KR100678621B1 - 패널 클리닝 방법 - Google Patents

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KR100678621B1
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나까따히로무
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니혼 미크로 코팅 가부시끼 가이샤
아이엠티 가부시끼가이샤
니혼 씨엠오 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는 2매의 패널 사이에 액정 및 스페이서재를 밀봉한 셀을 클리닝하는 방법에 있어서, 셀의 패널 사이에 밀봉되어 있는 스페이서재가 변형되고, 클리닝 개시시 또는 헤드의 사행 운동의 반복시에 그 패널 표면 상의 부위에 연마 테이프의 줄이나 흠집이 국소적으로 남아 연마 테이프나 콘택트 롤러가 손상되고, 셀의 엣지 부분이 손상되어, 트랜스퍼 형성 영역이 손상되는 일 없이 셀의 표면 전체를 클리닝할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
하단부에 콘택트 롤러(31)를 갖고, 콘택트 롤러(31)의 중앙을 통과하는 헤드 회전축(34)에 관하여 회전하는 헤드(30)를 갖는 로터리식 패널 클리닝 장치(10)를 사용하는 패널(70)의 클리닝 방법이다. 클리닝의 개시와, 클리닝 중인 헤드(30)의 사행 운동의 반복이, 헤드 회전축(34)이 셀 가이드(21)의 표면 상에 있을 때에 행해진다.
로터리식 패널 클리닝 장치, 셀 가이드, 헤드, 콘택트 롤러, 슬릿, 레일

Description

패널 클리닝 방법 {Panel Cleaning Method}
도1은 본 발명에 따른 패널의 클리닝 중인 콘택트 롤러의 궤도를 도시하는 도면.
도2는 본 발명의 패널 클리닝 방법에 사용하는 로터리식 패널 클리닝 장치의 정면도.
도3은 도2의 패널 클리닝 장치의 평면도.
도4는 도3의 BB선 단면도.
도5는 셀을 셀 가이드로 유지하였을 때의 셀과 셀 가이드의 부분 단면도로, 도5의 (a)는 컬러 필터를 위로 하였을 때의 셀과 셀 가이드의 부분 단면도이고, 도5의 (b)는 TFT 액정 셀을 위로 하였을 때의 셀과 셀 가이드의 부분 단면도.
도6은 종래, 패널의 클리닝 중인 콘택트 롤러의 궤도를 도시하는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 로터리식 패널 클리닝 장치 20 : 패널 유지 수단
21 : 셀 가이드 22 : 클리어런스
30 : 헤드 31 : 콘택트 롤러
32 : 롤 장착부 33 : 테이프 권취부
34 : 헤드 회전축 35, 35' : 헤드 회전축의 궤도
40 : Z 이동대 41, 62, 66 : 레일
42 : 피스톤 실린더 43 : 스핀들
44 : 모터 50 : X 이동대
51 : 슬릿 60 : Y 이동대
61 : 개구 63, 67 : 볼 나사 수단
64, 65 : 선반 70 : 셀 또는 패널
71 : TFT 액정 셀 71' : 트랜스퍼 형성 영역
72 : 컬러 필터 73 : 밀봉재
74 : 액정 및 스페이서재 H : 하우징
T : 연마 테이프 X : 좌우 방향
Y : 전후 방향 Z : 상하 방향
본 발명은, 유리, 플라스틱 등으로 이루어지는 패널을 클리닝하기 위한 방법에 관한 것으로, 특히 컴퓨터, 텔레비전, 휴대 전화, 전자 계산기, 시계 등의 정밀 전자 기기에 이용되는 액정 표시 장치(LCD)의 제조 공정에 있어서, 2매의 패널 사이에 액정 및 스페이서재를 밀봉한 셀의 양면을 편광판을 접착하기 전에 청정하고 또한 매끄럽게 마무리하기 위한 패널 클리닝 방법에 관한 것이다.
