KR100663195B1

KR100663195B1 - 광학식 현미경의 편광필터구동장치

Info

Publication number: KR100663195B1
Application number: KR1020060037395A
Authority: KR
Inventors: 최성표
Original assignee: (주) 랩시스템
Priority date: 2006-04-25
Filing date: 2006-04-25
Publication date: 2007-01-05

Abstract

본 발명은 편광필터를 원격으로 제어할 수 있는 편광필터구동장치에 관한 것으로서, 상세하세는 상기 편광렌즈를 회전시키는 레버를 전기적신호에 의해 제어함에 따라 사용자가 수작업으로 상기 레버를 조절하지 않고, 이격된 거리에서 조작패널을 조작하여 상기 레버를 제어하여 편광렌즈를 조절할 수 있는 광학식 현미경의 편광필터구동장치에 관한 것이다.

본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 본 발명의 편광필터구동장치는, 접안렌즈에 입사되는 광의 방향을 조절하는 편광필터와; 상기 편광필터에 회전력을 발생시키는 모터와; 상기 모터를 구동제어하여 상기 편광필터를 원격제어하는 컨트롤패널을 포함하는 것을 특징으로 한다.

편광필터, 광학식 현미경, 스텝핑모터, 원격제어

Description

광학식 현미경의 편광필터구동장치{Polarized Light Filter Driving Apparatus for Optical science microscope}

도 1은 편광필터가 구비된 일반적인 현미경을 도시한 사시도,

도 2는 일반적인 현미경에서의 광전달흐름을 나타낸 설명도,

도 3a는 종래의 편광필터를 나타낸 사시도,

도 3b는 종래의 편광필터에서 조절레버와 편광렌즈의 연결상태를 나타낸 간략도,

도 4는 본 발명에 따른 광학식 현미경의 편광필터구동장치를 나타낸 사시도,

도 5는 본 발명에 따른 광학식 현미경의 편광필터구동장치를 나타낸 단면도,

도 6은 본 발명에 따른 광학식 현미경의 편광필터구동장치를 나타낸 블럭도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 현미경 2 : 촬영대상물

11 : 접안렌즈 12 : 대물렌즈

13 : 조명부 14 : 컨트롤패널

15 : 스테이지 16 : 편광필터

161 : 조절레버 162 : 하우징

163 : 편광렌즈 164 : 벨트

165 : 미끄럼방지용띠 17 : 경통

17a : 조명연결통 17b : 렌즈연결통

17c : 반사경 18 : 반사형 편광필터

20 : 필터구동장치 201 : 하우징

202 : 개구부 203 : 모터

204 : 회전롤러 205 : 관통부

일반적으로 편광필터는 입사되는 광의 방향성을 조절하므로 투과된 광이 산란되지 않고 직선방향으로 조사될 수 있도록 광의 직진성을 부여하는 기구이다. 이러한 편광필터는 현미경등에서 광의 반사나 산란을 방지하고자 투과되는 광이 직선방향으로 진행될 수 있도록 하므로 현미경을 통해서 대상물의 확대된 부분을 확인시에 접안렌즈에 입사되는 광이 굴절 및 산란등에 의한 잔상등 선명하지 못함을 방 지하는 역할을 한다.

따라서 하기에서는 반도체제조 및 검사를 위한 현미경에 적용된 편광필터를 일예로서 종래의 편광필터를 설명하며 이는 하기에 도시된 도 1 내지 도 3b와 같다.

도 1은 편광필터가 구비된 일반적인 현미경을 도시한 사시도, 도 2는 일반적인 현미경에서의 광전달흐름을 나타낸 설명도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 반도체 제조 및 검사장치로서 적용된 현미경은 사용자가 눈을 접착시켜 대상물(2)을 확대 및 이를 사용자의 시야에 확보되도록 하는 접안렌즈(11) 및 대물렌즈(12)와, 대상물(2)에서 반사되거나 투과된 광을 전달하는 경통(17)과, 광을 발광하는 조명부(13)와, 상기 조명부(13)에서 발광된 광을 하측으로 반사시키는 반사 상기 대물렌즈(12)의 하측에서 위치되어 상기 대상물(2)이 안착되는 투명재질의 스테이지(15)와, 상기 스테이지(15) 및 현미경내의 전원등을 조작하는 컨트롤패널(14)과, 상기 대상물(2)에서 반사된 광의 방향을 조절하는 편광필터(16)를 포함한다.

