KR100722154B1 - 밀폐가 개선된 ｌｃｄ 글라스 기판용 오븐챔버 - Google Patents

밀폐가 개선된 ｌｃｄ 글라스 기판용 오븐챔버 Download PDF

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Abstract

본 발명은 글라스 기판이 오염되는 것을 방지하기 위하여 밀폐를 더 개선시킨 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 관한 것으로서, 탄성재질의 실링체를 이용하여 핫 플레이트와 챔버벽 사이의 틈새를 실링한 것을 특징으로 한다. 상기 실링체는, 상기 틈새에 끼워지는 삽입부와, 상기 틈새 부위를 덮는 덮개부로 구분되며, 상기 덮개부는 상기 핫 플레이트의 가장자리 부분을 덮도록 상기 핫 플레이트쪽으로 돌출되는 것이 바람직하다. 상기 덮개부의 윗면은 상기 챔버의 측벽에서 상기 핫 플레이트 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 것이 바람직하다. 본 발명에 의하면, 사실상 필연적으로 발생할 수 밖에 없는 핫 플레이트와 챔버 사이의 틈새를 실링함으로써, 핫 플레이트의 하부공간에 있던 오염공기가 베이킹 공간으로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 또한 베이킹 공정 중에 발생하는 증기(fume)가 이러한 틈새에 고착되어 나중에 이 부분이 오염원으로 작용하게 되는 것도 방지할 수 있게 되어 궁극적으로 글라스 기판의 오염을 방지할 수 있게 된다.
LCD, 글라스 기판, 실링체, 핫 플레이트, 오븐 챔버, 밀폐, 틈새

Description

밀폐가 개선된 ＬＣＤ 글라스 기판용 오븐챔버{Oven chamber for LCD glass substrate which sealing is enhanced}
도 1은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 설명하기 위한 도면;
도 2는 실링체(40)의 형상을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명>
10: 오븐챔버 11: 챔버의 측벽
30: 핫 플레이트 40: 실링체
42: 삽입부 43: 돌출라인
44: 덮개부 44a: 덮개부의 윗면
46: 빈공간
본 발명은 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 관한 것으로서, 특히 글라스 기판이 오염되는 것을 방지하기 위하여 밀폐를 더 개선시킨 LCD 글라스 기판용 오븐챔 버에 관한 것이다.
LCD 글라스 기판 표면에 감광막을 코팅하기 전에 세정과정을 거치는데 이러한 세정과정 후에는 수분을 제거하기 위한 가열건조가 행해진다. 그리고 감광막을 LCD 글라스 기판에 코팅한 후에는 노광 및 현상 공정을 거치는데 이러한 노광 및 현상공정 전에는 프리 베이킹(pre-baking)이 행해지고, 노광 및 현상공정 후에는 포스트 베이킹(post-baking)이 행해진다. 이렇게 LCD를 제조하는 경우에 LCD 글라스 기판을 가열하여야 하는 경우가 종종 생긴다.
이러한 가열은 가열히터가 매립된 핫 플레이트에 기판을 올려 놓음으로써 이루어진다. 따라서 베이킹이 이루어지는 실제공간은 핫 플레이트 상부공간이라고 볼 수 있다. 그러나 챔버와 핫 플레이트를 조립하는 과정이나 베이킹 공정을 진행하는 과정에서 핫 플레이트가 열팽창 되어지는 문제로 인하여 챔버와 핫 플레이트 사이에는 틈새 공간을 두게 된다. 이러한 틈새 공간을 통하여 핫 플레이트의 하부공간에 있던 오염공기가 베이킹 공간으로 유입되기도 하고, 베이킹 공정 중에 발생하는 증기(fume)가 이러한 틈새에 고착되어 나중에 이 부분이 오염원으로 작용하게 된다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 핫 플레이트와 챔버 사이의 틈새를 확실하게 밀폐시킴으로써 상술한 종래의 문제에 의하여 글라스 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버는: 상기 챔버의 저면에 수평하게 놓여지며 그 위에는 LCD 글라스 기판이 올려 놓여지는 핫 플레이트; 및 상기 챔버의 측벽과 상기 핫 플레이트 모서리 사이에 생긴 틈새 부위 및 상기 핫 플레이트의 가장자리 부분을 덮으며 상기 핫 플레이트쪽으로 돌출되는 덮개부와, 상기 틈새에 끼워지는 삽입부로 구분되는 탄성재질의 실링체;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
삭제
상기 덮개부의 윗면은 상기 챔버의 측벽에서 상기 핫 플레이트 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 것이 바람직하다. 상기 삽입부의 표면에는 수평하게 돌출라인이 형성되는 것이 밀폐를 극대화시키는데 도움이 된다. 상기 삽입부는 내부에 빈공간이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 실링체는 실리콘 재질로 이루어진 것을 사용할 수 있다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.
도 1은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 설명하기 위한 도면이다. 도1을 참조하면, 오븐챔버(10)의 저면에는 핫 플레이트(30)가 수평하게 놓여지며 글라스 기판(미도시)은 핫 플레이트(30) 상에 놓여진다. 핫 플레이트(30)의 모서리와 오븐챔버의 측벽(11) 사이에는 베이킹 공정에서의 핫 플레이트(30)의 열팽창을 고려한 틈새 공간이 존재한다. 이러한 틈새의 존재는 상기한 문제를 야기시키기 때문에 탄성재질의 실링체(40)를 상기 틈새에 끼워서 메운다.
도 1의 확대도에서 실링체(40)의 단면을 사시도로 나타냈었으나 좀 더 자세한 설명을 위해 도 2에 실링체(40)의 단면을 도시하였다. 도 1과 결부하여 도 2를 설명하면, 실링체(40)는 상기 틈새에 끼워지는 삽입부(42)와 상기 틈새 부위를 덮는 덮개부(44)로 구분된다. 덮개부(44)는 핫 플레이트(30)의 가장자리 부분을 덮도록 핫 플레이트(30)쪽으로 돌출된다. 만약 덮개부(44)가 없다면 챔버의 측벽(11)과 핫 플레이트(30) 사이의 틈새가 베이킹 공간에 노출될 우려가 있기 때문에 이와 같이 덮개부(44)를 두어 이중적인 실링 효과를 얻는 것이다.
덮개부의 윗면(44a)의 여러 가지 형상을 할 수 있지만 궁극적으로는 챔버의 측벽(11)에서 핫 플레이트(30) 쪽으로 갈수록 아래로 경사지도록 하는 것이 글라스 기판을 핫 플레이트(30)의 정확한 위치에 안착시키는 데 유리하다.
도 1에서는 도시되어 있지 않지만 실링효과를 극대화시키며 실링체(40)의 이탈을 방지 하기 위하여 삽입부(42)의 표면에 돌출라인(43)을 수평하게 형성시키는 것이 바람직하며, 이러한 돌출라인(43)은 복수개일 수 있다. 탄성력에 의하여 실링체(40)가 틈새에 삽입되는 것이므로 삽입이 용이하게 이루어지게 하기 위하여 삽입부(42)의 내부에 빈공간(46)을 형성시키면 좋다. 실링체(40)는 탄성력을 갖으면서 베이킹 온도에서도 견딜 수 있는 재질이면 좋은 데, 이러한 예로 실리콘 재질을 들 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 사실상 필연적으로 발생할 수 밖에 없는 핫 플레이트와 챔버 사이의 틈새를 실링함으로써, 핫 플레이트의 하부공간에 있던 오염공기가 베이킹 공간으로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 또한 베이킹 공정 중에 발생하는 증기(fume)가 이러한 틈새에 고착되어 나중에 이 부분이 오염원으로 작용하게 되는 것도 방지할 수 있게 되어 궁극적으로 글라스 기판의 오염을 방지할 수 있게 된다.