컴퓨터, 텔레비전, 휴대 전화, 전자 계산기, 시계 등의 정밀 전자 기기에 이 용되는 액정 표시 장치는, 일반적으로 TFT 액정 셀과 컬러 필터를 접합한 후에 이들 패널 사이에 액정을 밀봉하여 셀을 제작하고, 이 셀의 양면에 편향판을 접착하여 액정 셀을 제작한다. 그리고, 이 액정 셀의 주위에 TCP 및 프린트 기판을 실장하여 TFT 액정 셀측에 광원의 후방 라이트를 장착한 후에 프레임을 부착하여 제조된다.
TFT 액정 셀은 유리 기판의 2변을 따라 트랜스퍼 형성용 L자형 영역을 남겨 유리 기판 상에 전극이나 트랜지스터를 형성하고, 그 위에 배향막을 형성하여 이 배향막 표면을 러빙한 패널이다. 한편, 컬러 필터는 유리 기판 상에 안료 레지스트를 도포하여 노광, 현상 및 레지스트 제거를 반복하여 3색 형성을 행하고, 그 위에 배향막을 형성하여 이 배향막 표면을 러빙한 패널이다.
이들 패널의 접합은, 우선 TFT 액정 셀의 배향막 주변에 디스펜서를 이용하여 열경화성 밀봉재를 약 30 ㎛의 높이로 도포하고, 유리 기판 상의 L자형 영역에 트랜스퍼 형성을 행한다. 그리고, 밀봉재로 둘러싸인 배향막 상의 영역에 스페이서재를 균일하게 살포한 후, 이들 패널의 배향막 사이에 약 5 ㎛의 공간이 형성될 때까지 TFT 액정 셀의 배향막 주변에 도포한 밀봉재로 컬러 필터의 배향막을 가압함으로써 행해진다.
밀봉재는 TFT 액정 셀의 배향막 주변의 상기한 L자형 영역 이외의 유리 기판의 1변에 폭 10 내지 20 ㎜의 간극이 생기도록 도포되고, 이 간극(이를 밀봉구라 함)을 통해 상기한 바와 같이 하여 접합시킨 패널 사이에 액정이 밀봉된다.
패널 사이로 액정을 밀봉한 후, 이 밀봉구에 자외선 경화 수지를 도포하고, 자외선 램프를 이용하여 밀봉구를 밀봉한다. 이와 같이 하여 셀이 제작되고, 이 셀 양면의 클리닝을 행한 후에 이 셀의 양면에 편향판을 접착하여 액정 셀이 제작된다. 그 후, 상기한 TCP 실장, 프린트 기판 실장, 후방 라이트 장착 등의 공정을 거쳐 액정 표시 장치가 제조된다.
이와 같이 하여 액정 표시 장치가 제조되지만, 셀 표면에 이물질이 부착된 상태로 셀 표면에 편광판을 접착하면, 빛이 표면의 이물질에 차폐되거나 편광되어 심각한 불량이라 불리우는 표시 품질상의 문제를 일으킨다. 그리고, 이와 같은 심각한 불량이 발견되면, 셀 표면의 클리닝과 편광판의 재접착 작업을 행할 필요가 생겨 이 작업에 수고와 시간이 든다. 이로 인해, 편광판을 접착하기 전의 셀 양면의 클리닝은 액정 표시 장치의 제조 공정에 있어서 중요한 공정이 되고 있다.
이 셀 양면의 클리닝은 유리, 플라스틱 등으로 이루어지는 패널의 클리닝에 사용되는 이미 알려진 로터리식 패널 클리닝 장치(예를 들어, 특허문헌 1 참조)를 사용하여 한 면씩 행해진다.
