KR100697558B1 - 기판 검사기 및 기판 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 표면에 빛을 조사하여 표면 결함을 검사하는 기판 검사기에 있어서, 상기 기판을 고정시킨 상태에서 검사에 필요한 위치로 기판을 요동시키는 기판척이 마련되며, 상기 기판척에는, 그 기판척의 베이스 상부 영역에 진공압으로 기판 가장자리부를 흡착 고정할 수 있도록 다수개가 배열되어 마련되는 흡착 패드; 상기 흡착 패드에 고정되는 기판의 존재 유무와 기판의 정위치 도달 여부를 각각 감지하여 그 감지된 신호를 각각 출력하는 검출부; 상기 검출부와 전기적으로 각각 연결되어 각각에서 출력된 신호로 기판 상태를 판단하는 제어부;를 포함하되, 상기 검출부 각각의 출력 신호를 제어부에서 모두 만족하면 기판의 결함 여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 기판 검사기에 관한 것이다.

기판 검사기, 검출부, 기판 유무, 기판 정위치, 제어부

Description

기판 검사기 및 기판 검사방법{Examination method of substrate and substrate inspecting apparatus}

도 1은 종래의 기판 검사기에 적용되는 기판척을 도시한 평면도이다.

도 2는 종래의 기판척에 기판이 잘못 적재된 상태를 도시한 부분 확대도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사기의 기판척을 도시한 평면도이다.

도 4는 상기 기판척에 기판의 고정된 상태를 도시한 부분 확대도이다.

도 5는 본 발명의 기판 검사기의 기판 검사방법 과정을 나타낸 순서도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

110 : 기판척 112 : 베이스

116 : 흡착 패드 118 : 안내부

130 : 기판 검출 센서 S : 기판

본 발명은 기판 검사기 및 기판 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판척에 흡착시킨 기판을 회전시키면서 육안으로 기판의 얼룩 등의 결함 여부를 검사하는 기판 검사기 및 기판 검사방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, OLED 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 발견하기 위하여 목시검사, 즉 검사자의 육안으로 결함 여부를 검사한다. 이때, 결함의 발견을 용이하게 하기 위하여 기판 전체를 균일하게 빛을 조사하여 기판 외관 전체를 검사하는 기판 검사기가 사용된다.

이러한 기판 검사기는 상방 조명부, 후방 조명부, 기판척으로 구성된다.

상방 조명부는 기판 위치부의 상방에 설치되어, 기판 표면상에 결함이 있는지 여부를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 역할을 하며, 광원부, 반사부, 집광부, 산란부로 구성된다. 광원부는 기판 표면에 조사되는 빛을 최초로 생성하는 구성요소이며, 반사부는 광원부에서 조사되는 빛의 방향을 집광부로 변경시키는 역할을 하며, 기판 외관 검사 장치의 높이가 높아지는 것을 방지한다. 또한, 집광부는 반사부로부터 조사되는 확산광을 집속하는 역할을 하며, 산란부는 전원의 인가 여부에 따라 빛을 그대로 통과시키거나 산란시켜서 기판 검사자의 기판 검사를 용이하게 하는 역할을 한다.

이때, 광원부, 반사부, 집광부, 산란부는 모두 그 각도를 조정할 수 있는 구조로 구비된다. 즉, 상방 조명부의 하부에 위치된 기판 표면의 결함 유무를 가장 용이하게 검사할 수 있는 상방 조명부의 각도를 선정할 수 있도록 상방 조명부의 각 구성요소의 각도를 개별적으로 조정할 수 있는 구조로 구비시키는 것이다.

다음으로, 후방 조명부는 기판 위치부의 후방에 위치되며, 기판의 내부 결함 여부를 검사하기 위하여 기판 후면에서 투과 조명을 조사하는 역할을 한다. 후방 조명부는 조명부와 이동부로 구성되며, 조명부는 투과 조명을 발생시키는 구성요소이며, 이동부는 조명부를 전후 방향으로 구동시키는 구성요소이다.

여기서, 상술한 조명부를 전후 방향으로 구동시키는 이유는 다음과 같다. 검사되는 기판이 대형화되면서, 기판의 회전 반경을 확보하기 위하여 후방 조명부를 기판 위치부로부터 상당 거리 이상 이격시켜야 한다. 그러나 후방 조명부가 기판 위치부로부터 상당 거리 이격되어 있으면, 기판 내부 결함 검사시 조도가 약해지는 문제점이 있으므로 기판 내부 결함 검사시에는 조명부를 기판 위치부 쪽으로 접근시킬 필요가 있다. 따라서 조명부를 전후 방향으로 이동가능하게 구비시킬 필요가 있는 것이다.