상기 컨트롤패널(14)은 다수개의 조작스위치를 포함하여 각 스위치에서 출력되는 제어신호에 따라 상기 조명부(13)의 구동스위치 및 상기 접안렌즈(11)와 대물렌즈(12)의 이동을 제어하고 기타 현미경내의 디스플레이나 상기 접안렌즈(11)와 대물렌즈(12)가 포함되는 장치등을 전후좌우방향으로 이동시킨다.

상기 조명부(13)는 상기 컨트롤패널(14)의 제어에 의해 발광되어 소정의 광을 발광시키고, 상기 접안 및 대물렌즈(12)는 각각 고배율의 렌즈를 구비하여 상기 조명부(13)에서 발광된 광의 반사 및 투과에 의한 상기 스테이지(15)에 안착된 대상물(2)을 확대하고, 상기 스테이지(15)는 전면이 투명재질로 형성되어 상기 대물렌즈(12)의 하측에서 상기 대상물(2)이 안착된다.

상기 경통(17)은 상기 접안렌즈(11)와 대물렌즈(12) 및 조명부(13)의 광전달경로를 제공하는 것으로 접안렌즈(11)와 대물렌즈(12)를 연결하는 렌즈연결통(17b)과, 상기 렌즈연결통(17b)과 상기 조명부(13)에 연결되어 상기 조명부(13)에서 발광되는 광을 상기 렌즈연결통(17b)에 전달하는 조명연결통(17a)과, 상기 조명연결통(17a)에서 전달되는 광을 반사시켜 하측의 대물렌즈(12)에 전달하고, 상기 대물렌즈(12)를 통해 입사되는 광을 상기 접안렌즈(11)전달하는 반사경(17c)을 포함한다.

또한 상기 편광필터(16)는 상기 렌즈연결통(17b)에서 상기 반사경(17c)의 하측에 설치되는 반사형 편광필터(16)와 상기 스테이지(15)의 하측에서 설치되는 투과형 편광필터(16)를 포함한다. 상기 반사형 편광필터(16)는 상기 반사경(17c)을 통해 대물렌즈(12)에 입사되는 광이 상기 스테이지(15)의 상면에 위치된 대상물(2)의 표면에서 반사된 광이 입사된다. 이때 상기 반사형 편광필터(16)는 상기 대상물(2)의 표면에서 반사된 광을 일정방향으로 진행될 수 있도록 광의 방향을 조절하게 된다. 또한 상기 투과형 편광필터(16)는 상기 대상물(2)을 투과한 광을 반사시켜 상기 대물렌즈(12)를 통해 상기 렌즈경통(17)으로 진행되도록 광의 방향을 조절한다.

이와 같은 반사형 편광필터(16)와 투과형 편광필터(18)의 구조는 하기의 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같으며, 반사형과 투과형에서 그 기구적구성은 동일함에 따라 하기에서는 상기 반사형 편광필터(16)를 이용하여 설명한다.

도 3a는 종래의 편광필터를 나타낸 사시도, 도 3b는 종래의 편광필터에서 레버와 렌즈의 연결상태를 나타낸 간략도이다.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 종래의 편광필터(16)는 하우징(162)과, 상기 하우징(162)에서 관통된 내측에 안착된 편광렌즈(163)와, 상기 편광렌즈(163)를 회전조절하는 조절레버(161)와, 상기 조절레버(161)의 하측에서 상기 편광렌즈(163)의 외주면에 연결되는 벨트(164)를 포함한다.

상기 하우징(162)은, 도시된 바에 의하면, 상면을 이루어 일방향으로 연장형성되며, 일측 상면에서 상기 조절레버(161)가 위치되고, 타측상면에서 관통형성되어 상기 편광렌즈(163)가 안착된다.

상기 조절레버(161)는 상기 하우징(162)의 상면에 돌출되는 상측(놉)에서 발생된 회전력이 상기 벨트(164)가 외주면에 밀착체결되는 하측에 전달되어 회전됨에 따라 상기 벨트(164)를 회전시킨다.

