KR100665296B1 - 취성재료 기판의 스크라이버, 취성재료 기판의 가공기,취성재료 기판 연마장치 및 취성재료 기판의절단시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 취성재료 기판이 재치되는 테이블(table)과,상기 테이블 상에 재치된 상기 취성재료 기판의 표면(表面) 및 이면(裏面)을 각각 스크라이브(scribe) 하기 위하여, 상기 테이블의 측방(側方)에 있어서 상기 취성재료 기판의 상방(上方) 및 하방(下方)에 위치하도록 각각 설치되는 제1스크라이브 수단 및 제2스크라이브 수단을 구비하는 절단시스템에 있어서,상기 테이블의 상면(上面)에는, 재치되는 상기 취성재료 기판을 소정 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지하는 복수의 롤러(roller)가 설치되어 있고,상기 테이블에 재치된 그 취성재료 기판의 일단(一端)을 파지(把持)하여 그 취성재료 기판의 스크라이브 예정라인(predetermined scribing line)이 그 제1스크라이브 수단 및 제2스크라이브 수단의 각각 대응하는 위치로 이동하도록, 상기 테이블 상에 재치된 상기 취성재료 기판을 상기 소정 방향을 따라 슬라이드 시키는 파지반송수단(把持搬送手段)을 구비하고,그 제1스크라이브 수단 및 제2스크라이브 수단은, 그 파지반송수단에 의하여 그 스크라이브 예정라인이 그 제1 및 제2스크라이브 수단의 각각 대응하는 소정의 위치로 이동하도록 반송된 그 취성재료 기판을, 상기 파지반송수단에 의하여 파지된 상태 및 상기 테이블 상에 재치된 상태로 상기 스크라이브 예정라인을 따라 스크라이브 하는 것을 특징으로 하는 절단시스템.
- 취성재료 기판을 가공하여 더 작은 기판으로 절단하기 위한 적어도 1개의 스크라이브 수단과,상기 취성재료 기판을 재치하는 테이블을 구비하는 절단시스템으로서,상기 스크라이브 수단이,그 테이블의 양측에 설치되는 한 쌍의 지주(支柱)와, 그 테이블을 넘도록 설치되고 또한 양쪽 지주에 설치되는 가이드 바(guide bar)와, 그 가이드 바에 슬라이드(slide) 가능하게 설치되는 스크라이브부(scribe 部)를 구비하고,상기 각 지주가, 각각 상기 가이드 바와 직교하는 방향으로 슬라이드 가능하게 되어 있고,상기 각 지주의 슬라이드 위치를 제어하는 위치제어수단(位置制御手段)이 각각 설치되어 있고,일방(一方)의 위치제어수단의 위치제어신호에 의거하여 타방(他方)의 위치제어수단이 제어되도록 하는 것을 특징으로 하는 절단시스템.
- 제1항에 있어서,상기 스크라이버에 의하여 절단된 취성재료 기판의 끝면을 연마(硏磨)하기 위한 취성재료 기판 연마장치(脆性材料 基板 硏磨裝置)를 더 구비하고,이 취성재료 기판 연마장치는,상기 취성재료 기판을 재치하는 한 쌍의 테이블과,그 테이블에 재치된 그 취성재료 기판의 변 가장자리의 상하의 엣지 (edge)를 연마하는 연마기(硏磨機)와,상기 변 가장자리와 평행하게 상기 연마기를 이동시키는 연마이동기구(硏磨移動機構)와,상기 한 쌍의 테이블이 상기 취성재료의 서로 대향(對向)하는 한 쌍의 변 가장자리와 평행하게 설치되어 각각의 테이블의 간격이 그 취성재료 기판의 사이즈(size)에 따라 조정되는 조정수단(調整手段)을 구비하는 것을 특징으로 하는 절단시스템.
- 제2항에 있어서,상기 스크라이버에 의하여 절단된 취성재료 기판의 끝면을 연마(硏磨)하기 위한 취성재료 기판 연마장치(脆性材料 基板 硏磨裝置)를 더 구비하고,이 취성재료 기판 연마장치는,상기 취성재료 기판을 재치하는 한 쌍의 테이블과,그 테이블에 재치된 그 취성재료 기판의 변 가장자리의 상하의 엣지(edge)를 연마하는 연마기(硏磨機)와,상기 변 가장자리와 평행하게 상기 연마기를 이동시키는 연마이동기구(硏磨移動機構)와,상기 한 쌍의 테이블이 상기 취성재료의 서로 대향(對向)하는 한 쌍의 변 가장자리와 평행하게 설치되어 각각의 테이블의 간격이 그 취성재 료 기판의 사이즈(size)에 따라 조정되는 조정수단(調整手段)을 구비하는 것을 특징으로 하는 절단시스템.