이때 이동부는 소정 길이의 리니어 가이드(linear guide)를 전후방향으로 구비시키고, 그 리니어 가이드와 결합하여 그 리니어 가이드를 따라서 이동하는 리니어 블럭(linear block)으로 구성되며, 리니어 블럭은 조명부와 결합하여 있는 구조 또는 조명부와 일체로 형성되는 구조를 취한다.

따라서 리니어 블럭을 리니어 가이드를 따라서 이동시키면 이에 결합하여 있는 조명부가 함께 전후 방향으로 이동되는 것이다.

여기서, 종래의 기판척은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기판(S)을 진공압으로 흡착하는 기능을 하며, 상술한 기판척(10)에는 다수개가 배열 설치되어 상측에 고정된 기판(S)과의 공간을 진공 펌프(도면에 미도시)에 의해 진공 상태로 기 판(S)에 흡착력을 제공하는 흡착부(28)가 배열 설치된다.

그리고 상술한 기판척(10)의 일측에는 그 기판척(10)을 회동시키는 회전부(도면에 미도시)가 더 마련되며, 상술한 회전부에 의해 기판척(10)에 동력을 제공하여 기판(S)이 고정된 기판척(10)을 회전시키는 역할을 한다.

상술한 기판척(10)은 고정되는 기판(S)의 면적보다 큰 판상으로 중앙부가 관통 형성되고 관통된 부위의 가장자리에는 상방으로 절곡된 형상을 갖는 베이스(12)가 마련된다.

여기서, 상술한 베이스(12)의 일측에는 기판(S)의 로딩 또는 언로딩시 로봇(도면에 미도시)의 포크(fork : 도면에 미도시)가 진입하고 퇴출할 수 있도록 그 포크의 위치와 상응하는 로봇 포크 이동홈(14)이 다수개 마련된다.

그리고 상술한 베이스(12)의 상부 영역 사방에는 기판(S)의 가장자리부를 흡착 고정할 수 있도록 적정 간격으로 배열되되 길이 방향으로 연장되는 수평 방향의 흡착 패드(16)가 다수개 구비되며, 상술한 흡착 패드(16)의 외측벽에는 이 흡착 패드(16)와 유사한 길이 방향으로 형성되고 상술한 흡착 패드(16)의 상면보다 더 돌출되도록 고정되는 안내부(18)가 마련된다. 그리고 상기 흡착 패드(16)는 그 상부 영역을 부분 함몰시키고, 그 함몰된 부분 중앙부에 흡기공을 형성하며, 그 흡기공을 외부의 진공펌프(도면에 미도시)와 연통하게 한다.

여기서, 상술한 안내부(18)는 기판(S) 안착시 그 기판(S)의 위치를 한정하며, 흡착 패드(16) 상에 기판(S)이 안착 될 수 있게 안내하는 기능을 한다.

한편, 상술한 기판척(10)의 베이스(12) 상부 영역 사방에는 기판(S)의 각 변 가장자리부 상단을 고정할 수 있게 클램핑 장치(20)가 각각 구비되며, 상술한 클램핑 장치(20)는 클램프(22)와 구동부(24)로 이루어진다.

여기서, 각각의 클램프(22)는 각각의 구동부(24) 구동축에 다수개가 고정된 상태에서 이 구동축에 의해 일률적으로 회동함에 따라 기판(S)의 가장자리 영역에 압력을 가하여 기판 고정력을 상승시킨다.

한편, 상술한 로봇 포크 이동홈(14)이 형성되는 베이스(12)에는 로봇의 포크의 진입 또는 퇴출시 간섭 문제가 발생할 수 있으므로 각각의 클램프(22)를 개별적으로 구비되는 구동부(24)에 의해 개별적으로 구동시키지만 각각의 클램프(22)는 일률적으로 이동한다.

상술한 베이스(12)의 중앙부에는 적정 간격으로 배열 설치되는 다수개의 고정바(26)가 마련되며, 상기 고정바(26)의 상부 영역에는 적정 간격으로 다수 배열되어 기판(S)을 진공압으로 흡착시키는 흡착부(28)가 마련된다. 그리고 상술한 흡착부(28) 각각은 외부의 진공펌프와 연통된다.

그리고 상술한 베이스(12)의 직립된 상단에는 적재되는 기판(S)의 지정된 위치를 판별하는 레이저 변위 센서인 검출부(도면에 미도시)가 다수개 마련된다.

