KR100704177B1 - Transfering apparatus of substrate and the method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이동 가능하게 설치되는 핸들러에 의해 기판(105)을 반송하여, 카세트(101) 내측 벽면과 기판(105)의 간격을 보정하여 안착하기 위하여 기판(105)을 패턴이 형성된 면이나 그 뒷면에 접근하여 그 기판(105)을 원하는 방향으로 이동시키기 위한 기판반송장치에 있어서, 상기 기판(105)은 로보트 핸드(115) 위에서 기판(105)의 중심부에 작용하는 무게중심과 복수개의 베르누이척군(300)의 전체 부압 형성 영역의 중심과 중첩되도록 구성하게 위하여 기판(105)면과 수직이 아닌 일정한 각도를 가진 기판(105) 홀딩암을 포함하는 것을 특징으로 한다. According to the present invention, the substrate 105 is conveyed by a handler installed to be movable to correct the gap between the inner wall surface of the cassette 101 and the substrate 105, and the patterned surface of the substrate 105 or its back surface is mounted thereon. In the substrate conveying apparatus for approaching and moving the substrate 105 in a desired direction, the substrate 105 is a center of gravity and a plurality of Bernoulli chuck groups acting on the center of the substrate 105 on the robot hand 115 ( And a substrate holding arm having a predetermined angle that is not perpendicular to the surface of the substrate 105 so as to overlap the center of the entire negative pressure forming region of the substrate 300.

기판반송, 기판Board Transport, Board

Description

기판반송장치 및 그를 이용한 방법{TRANSFERING APPARATUS OF SUBSTRATE AND THE METHOD THEREOF}Substrate transporting apparatus and method using same {TRANSFERING APPARATUS OF SUBSTRATE AND THE METHOD THEREOF}

도2는 종래 기판반송장치의 측면을 나타낸 사시도이다. Figure 2 is a perspective view showing the side of the conventional substrate transport apparatus.

도3은 종래 기판반송장치의 유격을 나타낸 사시도이다. Figure 3 is a perspective view showing the play of the conventional substrate transfer apparatus.

도4는 종래 기판반송장치의 베르누이척의 간략 구성도이다. 4 is a simplified configuration diagram of a Bernoulli chuck of a conventional substrate transfer apparatus.

도5는 본 발명인 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 정면도이다. 5 is a front view of the robot hand 115 according to the present invention substrate transport apparatus.

도6은 본 발명인 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 측면도이다. Figure 6 is a side view of the robot hand 115 according to the present invention substrate transport apparatus.

도7은 본 발명에 다른 실시예로 베르누이척을 이용하여 유속을 다르게 구성하는 방법을 나타낸 구성도이다. Figure 7 is a block diagram showing a method for differently configuring the flow rate using a Bernoulli chuck in another embodiment of the present invention.

도8은 본 발명의 토출구 밑에서 바라본 베르누이척 제작의 예를 도시한 사시도이다. 8 is a perspective view showing an example of the production of a Bernoulli chuck viewed from under the discharge port of the present invention.

도9는 본 발명의 토출구 밑에서 바라본 베르누이척 제작의 다른 예를 도시한 사시도이다. Figure 9 is a perspective view showing another example of the Bernoulli chuck production seen from the discharge port of the present invention.

도10은 본 발명의 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 각 베르누이척이 가지는 부압방향을 나타낸 사시도이다. 10 is a perspective view showing a negative pressure direction of each Bernoulli chuck of the robot hand 115 according to the substrate transfer device of the present invention.

도11은 본 발명인 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의부압의 방향을 반대로 형성된 경우를 나타낸 사시도이다. 11 is a perspective view showing a case in which the negative pressure direction of the robot hand 115 according to the present invention is transported in reverse direction.

도12는 본 발명인 기판반송장치의 로보트 핸드(115)의 실시예를 나타낸 사시도이다. Fig. 12 is a perspective view showing an embodiment of the robot hand 115 of the substrate transport apparatus of the present invention.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※※ Explanation of code about main part of drawing ※

101: 카세트 101: cassette

105: 기판 107,108: 간격105: substrate 107,108: thickness

113: 기판 파지 로보트 핸들러113: Substrate Gripping Robot Handler

115: 로보트 핸드 300: 베르누이척군115: Robot Hand 300: Bernoulli Chuck

본 발명은 반도체 웨이퍼(Wafer), LCD, PDP 및 유기EL을 포함하는 평판 Display 용 Glass와 Photo Mask용 기판(105)(이하 기판)을 이동시키기 위하여 사용하는 기판반송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transport apparatus used to move a glass for flat panel display including a semiconductor wafer, an LCD, a PDP, and an organic EL, and a substrate 105 (hereinafter, a substrate) for photo mask.