상기 편광렌즈(163)는 상기 하우징(162)에서 관통형성된 개구부(202)에 안착되어 상기 벨트(164)가 외주면에 밀착체결되므로 상기 벨트(164)의 회전시에 연동되어 회전된다.

상기와 같은 종래의 편광필터(16)는 하기와 같은 작용관계를 갖고 구동되며, 이는 도 1 및 도 2의 현미경을 이용하여 설명한다.

사용자가 스테이지(15)의 상면에 대상물(2)을 안착시키고, 상기 컨트롤패 널(14)을 조작하여 대물렌즈(12)가 상기 대상물(2)의 직상방에 놓을수 있도록 상기 대물렌즈(12)와 접안렌즈(11)를 포함하는 장치적구성의 위치를 조절함과 동시에 상기 조명부(13)를 온시킨다.

따라서 상기 조명부(13)에서 발광된 광은 상기 조명연결통(17a)을 통해 상기 반사경(17c)에 입사된다. 그리고 상기 반사경(17c)은 이를 반사시켜 상기 대물렌즈(12)에 입사시키며, 상기 대물렌즈(12)에서 투사된 광은 상기 대상물(2)의 상면에 입사된다. 이때 상기 대상물(2)이 투과형 재질로 이루어져 있으면, 입사된 광은 상기 대상물(2)을 투과하여 스테이지(15)의 하측에서 반사되어 상기 투과형 편광필터(16)를 통해 다시 렌즈연결통(17b)과 반사형 편광필터(18)를 거쳐 상기 접안렌즈(11)에 입사된다.

또는 상기 대상물(2)이 비투명재질로 이루어져 있다면, 상기 대물렌즈(12)를 통해 입사된 광은 상기 대상물(2)의 표면에서 반사되어 상기 렌즈연결통(17b)에 입사되어 상기 반사형 편광필터(16)를 통해 상기 접안렌즈(11)에 입사된다.

이때 사용자는 상기 접안렌즈(11)와 대물렌즈(12)를 통해 확대된 대상물(2)의 일정영역을 인지할 수 있게 되나, 상기 대상물(2)에서 반사 또는 투과된 광이 상기 렌즈연결통(17b)을 통하여 전달되는 중에 입사각에 따른 반사가 발생되거나 또는 편광렌즈(163)의 곡률의 차이에 따라 광의 입사각에 엇각이 발생될 수 있어 대상물(2)의 확대화면에 잔상등 선명하지 못하면 상기 편광필터(16)를 통하여 광의 입사각을 조절하여 상기와 같은 잔상을 제거할 수 있다.

이를 위해 상기 사용자가 상기 조절레버(161)를 회전시키면, 상기 조절레 버(161)의 회전에 따른 회전력이 상기 벨트(164)에 의해 상기 편광렌즈(163)에 전달되므로 상기 편광렌즈(163)가 회전되어 자체 곡률에 따라서 하측에서 입사되는 광의 입사각을 수직방향으로 필터링하여 이를 투과시킨다.

그러나 이와 같은 종래의 편광필터는 상술한 바와 같이 사용자가 직접 수작업을 통하여 렌즈를 조절하기 때문에 반도체나 디스플레이등의 검사장치에 사용되는 현미경과 같은 대형장비의 경우엔 사용자의 위치와 편광필터의 위치가 상당히 이격된 상태이기 때문에 사용자가 접안렌즈에서 시야를 뗀체로 자신의 몸을 이동시켜야만 상기 조작레버를 손으로 잡을 수 있기 사용상 매우 불편한 문제점이 있다.

