KR100698036B1 - 액정표시소자용 합착 장치 및 동작 정도 보정 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시소자의 합착 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시소자용 합착 장치의 각 동작 요소가 가지는 동작 범위를 항상 정확히 유지할 수 있도록 함과 더불어 상기 각 동작 요소의 동작 범위 보정이 정밀하게 이루어질 수 있도록 하여 그 동작 정밀도를 향상시킬 수 있도록 한 액정표시소자용 합착 장치 및 동작 정도 보정 방법에 관한 것이다.

이를 위해 본 발명은 각 동작 요소의 동작이 이루어지는 동작 경로상의 두 끝지점 사이 또는, 상기 동작 요소의 일단에는 동작 정도 보정 수단을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치를 제공한다.

또한, 각 동작 요소의 동작 정도를 보정하기 위한 방법은 동작을 보정하기 위한 대상 구성 요소를 어느 한 지점으로부터 다른 한 지점으로 이송하는 제1단계; 상기 일 지점에서 타 지점까지 구성 요소가 이동한 거리를 판독하는 제2단계; 상기 판독된 거리와 기 설정된 해당 구성 요소의 이동 소요 거리를 확인하여 오차를 검출하는 제3단계; 상기 각 거리간 오차에 따른 해당 구성 요소의 이동 거리를 보정하는 제4단계를 포함하여 운영됨을 특징으로 하는 방법을 제공한다.

동작 요소의 동작 정도 보정

Description

액정표시소자용 합착 장치 및 동작 정도 보정 방법{bonding device for liquid crystal display and method for correcting of movements}

도 1 및 도 2 는 종래 액정표시소자용 합착 장치의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 3 은 종래 액정표시소자용 합착 장치의 기판 받침 수단이 동작된 상태를 개략적으로 나타낸 요부 사시도

도 4 은 본 발명에 따른 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정을 위한 구조를 개략적으로 나타낸 구성도

도 5a 내지 도 5c 는 도 4의 다른 형태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 6 은 본 발명의 제1실시예에 따른 동작 상태도

도 7 은 본 발명의 제2실시예에 따른 동작 상태도

도 8 은 본 발명의 제3실시예에 따른 동작 상태도

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명

200. 접촉부 310. 로드셀

320. 접촉 돌기

본 발명은 제조 장치에 관한 것으로, 특히 액정표시소자용 합착 장치 및 동작 정도 보정 방법을 위한 구조에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.

이와 같은 액정표시소자는, 통상 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패 널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 TFT 어레이 기판(이하, “TFT 기판”이라 한다), 칼라필터 기판(이하, “C/F 기판”이라 한다), 상기 각 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.

여기서, 상기 TFT 기판에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성된다.

그리고, C/F 기판에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성된다.

상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는 한쪽의 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제를 패턴 묘화하여 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특개평11-089612 및 특개평 11-172903호 공보에서 제안된 액정을 적하한 기판과 다른 하나의 기판을 준비하고, 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.

하지만, 상기에서 액정 주입 방식을 이용하는 방법은 액정의 주입 과정을 위 한 작업 시간이 상당히 많이 소요되는 단점을 가진다.

즉, 상기한 액정의 주입 과정은 진공 상태에서 삼투압 현상을 통해 액정의 주입이 이루어지도록 되어있기 때문에 많은 작업 시간이 소요되므로 특히, 대형 액정표시소자의 제조 공정에는 부적합할 뿐 아니라 다량 생산에도 불리하였다.

이에 반해, 액정 적하 방식을 이용한 액정표시소자 제조 공정은 상기한 문제점을 해결할 수 있다는 장점에 의해 많은 관심을 받고 있다.

즉, 액정을 기판에 적하한 상태에서 여타의 기판과 합착을 수행함에 따라 액정 주입을 위한 공정상의 시간을 단축시킬 수 있게 된 것이다.

이에 최근에는 상기한 액정 적하 방식을 이용하기 위한 각종 장비의 연구가 이루어지고 있다.

도시한 도 1 및 도 2는 상기한 바와 같은 종래의 액정 적하 방식을 적용한 기판의 조립장치를 나타내고 있다.