도2는 종래 기판반송장치의 측면을 나타낸 사시도이고, 도3은 종래 기판반송장치의 유격을 나타낸 사시도이다. 수동대차 또는 자동 운송대차를 이용하여 이동된 카세트(101)는 이동시에 흔들림이 발생하는데, 공정에 사용되는 카세트(101)는 카세트(101) 기판(105) 수납시의 기판(105)과 카세트(101) 내면과의 접촉을 방지하기 위해 수납 여백(Margin)을 두기 때문에, 카세트(101)내의 기판(105)이 도면2과 같이 랜덤(Random)한 형태로 배열하게 된다. 이런 이유로 카세트(101) 내의 기판(105)받침 위에 놓인 기판(105)의 카세트(101) 옆측면 과의 간격(107,108)의 차이가 발생하는 것을 피할 수 없다 Figure 2 is a perspective view showing the side of the conventional substrate transport apparatus, Figure 3 is a perspective view showing the play of the conventional substrate transport apparatus. The cassette 101, which is moved by using the manual or automatic transport cart, is shaken at the time of movement. The cassette 101 used in the process includes the substrate 105 and the cassette (when storing the cassette 101, the substrate 105). 101) Since a storage margin is provided to prevent contact with the inner surface, the substrate 105 in the cassette 101 is arranged in a random shape as shown in FIG. For this reason, it is inevitable that a difference in the distance 107, 108 from the side surface of the cassette 101 of the substrate 105 lying on the substrate 105 support in the cassette 101 occurs.

도4는 종래 기판반송장치의 베르누이척의 간략 구성도이다. 기판 파지 로보트 핸들러(113)에 베르누이척이 부압 형성 방향의 조합 및 부압의 작용시간 및 부압의 크기의 조절을 통하여 기판(105)을 원하는 방향으로 이동, 회전시키는 기능이 있었다. 4 is a simplified configuration diagram of a Bernoulli chuck of a conventional substrate transfer apparatus. The Bernoulli chuck in the substrate holding robot handler 113 had a function of moving and rotating the substrate 105 in a desired direction by combining the negative pressure forming direction, adjusting the action time of the negative pressure and the magnitude of the negative pressure.

따라서, 위에서 설명한 종래 기판반송장치는 다음과 같은 문제를 일으켰다.Therefore, the conventional substrate transfer apparatus described above has caused the following problems.

기판(105)의 처짐이나 흡착부의 울퉁불퉁함에 의하여 평면이 확보되지 않을 경우 흡착의 안정성에 영향을 받거나 흡착을 실현하지 못하거나, 흡착패드에 의한 흡착시도 부분에 먼지가 있을 경우에도 흡착에 실패할 수 있었다.If the plane is not secured due to the sag of the substrate 105 or the irregularities of the adsorption part, the adsorption may be affected by the stability of the adsorption or failure to realize the adsorption, or even when there is dust on the adsorption attempt by the adsorption pad. there was.

또한, 기판(105)의 두께가 얇은 경우와 기판(105)의 처짐이 있을 경우에는 진공흡착패드가 접촉하는 부분에서 기판(105)에 변형이 생겨 흡착 흔적이 남는 경우가 있었다.In addition, in the case where the thickness of the substrate 105 is thin and the substrate 105 is sag, the substrate 105 may be deformed at the portion where the vacuum adsorption pad is in contact with each other, thereby leaving a trace of adsorption.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 오픈 된 공간 및 카세트(101) 내부 기판(105)의 표면에 비접촉상태로 기판(105)을 파지하여 취급/반송할 수 있고, 나아가 별도의 예비위치 결정기구를 설치할 필요가 없는 기판반송장치 및 그를 이용하여 핸들러(115) 상에서 원하는 방향으로 기판(105)의 이동 가능하도록 유체공급라인1과 유체공급라인2를 각각 형성하여 유체공급라인과 유체경로의 길이조절이 가능하도록 하는 기판 반송 방법을 제공한다. The present invention can be handled / transported by holding the substrate 105 in a non-contact state to the open space and the surface of the cassette 101, the inner substrate 105 in order to solve the above problems, and further separate preliminary positioning mechanism Substrate conveying apparatus that does not need to install the and the fluid supply line 1 and the fluid supply line 2 to form the fluid supply line 1 and the fluid supply line 2 so as to be able to move the substrate 105 in the desired direction on the handler 115 by using the same to adjust the length of the fluid supply line Provided is a substrate transfer method for enabling this.

