KR100663905B1 - 연마용 슬러리 및 이의 제조 방법 및 기판 연마 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
분산제 투입시기 | dD50(nm) | dD15(nm) | |
실시예1 | 밀링 공정 전(Premixing) | 8 | 15 |
실시예2 | 밀링 공정 전 및 밀링 공정 중 (Premixing and During Milling) | 3 | 5 |
실시예3 | 밀링 공정 중(During Milling) | 25 | 51 |
비교예1 | 밀링 공정 후(After Milling) | 152 | 290 |
구분 | dD50 | 산화막 연마 속도(Å/min) | 질화막 연마 속도(Å/min) | 산화막:질화막 연마비 (선택비) | WIWNU(%) | 산화막 잔류 입자(>0.20㎛,#) | 스크래치(#) |
실시예1 | 8 | 2471 | 50 | 49.4 | 1.0 | 60 | 1 |
실시예2 | 3 | 2482 | 50 | 49.6 | 1.0 | 50 | 0 |
실시예3 | 25 | 2462 | 49 | 50.2 | 1.0 | 130 | 2 |
비교예1 | 157 | 2521 | 50 | 50.4 | 1.0 | 680 | 10 |
Claims (13)
- 세리아 연마 입자, 초순수 및 분산제를 포함하는 연마용 슬러리에 있어서,상기 분산제 투입 시기 조절로 상기 연마 입자의 응집을 최소화하며, 상기 연마 입자를 강제 분산시키기 전의 입도 크기 값과 상기 연마 입자를 강제 분산시킨 후의 입도 크기 값의 차이인 강제 분산 처리 전후의 연마 입자의 입도 크기 변화량이 -30 내지 30㎚인 연마용 슬러리.
- 제 1 항에 있어서,상기 연마 입자의 입도 크기 변화량이 -10 내지 10nm인 연마용 슬러리.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 분산제는 음이온계 고분자 화합물을 사용하되, 상기 음이온계 고분자 화합물로 폴리메타크릴산, 폴리아크릴산, 암모늄 폴리메타크릴레이트, 암모늄 폴리카르복실네이트, 및 카르복실-아크릴 폴리머 중 적어도 어느 하나를 사용하는 연마용 슬러리.
- 삭제
- 원료 분말, 초순수 및 분산제를 마련하는 단계;상기 초순수에 상기 분산제를 투입 혼합하는 단계;상기 분산제가 투입된 초순수에 상기 원료분말을 혼합하는 단계; 및상기 원료 분말, 초순수 및 분산제가 혼합된 혼합물을 밀링하는 단계를 포함하는 연마용 슬러리의 제조 방법.
- 원료 분말, 초순수 및 분산제를 마련하는 단계;상기 초순수에 상기 원료분말을 투입하는 단계;상기 원료분말이 투입된 초순수에 상기 분산제를 혼합하는 단계; 및상기 원료 분말, 초순수 및 분산제가 혼합된 혼합물을 밀링하는 단계를 포함하는 연마용 슬러리의 제조 방법.
- 원료 분말, 초순수 및 분산제를 마련하는 단계;상기 초순수에 상기 분산제 및 상기 원료분말을 투입하여 혼합하는 단계;상기 원료 분말, 초순수 및 분산제가 혼합된 혼합물을 밀링하는 단계를 포함하는 연마용 슬러리의 제조 방법.
- 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 원료 분말, 초순수 및 분산제가 혼합된 혼합물을 밀링하는 단계시,적어도 한 번 이상 상기 분산제를 더 첨가하는 연마용 슬러리의 제조 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 분산제는 상기 원료 분말을 기준으로 0.0001 내지 10wt% 범위 내로 첨가하되,상기 초순수에 첨가되는 상기 분산제는 전체 분산제 양의 50%이상 100%미만이고, 상기 혼합물을 밀링하는 단계시 첨가되는 상기 분산제는 전체 분산제 양의 50%이하로 조절하는 연마용 슬러리의 제조 방법.
- 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 원료 분말, 초순수 및 분산제가 혼합된 혼합물을 밀링하는 단계후에,상기 혼합물에 슬러리의 pH를 조절하기 위해 약산 및 약염기등의 첨가제를 첨가하는 단계; 및거대 입자 제거를 위한 필터링 공정을 실시하는 단계;를 더 포함하는 연마용 슬러리의 제조 방법.
- 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 분산제는 음이온계 고분자 화합물을 사용하되, 상기 음이온계 고분자 화합물로 폴리메타크릴산, 폴리아크릴산, 암모늄 폴리메타크릴레이트, 암모늄 폴리카르복실네이트, 및 카르복실-아크릴 폴리머 중 적어도 어느 하나를 사용하는 연마용 슬러리의 제조 방법.
- 세리아 연마 입자, 초순수 및 분산제를 포함하되, 상기 분산제 투입 시기 조절로 상기 연마 입자의 응집을 최소화하며, 상기 연마 입자를 강제 분산시키기 전의 입도 크기 값과 상기 연마 입자를 강제 분산시킨 후의 입도 크기 값의 차이인 강제 분산 처리 전후의 연마 입자의 입도 크기 변화량이 -30 내지 30㎚인 연마용 슬러리를 사용하여 소정의 기판을 연마하는 기판의 연마 방법.
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