또한 종래의 광학식 현미경에서 스테이지의 하측에서 설치되는 투과형 편광필터는 몸체의 내측에 설치됨에 따라 사용자가 수작업으로 편광렌즈를 돌리는 것이 매우 어렵기 때문에 종래의 광학식 현미경에서는 상기 투과형 편광필터를 조절하지 못하고 대신 상기 반사형 편광필터만을 조절하여 투과형 재질을 갖는 대상물의 확대화면을 조절함에 따라 화면조절의 한계가 있는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하고자 안출 된 것으로서, 상세하게는 전기적신호로서 편광렌즈의 회전범위를 제어할 수 있는 편광필터구동장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 편광필터에서 편광렌즈의 회전력을 발생시키는 레버를 전기적신호에 의해 발생된 회전력으로 회전시키되, 상기 레버의 회전되는 범위를 제어할 수 있는 편광필터구동장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 광학식 현미경에 설치된 반사형 및 투과형 편광필터가 컨트롤패널의 조작신호에 따라 편광렌즈의 회전범위를 제어할 수 있는 편광필터구동장치를 제공함에 있다.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 하기와 같은 실시예를 포함한다.

본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 본 발명의 편광필터구동장치는, 제 2 실시예에 있어서, 상기 컨트롤패널은 사용자의 조작에 따른 전기적 신호를 출력하는 컨트롤조작수단과; 상기 컨트롤조작수단으로 부터 출력된 전기적신호에 따라 상기 모터를 구동제어하는 드라이버를 포함한다.

본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 본 발명의 편광필터구동장치는, 제 2 실시예에 있어서, 상기 편광필터에서 편광렌즈를 회전시키는 조절레버에 밀착되고, 상기 컨트롤패널의 제어에 따라 상기 모터에서 발생된 회전력에 의해 상기 조절레버를 회전시키는 회전롤러를 더 포함한다.

본 발명의 제 4 실시예에 따르면, 본 발명의 편광필터구동장치는, 제 3 실시예에 있어서, 내측에서 상기 모터와 상기 회전롤러가 설치되며, 상기 편광필터가 관통삽입되는 하우징을 더 포함한다.

본 발명의 제 5 실시예에 따르면, 본 발명의 편광필터구동장치는, 제 4 실시예에 있어서, 상기 하우징은 외측에 위치된 상기 편광필터의 조절레버가 내측에 설치된 상기 회전롤러에 밀착되도록 일측면이 개방된 개구부를 더 포함한다.

본 발명의 제 6 실시예에 따르면, 본 발명의 편광필터구동장치는, 제 5 실시예에 있어서, 상기 편광필터는 상기 회전롤러와 밀착되어 회전력이 전달되는 상기 조절레버의 외주면에 미끄럼방지용 띠가 더 포함된다.

본 발명의 제 7 실시예에 따르면, 본 발명의 편광필터구동장치는, 제 6 실시예에 있어서, 상기 편광필터는 상기 대상물에서 반사된 광의 입사각을 조절하는 반사형 편광필터와; 상기 스테이지의 하측에서 설치되어 상기 대상물을 투과한 광의 입사각을 조절하는 투과형 편광필터 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 한다.

이하에서는 본 발명에 따른 광학식 현미경의 편광필터구동장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명에 따른 광학식 현미경의 편광필터구동장치를 나타낸 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 광학식 현미경의 편광필터구동장치를 나타낸 단면도이며, 하기에서는 반사형 편광필터와 투과형 편광필터를 총칭하여 편광필터로 설명하며, 종래와 동일한 구성요소는 동일부호를 부여한다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 편광필터구동장치에서 편광필터(16)는 하우징(162)과 상기 하우징(162)에서 관통된 내측에 안착된 편광렌즈(163)와, 상기 편광렌즈(163)를 회전조절하는 조절레버(161)와 상기 조절레 버(161)의 하측에서 상기 편광렌즈(163)의 외주면에 연결되는 벨트(164)를 포함하는 편광필터(16)와, 회전력을 발생시키는 모터(203)와, 상기 모터(203)의 회전력을 전달하는 회전롤러(204)와, 상기 모터(203)와 회전롤러(204)가 설치되는 하우징(201)을 포함한다.

상기 편광필터(16)는 상기 조절레버(161)의 회전에 따른 회전력이 상기 벨트(164)에 의해 상기 편광렌즈(163)에 전달되므로 상기 편광렌즈(163)가 회전되어 자체 곡률에 따라서 하측에서 입사되는 광의 입사각을 수직방향으로 필터링하여 이를 투과시키며, 이중 상기 조절레버(161)는 그 외주면에 미끄럼방지용띠(165)를 더 포함하여 상기 회전롤러(204)와의 밀착력을 높임이 바람직하다.