즉, 종래의 기판 조립장치는 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와, 밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버부(31,32)와, 챔버 이동수단(40)과, 받아멈춤 수단 그리고, 스테이지 이동수단(50)으로 크게 구성된다.

이 때, 상기 스테이지부는 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각 구분되고, 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어지는 위치의 측부에 장착되며, 상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분된다.

이와 함께, 상기 챔버 이동수단(40)은 하부 챔버 유닛(32)을 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 선택적으로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터로 구성되며, 상기 스테이지 이동수단(50)은 상기 상부 스테이지(21)를 선택적으로 상부 혹은, 하부로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터로 구성된다.

그리고, 상기 받아멈춤 수단은 상부 스테이지(21)에 부착 고정되는 기판(52)의 양 대각위치에서 상기 챔버부 내부의 진공시 상기 기판을 임시로 받쳐주는 역할을 수행하게 된다.

이 때, 상기 받아멈춤 수단은 회전축(61)과, 회전 액츄에이터(63) 및 승강 액츄에이터(64), 그리고 기판의 모서리를 받치는 받침판(62)으로 구성된다.

이하, 상기한 종래의 기판 조립장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을 그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 상부 스테이지(21)에는 어느 하나의 기판(이하, “제2기판”이라 함)(52)이 로딩된 상태로 부착 고정되고, 하부 스테이지(22)에는 다른 하나의 기판(이하, “제1기판”이라 함)(51)이 로딩된 상태로 부착 고정된다.

이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)은 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1과 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치 상으로 이동된다.

그리고, 상기 상태에서 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)에 의한 제1기판에의 밀봉제 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도 시한 도 2와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치 상으로 이동하게 된다.

이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각 스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 받아멈춤 수단을 구성하는 승강 액츄에이터(64) 및 회전 액츄에이터(63)가 구동하면서 받침판(62)을 상부 스테이지(31)에 부착 고정된 제2기판(52)의 두 모서리에 위치시키게 된다.

이 상태에서 제2기판(52)을 고정하던 흡착력을 해제하여 도시한 도 3과 같이 상기 제2기판을 상기 받아멈춤 수단의 각 받침판(62)에 낙하시킨다.

이와 함께, 진공 수단을 이용하여 챔버부 내부를 완전히 진공 상태를 이루도록 하고, 상기 챔버부 내부가 완전한 진공 상태를 이루게 되면 상부 스테이지(31)에 정전력을 인가하여 상기 제2기판(52)을 부착 고정함과 더불어 받아멈춤 수단의 회전 액츄에이터(63) 및 승강 액츄에이터(64)를 구동하여 받침판(62) 및 회전축(61)을 양기판의 접합에 장해가 되지 않도록 한다.

그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 상기 상부 스테이지(21)에 부착 고정된 제2기판(52)을 하부 스테이지(22)에 부착 고정된 제1기판(51)에 합착함으로써 액정표시소자의 제조가 완료된다.

전술한 바와 같은 종래의 합착 장치에 따른 구성에 있어서, 챔버부 내에는 그 동작이 이루어지는 다수의 동작 요소 특히, 그 동작상 상당한 정밀도를 요하는 동작 요소(예컨대, 각 스테이지, 기판 받침 수단 등)가 존재하는데, 이와 같은 각각의 동작 요소는 항상 정확한 거리 만큼의 동작이 이루어져야만 한다.

기존에는 상기한 동작 거리상의 셋팅을 최초 해당 합착 장치의 설치시에만 수행하였다.

하지만, 해당 동작 요소의 오랜 사용에 의해 그 동작 거리 상의 오차가 발생될 수 있음에도 불구하고, 이의 보정을 위한 별도의 작업을 수행하지 않았기에 상기 발생된 오차에 의한 제조 공정상의 불량이 유발된 문제점을 가진다.

특히, 상기 각 동작 요소의 동작 거리에 따른 오차를 보정하기 위한 구조 및 방법이 제시되지 않았음에 따라 필요로 할 경우 작업자에 의한 수작업을 통해 상기 오차의 보정을 수행하여야만 하였던 불편함이 있다.