본 발명은 이동 가능하게 설치되는 핸들러에 의해 기판(105)을 반송하여, 카세트(101) 내측 벽면과 기판(105)의 간격을 보정하여 안착하기 위하여 기판(105)을 패턴이 형성된 면이나 그 뒷면에 접근하여 그 기판(105)을 원하는 방향으로 이동시키기 위한 기판반송장치에 있어서, 상기 기판(105)은 로보트 핸드(115) 위에서 기판(105)의 중심부에 작용하는 무게중심과 복수개의 베르누이척군(300)의 전체 부압 형성 영역의 중심과 중첩되도록 구성하게 위하여 기판(105)면과 수직이 아닌 일정한 각도(θ)를 가지는 것을 특징으로 한다. According to the present invention, the substrate 105 is conveyed by a handler installed to be movable to correct the gap between the inner wall surface of the cassette 101 and the substrate 105, and the patterned surface of the substrate 105 or its back surface is mounted thereon. In the substrate conveying apparatus for approaching and moving the substrate 105 in a desired direction, the substrate 105 is a center of gravity and a plurality of Bernoulli chuck groups acting on the center of the substrate 105 on the robot hand 115 ( In order to be configured to overlap the center of the entire negative pressure forming region of 300, it is characterized in that it has a constant angle (θ) not perpendicular to the surface of the substrate 105.

상기 기판반송장치를 이용하는 방법에 있어서, 상기 기판을 이동시키기 위하여 접촉 및 비접촉의 지지기구나, 예비정렬 위치에서 위치정렬을 실시하지 않고 2개 이상의 비접촉 기구의 부압의 형성방향의 조합으로 구성한 부압영역의 중심으로 취급 대상물의 무게중심을 유도하여 위치를 정렬하는 제1단계와 상기 제1단계 위치 정렬 후 유체공급라인 각각에 유속을 다르게 공급하는 제2단계와 상기 제2단계에서 유속을 다르게 각각 공급한 후 부압 형성 방향의 조합 및 부압의 작용시간 및 부압의 크기의 조절을 통하여 기판을 원하는 방향으로 이동, 회전시키는 제3단계로 구성된다. In the method using the substrate transfer apparatus, a negative pressure region constituted by a combination of contacting and non-contacting support mechanisms or negative pressure formation directions of two or more non-contacting mechanisms without performing position alignment at a pre-aligned position in order to move the substrate. The first step of aligning the position by inducing the center of gravity of the object to be handled at the center of the supply and the second step of supplying a different flow rate to each of the fluid supply lines after the alignment of the first step position and the second supply of the flow rate differently After the combination of the negative pressure forming direction, the action time of the negative pressure and the adjustment of the magnitude of the negative pressure is composed of a third step of moving and rotating the substrate in the desired direction.

이하, 본 발명에 상세한 설명은 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도5는 본 발명의 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 정면도이다. 이동 가능하게 설치되는 핸들러에 의해 기판(105)을 반송하여, 카세트(101) 내측 벽면과 기판(105)의 간격을 보정하여 안착하기 위하여 기판(105)을 패턴이 형성된 면이나 그 뒷면에 접근하여 그 기판(105)을 원하는 방향으로 이동시키기 위한 기판반송장치에 있어서, 상기 기판(105)은 로보트 핸드(115) 위에서 기판(105)의 중심부에 작용하는 무게중심과 복수개의 베르누이척군(300)의 전체 부압 형성 영역의 중심과 중첩되도록 구성하게 위하여 기판(105)면과 수직이 아닌 일정한 각도(θ)를 가진다. 5 is a front view of the robot hand 115 according to the substrate transfer device of the present invention. The substrate 105 is transported by a handler installed to be movable, and the substrate 105 is approached to the patterned surface or the back side thereof in order to correct and seat the gap between the inner wall surface of the cassette 101 and the substrate 105. In the substrate transport apparatus for moving the substrate 105 in the desired direction, the substrate 105 is a center of gravity acting on the center of the substrate 105 on the robot hand 115 and the plurality of Bernoulli chuck group 300 It has a constant angle θ that is not perpendicular to the surface of the substrate 105 so as to overlap the center of the entire negative pressure forming region.