Claims (6)

  1. LCD 글라스 기판의 처리에 사용되는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 있어서,
    상기 챔버의 저면에 수평하게 놓여지며 그 위에는 LCD 글라스 기판이 올려 놓여지는 핫 플레이트; 및
    상기 챔버의 측벽과 상기 핫 플레이트 모서리 사이에 생긴 틈새 부위 및 상기 핫 플레이트의 가장자리 부분을 덮으며 상기 핫 플레이트쪽으로 돌출되는 덮개부와, 상기 틈새에 끼워지는 삽입부로 구분되는 탄성재질의 실링체;를 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 덮개부의 윗면은 상기 챔버의 측벽에서 상기 핫 플레이트 쪽으로 갈수록 아래로 경사지는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 삽입부의 표면에는 수평하게 돌출라인이 형성되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 삽입부는 내부에 빈공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 실링체는 실리콘 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110091626A (zh) * 2019-04-04 2019-08-06 深圳市华星光电技术有限公司 一种显示基板的烘烤结构
KR102081801B1 (ko) 2018-12-12 2020-02-26 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 시즈히터 실링장치
KR102094763B1 (ko) 2018-12-12 2020-03-31 한국고요써모시스템(주) 시즈히터를 발열체로 구비하는 열처리 오븐
KR102112022B1 (ko) 2018-12-12 2020-05-19 한국고요써모시스템(주) 시즈히터를 발열체로 구비하는 열처리 오븐의 발열체 제어장치
KR20220128530A (ko) 2021-03-11 2022-09-21 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛
KR20220128529A (ko) 2021-03-11 2022-09-21 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 히터 유닛
KR20220154302A (ko) 2021-05-12 2022-11-22 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 히터 유닛
KR20220154299A (ko) 2021-05-12 2022-11-22 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 히터 전원 연결장치
KR20230086821A (ko) 2021-12-06 2023-06-15 (주) 한국제이텍트써모시스템 열처리로의 급배기 장치
KR20230146174A (ko) 2022-04-11 2023-10-19 (주) 한국제이텍트써모시스템 열처리로의 히터 전원 공급장치

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200470976Y1 (ko) * 2012-03-16 2014-01-23 주식회사 티에스엠 리플로우 솔더링머신의 오븐 패킹구조

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050017991A (ko) * 2003-08-12 2005-02-23 주식회사 제우스 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 방법 및 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050017991A (ko) * 2003-08-12 2005-02-23 주식회사 제우스 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 방법 및 장치

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1020050017991

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102081801B1 (ko) 2018-12-12 2020-02-26 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 시즈히터 실링장치
KR102094763B1 (ko) 2018-12-12 2020-03-31 한국고요써모시스템(주) 시즈히터를 발열체로 구비하는 열처리 오븐
KR102112022B1 (ko) 2018-12-12 2020-05-19 한국고요써모시스템(주) 시즈히터를 발열체로 구비하는 열처리 오븐의 발열체 제어장치
CN110091626A (zh) * 2019-04-04 2019-08-06 深圳市华星光电技术有限公司 一种显示基板的烘烤结构
KR20220128530A (ko) 2021-03-11 2022-09-21 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛
KR20220128529A (ko) 2021-03-11 2022-09-21 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 히터 유닛
KR20220154302A (ko) 2021-05-12 2022-11-22 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 히터 유닛
KR20220154299A (ko) 2021-05-12 2022-11-22 한국고요써모시스템(주) 열처리 오븐의 히터 전원 연결장치
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KR20230146174A (ko) 2022-04-11 2023-10-19 (주) 한국제이텍트써모시스템 열처리로의 히터 전원 공급장치

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