뿐만 아니라, 상기한 바와 같이 각 동작 요소의 동작 거리에 따른 오차 보정 작업이 작업자에 의해 수행됨에 따라 정밀도를 얻기 어려운 문제점이 있다.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 액정표시소자용 합착 장치의 구조를 개선하여 필요에 따라 각 동작 요소의 동작 오차를 미연에 확인하여 그 보정이 이루어질 수 있도록 한 액정표시소자용 합착 장치 및 동작 정도 보정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 상기와 같은 각 동작 요소의 동작 보정이 작업자에 의한 수작업이 아닌 기구적인 정밀한 구조에 의해 자동으로 이루어질 수 있도록 함으로써 동작 정도 보정에 따른 신뢰성 및 각 동작 요소의 동작에 따른 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한 액정표시소자용 합착 장치 및 동작 정도 보정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적 달성을 위한 본 발명의 형태에 따르면 각 동작 요소의 동작이 이루어지는 동작 경로상의 두 끝지점 사이 또는, 상기 동작 요소의 일단에는 동작 정도 보정 수단을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치가 제공된다.

또한, 상기와 같이 제공되는 구성을 이용한 각 동작 요소의 동작 정도 보정을 위한 방법은 동작을 보정하기 위한 대상 구성 요소를 어느 한 지점으로부터 다른 한 지점으로 이송하는 제1단계; 상기 일 지점에서 타 지점까지 구성 요소가 이동한 거리를 판독하는 제2단계; 상기 판독된 거리와 기 설정된 해당 구성 요소의 이동 소요 거리를 비교하여 오차를 검출하는 제3단계; 상기 각 거리간 오차에 따른 해당 구성 요소의 이동 거리를 보정하는 제4단계를 포함하여 운영됨을 특징으로 하는 방법이 제공된다.

이하, 본 발명의 바람직한 각 실시예를 첨부한 도 4 내지 도 8을 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.

우선, 본 발명의 동작 정도를 보정하기 위한 구조는 합착 장치에 구비된 각 동작 요소의 동작이 이루어지는 동작 경로상의 두 끝지점 사이 또는, 상기 동작 요소의 일단에 동작 정도 보정 수단을 구비하여 이루어짐이 제시된다.

이 때, 상기 동작 정도 보정 수단은 각 동작 요소가 실질적으로 동작하여야 하는 총 거리와 현재 해당 동작 요소가 동작되는 총 거리간의 오차를 판독하고, 이 오차에 따른 보정이 이루어질 수 있도록 구성된다.

이와 같은 동작 정도 보정 수단은 크게 각 동작 요소(100)와 접촉하는 접촉부(200)와, 상기 각 동작 요소(100)에 구비되어 상기 접촉부(200)와의 접촉 여부를 인지하기 위한 접촉 확인부를 포함하여 구성됨이 제시된다.

이 때, 상기 접촉부(200)는 소정 두께를 가지는 블럭으로 형성할 수 있다.

그리고, 상기 접촉 확인부는 각 동작 요소(100)를 동작시키기 위해 구동하는 구동 수단(110)에 구비된 로드셀(310)과, 상기 각 동작 요소(100)에 구비된 접촉 돌기(320)를 포함하여 구성된다.

상기한 구성의 동작 정도 보정 수단은 각 동작 요소를 어느 한 지점으로부터 다른 한 지점에까지 동작시킨 후 이 동작을 통해 이동된 거리와 기 설정된 기준 거리 간의 차이를 확인하여 이 차이에 따라 차기 동작에 따른 동작 거리를 보정해 줄 수 있도록 한 것이다.

하지만, 본 발명에 따른 동작 정도 보정 수단은 반드시 상기한 구성으로만 형성할 수 있는 것은 아니다.

즉, 도시한 도 5a와 같이 각 동작 요소의 동작 경로 중 두 끝지점에 각 동작 요소(100)와 접촉하는 다이얼 게이지(210)를 각각 구비하여 동작 정도의 판독 및 그 보정이 이루어지도록 구성할 수도 있다.

또한, 도시한 도 5b와 같이 각 동작 요소의 동작 경로 중 두 끝지점에 위치 확인용 센서(220)를 각각 구비하여 동작 정도의 판독 및 그 보정이 이루어지도록 구성할 수도 있다.