도6은 본 발명의 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 측면도이다. 6 is a side view of the robot hand 115 according to the substrate transfer device of the present invention.

상기 기판(105)을 이동시키기 위하여 접촉 및 비접촉의 지지기구나, 예비정렬 위치에서 위치정렬을 실시하지 않고 2개 이상의 비접촉 기구의 부압의 형성방향의 조합으로 구성한 부압영역의 중심으로 취급 대상물의 무게중심을 유도하여 위치를 정렬된다.Weight of the object to be handled by the center of the negative pressure region constituted by a combination of the contact mechanisms of contact and non-contact or non-contact mechanisms or the direction of formation of the negative pressures of two or more non-contact mechanisms to move the substrate 105. The location is aligned by inducing the center.

도7은 본 발명에 다른 실시예로 베르누이척을 이용하여 유속을 다르게 구성하는 방법을 나타낸 구성도이다. Figure 7 is a block diagram showing a method for differently configuring the flow rate using a Bernoulli chuck in another embodiment of the present invention.

형성되는 부압의 방향을 기판(105)면과 수직이 아닌 일정한 각도(θ)를 갖는 베르누이 척에 관한 것으로,
상기 베르누이척을 통과하는 유체의 속도 및 유량의 구배를 도10과 같이 공급하는 유체를 구분하여 한쪽의 유속(유속1)을 반대측 유속(유속2)과 대비하여 상대적으로 빠르게 공급하여 유속2쪽의 압력보다 유속1쪽의 압력이 낮게 형성시키는 것이다. 이렇게 하면 종래의 베르누이 척이 기판(105)과 수직한 방향으로 부압이 형성되는 것인 반면, 본 발명이 구현하고자 하는 일정한 방향성을 갖는 부압을 이룰 수 있다.The direction of the negative pressure to be formed relates to a Bernoulli chuck having a constant angle (θ) that is not perpendicular to the surface of the substrate 105,
The flow rate of the fluid passing through the Bernoulli chuck is divided into the fluid supplying the gradient of the flow rate and the flow rate as shown in FIG. The pressure on the flow rate 1 side is lower than the pressure. In this case, while the conventional Bernoulli chuck is to form a negative pressure in a direction perpendicular to the substrate 105, it can achieve a negative pressure having a certain directionality to be implemented by the present invention.

도8은 본 발명의 토출구 밑에서 바라본 베르누이척 제작의 예를 도시한 사시도이며, 도9는 본 발명의 토출구 밑에서 바라본 베르누이척 제작의 다른 예를 도시한 사시도이다. Fig. 8 is a perspective view showing an example of Bernoulli chuck production seen from under the discharge port of the present invention, and Fig. 9 is a perspective view showing another example of Bernoulli chuck production seen from under the discharge port of the present invention.

베르누이 척은 원형 또는 사각형 기타 여러가지의 형태로 구성이 가능하며 밑면에서 바라 보아서 부압을 왜곡시킬 수 있도록 토출측을 구분하여 구성되면 본 발명이 이루고자 하는 부압을 경사지게 형성하는 것이 가능하다.Bernoulli chuck can be configured in various forms such as round or square, and when the discharge side is configured to distort the negative pressure when viewed from the bottom, it is possible to form a negative pressure to achieve the present invention to be inclined.

도5는 본 발명인 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 정면도이며, 도11은 본 발명인 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 부압의 방향을 반대로 형성된 경우를 나타낸 사시도이다. 5 is a front view of the robot hand 115 according to the present invention substrate transport apparatus, Figure 11 is a perspective view showing a case in which the negative pressure direction of the robot hand 115 according to the substrate transport apparatus of the present invention is reversed.