그러나 상술한 기판척(10)에 기판(S)이 틀어진 상태로 적재되면 상술한 검출부에 의해 검출되지만, 비정상적인 기판(S) 정렬에 의해 기판(S) 정위치 즉, 상술한 기판(S)이 흡착 패드(16) 상에 정확하게 적재되지 않고 그 흡착 패드(16)의 외측벽에 상술한 흡착 패드(16)의 높이보다 더 돌출되도록 구비되는 안내부(18) 상에 적재되면 그 흡착 패드(16)와 기판(S)과는 접촉하지 않고 이격 공간이 형성됨에 따 라 그에 따라 진공압이 형성되지 않으므로 견고하게 기판(S)이 고정되지 않으며, 상술한 기판(S)이 흡착 패드(16) 상에 적재되지 않고 안내부(18) 상에 적재되어 정위치보다 더 높은 위치에 안착되면 기판(S)이 클램프(22)에 의해 고정될 위치보다 더 높은 위치에서 고정되므로 클램프(22)의 가압력에 의해 기판(S)이 파손되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 기판척에 기판 고정시 기판의 유무와 기판 정위치 확인 후 기판 검사를 할 수 있게 한 기판 검사기 및 기판 검사방법을 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 표면에 빛을 조사하여 표면 결함을 검사하는 기판 검사기에 있어서, 상기 기판을 고정한 상태에서 검사에 필요한 위치로 기판을 요동시키는 기판척이 마련되며, 상기 기판척에는, 그 기판척의 베이스 상부 영역에 진공압으로 기판 가장자리부를 흡착 고정할 수 있도록 다수개가 배열되어 마련되는 흡착 패드; 상기 흡착 패드에 고정되는 기판의 존재 유무와 기판의 정위치 도달 여부를 각각 감지하여 그 감지된 신호를 각각 출력하는 검출부; 상기 검출부와 전기적으로 각각 연결되어 각각에서 출력된 신호로 기판 상태를 판단하는 제어부;를 포함하되, 상기 검출부 각각을 출력 신호를 제어부에서 모두 만족하면 기판의 결함 여부를 검사함으로써, 상술한 기판척에 기판에 적재되면 기판의 존재 유무와 기판의 흡착 패드 상에 정확하게 위치되었는지를 각각의 검출부 에 의해 검출한 후 각각의 검출부에서 출력된 신호 즉, 기판의 존재와 기판과 흡착 패드와의 접촉면에서 진공 형성됨을 모두 만족하면 그 후 기판을 검사하므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서의 검출부는, 상기 흡착 패드 사이 공간인 베이스의 상부 영역에 마련되어 기판의 존재 유무를 판별할 수 있도록 마련되는 기판 검출 센서; 상기 흡착 패드에 연통되어 다수개의 흡착 패드와 기판과의 접촉면에서 발생하는 진공압을 측정할 수 있도록 기판척의 외부에 마련되는 진공압 측정 센서;로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서의 기판 검출 센서는 적어도 하나 이상 마련됨으로써, 상술한 기판 유무 검사시 검사 오류를 저하시키므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서는 제어부에 전기적으로 연결되어 기판 검출 센서와 진공압 측정 센서의 출력 신호를 동시에 만족하지 않으면 출력하는 음성 출력부를 더 포함함으로써, 작업자가 작업 상황을 청각적으로 인지할 수 있으므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서는 1) 기판척에 기판을 안착하는 단계; 2) 상기 기판척의 베이스 상부 영역에 구비되는 기판 검출 센서에 의해 기판 존재 유무를 판단하는 단계; 3) 상기 기판척의 흡착 패드와 기판과의 접촉면에 진공압의 형성 여부를 판 단하는 단계; 4) 상기 2) 단계와 제 3) 단계를 모두 만족하면 기판의 결함 여부를 검사하는 단계;로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서는 4) 단계 수행 전에 상기 2) 단계와 제 3) 단계를 동시에 만족하지 않으면 제어부에 의해 다음 공정을 수행하지 않는 수행 정지 단계를 더 포함함으로써, 검사기의 오작동을 방지하므로 바람직하다.

이하, 본 발명의 기판 검사기 및 기판 검사방법을 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 검사기는 도면에 도시하지 않았지만 상방 조명부, 후방 조명부, 기판척(110)으로 구성되며, 상술한 상, 후방 조명부는 종래의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.