또한, 도시한 도 5c와 같이 각 동작 요소의 동작 경로 중 두 끝지점에 리미 트 스위치(230)를 각각 구비하여 동작 정도의 판독 및 그 보정이 이루어지도록 구성할 수도 있다.

그리고, 상기한 각각의 경우에는 본 발명 동작 정도 보정 수단의 접촉 돌기를 필요로하지 않는다.

한편, 본 발명에 따른 동작 정도 보정 수단의 장착 갯수도 각 동작 요소(100)의 갯수에 대응하여 각 동작 경로의 두 끝지점마다 하나씩 구성할 수도 있고, 정밀한 동작을 필요하는 소정 동작 요소의 동작 경로 상에만 구성할 수도 있다.

이하, 본 발명의 동작 정도 보정 수단을 이용한 각 동작 요소(100)의 동작 정도 보정 방법을 상기 각 동작 요소별로 간략하게 설명하면 후술하는 바와 같다.

그리고, 상기에서 기술하는 각 동작 요소(100)라 함은 본 발명의 합착 장치를 구성하는 각 구성 요소 중 한 쌍의 기판(510,520)을 로딩하여 상기 기판간의 합착 공정을 수행하도록 동작하는 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122), 진공 상태로의 변경시 상부 스테이지(121)에 고정되는 기판(510)을 받쳐주도록 동작하는 기판 받침 수단(130), 하부 스테이지(122)에 로딩되는 기판(520)이 반입되는 과정에서 상기 반입된 기판(520)을 하부 스테이지(122)에 로딩시키도록 동작하는 로딩 보조 수단(140) 등이 될 수 있다.

또한, 상기한 구성 이외에도 각 스테이지에 로딩된 각 기판간의 위치 정렬을 수행하도록 동작하는 얼라인 수단과, 각 스테이지에 고정되는 기판의 로딩 또는, 고정하는 역할을 수행하도록 동작하는 클램핑 수단과, 여타의 기판간 합착을 위한 각종 공정을 보조하는 공정 보조 수단 등도 있다.

하지만, 하기하는 본 발명의 실시예에서는 상부 스테이지(121), 기판 받침 수단(130) 그리고, 로딩 보조 수단(140)의 동작 정도 보정 방법만을 설명하기로 한다.

제1실시예:

도시한 도 6의 구성에 나타난 바와 같이 본 발명의 제1실시예는 상부 스테이지에의 설치 구조 및 동작 정도 보정 방법이 제시된다.

이 때, 본 발명에 따른 동작 정도 보정 수단의 한 쌍의 접촉부(201,202)는 상부 스테이지(121)의 이동 경로인 대략 하부 스테이지(122)의 상면이 위치된 높이에서 챔버부(400)의 내측 상면이 위치된 높이 사이 혹은, 상기 상부 스테이지(121)의 이동 경로와 인접된 부위에 위치된다.

특히, 본 발명에서는 상기한 접촉부가 상기 상부 스테이지(121)의 동작이 이루어지는 경로의 양 끝지점인 챔버부(400) 내벽면에 상기 상부 스테이지(121)를 향하여 돌출된 상태로써 각각 구비되을 제시한다.

그리고, 동작 정도 보정 수단의 접촉 확인부를 구성하는 로드셀(310)은 상기 상부 스테이지(121)를 승강하도록 구동하는 구동 수단(121a)에 구비된다.

그리고, 동작 정도 보정 수단의 접촉 확인부를 구성하는 접촉 돌기(320)는 상부 스테이지(121)의 측면에 돌출 형성되어 상기 상부 스테이지(121)가 최대한 상향 이동하거나 하향 이동 하였을 경우 각 접촉부(201,202)와 접촉할 수 있도록 한다.

물론, 상기 상부 스테이지(121)를 승강시키는 승강축(121b)과 같이 상기 상부 스테이지(121)의 이동과 동일한 이동을 수행하는 부위의 이동 경로 상에 한 쌍의 접촉부(201,202)를 구비하고, 상기 상부 스테이지(121)의 이동과 동일한 이동을 수행하는 부위에는 상기 접촉부와 접촉하는 접촉 돌기를 구비할 수도 있다.