위에서 설명한 본 발명의 기판(105)과 수직하지 않고 일정한 방향의 부압을 갖는 베르누이척의 부압의 방향을 도7과 같이 로보트 핸드(115)의 중심에 형성되게 구성할 경우 로보트 핸드(115)상의 전체의 부압은 전체 부압장(負壓場)의 중심을 갖게 되고, 이 부압장위에 놓인 기판(105)의 중심은 부압장(負壓場)의 중심 방향을 향하게 되어 위치결정 기능을 수행할 수 있는 것이다. When the direction of the negative pressure of the Bernoulli chuck which is not perpendicular to the substrate 105 of the present invention described above and has a negative pressure in a predetermined direction is formed in the center of the robot hand 115 as shown in FIG. The negative pressure has the center of the entire negative pressure field, and the center of the substrate 105 placed on the negative pressure field is directed toward the center direction of the negative pressure field to perform the positioning function. .

도11의 부압의 방향을 반대로 형성하여도 기판(105)의 중심이 전체 부압 출발 중심점에 형성할 경우에도 효과를 기대할 수 있다. 이와 같이 하여 기판(105)의 위치결정을 기판(105)과의 눌러 미는 방식의 접촉이 없이도 실현 가능하다.Even if the direction of the negative pressure in Fig. 11 is reversed, the effect can be expected even when the center of the substrate 105 is formed at the entire negative pressure starting center point. In this manner, the positioning of the substrate 105 can be realized without the contact of the substrate 105 by pushing.

도10은 본 발명의 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 각 베르누이척이 가지는 부압방향을 나타낸 사시도이다. 부압의 형성 방향의 조합 및 부압의 작용시간의 조절을 통하여 핸들러상의 기판(105)을 원하는 방향으로 움직일 수 있는 것에 관한 것이다.10 is a perspective view showing a negative pressure direction of each Bernoulli chuck of the robot hand 115 according to the substrate transfer device of the present invention. The combination of the formation direction of the negative pressure and the adjustment of the operating time of the negative pressure are related to the movement of the substrate 105 on the handler in the desired direction.

도10은 본 발명의 기판반송장치에 따른 로보트 핸드(115)의 각 베르누이척이 가지는 부압방향을 나타낸 사시도이다. 도14에서 보이는 바와 같이 복수개 본발명의 베르누이척을 복수개의 방향을 갖게 핸들러위에 구성한 경우이다. 도10과 같이 구성한 경우에는 기판(105)방향과 평행한 방향의 12개 ( 5,6,11,12,17,18,23,24,29,30,35,36) 구성하였고, 이는 더 추가되거나 삭제하는 것도 가능하다. 또한 기판(105)과 수직하는 방향으로 12개(1,2,7,8,13,14,19,20,25,26) 구성하였으며, 부압중심을 기준으로 시계방향과 반시계 방향으로 12개(3,4,9,10,15,16,21,22,27,28,33,34)개 구성 하였는데, 역시 기판(105)과 수직하는 방향과 회전방향의 베르누이척은 더 추가 되거나 삭제될 수 있다.10 is a perspective view showing a negative pressure direction of each Bernoulli chuck of the robot hand 115 according to the substrate transfer device of the present invention. As shown in Fig. 14, a plurality of Bernoulli chucks of the present invention are configured on a handler having a plurality of directions. In the case of FIG. 10, 12 (5, 6, 11, 12, 17, 18, 23, 24, 29, 30, 35, 36) in a direction parallel to the direction of the substrate 105 was formed, which was further added. It is also possible to delete or delete. In addition, 12 units (1, 2, 7, 8, 13, 14, 19, 20, 25, 26) were formed in a direction perpendicular to the substrate 105, and 12 units in a clockwise and counterclockwise direction based on the negative pressure center. (3,4,9,10,15,16,21,22,27,28,33,34), the Bernoulli chuck in the direction perpendicular to the substrate 105 and rotational direction can be added or deleted Can be.