이 로터리식 패널 클리닝 장치는 패널을 유지하는 패널 유지 수단, 하단부에 대략 원통형의 콘택트 롤러를 배치하고, 이 콘택트 롤러를 거쳐서 연마 테이프를 이송하기 위한 수단을 갖는 헤드, 콘택트 롤러의 중앙을 통과하고 패널의 표면에 수직인 축선에 관하여 헤드를 회전시키기 위한 수단, 헤드 또는 패널 유지 수단을 상하 방향으로 이동시키기 위한 수단 및 헤드 또는 패널 유지 수단을 전후 좌우로 이동시키기 위한 수단으로 구성된다(예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 장치를 참조).
이와 같은 로터리식 패널 클리닝 장치를 사용한 패널(대표적으로, 셀)의 클리닝은, 우선 상기한 로터리식 패널 클리닝 장치의 패널 유지 수단으로 셀을 유지한다.
도6에 도시한 바와 같이, 이 패널 유지 수단(20)은 셀(70)의 평면 형상에 대략 일치하는 형상의 개구를 갖는 셀 가이드(21)를 갖는다. 이 셀 가이드(21)는 셀(70)의 주연부[특히, 도5의 (a) 및 (b)에 도시하는 TFT 액정 셀(71)측의 트랜스퍼 형성용 L자형 영역(71')]를 보호하기 위한 것이며, 셀 가이드(21)의 개구 내에 배치한 셀(70)의 표면과, 셀 가이드(21)의 표면은 대략 동일 평면 상에 있다.
셀(70)은 흡입 장치 등의 이미 알려진 수단을 이용하여 셀(70)의 이면을 흡착함으로써 패널 유지 수단(20) 상의 소정의 위치에 고정된다. 그리고, 셀(70)은 셀(70)이 셀 가이드(21)의 개구 내에 배치되도록 셀 가이드(21)를 배치함으로써 패널 유지 수단(20)으로 유지된다.
도5에, 셀(70)을 셀 가이드(21)로 유지하였을 때의 셀(70)과 셀 가이드(21)의 부분 단면도를 도시한다. 도5의 (a)는 컬러 필터(72)를 위로 하였을 때의 셀(70)과 셀 가이드(21)의 부분 단면도이고, 도5의 (b)는 TFT 액정 셀(71)을 위로 하였을 때의 셀(70)과 셀 가이드(21)의 부분 단면도이다. 도시한 바와 같이, 셀(70)은 TFT 액정 셀(71)과 컬러 필터(72) 사이에 액정 및 스페이서재(74)가 밀봉되고, 액정 및 스페이서재(74)는 밀봉재(73)에 의해 밀봉된다. 트랜스퍼 형성 영역(71')은 TFT 액정 셀(71)로부터 돌출된 부분에 형성되어 도시한 바와 같이 셀 가이드(21)의 단차 부분에 의해 보호되고, 셀(70)과 셀 가이드(21) 사이에는 클리닝 중인 장치의 진동 등에 의한 셀(70)의 미동에 따른 셀 가이드(21)와의 마찰을 방지하기 위해 간극(22)이 마련되어 있다.
셀 가이드(21)로서, 1매의 플레이트 중앙에 셀(70)의 평면 형상에 대략 일치하는 형상의 개구를 형성한 것(도6을 참조)을 사용해도 좋고, 또한 사각형의 셀(70) 4변에 배치되는 4매의 플레이트(도시하지 않음)를 사용해도 좋다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).
다음에, 헤드 또는 패널 유지 수단을 상하로 이동시켜 패널 유지 수단으로 유지한 셀의 표면에 콘택트 롤러를 거쳐서 연마 테이프를 가압한다.
그리고, 콘택트 롤러를 거쳐서 연마 테이프를 이송하면서 콘택트 롤러의 중앙을 통과하는 축선(이하, 헤드 회전축)에 관하여 헤드를 회전시키고, 콘택트 롤러를 거쳐서 연마 테이프를 셀 표면으로 가압하면서 헤드 또는 패널 유지 수단을 전후 좌우로 이동시키고, 이에 의해 셀 표면의 클리닝이 행해진다.