상기 미끄럼방지용띠(165)는 고무등과 같은 탄성력을 갖는 재질로 형성되어 상기 조절레버(161)의 외주면에 고정되며, 밀착되는 상기 회전롤러(204)와의 접착력을 강화시켜 양측간에 미끄럼을 방지한다.

상기 하우징(201)은 하측에서 상기 편광필터(16)가 관통되어 상기 편광필터(16)의 조절레버(161)가 일측, 상기 편광필터(16)의 끝단에 안착된 편광렌즈(163)가 상기 하우징(201)을 관통하여 타측에 돌출되도록 관통형성되는 관통부(205)와, 상기 관통부(205)의 상측에서 상기 조절레버(161)가 위치된 일측에 절개되는 개구부(202)를 포함한다. 또한 상기 하우징(201)은 도시되지는 않았지만 상기 모터(203)에 전기적신호를 인가하는 와이어가 인입되는 관통공(도시되지 않음)을 포함한다.

여기서 상기 관통부(205)는 상기 하우징(201)의 일측면과 타측면이 상호 연 통되도록 관통형성되며, 상기 편광필터(16)의 타측끝단에 형성되는 편광렌즈(163)가 상기 관통부(205)를 관통하여 타측으로 돌출되고, 상기 조절레버(161)가 상기 관통부(205)의 외측에서 상기 하우징(201)의 일측면에 밀접된 체로 고정된다.

상기 개구부(202)는 상기 관통부(205)를 형성하는 상기 하우징(201)의 일측면과 타측면 중에서 적어도 상기 일측면에 형성되며, 상기 관통부(205)의 상측에서 일부가 절개형성된다. 이때 상기 개구부(202)는 상기 하우징(201)의 일측면에서 상기 조절레버(161)의 높이와 일치되거나 상기 조절레버(161)의 일부가 상기 하우징(201)의 내측으로 인입될 수 있는 높이를 갖고 형성된다.

상기 모터(203)는 상기 하우징(201)의 상측에서 고정되며 회전축을 통해 상기 회전롤러(204)에 연결된다. 그리고 상기 모터(203)는, 예를들면, 광학식 현미경의 컨트롤패널(14)과 같은 제어장치로부터 인가되는 전기적신호에 따라 회전력을 발생시키며, 이를 위해 스텝핑모터를 적용함이 바람직하다.

상기 회전롤러(204)는 상기 모터(203)에 연결되는 회전축에 고정되어 상기 회전축을 통해 전달되는 회전력에 의해 회전된다. 이때 상기 회전롤러(204)는 상기 하우징(201)의 하측에서 상기 관통부(205)의 상측에서 회전가능하도록 고정되어, 상기 개구부(202)를 통해 측면의 일부가 내측으로 인입되는 상기 조절레버(161)와 밀착된다. 그러므로 상기 회전롤러(204)는 상기 모터(203)가 구동되면 회전되므로 측면에 밀착된 상기 조절레버(161)에 회전력을 전달하게 된다. 따라서 상기 편광렌즈(163)는 상기 조절레버(161)가 상기 회전롤러(204)의 회전됨과 연동되어 상기 조절레버(161)의 하측과 상기 편광렌즈(163)의 외주면에 체결된 상기 벨트(164)에 의 해 전달된 회전력에 의해 회전된다.

도 6은 본 발명에 따른 편광필터구동장치의 블럭도이다.

도 6은 본 발명에 따른 편광필터구동장치는 상기 모터(203)를 구동제어하는 제어장치를 포함하고 있으며, 이에 대한 설명은 광학식 현미경에서 컨트롤패널(14)(도 1 참조)에 적용된 것으로 그 일예를 설명하나, 상기와 같은 광학식 현미경이외의 장치에서도 적용가능하다.

상기 컨트롤패널(14)은 전면에서 사용자의 조작에 따른 전기적신호를 출력하는 컨트롤조작수단(141)과, 상기 컨트롤조작수단(141)에서 출력된 아날로그신호를 디지탈신호로 엔코딩하는 엔코더(142)와, 상기 엔코더(142)에서 출력된 디지탈신호에 따라 상기 모터(203)를 구동제어하는 드라이버(143)를 포함한다.