- 적어도 1대의 제1취성재료 기판의 스크라이버와 적어도 1대의 제2취성재료 기판의 스크라이버를 구비하는 취성재료 기판의 절단시스템으로서,그 제1취성재료 기판의 스크라이버는,제1취성재료 기판이 재치되는 제1테이블과,상기 제1테이블 상에 재치된 상기 제1취성재료 기판의 표면 및 이면을 각각 스크라이브 하기 위하여, 상기 제1테이블의 측방에 있어서 상기 취성재료 기판의 상방 및 하방에 위치하도록 각각 설치되는 제1 및 제2스크라이브 수단과,상기 제1테이블에 재치된 상기 제1취성재료 기판의 일단을 파지하는 제1파지반송수단을 구비하고 있고,상기 제1테이블의 상면에는, 재치되는 상기 취성재료 기판을 소정 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지하는 복수의 제1롤러가 설치되어 있고,그 제1파지반송수단은, 상기 제1테이블 상의 상기 제1취성재료 기판을 파지하여 그 제1취성재료 기판 상의 제1스크라이브 예정라인이 그 제1 및 그 제2스크라이브 수단에 대응하는 위치로 이동하도록, 상기 제1테이블 상에 재치된 그 제1취성재료 기판을 상기 소정 방향을 따라 슬라이드 시키고,그 제1 및 제2스크라이브 수단은, 상기 제1파지반송수단에 의하여 그 제1스크라이브 예정라인이 그 제1 및 제2스크라이브 수단의 각각에 대응하는 위치로 이동하도록 반송된 그 제1취성재료 기판을, 상기 제1파지반송수단에 의하여 파지된 상태 및 상기 제1테이블 상에 재치된 상태로 상기 제1스크라이브 예정라인을 따라 스크라이브 하여 그 제1취성재료 기판으로부터 그 제2취성재료 기판을 절단하고,그 제2취성재료 기판의 스크라이버는,그 제1취성재료 기판의 스크라이버에 의하여 절단되는 그 제2취성재료 기판이 재치되는 제2테이블과,상기 제2테이블 상에 재치된 상기 제2취성재료 기판의 표면 및 이면을 각각 스크라이브 하기 위하여, 상기 제2테이블의 측방에 있어서 상기 취성재료 기판의 상방 및 하방에 위치하도록 각각 설치되는 제3 및 제4스크라이브 수단과,상기 제2테이블에 재치된 상기 제2취성재료 기판의 일단을 파지하는 제2파지반송수단을 구비하고 있고,상기 제2테이블의 상면에는, 재치되는 상기 취성재료 기판을 소정 방향으로 슬라이드 가능하도록 지지하는 복수의 제2롤러가 설치되어 있고,그 제2파지반송수단은, 상기 제2테이블 상의 상기 제2취성재료 기판을 파지하여 그 제2취성재료 기판 상의 제1스크라이브 예정라인과 교차하는 제2스크라이브 예정라인이 그 제3 및 그 제4스크라이브 수단에 대응하는 위치로 이동하도록, 상기 제2테이블 상에 재치된 그 제2취성재료 기판을 상기 제2테이블의 상기 소정 방향을 따라 슬라이드 시키고,그 제3 및 제4스크라이브 수단은, 상기 제2파지반송수단에 의하여 그 제2스크라이브 예정라인이 그 제3 및 제4스크라이브 수단의 각각에 대응하는 위치로 이동하도록 반송된 그 제2취성재료 기판을, 상기 제2파지반송수단에 의하여 파지된 상태 및 상기 제2테이블 상에 재치된 상태로 상기 제2스크라이브 예정라인을 따라 스크라이브 하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판의 절단시스템.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 스크라이브 수단은, 커터 휠 팁(cutter wheel tip)인 것을 특징으로 하는 취성재료 기판의 절단시스템.
- 제6항에 있어서,상기 커터 휠 팁은, 디스크(disk) 모양의 휠(wheel)의 능선부(稜線部)에 칼날이 형성되고, 그 능선부에 소정의 피치(pitch)로 복수의 홈부가 형성되는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판의 절단시스템.
- 제6항에 있어서,상기 커터 휠 팁은, 글래스 기판(glass 基板)에 대하여 진동(振動)되어 글래스 기판에 대한 압력이 주기적(週期的)으로 변동되는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판의 절단시스템.