상술한 기판척은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 안착되는 기판(S)의 면적보다 큰 판상으로 중앙부가 관통 형성되고 그 관통된 부위의 가장자리에는 상방으로 직립되어 단면 형상이 "ㄴ"자 형상으로 구비되는 베이스(112)가 마련되며, 상술한 베이스(112)에는 다수개가 배열 설치되어 상측에 고정된 기판(S)과의 공간을 진공 펌프(도면에 미도시)에 의해 기판(S)을 진공압으로 고정하는 흡착부(128)가 배열 설치된다.

그리고 상술한 베이스(112)의 일측에는 기판의 로딩 또는 언로딩시 로봇(도 면에 미도시)의 포크(fork : 도면에 미도시)가 진입하고 퇴출할 수 있도록 그 포크의 위치와 상응하는 로봇 포크 이동홈(114)이 다수개 마련된다.

상술한 베이스(112)의 상부 영역 사방에는 기판의 가장자리부를 흡착할 수 있도록 적정 간격으로 배열되되 길이 방향으로 연장되는 수평 방향의 흡착 패드(116)가 다수개 구비되며, 상술한 흡착 패드(116)의 외측벽마다 이 흡착 패드(116)와 유사한 길이 방향으로 형성되고 상술한 흡착 패드(116)의 상면보다 대략 2㎜ 정도 더 돌출되도록 고정되는 안내부(118)가 각각 마련된다. 그리고 상기 흡착 패드(116)는 그 상부 영역 테두리를 제외한 나머지 부분을 적정 깊이로 함몰시키고 그 함몰된 부분 중앙부에 흡기공을 형성하며, 그 흡기공을 외부의 진공펌프와 연통하게 한다.

여기서, 상술한 안내부(118)는 기판(S) 안착시 그 기판(S)의 위치를 한정하며, 흡착 패드(116) 상에 기판(S)이 안착 될 수 있게 안내하는 기능을 한다.

그리고 상술한 기판척(110)은 다수개의 흡착부(128)와 다수개의 흡착 패드(116)에 의해 기판(S)의 저면을 진공압으로 고정하고 그 기판척(110)의 상부 영역 사방에는 상술한 기판(S)의 상면 가장자리를 가압하여 더욱 견고하게 고정할 수 있도록 일률적으로 회동하는 클램핑 장치(120)가 구비된다.

여기서, 상술한 클램핑 장치(120)는 클램프(122)와 구동부(124)로 구성되며, 종래의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.

한편, 상술한 베이스(112)의 중앙부에는 적정 간격으로 배열 설치되는 다수개의 고정바(126)와, 상술한 고정바(126)의 상부 영역에는 적정 간격으로 다수 배 열되어 기판을 진공압으로 흡착시키는 흡착부(128)가 마련된다.

그리고 상술한 베이스(112)의 직립된 상단 소정 위치 즉, 이웃한 흡착 패드(116)의 사이 공간과, 기판척(110)의 외부 일측에는 상술한 흡착 패드(116)에 고정되는 기판(S)의 존재 유무와 기판(S)의 정위치 도달 여부를 각각 감지하고 그 감지된 신호를 각각 제어부(도면에 미도시)로 출력하는 검출부인 기판 검출 센서(130)와 진공압 측정 센서(도면에 미도시)가 각각 마련된다.

그리고 상술한 제어부에는 기판 검출 센서(130)와 진공압 측정 센서의 출력 신호에 의해 기판(S) 존재와, 기판(S)과 흡착 패드(116)의 접촉면의 진공 형성 이 두 가지를 동시에 만족하지 않으면 작업자가 출력된 음성으로 현 상황을 인지할 수 있도록 음성 출력부(도면에 미도시)를 더 마련된다.

여기서, 상술한 기판 검출 센서(130)는 기판(S)의 존재 유무를 판별할 수 있도록 하는 기능을 하며, 상술한 진공압 측정 센서는 상술한 흡착 패드(116)에 연통되어 다수개의 흡착 패드(116)와 기판(S)과의 접촉면에서 진공압의 발생 여부를 측정하여 판단하는 기능을 한다.

또한, 상술한 진공압 측정 센서는 각각의 흡착 패드(116)의 흡기공에서 진공펌프에 의한 진공압의 형성 여부를 감지하여 그 결과를 제어부로 출력한다.

한편, 상술한 기판 검출 센서(130)는 베이스(112)의 각 변마다 적어도 하나 이상 구비되어 검출시 보다 정밀하게 검출할 수 있으며, 그 개수는 한정하지 않고 가감될 수 있다.

