KR100659479B1 - 스테이지 장치용 반력 처리 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 제진(除振)수단을 통하여 고정바닥 위에 설치된 구조체와, 이 구조체 위에서 구동원에 의하여 적어도 1축 방향으로 움직일 수 있도록 구성된 가동(可動)부를 구비한 스테이지 장치에 있어서 상기 가동부가 구동됨으로써 발생하는 반력에 기인하는 상기 구조체의 진동을 억제하기 위한 반력 처리 시스템에 있어서,상기 고정바닥 측에 설치되어 상기 구조체에 대하여 상기 반력을 지우는 방향으로 추력(推力; thrust)을 주기 위한 추력 발생수단과,상기 구동원에 대하여 추력 지령치를 줌과 동시에, 상기 추력 발생수단에 대하여는 상기 추력 지령치를 게인(gain)이 가변인 게인 조정수단을 통한 다음 조정된 추력 지령치를 주는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 게인 조정수단은, 상기 가동부가 가속(加速) 혹은 감속(減速) 중인 경우에는 상기 게인으로서 게인 A1을 선택하고, 정속(定速) 주행 중인 경우에는 상기 게인으로서 게인 A2(단, A1 > A2)를 선택하는 제1 조정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제2항에 있어서,상기 가동부의 위치를 검출하는 위치검출수단을 구비하고, 상기 가동부는 기준점을 경계로 한 스트로크 범위가 미리 설정되어 있고, 상기 게인 조정수단은 더욱, 상기 게인 A1이 선택되어 있을 때, 상기 가동부의 위치에 따라서 상기 게인 A1을 가변으로 하는 제2 조정부를 포함하고, 이 제2 조정부는, 상기 기준점을 경계로 한 상기 가동부의 플러스(정(正))측에서는 제1 기울기를 가지는 제1 직선에 기하여 상기 게인 A1을 변화시킴과 함께 변화된 게인을 상기 추력 지령치에 곱셈하여 출력하는 한편, 상기 기준점을 경계로 한 상기 가동부의 마이너스(부(負))측에서는 제2 기울기를 가지는 제2 직선에 기하여 상기 게인 A1을 변화시킴과 함께 변화된 게인을 상기 추력 지령치에 곱셈하여 출력하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 구동원은 리니어 모터이고, 상기 추력 발생수단은 리니어 모터, 보이스 코일 모터, 서보 모터의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 가동부가 구동될 때에 힘이 가해지는 제1 위치로부터 상기 가동부의 중심(重心)까지의 연직 방향에 관한 제1 거리와, 상기 제1 위치로부터 상기 추력 발생수단이 구동될 때에 힘이 가해지는 제2 위치까지의 연직 방향에 관한 제2 거리가 같아지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 추력 발생수단으로서, 상기 구조체에 적어도 2개의 추력 발생부를 구비하고, 상기 구동원의 추력이 F인 경우, 상기 제2 조정부는, 상기 적어도 2개의 추력 발생부에 대하여, 상기 가동부의 중심(重心) 위치에 따른 상기 추력(F)의 배분을 행하여 배분된 추력 지령치를 상기 조정된 추력 지령치로서 출력하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제4항에 있어서,상기 가동부가 구동될 때에 힘이 가해지는 제1 위치로부터 상기 가동부의 중심(重心)까지의 연직 방향에 관한 제1 거리와, 상기 제1 위치로부터 상기 추력 발생수단이 구동될 때에 힘이 가해지는 제2 위치까지의 연직 방향에 관한 제2 거리가 같아지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제4항에 있어서,상기 추력 발생수단으로서, 상기 구조체에 적어도 2개의 추력 발생부를 구비하고, 상기 구동원의 추력이 F인 경우, 상기 제2 조정부는, 상기 적어도 2개의 추력 발생부에 대하여, 상기 가동부의 중심(重心) 위치에 따른 상기 추력(F)의 배분을 행하여 배분된 추력 지령치를 상기 조정된 추력 지령치로서 출력하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제5항에 있어서,상기 추력 발생수단으로서, 상기 구조체에 적어도 2개의 추력 발생부를 구비하고, 상기 구동원의 추력이 F인 경우, 상기 제2 조정부는, 상기 적어도 2개의 추력 발생부에 대하여, 상기 가동부의 중심(重心) 위치에 따른 상기 추력(F)의 배분을 행하여 배분된 추력 지령치를 상기 조정된 추력 지령치로서 출력하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
- 제7항에 있어서,상기 추력 발생수단으로서, 상기 구조체에 적어도 2개의 추력 발생부를 구비하고, 상기 구동원의 추력이 F인 경우, 상기 제2 조정부는, 상기 적어도 2개의 추력 발생부에 대하여, 상기 가동부의 중심(重心) 위치에 따른 상기 추력(F)의 배분을 행하여 배분된 추력 지령치를 상기 조정된 추력 지령치로서 출력하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치용 반력 처리 시스템.
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