- 제6항에 있어서,상기 커터 휠 팁은, 서보 모터(servo motor)에 의하여 승강(昇降)되는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판의 절단시스템.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 스크라이브 수단은, 스크라이브 라인과 스크라이브 예정라인과의 어긋남을 해소하여 스크라이브 예정라인을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판의 절단시스템.
- 제1항에 있어서,상기 테이블의 상면에는, 상기 파지반송수단에 있어서 상기 취성재료 기판을 포착하는 포착기가 진입할 수 있는 포착기 안내 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 절단시스템.
- 제5항에 있어서,상기 각각의 테이블의 상면에는, 상기 각각의 파지반송수단에 있어서 상기 각각의 취성재료 기판을 포착하는 각각의 포착기가 진입할 수 있는 포착기 안내 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판의 절단시스템.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002008054 | 2002-01-16 | ||
JPJP-P-2002-00008054 | 2002-01-16 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020047011049A Division KR100624344B1 (ko) | 2002-01-16 | 2003-01-15 | 취성재료 기판의 스크라이버, 취성재료 기판의가공기, 취성재료 기판 연마장치 및 취성재료 기판의절단시스템 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060028751A KR20060028751A (ko) | 2006-03-31 |
KR100665296B1 true KR100665296B1 (ko) | 2007-01-04 |
Family
ID=27764228
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020067005157A KR100665296B1 (ko) | 2002-01-16 | 2003-01-15 | 취성재료 기판의 스크라이버, 취성재료 기판의 가공기,취성재료 기판 연마장치 및 취성재료 기판의절단시스템 |
KR1020047011049A KR100624344B1 (ko) | 2002-01-16 | 2003-01-15 | 취성재료 기판의 스크라이버, 취성재료 기판의가공기, 취성재료 기판 연마장치 및 취성재료 기판의절단시스템 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020047011049A KR100624344B1 (ko) | 2002-01-16 | 2003-01-15 | 취성재료 기판의 스크라이버, 취성재료 기판의가공기, 취성재료 기판 연마장치 및 취성재료 기판의절단시스템 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1475357B1 (ko) |
JP (1) | JP4084753B2 (ko) |
KR (2) | KR100665296B1 (ko) |
CN (3) | CN101439927B (ko) |
AU (1) | AU2003201897A1 (ko) |
TW (1) | TWI248392B (ko) |
WO (1) | WO2003072516A1 (ko) |
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JP2000167745A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-20 | Toshiya Fujii | インデックステ―ブル |
JP2000210901A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-08-02 | Ryobi Ltd | 切断機の回転テ―ブルの位置決め機構 |
JP2000264657A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-26 | Mitsuboshi Diamond Kogyo Kk | ガラススクライバー |
US7131562B2 (en) * | 2001-01-17 | 2006-11-07 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Scribing and breaking apparatus, system therefor, and scribing and breaking method |
-
2003
- 2003-01-15 JP JP2003571226A patent/JP4084753B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-15 KR KR1020067005157A patent/KR100665296B1/ko active IP Right Grant
- 2003-01-15 KR KR1020047011049A patent/KR100624344B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-01-15 AU AU2003201897A patent/AU2003201897A1/en not_active Abandoned
- 2003-01-15 EP EP03700588A patent/EP1475357B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-15 CN CN2008102150900A patent/CN101439927B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-15 CN CN2010102944122A patent/CN101967039B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-15 WO PCT/JP2003/000296 patent/WO2003072516A1/ja active Application Filing
- 2003-01-15 CN CNA038062089A patent/CN1649799A/zh active Pending
- 2003-01-16 TW TW092100864A patent/TWI248392B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1475357B1 (en) | 2012-05-23 |
TWI248392B (en) | 2006-02-01 |
TW200302154A (en) | 2003-08-01 |
KR20040078669A (ko) | 2004-09-10 |
CN101439927B (zh) | 2011-03-02 |
EP1475357A1 (en) | 2004-11-10 |
EP1475357A4 (en) | 2010-04-14 |
AU2003201897A1 (en) | 2003-09-09 |
CN101967039B (zh) | 2013-05-08 |
KR20060028751A (ko) | 2006-03-31 |
JP4084753B2 (ja) | 2008-04-30 |
CN1649799A (zh) | 2005-08-03 |
CN101439927A (zh) | 2009-05-27 |
JPWO2003072516A1 (ja) | 2005-06-16 |
WO2003072516A1 (fr) | 2003-09-04 |
CN101967039A (zh) | 2011-02-09 |
KR100624344B1 (ko) | 2006-09-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121113 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131218 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141205 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151201 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161129 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181129 Year of fee payment: 13 |