그리고 상술한 기판 검출 센서(130)와 진공압 측정 센서는 각각에서 출력된 신호로 기판(S) 상태를 판단하는 제어부와 전기적으로 각각 연결된다.

그러므로 본 발명의 기판 합착기에서 기판을 검사하는 과정은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 우선, 외부의 로봇에 의해 기판척(110)의 흡착 패드(116)와 흡착부(128)에 틀어진 상태로 기판(S)이 적재되면 베이스(112)에 구비되는 기판 검출 센서(130)가 이를 감지하지 못하여 기판(S) 검사를 진행하지 못하도록 작업을 중지시킨다.

다르게는, 상술한 기판척(110)에 기판(S) 적재시 기판(S)이 틀어지지는 않고 기판 검출 센서(130) 쪽으로 쏠리면 기판 검출 센서(130)는 그 기판 검출 센서(130)의 상측에 기판(S)이 존재하므로 기판(S)이 존재한다는 신호를 제어부로 출력하지만 상술한 기판(S)의 일측이 베이스(112)의 일측에 구비되는 안내부(18) 상면에 위치되어 흡착 패드(116)와 기판(S)에 간격이 발생하며, 이에 따라 진공펌프가 작동하여도 상술한 기판(S)과 흡착 패드(116)와의 접촉면에는 진공압이 형성되지 않음에 따라 이를 진공압 측정 센서가 감지한 다음 기판(S)이 정위치에 위치하지 않는다는 신호를 제어부로 출력하므로 이때에도 상술한 제어부가 이를 판단하여 기판(S) 검사를 진행하지 못하도록 작업을 중지시킨다.

반면, 상술한 기판(S)이 베이스(112)에 구비되는 흡착 패드(116) 상에 정밀하게 정렬됨과 동시에 기판(S) 정위치에 적재되면 그 기판(S) 하측에 구비되는 기판 검출 센서(130)는 이를 감지하여 제어부로 기판(S)이 존재한다고 신호를 출력하게 되며, 상술한 진공압 측정 센서는 기판(S)과 다수 흡착 패드(116)와의 접촉부위 에서 균일한 진공압이 형성됨에 따라 상술한 기판(S)이 흡착 패드(116) 상에 정위치에 적재되었음을 제어부로 신호를 출력하여 상술한 기판 검출 센서(130)와 진공압 측정 센서에 의한 출력 신호를 제어부가 동시에 만족할 경우 기판(S) 결함 검사를 진행하도록 한다.

본 발명의 기판 검사기에 의한 기판 검사방법은 도 5에 도시된 바와 같이 기판 안착 단계(S200)와, 기판 유무 판단 단계(S210)와, 진공압 형성 여부 판단 단계(S220)와, 기판 검사 단계(S230)로 이루어진다.

상술한 기판 안착 단계(S200)는 외부의 로봇에 의해 기판척(110)의 중심부에 구비되어 기판(S)의 가장자리부를 제외한 중심부가 안착될 수 있도록 다수개가 배열되는 흡착부(128)와, 기판(S)의 가장자리부가 안착될 수 있도록 구비되는 다수개의 흡착 패드(116)에 기판(S)을 적재하는 단계이다.

상술한 기판 유무 판단 단계(S210)는 상술한 기판(S)이 기판 검출 센서(130)의 검출 구역 안에 위치되면 그 기판 검출 센서(130)가 기판(S)이 존재한다고 제어부로 신호를 출력하게 되며, 상술한 기판(S)이 기판 검출 센서(130)의 검출 구역 안에 위치되지 않으면 그 기판 검출 센서(130)가 기판(S)이 존재하지 않는다고 제어부로 신호를 출력하는 단계이다.

상술한 진공압 형성 여부 판단 단계(S220)는 상술한 기판(S)이 베이스(112)에 다수개 구비되는 흡착 패드(116)의 흡기공을 모두 밀폐하는 정위치에 도달하였을 때 진공압을 측정하여 진공압이 설정값만큼 형성된다는 신호를 제어부로 출력하 게 되며, 상술한 기판(S)이 흡착 패드(116)의 흡기공 중 어느 하나라도 밀폐를 시키지 못하면 그 기판(S)은 정위치에 도달하지 않았다는 신호를 제어부로 출력하는 단계이다.

상술한 기판 검사 단계(S230)는 상술한 기판 검출 센서(130)와 진공압 측정 센서의 출력 신호 각각을 제어부에서 동시에 만족하는 경우 즉, 상술한 기판(S)이 존재한다고 판명나고, 상술한 기판(S)과 흡착 패드(116)의 접촉면에 진공압이 형성된다고 판명나면 기판(S) 검사를 진행하는 단계이다.