종래의 클리닝 방법에서는 클리닝 시간의 단축과, 장치의 소형화를 위해, 도6에 도시한 바와 같이 콘택트 롤러(31)의 가압 압력이 셀(70)의 표면 상에 직접 적용되도록 헤드 또는 패널 이동 수단이 상하로 이동되어 콘택트 롤러(31)가 셀(70)의 표면 상에 있는 상태[즉, 헤드 회전축(34)이 셀(70)의 표면 상에 있는 상태]로부터 클리닝이 개시(연마 헤드의 회전과, 헤드 또는 패널 유지 수단의 전후 좌우의 이동을 개시)된다. 그리고, 클리닝 중 헤드가 셀(70)의 표면 상을 파선(35')으로 나타낸 바와 같은 궤도로 사행하도록 헤드 또는 패널 유지 수단이 전후 좌우로 이동되어 헤드 사행 운동의 반복이, 헤드 회전축(34)이 셀(70)의 표면 상에 있는 상태에서 행해진다.
[특허문헌 1]
일본 특허 공개 평11-19859호 공보(단락 0002, 0010, 0011, 도1, 도2, 도4, 도5)
[특허문헌 2]
일본 특허 공개 2001-198753호 공보(단락 0017 내지 0020, 도2)
그러나, 이와 같은 종래의 클리닝 방법에서는 클리닝 개시시에 콘택트 롤러의 가압 압력이 셀의 표면 상에 직접 적용되고, 또한 헤드의 사행 운동의 반복이 셀의 표면 상에서 행해지므로, 하기와 같은 문제가 생긴다.
첫째로, 클리닝 개시시에 셀의 표면 상에 걸리는 콘택트 롤러의 초기적인 가압 압력에 의해, 셀의 패널 사이에 밀봉되어 있는 스페이서재[도5의 (a) 및 (b)에 부호 74로 나타냄]가 눌려 찌부러져 변형되고, 이에 의해 액정 표시 장치를 사용하였을 때에 그 화면이 국소적으로 어두워져 화상이 선명하게 표시되지 않게 되는 문제가 생긴다. 또한, 클리닝 개시시 또는 헤드의 사행 운동의 반복시에 그 패널 표면 상의 부위에 연마 테이프의 줄이나 흠집이 국소적으로 남게 되는 문제도 생긴다.
둘째로, 클리닝 개시시에 콘택트 롤러의 가압 압력이 셀의 표면 상에 직접 적용되었을 때, 셀 가이드와 셀 사이에 단차가 생겨 회전하는 콘택트 롤러가 셀 가이드의 표면 상에 올라 앉을 때에 콘택트 롤러를 거쳐서 이송되고 있는 연마 테이 프가 셀 가이드와 셀 사이의 단차에 걸리고, 이에 의해 연마 테이프가 파손되게 되는 문제가 생긴다. 또한, 이 때에 콘택트 롤러도 손상되는 일이 있다.
셋째로, 셀 가이드와 셀 사이에 간극(약 2 ㎜의 간극)(도5에 부호 22로 나타냄)이 마련되어 있으므로, 헤드의 사행 운동의 반복시에 셀이 헤드에 추종되어 미동하고, 셀의 엣지가 셀 가이드에 충돌하여 셀의 엣지 부분이 손상되는 문제가 생긴다.
넷째로, TFT 액정 셀측의 셀 표면을 클리닝할 때, 클리닝 개시시 또는 헤드의 사행 운동의 반복시에 셀의 트랜스퍼 형성 영역[도5의 (b)에 부호 71'로 나타냄]이 셀 가이드에 가압되어 트랜스퍼 형성 영역이 손상되게 되는 문제가 생긴다.