각각의 베르누이척들은 핸들러상의 기판(105)의 원할한 움직임을 위하여 각각 또는 부분적인 묶임으로 작용과 정지를 조절하도록 구성할 경우 더 효과적이다. 여기서 말하는 동작과 정지의 수단은 통상적인 유체 조절 기구인 솔레노이드 밸브를 사용할 수 있으며 기계적인 공급/정지를 조작할 수 도 있다. 또한 이 솔레노이드 밸브는 기판(105)과 수직방향, 평행방향 및 회전 방향을 하나씩 묶어 3개를 사용할 수도 있고, 수직방향인 상,하 수평방향인 좌,우 그리고 회전방향인 시계방향, 반시계방향의 6개를 묶어서도 사용할 수 있다.Each Bernoulli chuck is more effective when it is configured to adjust the action and stop in individual or partial bundles for the desired movement of the substrate 105 on the handler. Means of operation and stop herein may be a solenoid valve which is a conventional fluid control mechanism, and may operate mechanical supply / stop. In addition, the solenoid valve may be used by combining the substrate 105 with the vertical, parallel, and rotational directions one by one, and the vertical, vertical, horizontal, left, right, and clockwise and counterclockwise directions. Can also be used to bundle six of them.

예를 들어 핸들러상의 기판(105)을 시계방향으로 회전시키고자 한다면 베르누이 척 3,9,16,34,28,21 만을 동작시켜서 이를 구현할 수 있다. 필요에 따라서 11,14,35,29,19,6을 선택적으로 동작시키거나 정지 시키는 것을 중첩시켜 보다 원할한 회전을 도울 수도 있다. 이때 기판(105)의 회전을 정지시키는 것은 시계방향의 회전을 방해하는 방향을 동작시키는 것인데, 예를 들면 4, 33 같은 것들이다.  For example, if the substrate 105 on the handler is to be rotated in the clockwise direction, only Bernoulli chucks 3, 9, 16, 34, 28 and 21 may be operated. Optionally, 11, 14, 35, 29, 19, 6 can be selectively overlaid or superimposed to help smoother rotation. At this time, to stop the rotation of the substrate 105 is to operate a direction that prevents the rotation in the clockwise direction, such as 4, 33, and the like.

이렇게 회전을 방해하는 베르누이척을 서서히 동작시키면서 회전시키는 동작을 서서히 줄이면 부드러운 형태로 시계방향의 회전을 멈추게 되고, 이때 센서가 회전의 원점, 종점의 위치에 있어서 정지에 도움을 줄 수도 있다. 좌,우 또는 상,하 방향으로의 기판(105)이동은 시계방향 회전으로 상식적인 이해가 가능하므로 설명은 생략한다. 이와 같이하여 로보트 핸드(115)상의 기판(105)은 원하는 방향으로 이동,회전하는 것을 본발명의 청구항 3에서 이루고자 하는 것이다.If you gradually reduce the operation to rotate while slowly operating the Bernoulli chuck to interfere with the rotation stops the clockwise rotation in a smooth form, the sensor may help to stop at the position of the origin, end of the rotation. Movement of the substrate 105 in the left, right, or up and down directions is common sense by clockwise rotation, and thus description thereof is omitted. In this way, the substrate 105 on the robot hand 115 moves and rotates in a desired direction.

도12는 본 발명인 기판반송장치의 로보트 핸드(115)의 실시예를 나타낸 사시도이다. 상기 로보트 핸드(115)는 1 내지 4개로 구성되어 다양하게 실시할 수 있으며, 상기 복수개의 베르누이 척군(300)은 1 내지 6개의 베르누이 척으로 구성된다. Fig. 12 is a perspective view showing an embodiment of the robot hand 115 of the substrate transport apparatus of the present invention. The robot hand 115 is composed of 1 to 4 can be implemented in various ways, the plurality of Bernoulli chuck group 300 is composed of 1 to 6 Bernoulli chuck.

또한, 도12에 도시한 바와같이 각 로보트 핸드(115)에 1 내지 3개의 베르누이 척군(300)으로 구성된다. In addition, as shown in FIG. 12, each robot hand 115 is composed of one to three Bernoulli chuck groups 300.

이상의 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위는 실시예에 한정되지 않으며, 첨부된 청구범위에 의거하여 정의되는 본 발명의 범주내에 당업자들에 의하여 변형 또는 수정 될 수 있다. 예를들면, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성의 요소의 형상 및 구조는 변형하여 실시할 수 있다는 것이다. The above embodiments are only for explaining the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments, and may be modified or modified by those skilled in the art within the scope of the present invention defined by the appended claims. For example, the shape and structure of the elements of each component specifically shown in the embodiments of the present invention can be modified.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 다음과 같은 효과가 있다. As described above, the present invention has the following effects.                     