상기 컨트롤조작수단(141)은 상기 광학식 현미경에서 전면에 형성되는 다수개의 스위치 및 레버를 포함하고 있으며, 예를들어, 회전식레버로서 적용되었을 경우에는 기준점을 설정하고, 해당 기준점으로부터 회전되는 방향과 범위에 따라 서로 다른 레벨을 갖는 아날로그신호를 출력한다.

상기 엔코더(142)는 상기 컨트롤조작수단(141)에서 출력된 아날로그신호를 엔코딩하여 '0' 과 '1'로서 표현되는 디지탈신호로 엔코딩(변환)시켜 상기 드라이버(143)에 출력한다. 여기서 상기 엔코더는 하기의 드라이버가 디지탈신호처리체계를 갖는 장치일 경우에 적용되나, 하기의 드라이버(143)가 아날로그 신호처리체계를 갖을 경우에는 인가되는 아날로그 신호를 증폭시키는 증폭기(도시되지 않음)와 노이즈를 제거하는 노이즈필터(도시되지않음)로서 대체가능하다.

상기 드라이버(143)는 상기 컨트롤조작수단(141)에서, 예를들면, 회전식레버의 회전방향이나 회전된 범위에 따라 서로 다른 전기적신호로서 출력된 조작신호를 상기 엔코더(142)를 통해 수신한다. 따라서 상기 드라이버(143)는 수신된 조작신호에 따라 상기 모터(203)를 정방향 또는 역방향, 그리고 해당 방향의 회전력을 발생시키는 시간을 설정하는 제어신호를 상기 모터(203)에 출력한다. 그러므로 상기 모터(203)는 상기 드라이버(143)의 제어신호에 포함된 시간 및 방향으로 회전력을 발생시켜 상기 편광필터(16)를 회전시킨다.

상기와 같은 본 발명의 편광필터회전장치는 하기와 같은 작용관계를 갖고 있으며, 이는 도 1 내지 도 6을 참조하여 광학식 현미경을 일예로서 설명한다.

사용자가 상기 스테이지(15)의 상면에 대상물(2)을 안착시키고 대물렌즈(12)와 접안렌즈(11)의 배율을 선택한 뒤에 상기 컨트롤패널(14)을 조작하여 조명부(13)의 구동 및 접안렌즈(11)와 대물렌즈(12)의 위치를 조절한다. 그리고 상기 사용자가 접안렌즈(11) 또는 현미경에 설치되는 디스플레이를 통해 상기 대물렌즈(12)와 접안렌즈(11)를 통해 확대되는 대상물(2)의 영상을 확인하여 자신이 원하던 작업을 수행하게 된다.

이때 상기 대상물(2)의 확대화면에 잔상등 선명하지 못하면, 사용자는 상기 현미경의 컨트롤패널(14)에 설치되는 컨트롤조작수단(141)(예를들면, 회전식레버)을 회전시켜 상기 렌즈연결통(17b)에 설치된 반사형 편광필터(16) 또는 상기 스테이지(15) 하측에 설치된 투과형 편광필터(18)에 각각 설치된 편광렌즈(163)를 조절하여 화면에 보여지는 잔상등을 제거한다.

이때 상기 반사형 편광필터(16)와 투과형편광필터(18)는 각각 서로 다른 회전식레버(컨트롤조작수단(141))에 의해 제어되며, 이는 대상물(2)이 입사되는 광을 반사시키는 비투과 재질 또는 투과시키는 투명재질로 형성되는 지에 따라 각각 선택적으로 사용된다.

따라서 상기 엔코더(142)는 상기 컨트롤조작수단(141)에서 인가되는 아날로그신호를 디지탈신호로 변환시켜 드라이버(143)에 출력한다.

상기 드라이버(143)는 상기 엔코더(142)에서 출력된 신호에 따라 상기 모터(203)를 정방향으로 몇초 또는 그 이상의 시간 동안 회전력을 발생시키는 제어신호를 출력하거나 또는 역방향으로 몇 초 또는 그 이상의 시간동안 회전력을 발생시키는 제어신호를 출력한다.