본 발명은 상기 문제에 비추어 이루어진 것이고, 따라서 로터리식 패널 클리닝 장치를 사용하여 2매의 패널 사이에 액정 및 스페이서재를 밀봉한 셀을 클리닝하는 방법에 있어서, 셀의 패널 사이에 밀봉되어 있는 스페이서재가 변형되고, 클리닝 개시시 또는 헤드의 사행 운동의 반복시에 그 패널 표면 상의 부위에 연마 테이프의 줄이나 흠집이 국소적으로 남아 연마 테이프나 콘택트 롤러가 손상되고, 셀의 엣지 부분이 손상되어, 트랜스퍼 형성 영역이 손상되는 일 없이 셀의 표면 전체를 클리닝할 수 있는 방법을 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
본 발명은, 로터리식 패널 클리닝 장치를 사용하여 패널의 표면을 클리닝하는 방법이다.
본 발명의 방법에 사용되는 로터리식 패널 클리닝 장치는 패널을 유지하기 위한 수단(패널 유지 수단), 하단부에 콘택트 롤러를 배치하여 이 콘택트 롤러를 거쳐서 연마 테이프를 이송하기 위한 수단(테이프 공급 수단)을 갖는 헤드, 콘택트 롤러의 중앙을 통과하는 헤드 회전축에 관하여 헤드를 회전시키기 위한 수단(헤드 회전 수단), 헤드 또는 패널 유지 수단을 상하 방향으로 이동시키기 위한 수단(Z 이동 수단) 및 헤드 또는 패널 유지 수단을 전후 좌우로 이동시키기 위한 수단(XY 이동 수단)으로 구성된다.
본 발명의 방법은, 우선 상기한 로터리식 패널 클리닝 장치의 패널 유지 수단으로 패널을 유지한다.
이 패널 유지 수단은 패널의 평면 형상에 대략 일치하는 형상의 개구를 갖는 셀 가이드를 갖는다. 이 셀 가이드는 패널의 주연부를 보호하기 위한 것이다. 패널을 셀 가이드의 개구 내에 배치하면, 이 패널의 표면과, 셀 가이드의 표면은 대략 동일 평면 상에 있다.
패널은 적절하게 패널의 이면을 이미 알려진 흡입 장치로 흡착함으로써 패널 유지 수단 상의 소정의 위치에 고정된다. 그리고, 이 패널이 셀 가이드의 개구 내에 배치되도록 셀 가이드가 배치되고, 이에 의해 패널이 패널 유지 수단으로 유지된다.
셀 가이드로서, 패널의 두께에 대략 일치하는 두께의 표면이 평탄한 1매의 플레이트 중앙에 패널의 평면 형상에 대략 일치하는 형상의 개구를 형성한 것을 사용해도 좋고, 또한 사각형 패널의 4변에 배치되는 4매의 플레이트를 사용해도 좋다.
다음에, 헤드 회전축이 셀 가이드의 표면 상에 위치하도록 헤드 또는 패널 유지 수단을 위치 결정하고, 헤드 또는 패널 유지 수단을 상하로 이동하여 콘택트 롤러를 거쳐서 연마 테이프를 셀 가이드의 표면 상에 가압한다.
그리고, 콘택트 롤러를 거쳐서 연마 테이프를 이송하면서 헤드 회전축에 관하여 헤드를 회전시키는 동시에, 헤드가 패널의 표면 상을 사행하도록 헤드 또는 패널 유지 수단을 전후 좌우로 이동시킨다. 헤드의 사행 운동의 반복은 헤드 회전축이 셀 가이드의 표면 상에 있을 때에 행해진다.
즉, 본 발명에서는 상기 문제를 해결하기 위해 패널의 클리닝이, 헤드 회전축이 셀 가이드의 표면 상에 있는 상태로부터 개시된다. 또한, 클리닝 중인 헤드의 사행 운동의 반복이, 헤드 회전축이 셀 가이드의 표면 상에 있을 때에 행해진다.
이와 같이 하여 패널의 표면 전체가 클리닝된다.