이의 경우 접촉부의 위치는 챔버부(400)의 내부에 설치될 수 있을 뿐 아니라, 상기 챔버부(400)의 외부에도 설치될 수도 있다.

전술한 구성의 본 발명 제1실시예에 따른 상부 스테이지의 동작 정도 보정 방법은 다음과 같다.

우선, 필요에 따라 상부 스테이지(121)의 동작 정도를 보정하고자 할 경우 컨트롤러(도시는 생략함)는 구동 수단(121a)을 구동시켜 상기 상부 스테이지(121)를 상향 이동시킴으로써 동작 정도 보정 수단의 접촉부(이하, 제1접촉부라 한다)(201)가 위치된 측으로 이송한다.

그리고, 전술한 바와 같이 상부 스테이지(121)가 상향 이동하는 과정에서 상기 상부 스테이지(121)의 측면에 구비된 접촉 돌기(320)가 챔버부(400) 내의 상측 부위에 구비된 제1접촉부(201)에 접촉하게 될 경우 구동 수단(121a)에 구비된 로드셀(310)은 접촉에 따른 하중의 발생에 의해 피드백되는 신호를 전달받아 상기 상부 스테이지(121)의 이동을 중단시킴과 함께 해당 위치를 컨틀로러에 기억시킨다.

이 상태에서, 컨트롤러는 구동 수단을 구동시켜 상기 상부 스테이지(121)를 하향 이동시킴으로써 동작 정도 보정 수단의 접촉부(이하, 제2접촉부라 한다)(202)가 위치된 측으로 이송한다.

이 때, 상기 컨트롤러는 최초 기억된 상부 스테이지(121)의 위치로부터 상기 이동에 따라 변동되는 위치를 수치적으로 카운트하게 된다.

그리고, 전술한 바와 같이 상부 스테이지(121)가 하향 이동하는 과정에서 상기 상부 스테이지(121)의 측면에 구비된 접촉 돌기(320)가 챔버부(400) 내의 하측 부위에 구비된 제2접촉부(202)에 접촉하게 될 경우 구동 수단(121a)에 구비된 로드셀(310)은 접촉에 따른 하중의 발생에 의해 피드백되는 신호를 전달받아 상기 상부 스테이지(121)의 이동을 중단시킨다.

이 때, 컨트롤러는 상기 상부 스테이지의 중단 시점까지 카운트한 변동 위치에 따른 수치를 확인함과 더불어 기 설정되어 있던 해당 구성 요소의 이동 소요 거리를 비교하여 상호간의 오차를 판독한다.

이후, 상기 판독된 오차만큼 해당 구성 요소의 이동 거리를 재 설정함으로써 상기 상부 스테이지(121)의 동작 정도 보정이 완료된다.

이 때, 상기한 상부 스테이지의 동작 정도를 보정하는 과정은 별도의 디스플레이창을 통해 각 작업자가 실시간적으로 확인할 수 있도록 함으로써 동작 정도의 보정에 따른 신뢰성을 더욱 향상시키도록 할 수도 있다.

뿐만 아니라, 상기와 같은 원점 설정을 위한 방법은 전술한 일련의 과정을 단순히 한번만 수행함으로써 원점 설정이 이루어지도록 할 수도 있고, 소정 횟수만큼 반복하여 수행함으로써 원점 설정이 이루어지도록 할 수도 있으며, 원점 설정에 따른 오차가 허용된 오차 한도 이내에 들 때까지 다수번 반복적으로 수행하여 원점 설정이 이루어지도록 할 수도 있다.

만일, 전술한 바와 같은 일련의 과정을 수행함에 있어서, 상부 스테이지(121)가 설정된 지점에 도착하였는지의 여부를 판독하기 위한 구조가 한 쌍의 위치 확인용 센서로 이루어질 경우 상기 설정된 각 지점에 구비된 센서의 센싱 신호를 토대로 상기 상부 스테이지의 이동 거리 및 기 설정되어 있던 이동 거리를 토대로 상부 스테이지의 동작 정도를 보정한다.

또한, 상부 스테이지가 설정된 지점에 도착하였는지의 여부를 판독하기 위한 구조가 한 쌍의 다이얼 게이지로 이루어질 경우 상기 각 게이지의 수치 변동 위치를 판독하고, 이 판독된 위치간의 거리를 확인한 후 기 설정되어 있던 이동 거리를 토대로 상부 스테이지의 동작 정도를 보정한다.

