성된 입력전극 및 출력전극과;

   상기 입력전극 및 출력전극 각각으로부터 이격되고, 상호 소정거리 이격되어 기판에 형성된 한 쌍의 앵커(Anchor)들과;

   상기 한 쌍의 앵커들 상부 일측에 각각 연장되고, 상호 평행하며, 상기 기판 상부로부터 부상되어 형성된 한 쌍의 제 1 구조물들과;

   상기 한 쌍의 제 1 구조물들의 종단에 일측과 타측이 각각 연결된 제 2 구조물과;

   상기 제 2 구조물의 중심 측면에서 상기 입력전극 및 출력전극의 상측으로 이격된 위치까지 상기 한 쌍의 제 1 구조물들 사이로 연장된 제 3 구조물과;

   상기 한 쌍의 앵커들의 상호 대향하는 각각의 측면에서 상기 제 3 구조물로 연장된 한 쌍의 제 4 구조물들과;

   상기 제 3 구조물의 하부면에 형성되며 도전성물질로 이루어진 접극자(Armature)와;

   상기 제 1 구조물들 각각에 형성되며, 인가전압에 따라 변형이 발생되는 압전구동부들로 구성된 멤스 알에프 스위치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 압전구동부들은 하부전극/압전막/상부전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 멤스 알에프 스위치.
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