[발명의 실시 형태]
본 발명의 방법에 따라서, 도5에 도시한 바와 같은 2매의 패널(71, 72) 사이에 액정 및 스페이서재(74)를 밀봉한 셀(70) 등의 패널 표면을 클리닝한다. 본 발명에 따른 패널의 클리닝 방법은 도2 내지 도4에 도시한 바와 같은 이미 알려진 로터리식 패널 클리닝 장치를 사용하여 행해진다.
<로터리식 패널 클리닝 장치>
도2 내지 도4에 도시한 바와 같이, 로터리식 패널 클리닝 장치(10)는 패널(70)을 유지하는 패널 유지 수단(20), 하단부에 대략 원통형의 콘택트 롤러(31)를 배치하여 이 콘택트 롤러(31)를 거쳐서 연마 테이프(T)를 이송하기 위한 테이프 공급 수단을 갖는 헤드(30), 콘택트 롤러(31)의 중앙을 통과하는 축선(도1에 부호 34로 나타내는 헤드 회전축)에 관하여 헤드(30)를 회전시키기 위한 헤드 회전 수단, 헤드(30)를 상하(화살표 Z로 나타내는 방향)로 이동시키기 위한 Z 이동 수단 및 헤드(30)를 전후 좌우(화살표 X 및 Y로 나타내는 방향)로 이동시키기 위한 XY 이동 수단으로 구성된다(예를 들어, 일본 특허 공개 평11-19859호 공보를 참조). 도시한 예에서는 헤드(30)가 상하 및 전후 좌우로 이동되지만, 헤드(30)의 위치를 고정한 상태에서 패널 유지 수단(20)을 상하 및 전후 좌우로 이동시켜도 좋다.
<패널 유지 수단>
도1 내지 도4에 도시한 바와 같이, 패널 유지 수단(20)은 패널(70)의 이면을 흡착하기 위한 흡착 장치(도시하지 않음) 및 패널(70)의 평면 형상에 대략 일치하는 형상의 개구를 갖는 셀 가이드(21)로 구성된다. 패널(70)은 이 패널(70)의 이면을 흡착 장치(도시하지 않음)로 흡착함으로써 패널 유지 수단(20)의 소정 위치에 고정된다. 셀 가이드(21)는 패널(70)이 셀 가이드(21)의 개구 내에 배치되도록 패널 유지 수단(20) 상에 배치된다. 이에 의해, 패널(70)은 패널 유지 수단(20)에 유지된다. 패널(70)의 주연부는 셀 가이드(21)에 의해 보호되고, 도5의 (a), 도5의 (b)에 도시한 바와 같이, 패널(70)과 셀 가이드(21) 사이에는 간극(22)이 마련된다. 셀 가이드(21)의 개구 내에 배치한 패널(70)의 표면과, 셀 가이드(21)의 표면은 대략 동일 평면 상에 있다.
셀 가이드(21)로서, 도시하지 않았지만, 패널(70)의 4변에 배치되는 4매의 플레이트를 사용하여 통기성이 있는 벨트 컨베이어에 의해 패널 유지 수단(20) 상의 소정 위치로 이송한 패널(70)의 이면을 상기한 흡착 장치로 흡착하여, 소정 위치에 흡착한 패널(70)의 전후 좌우를 둘러싸도록 이들 4매의 플레이트로 패널(70)의 4변을 협지하고, 이에 의해 패널(70)을 패널 유지 수단(20)으로 유지시켜도 좋다(예를 들어, 일본 특허 공개 2001-198753 공보를 참조).
<헤드>
헤드(30)는 연마 테이프(T)를 권취한 테이프 롤을 착탈 가능하게 장착하기 위한 롤 장착부(32) 및 롤 장착부(32)의 테이프 롤로부터 이송된 연마 테이프(T)를 권취하기 위한 권취 롤러를 착탈 가능하게 장착하기 위한 테이프 권취부(33)로 구성되는 테이프 공급 수단을 갖는다. 헤드(30)에는, 또한 그 하단부에 콘택트 롤러(31)가 배치되고, 이 콘택트 롤러(31)를 거쳐서 롤 장착부(32)의 테이프 롤로부터 송출된 연마 테이프(T)가 패널 유지 수단(20)으로 유지한 패널(70)의 표면에 가압된다.