또한, 상부 스테이지가 설정된 지점에 도착하였는지의 여부를 판독하기 위한 구조가 리미트 스위치로 이루어질 경우 상기 리미트 스위치로부터의 신호 발생이 이루어진 시점을 토대로 상기 상부 스테이지의 이동 거리 및 기 설정되어 있던 이동 거리에 의거하여 상부 스테이지의 동작 정도를 보정한다.

제2실시예:

도시한 도 7의 구성에 나타난 바와 같이 본 발명의 제2실시예는 기판 받침 수단(130)에의 설치 구조 및 동작 정도 보정 방법이 제시된다.

이 때, 상기 기판 받침 수단의 동작 경로는 챔버부 내에서 이루어짐과 더불어 여타의 각종 동작 요소와의 간섭이 이루어질 수 있음을 고려할 때 한 쌍의 접촉부(201,202)는 챔버부(400)의 외측인 상기 기판 받침 수단(130)의 승강축(132)이 이루는 동작 경로 상에 각각 형성한다.

이의 경우, 상기 기판 받침 수단(130)을 구성하는 승강축(132)의 각 부위 중 챔버부(400)의 외부에 위치되는 소정 부위에 상기 접촉부(201,202)와 접촉하는 접촉 돌기(320)를 구비하여 상기 기판 받침 수단(130)의 받침부(131)가 최대한 상향 혹은, 하향 이동하였을 경우 상기 접촉 돌기가 각 접촉부(201,202)와 접촉할 수 있도록 한다.

하지만, 반드시 이로 한정하지는 않으며, 기판 받침 수단(130)을 구성하는 받침부(131)의 이동 경로인 대략 상부 스테이지(121)에 고정된 기판(510)의 저부측 높이에서 챔버부(400)의 내측 저면이 위치된 높이 사이에 각각 형성할 수도 있다. 이 때의 접촉부 및 접촉 돌기는 반드시 여타의 각종 동작 요소에 의한 간섭이 방지될 수 있는 위치로 설정하여야 한다.

그리고, 동작 정도 보정 수단의 접촉 확인부를 구성하는 로드셀(310)은 상기 기판 받침 수단(130)을 승강하도록 구동하는 구동 수단(133)에 구비된다.

상기와 같이 구성되는 기판 받침 수단의 동작 정도 보정 방법은 기 전술한 본 발명의 제1실시예에 따른 상부 스테이지의 동작 정도 보정을 위해 수행되는 일련의 과정이나, 원점 설정 수단 및 방법은 동일하게 수행될 수 있기 때문에 보다 구체적인 설명은 생략한다.

제3실시예:

도시한 도 8의 구성에 나타난 바와 같이 본 발명의 제3실시예는 로딩 보조 수단(140)에의 설치 구조 및 동작 정도 보정 방법이 제시된다.

이 때, 상기 로딩 보조 수단(140)의 동작 경로는 챔버부(400) 내측 중 하부 스테이지(122)의 상부측을 따라 이루어짐으로써 각 기판(510,520)의 로딩에 따른 간섭이 이루어질 수 있음을 고려할 때 한 쌍의 접촉부는 챔버부(400)의 외측인 상기 로딩 보조 수단(140)의 승강축(142)이 이루는 동작 경로 상에 각각 형성함이 보다 바람직하다.

특히, 본 발명에서는 동작 정도 보정 수단을 구성하는 한 쌍의 접촉부를 별도로 형성하지 않고, 도시된 바와 같이 챔버부(400)의 외측 저면 및 하부 스테이지의 수용홈(122a) 저면이 상기 한 쌍의 접촉부를 대신하도록 한다.

이의 경우, 상기 로딩 보조 수단(140)을 구성하는 받침부(141)의 저면은 상기 로딩 보조 수단이 최대한 하향 이동하였을 경우 하부 스테이지(122)의 수용홈(122a) 저면과 접촉하여 해당 위치를 판독하기 위한 역할을 수행하도록 구성한다.