첫째, 베르누이 척을 사용함으로써 기판(105)의 상태에 관계없이 기판(105)에 영향을 받지 않고 기판(105)에 영향을 주지않으면서 안정적인 파지를 수행할 수 있는 효과가 있다.First, by using the Bernoulli chuck, regardless of the state of the substrate 105, there is an effect of performing stable gripping without affecting the substrate 105 and without affecting the substrate 105.

둘째, 베르누이 척의 기판 파지 부분에 먼지가 있을 경우에도 파지에 실패하지 않는 효과가 있다.Second, even if there is dust on the substrate holding part of the Bernoulli chuck, the gripping does not fail.

셋째, 기판(105)의 두께가 얇은 경우나 기판(105)의 처짐이 있을 경우에도 베르누이 척이 접근하는 부분에서 기판(105)에 변형이 생기거나 취급 흔적이 남지 않는다.Third, even when the thickness of the substrate 105 is thin or when the substrate 105 sags, deformation of the substrate 105 does not occur or a handling trace remains at the portion where the Bernoulli chuck approaches.

Claims (3)

이동 가능하게 설치되는 핸들러에 의해 기판을 반송하여, 카세트 내측 벽면과 기판의 간격을 보정하여 안착하기 위하여 기판을 패턴이 형성된 면이나 그 뒷면에 접근하여 그 기판을 원하는 방향으로 이동시키기 위한 기판반송장치에 있어서, A substrate transporting device for transporting a substrate by a handler provided to be movable and moving the substrate in a desired direction by approaching the patterned surface or the rear surface of the substrate for correcting and seating the gap between the cassette inner wall surface and the substrate. To 상기 기판은 유체공급라인1과 유체공급라인2를 각각 형성하여 유체공급라인과 유체경로의 길이조절이 가능하도록 이루어지는 1 내지 6개의 베르누이 척으로, 각 로보트 핸드(115)에 1 내지 3개의 베르누이 척군으로 이루어진 로보트 핸드(115) 위에서 기판의 중심부에 작용하는 무게중심과 복수개의 베르누이척군(300)의 전체 부압 형성 영역의 중심과 중첩기게 위하여 기판면과 수직이 아닌 일정한 각도(θ)를 이루는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.The substrate is formed of the fluid supply line 1 and the fluid supply line 2, respectively, 1 to 6 Bernoulli chuck made to be able to adjust the length of the fluid supply line and the fluid path, each robot hand 1 to 3 Bernoulli chuck group In order to overlap the center of gravity and the center of the entire negative pressure forming region of the plurality of Bernoulli chuck group 300 on the robot hand 115 made of a predetermined angle (θ) not perpendicular to the substrate surface Substrate conveying apparatus made of. 삭제delete 제 1 항의 장치를 이용하여, 상기 기판을 이동시키기 위하여 접촉 및 비접촉의 지지기구나, 예비정렬 위치에서 위치정렬을 실시하지 않고 2개 이상의 비접촉 기구의 부압의 형성방향의 조합으로 구성한 부압영역의 중심으로 취급 대상물의 무게중심을 유도하여 위치를 정렬하는 제1단계;The center of the negative pressure region constituted by the combination of the formation direction of the negative pressure of two or more non-contact mechanisms without carrying out the positional alignment in the contact or non-contact support mechanism or the pre-aligned position in order to move the said board | substrate using the apparatus of Claim 1. A first step of aligning positions by inducing a center of gravity of the object to be handled; 상기 제1단계 위치 정렬 후 유체공급라인의 유체공급라인1 및 유체공급라인2에 유속을 다르게 공급하는 제2단계;A second step of supplying different flow rates to the fluid supply line 1 and the fluid supply line 2 of the fluid supply line after the first step position alignment; 상기 제2단계에서 유속을 다르게 각각 공급한 후 부압 형성 방향의 조합 및 부압의 작용시간 및 부압의 크기의 조절을 통하여 기판을 원하는 방향으로 이동, 회전시키는 제3단계; A third step of moving and rotating the substrate in a desired direction by supplying different flow rates in the second step, respectively, and adjusting the action time of the negative pressure and the magnitude of the negative pressure by combining the negative pressure forming directions; 로 구성되는 것을 특징으로 하는 기반반송방법.Based transport method, characterized in that consisting of.
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