<헤드 회전 수단>
헤드(30)는 후술하는 Z 이동 수단의 Z 이동대(40)에 부착한 스핀들(43)의 바로 아래에 연결된다. 스핀들(43)은 Z 이동대(40)에 부착한 모터(44)에 벨트를 거쳐서 연결되어 있고, 모터(44)를 구동함으로써 스핀들(43)이 회전하고, 이에 의해 헤드(30)가 콘택트 롤러의 중앙을 통과하는 축선[도1에 도시하는 헤드 회전축(34)]에 관하여 회전한다. 여기서, Z 이동대(40)의 상방은 개방되어 있고, 헤드(30)의 테이프 권취부(33)의 권취 롤러를 회전시키기 위한 모터(도시하지 않음)에 이 Z 이동대(40)의 상방으로부터 스핀들(43) 중공의 회전축(도시하지 않음)을 통해 전력이 공급된다.
<Z 이동 수단>
Z 이동대(40)는 상하(화살표 Z의 방향)로 관통하는 X 이동대(50)의 중공부 내에 레일(41)을 거쳐서 상하 이동 가능하게 배치된다.
X 이동대(50)의 후방으로부터 돌출된 선반에는 외부의 급기 수단(도시하지 않음)에 연결되는 피스톤 실린더(42)가 고정되어 있고, 이 피스톤 실린더(42)는 X 이동대(50)의 후방에 설치된 상하로 긴 슬릿(51)을 통해 X 이동대(50)의 중공부 내에 배치된 Z 이동대(40)에 연결되어 피스톤 실린더(42)를 구동함으로써 Z 이동대(40)가 상하(화살표 Z의 방향)로 이동한다.
<XY 이동 수단>
X 이동대(50)는 좌우(화살표 X의 방향)에 긴 개구(61)를 갖는 Y 이동대(60)의 개구(61) 내에 좌우(화살표 X의 방향)로 이동 가능하게 배치된다. 이 Y 이동대(60)에는 개구(61)의 전후측에 각각 좌우로 신장되는 레일(62)이 부착되어 있고, Z 이동대(40)는 이들 레일(62)을 거쳐서 Y 이동대(60) 상에 배치된다. X 이동대(50)는 Y 이동대(60) 상에 설치된 볼 나사 수단(63)에 의해 좌우 방향으로 이동된다.
Y 이동대(60)는 하우징(H)의 좌우 벽에 각각 설치된 선반(64, 65) 상에 전후(화살표 Y의 방향)로 이동 가능하게 배치된다. 이들 선반(64, 65)에는 각각 전후로 신장되는 레일(66)이 부착되어 있고, Y 이동대(60)는 이들 레일(66)을 거쳐서 선반(64, 65) 상에 배치된다. Y 이동대(60)는 선반(65) 상에 설치된 볼 나사 수단(67)에 의해 전후로 이동된다.
<패널 클리닝>
본 발명에 따라서, 로터리식 패널 클리닝 장치(10)를 사용하여 패널의 표면을 클리닝한다. 대표적으로, 도5에 도시한 바와 같은 셀(70)의 표면을 클리닝한다.
우선, 셀(70)의 이면을 흡착 장치(도시하지 않음)로 흡착하여 셀(70)을 소정 위치에 고정하고, 셀(70)이 셀 가이드(21)의 개구 내에 배치되도록 셀 가이드(21)를 배치함으로써 셀(70)을 패널 유지 수단(20)으로 유지한다.