이와 동시에, 상기 로딩 보조 수단(140)의 승강축(142)에는 상기 로딩 보조 수단(140)이 최대한 상향 이동하였을 경우 챔버부(400)의 외측 저면과 접촉하는 접촉 돌기(320)를 형성하여 해당 위치를 판독하기 위한 역할을 수행하도록 구성한다.

하지만, 반드시 이로 한정하지는 않으며, 로딩 보조 수단(140)을 구성하는 받침부(141)의 이동 경로인 대략 하부 스테이지(122)에 형성된 수용홈(122a)의 내면 높이에서 반송 장치의 반입이 이루어지는 높이의 사이에 각각 설치될 수 있을 뿐 아니라, 상기 로딩 보조 수단(140)의 이동 경로와 인접된 부위인 하부 스테이지(122)의 측부에 설치할 수도 있다.

물론, 이 때의 접촉부 및 접촉 돌기는 반드시 여타의 각종 동작 요소에 의한 간섭이 방지될 수 있는 위치로 설정하여야 한다.

그리고, 동작 정도 보정 수단의 접촉 확인부를 구성하는 로드셀(310)은 상기 로딩 보조 수단을 승강하도록 구동하는 구동 수단(143)에 구비된다.

하지만, 상기와 같은 구조의 로딩 보조 수단에 의한 동작 정도 보정 방법은 기 전술한 본 발명의 제1실시예에 따른 상부 스테이지의 동작 정도 보정을 위해 수행되는 일련의 과정이나, 원점 설정 수단 및 방법은 동일하게 수행될 수 있기 때문에 보다 구체적인 설명은 생략한다.

결국, 본 발명에 따른 액정표시소자용 제조 장비를 구성하는 각 동작 요소의 동작 정도 보정을 위한 구조는 전술한 각 실시예와 같이 각 동작 요소의 동작 경로상에 동작 정도 보정을 위한 구조를 구비하여 필요에 의해 각 동작 요소의 동작 정도 보정을 수행코자 할 경우 상기한 구성을 이용한 자동적인 동작 정도 보정이 가능하게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 액정표시소자용 합착 장치 및 동작 정도 보정 방법은 합착 장치의 구조를 개선하여 필요에 따라 각 동작 요소의 동작 오차를 미연에 확인하여 그 보정이 이루어질 수 있도록 함으로써 안정적인 작업 수행이 가능하게 된 효과를 가진다.

특히, 본 발명은 상기와 같은 각 동작 요소의 동작 보정이 작업자에 의한 수작업이 아닌 기구적인 정밀한 구조에 의해 자동으로 이루어질 수 있게 됨으로써 동작 정도 보정에 따른 신뢰성 및 각 동작 요소의 동작에 따른 신뢰성을 가질 수 있게 된 효과가 있다.

또한, 본 발명은 상기한 각 동작 요소의 동작 정도 보정이 단순한 조작에 의해 자동적으로 수행될 수 있게 되어 작업 시간상의 손실을 최대한 저감시킬 수 있게 된 효과가 있다.

Claims (20)

1. 어느 하나의 기판에 액정이 적하된 상부 및 하부 기판간 합착을 수행하는 장치에 있어서,

   상기 상부 기판이 안착되는 상부 스테이지와;

   상기 상부 스테이지의 동작 경로상의 두 끝지점 사이 또는, 상기 상부 스테이지의 일단에 구비된 제1동작 정도 보정 수단을 포함함을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   제1동작 정도 보정 수단은

   상기 상부 스테이지와 접촉하는 한 쌍의 접촉부와,

   상기 상부 스테이지에 구비되어 상기 각 접촉부와의 접촉 여부를 인지하기 위한 접촉 확인부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 접촉 확인부는

   상기 상부 스테이지의 구동 수단에 구비된 로드셀을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 접촉 확인부는

   상기 상부 스테이지에 구비된 로드셀과;

   상기 상부 스테이지에 형성되어 접촉부와 접촉하는 접촉 돌기를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1동작 정도 보정 수단은

   상기 상부 스테이지와 접촉하는 한 쌍의 다이얼 게이지로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1동작 정도 보정 수단은

   상기 상부 스테이지의 도달 여부를 센싱하는 한 쌍의 위치 확인용 센서로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1동작 정도 보정 수단은

