KR100663287B1 - 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 투명성 절연기판 상에 투명 금속막을 증착하는 단계;상기 투명 금속막을 패터닝하여 카운터 전극을 형성하는 단계;상기 카운터 전극이 형성된 기판 결과물 상에 소오스/드레인용 금속막과 n+ a-Si막을 차례로 증착하는 단계;상기 n+ a-Si막 및 소오스/드레인용 금속막을 패터닝하여 오믹 콘택층과 소오스/드레인 전극 및 데이터 라인을 형성하는 단계;상기 오믹 콘택층과 소오스/드레인 전극 및 데이터 라인이 형성된 기판 결과물 상에 a-Si막, SiNX막 및 게이트용 금속막을 차례로 증착하는 단계;상기 게이트용 금속막과 SiNX막 및 a-Si막을 패터닝하여 반도체층, 게이트 절연막, 게이트 전극을 포함한 게이트 라인 및 공통전극라인을 형성해서 스태거형 박막 트랜지스터를 구성하는 단계;상기 스태거형 박막 트랜지스터가 구성된 기판 결과물 상에 보호막을 증착하는 단계;상기 보호막을 패터닝하여 상기 게이트 라인 또는 공통전극라인을 노출시키는 비아홀을 형성하는 단계; 및상기 비아홀이 형성된 보호막 상에 투명 금속막을 증착하는 단계; 및상기 투명 금속막을 패터닝하여 비아홀을 통해 게이트 라인 또는 공통전극라인과 콘택되는 화소 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 소오스/드레인용 금속막은 Mo막 또는 MoW막인 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 소오스/드레인용 금속막은 상하 버퍼층으로서 Mo막 또는 Ti막을 갖는 Al막인 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 게이트용 금속막은 Mo막, MoW막 및 Mo막과 Al막의 적층막 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 게이트 절연막을 형성하기 위한 SiNX막의 패터닝시, 화소 영역에 증착된 SiNX막을 제거하는 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
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KR1020000036487A KR100663287B1 (ko) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101385744B1 (ko) | 2007-12-27 | 2014-04-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판 |
-
2000
- 2000-06-29 KR KR1020000036487A patent/KR100663287B1/ko active IP Right Grant
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KR101385744B1 (ko) | 2007-12-27 | 2014-04-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판 |
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