한편, 상술한 기판 검사 단계(S230)는 기판(S) 검사 전에 상술한 기판 유무 판단 단계(S210)와 상술한 진공압 형성 여부 판단 단계(S220) 중 어느 하나에서 에러가 발생하여 제어부에서 동시에 만족하지 않으면 이 제어부에 의해 음성으로 출력되는 음성 출력 단계를 더 포함된다.

그리고 상술한 기판 검사 단계(S230)는 기판(S) 검사 전에 상술한 기판 유무 판단 단계(S210)와 상술한 진공압 형성 여부 판단 단계(S220) 중 어느 하나에서 에러가 발생하여 제어부에서 동시에 만족하지 않으면 이 제어부에 의해 다음 공정 즉, 기판(S) 검사를 수행하지 못하도록 하는 수행 정지 단계를 더 포함한다.

이와 같은 본 발명의 기판 검사기 및 기판 검사방법은 상술한 기판의 유무 판정을 기판척의 베이스에 구비되는 기판 검출 센서에 의해 기판의 저면 가장자리부 일측 부분을 검출하여 그 결과를 제어부에 의해 판단하고, 상술한 기판척의 외부 일측에 구비되되 기판의 정위치 도착 판정을 각각의 흡착 패드에서 진공압의 형 성 여부를 검출하는 진공압 측정 센서에 의해 검출하여 제어부에 의해 판단함에 있어 상술한 기판의 결함 검사 진행은 기판 검출 센서와 진공압 측정 센서에 의한 출력 신호를 제어부가 동시에 만족하는 경우에 실시하므로 기판이 유무 검출과 기판의 정위치에 안착된 상태에서 기판 검사가 실시되므로 검사기의 오작동 및 클램프의 과부하로 인한 기판의 파손을 방지하는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 기판 표면에 빛을 조사하여 표면 결함을 검사하는 기판 검사기에 있어서,

   상기 기판을 고정한 상태에서 검사에 필요한 위치로 기판을 요동시키는 기판척이 마련되며,

   상기 기판척에는,

   그 기판척의 베이스 상부 영역에 진공압으로 기판 가장자리부를 흡착 고정할 수 있도록 다수개가 배열되어 마련되는 흡착 패드;

   상기 흡착 패드에 고정되는 기판의 존재 유무와 기판의 정위치 도달 여부를 각각 감지하여 그 감지된 신호를 각각 출력하는 검출부;

   상기 검출부와 전기적으로 각각 연결되어 각각에서 출력된 신호로 기판 상태를 판단하는 제어부;를 포함하되,

   상기 검출부 각각의 출력 신호를 제어부에서 모두 만족하면 기판의 결함 여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 기판 검사기.
2. 제 1항에 있어서, 상기 검출부는,

   상기 흡착 패드 사이 공간인 베이스의 상부 영역에 마련되어 기판의 존재 유무를 판별할 수 있도록 마련되는 기판 검출 센서;

   상기 흡착 패드에 연통되어 다수개의 흡착 패드와 기판과의 접촉면에서 발생 하는 진공압을 측정할 수 있도록 기판척의 외부에 마련되는 진공압 측정 센서;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 검사기.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 기판 검출 센서는 적어도 하나 이상 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 검사기.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 제어부에는, 이 제어부와 전기적으로 연결되어 기판 검출 센서와 진공압 측정 센서의 출력 신호를 동시에 만족하지 않으면 음성으로 출력하는 음성 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사기.
5. 1) 기판척에 기판을 안착하는 단계;

   2) 상기 기판척의 베이스 상부 영역에 구비되는 기판 검출 센서에 의해 기판 존재 유무를 판단하는 단계;

   3) 상기 기판척의 흡착 패드와 기판과의 접촉면에 진공압의 형성 여부를 판단하는 단계;

   4) 상기 2) 단계와 제 3) 단계를 모두 만족하면 기판의 결함 여부를 검사하는 단계;로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 4) 단계 수행 전에 상기 2) 단계와 제 3) 단계를 동시에 만족하지 않으면 제어부에서 상기 제어부와 전기적으로 연결되는 음성 출력부에 의해 음성으로 출력하는 음성 출력 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 4) 단계 수행 전에 상기 2) 단계와 제 3) 단계를 동시에 만족하지 않으면 제어부에 의해 다음 공정을 수행하지 않는 수행 정지 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.

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