따라서 상기 모터(203)는 상기 드라이버(143)로부터 인가되는 제어신호에 따라 일정시간동안 정방향 또는 역방향의 회전력을 발생시키며, 상기 회전롤러(204)는 상기 모터(203)로부터 발생된 회전력에 의해 회전되어 상기 조절레버(161)에 회전력을 전달한다. 이때, 상기 조절레버(161)의 외주면에 부착되는 미끄럼방지용띠(165)는 상기 회전롤러(204)와의 접착력을 강화시켜 상기 회전롤러(204)로부터 전달되는 회전력이 안정적으로 전달될 수 있도록 한다.

따라서 상기 조절레버(161)는 상기 회전롤러(204)에 밀착된체로 고정된 상태에서 상기 회전롤러(204)가 정방향 또는 역방향으로 회전되므로, 이에 연동되어 회전되어 하측에 연결되는 벨트(164)를 회전시킨다. 따라서 상기 편광렌즈(163)는 외주면에 감쌓은 채로 밀착되어 상기 조절레버(161)의 하측과 연결되어 순환되는 벨트(164)의 회전에 따라 회전된다. 여기서 상기 편광렌즈(163)는 상기 모터(203)의 회전방향 뿐만아니라 회전력이 발생되는 시간동안만큼 회전되므로 상기 사용자가 상기 컨트롤조작수단(141)의 회전식레버의 회전방향과 일치되어 회전가능하다.

그러므로 본 발명이 적용되는 광학식 현미경은 종래와 같이 사용자가 수작업으로 상기 편광필터를 조절하기 위한 불편한 문제점이 해소되며, 대상물의 확대화면을 시야에 놓치지 않은체로 편광필터를 제어할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 편광필터구동장치는 전기적신호로써 편광렌즈의 회전방향 및 회전범위를 설정 및 제어할 수 있으므로 종래와 같이 수작업에 따른 불편함이 해소되어 작업시간의 단축 및 작업자의 편의를 도모할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은 정, 역방향의 회전력을 발생시키는 모터를 제어하여 원거리에서 광학식 현미경장치에서 스테이지의 하측에 위치되는 투과형 편광필터와 대물렌즈와 접안렌즈 사이의 경로에 설치되는 반사형 편광필터를 모두 간단하게 제어할 수 있음에 따라 대상물의 확대화면조절이 용이한 효과가 있다.

Claims

접안렌즈에 입사되는 광의 방향을 조절하는 편광필터와,

상기 편광필터에 회전력을 발생시키는 모터와,

상기 모터를 구동제어하여 상기 편광필터를 원격제어하는 컨트롤패널을 포함하며;

상기 편광필터에서 편광렌즈를 회전시키는 조절레버에 밀착되고, 상기 컨트롤패널의 제어에 따라 상기 모터에서 발생된 회전력에 의해 상기 조절레버를 회전시키는 회전롤러를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 현미경의 편광필터구동장치.
제 1 항에 있어서, 상기 컨트롤패널은

사용자의 조작에 따른 전기적 신호를 출력하는 컨트롤조작수단과;

상기 컨트롤조작수단으로 부터 출력된 전기적신호에 따라 상기 모터를 구동제어하는 드라이버를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 현미경의 편광필터구동장치.
삭제
제 2 항에 있어서, 상기 편광필터구동장치는

내측에서 상기 모터와 상기 회전롤러가 설치되며, 상기 편광필터가 관통삽입되는 하우징을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 현미경의 편광필터구동장치.
제 4 항에 있어서, 상기 하우징은

외측에 위치된 상기 편광필터의 조절레버가 내측에 설치된 상기 회전롤러에 밀착되도록 일측면이 개방된 개구부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 현미경의 편광필터구동장치.
제 5 항에 있어서, 상기 편광필터는

상기 회전롤러와 밀착되어 회전력이 전달되는 상기 조절레버의 외주면에 미끄럼방지용 띠가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 광학식 현미경의 편광필터구동장치.
제 6 항에 있어서, 상기 편광필터는

상기 대상물에서 반사된 광의 입사각을 조절하는 반사형 편광필터와;

상기 스테이지의 하측에서 설치되어 상기 대상물을 투과한 광의 입사각을 조절하는 투과형 편광필터 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광학식 현미경의 편광필터구동장치.