볼 나사 수단(63, 67)을 구동하여 헤드 회전축(34)이 셀 가이드(21)의 표면 상에 위치하도록 헤드(30)를 위치 결정하고, 피스톤 실린더(42)를 구동하여 헤드(30)를 하강하고, 콘택트 헤드(31)를 거쳐서 연마 테이프(T)를 셀 가이드(21)의 표면 상에 가압한다. 그리고, 연마 테이프(T)를 테이프 권취부(33)의 권취 롤러에 권취시키면서, 모터(44)를 구동하여 헤드(30)를 회전시키면서, 볼 나사 수단(63, 67)을 구동하여 도1에 파선으로 나타내는 헤드 회전축(34)의 궤도(35)에 따라서 헤드(30)를 사행시켜 셀(70)의 표면 전체를 클리닝한다. 클리닝 중인 헤드(30)의 사행 운동의 반복은 헤드 회전축(34)이 셀 가이드(21)의 표면 상에 있을 때에 행해진다.
본 발명의 패널 클리닝 방법이 이상과 같이 구성되므로, 이하와 같은 효과를 발휘한다.
헤드 회전축이 셀 가이드의 표면 상에 있는 상태로부터 개시되어 클리닝 중인 헤드의 사행 운동의 반복이, 헤드 회전축이 셀 가이드의 표면 상에 있을 때에 행해지므로, 로터리식 패널 클리닝 장치를 사용하여 셀의 패널 사이에 밀봉되어 있는 스페이서재가 변형되고, 클리닝 개시시 또는 헤드의 사행 운동의 반복시에 그 패널 표면 상의 부위에 연마 테이프의 줄이나 흠집이 국소적으로 남아 연마 테이프나 콘택트 롤러가 손상되고, 셀의 엣지 부분이 손상되어, 트랜스퍼 형성 영역이 손상되는 일 없이 셀의 표면 전체를 클리닝할 수 있다는 효과를 발휘한다.

Claims (1)

  1. 로터리식 패널 클리닝 장치를 사용하여 패널의 표면을 클리닝하기 위한 방법이며,
    상기 로터리식 패널 클리닝 장치가,
    패널의 평면 형상에 대략 일치하는 형상의 개구를 갖는 셀 가이드를 갖는 패널 유지 수단과,
    하단부에 콘택트 롤러를 배치하고, 이 콘택트 롤러를 거쳐서 연마 테이프를 이송하기 위한 테이프 공급 수단을 갖는 헤드와,
    상기 콘택트 롤러의 중앙을 통과하는 헤드 회전축에 관하여 상기 헤드를 회전시키기 위한 헤드 회전 수단과,
    상기 헤드 또는 패널 유지 수단을 상하로 이동시키기 위한 Z 이동 수단 및 상기 헤드 또는 상기 패널 유지 수단을 전후 좌우로 이동시키기 위한 XY 이동 수단으로 이루어지고,
    상기 방법이,
    패널을 상기 셀 가이드의 개구 내에 배치하여 패널을 상기 패널 유지 수단으로 유지시키는 공정과,
    상기 헤드 회전축이 상기 셀 가이드의 표면 상에 위치하도록 상기 헤드 또는 상기 패널 유지 수단을 위치 결정하고, 상기 헤드 또는 상기 패널 유지 수단을 상하로 이동하여 상기 콘택트 롤러를 거쳐서 상기 연마 테이프를 상기 셀 가이드의 표면 상에 가압하는 공정 및
    상기 콘택트 롤러를 거쳐서 상기 연마 테이프를 이송하면서 상기 헤드 회전축에 관하여 상기 헤드를 회전시키는 동시에, 상기 헤드가 상기 패널의 표면 상을 사행하도록 상기 헤드 또는 상기 패널 유지 수단을 전후 좌우로 이동시키는 공정으로 이루어지고,
    패널의 클리닝이, 상기 헤드 회전축이 상기 셀 가이드의 표면 상에 있는 상태로부터 개시되고,
    상기 헤드의 사행 운동의 반복이, 상기 헤드 회전축이 상기 셀 가이드의 표면 상에 있을 때에 행해지는 것을 특징으로 하는 패널 클리닝 방법.
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