   상기 상부 스테이지의 동작 경로에 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
8. 어느 하나의 기판에 액정이 적하된 상부 및 하부 기판간 합착을 수행하는 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정 방법에 있어서,

   상기 상부 기판이 안착되는 상부 스테이지와, 진공 상태로의 변경시 상기 상부 스테이지에 고정되는 상부 기판을 받쳐주도록 동작하는 기판 받침 수단과, 하부 스테이지에 로딩되는 하부 기판이 반입되는 과정에서 상기 반입된 하부 기판을 상기 하부 스테이지에 로딩시키도록 동작하는 로딩 보조 수단 중 어느 하나의 구성 요소를 어느 한 지점으로부터 다른 한 지점으로 이송하는 제1단계;

   상기 일 지점에서 타 지점까지 상기 구성 요소가 이동한 거리를 판독하는 제2단계;

   상기 판독된 거리와 기 설정된 상기 구성 요소의 이동 소요 거리를 비교하여 오차를 검출하는 제3단계;

   상기 각 거리간 오차에 따른 상기 구성 요소의 이동 거리를 보정하는 제4단계를 포함하여 운영됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정 방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   제1단계의 어느 한 지점 및 다른 한 지점은

   상기 구성 요소가 동작하는 범위의 두 끝지점 임을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정 방법.
10. 제 8 항에 있어서,

    제1단계의 각 지점으로 상기 구성 요소가 도달하였는지를 판독하기 위해

    상기 구성 요소와 각 지점과의 접촉 또는, 상기 구성 요소의 도달 여부를 확인하는 단계가 더 포함되어 운영됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정 방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 구성 요소가 각 지점과의 접촉 또는, 도달됨을 확인하는 방법은

    상기 구성 요소의 동작 방향과는 역방향으로의 전달되는 하중의 발생 여부를 판독함으로써 수행됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정 방법.
12. 제 11 항에 있어서,

    역방향의 하중 전달 여부의 판독은

    상기 구성 요소에 구비한 로드셀에 의해 수행되도록 함을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정 방법.
13. 제 10 항에 있어서,

    상기 구성 요소가 각 지점과의 접촉 또는, 도달됨을 확인하는 방법은

    상기 각 지점에 구비한 다이얼 게이지의 수치 변동 여부를 확인함으로써 수행됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정 방법.
14. 제 10 항에 있어서,

    제1단계의 각 지점으로 상기 구성 요소가 도달하였는지를 판독하기 위해

    위치 확인 센서를 이용하여 상기 구성 요소가 상기 각 지점에 도달하였는지를 센싱하는 단계가 더 포함되어 운영됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치의 동작 정도 보정 방법.
15. 제 1 항에 있어서,

    진공 상태로의 변경시 상기 상부 스테이지에 고정되는 상부 기판을 받쳐주도록 동작하는 기판 받침 수단과;

    상기 기판 받침 수단의 동작 경로상의 두 끝지점 사이 또는, 상기 기판 받침 수단의 일단에 구비된 제2동작 정도 보정 수단을 더 포함함을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
16. 제 15 항에 있어서,

    제2동작 정도 보정 수단은

    상기 기판 받침 수단이 접촉하는 한 쌍의 접촉부와,

    상기 기판 받침 수단에 구비되어 상기 각 접촉부와의 접촉 여부를 인지하기 위한 접촉 확인부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
17. 제 16 항에 있어서,

    상기 접촉 확인부는

    상기 기판 받침 수단의 구동 수단에 구비된 로드셀을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
18. 제 16 항에 있어서,

    상기 접촉 확인부는

    상기 기판 받침 수단에 구비된 로드셀과;

    상기 기판 받침 수단에 형성되어 접촉부와 접촉하는 접촉 돌기를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
19. 제 15 항에 있어서,

    상기 제2동작 정도 보정 수단은

    상기 기판 받침 수단과 접촉하는 한 쌍의 다이얼 게이지로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.
20. 제 15 항에 있어서,

    상기 제2동작 정도 보정 수단은

    상기 기판 받침 수단의 도달 여부를 센싱하는 한 쌍의 위치 확인용 센서로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 합착 장치.

Images