JP4227578B2 - 加熱方法および画像表示装置の製造方法 - Google Patents
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前記基板の構成面の延長線上にあって前記基板の周端面と前記熱反射部材との間の領域に、仕切り部材が配置され、該仕切り部材は、前記基板の周端面との間の間隔が5mm〜20mmであるように、前記熱反射部材に接する位置から延在する加熱装置を用い、
前記真空容器を排気してなる減圧雰囲気下で、前記ヒータと前記熱反射部材とにより前記基板を加熱する加熱方法である。
本実施例では、基板1の材料として600mm×900mm×厚さ2.8mmのガラス、熱反射部材3として銅の表面にペーパー仕上げを施した部材を用い、熱反射部材3で囲まれた領域を幅1000mm奥行700mmとした。基板1の構成面の延長線上にあって基板1と熱反射部材3との間の領域に配置した仕切り部材4には、基板1と同じガラスで厚さ2.8mmのものを用いた。基板1の表面の一部にインジウム膜を塗布している(不図示)。基板1を加熱するヒータ2には、シースヒーターを使用した。
本実施例では、基本構造は実施例1と同じである。基板1には厚さ2.8mm、熱容量2.1×106J/m3℃のガラスを使用し、基板面の延長線上にあって基板1と熱反射部材3との間の領域に配置した仕切り部材4には、厚さ1.5mm、熱容量4.0×106J/m3℃のステンレス鋼を用いた。他の部材は実施例1と同じである。
図2に図1に示した加熱装置の他の形態を示した断面図である。
1a 基板周端面
2 ヒータ(シースヒーター)
3 熱反射部材
4 支持部材
5 チャンバ
6 支持ピン
Claims (2)
- 基板を支持する支持部材と、
前記基板の両面に対向配置され、前記基板を加熱する複数のヒータと、
前記基板および前記複数のヒータを囲む熱反射部材と、
前記支持部材、前記ヒータおよび前記熱反射部材を収容する真空容器とを備え、
前記基板の構成面の延長線上にあって前記基板の周端面と前記熱反射部材との間の領域に、仕切り部材が配置され、該仕切り部材は、前記基板の周端面との間の間隔が5mm〜20mmであるように、前記熱反射部材に接する位置から延在する加熱装置を用い、
前記真空容器を排気してなる減圧雰囲気下で、前記ヒータと前記熱反射部材とにより前記基板を加熱する加熱方法。 - 画像表示手段と、前記画像表示手段を内包する容器とを備える画像表示装置の製造方法であって、
前記容器の構成部材である基板を請求項1に記載の方法によって加熱処理する工程を有する、画像表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004269682A JP4227578B2 (ja) | 2003-09-30 | 2004-09-16 | 加熱方法および画像表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003340149 | 2003-09-30 | ||
JP2004269682A JP4227578B2 (ja) | 2003-09-30 | 2004-09-16 | 加熱方法および画像表示装置の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005129501A JP2005129501A (ja) | 2005-05-19 |
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JP (1) | JP4227578B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101740070B1 (ko) | 2009-06-01 | 2017-05-25 | 도요탄소 가부시키가이샤 | 탄탈 부재의 침탄 처리 방법 및 탄탈 부재 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5003663B2 (ja) * | 2008-12-04 | 2012-08-15 | 株式会社島津製作所 | 真空加熱装置 |
EP2599115B1 (en) * | 2010-07-27 | 2015-02-25 | TEL Solar AG | Heating arrangement and method for heating substrates |
JP6739417B2 (ja) | 2017-10-31 | 2020-08-12 | Dowaサーモテック株式会社 | 熱処理設備 |
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---|---|---|---|---|
KR101740070B1 (ko) | 2009-06-01 | 2017-05-25 | 도요탄소 가부시키가이샤 | 탄탈 부재의 침탄 처리 방법 및 탄탈 부재 |
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JP2005129501A (ja) | 2005-05-19 |
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A621 | Written request for application examination |
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