KR100656835B1 - 픽 앤드 플레이스 스핀들 조립체를 위한 일체화된 공기유동 제어 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 스핀들의 길이 방향 축을 따라서 움직이도록 되어 있는 스핀들을 포함하는 하우징을 구비하고;하우징은 스핀들의 내측 보어로의 공기의 유동을 제어하기 위한 밸브를 수용하며;스핀들의 내측 보어는 구성 부품을 집어올리고 내려놓도록 공기의 유동과 교통하기 위한 개구를 일 단부에 가지며;밸브로부터 스핀들의 내측 보어로의 공기의 유동은 통로를 통한 하우징에 대하여 내부적인 것;을 특징으로 하는 구성 부품의 픽 앤드 플레이스 장치용 스핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,통로들은 하우징 내에서 내부적으로 일체 형성되는 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,밸브는 스핀들로부터 3 인치 또는 그보다 작은 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,밸브는 2 밀리초(millisecond) 보다 짧은 동안에 완전하게 개방된 위치로부터 완전하게 폐쇄된 위치로, 또는 그 역으로 변환되도록 적합화된 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,스핀들에서 진공 압력을 발생시키도록 공기 유동 통로 안에 벤튜리를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 제 3 항에 있어서,스핀들의 팁에서의 공기 유동은 구성 부품을 유지하기 위한 진공 압력이거나 도는 구성 부품을 떼어놓기 위한 공기 압력인 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,밸브는 0.8 밀리초 또는 그보다 짧은 동안에 완전하게 개방된 위치로부터 완전하게 폐쇄된 위치로 또는 그 반대로 변환되도록 적합화된 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,제 2 밸브, 벤튜리 및, 팽창 챔버를 더 구비하며;통로는:벤튜리의 제 1 단부에 적용된 공기가 스핀들에 적용된 진공을 만들도록 2 개 밸브들중 제 1 의 것을 벤튜리의 제 1 단부와 상호 연결시키는 제 1 분기부(branch); 및,벤튜리의 제 2 단부에 적용된 공기가 스핀들에서 공기의 펄스를 만들도록 2 개 밸브들중 제 2 의 것을 벤튜리의 제 2 단부와 상호 연결시키는 제 2 분기부;벤튜리를 스핀들과 상호 연결시키는 제 3 분기부;를 구비하고, 그리고,팽창 챔버가 스핀들에 적용된 공기 압력에서의 변화를 완화시키도록 제 2 밸브와 스핀들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 조립체.
- 제 8 항에 있어서,각 밸브들은 2 밀리초보다 짧은 동안에 완전하게 개방된 위치로부터 완전하게 폐쇄된 위치로, 또는 그 반대로 변환되도록 적합화된 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,밸브는 하우징 안에 포함된 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,통로들중 적어도 일부가 하우징 안으로 드릴 가공된 것을 특징으로 하는 스 핀들 조립체.
- 제 1 항에 있어서,통로들중 적어도 일부가 하우징 안으로 몰딩 가공된 것을 특징으로 하는 스핀들 조립체.
- 부품 배치 장치에서 부품을 집어올려서 유지하기 위한 진공 발생용 시스템으로서, 상기 시스템은,밸브로 공급되는 압축된 공기의 입력부;상기 부품을 집어올려서 유지하기 위한 픽 앤드 플레이스 장치; 및상기 압축된 공기를 진공으로 변환시키기 위한 벤튜리로서, 상기 밸브와 상기 픽 앤드 플레이스 장치 사이에 있는 벤튜리;를 구비하는 진공 발생용 시스템. .
- 제 13 항에 있어서,상기 압축된 공기는 상기 벤튜리를 통하여 유동하고, 진공은 상기 픽 앤드 플레이스 장치에서 발생되는 것을 특징으로 하는 진공 발생용 시스템.
- 제 13 항에 있어서,상기 시스템은 외부 물질이 상기 밸브를 통해 역으로 유동하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 진공 발생용 시스템.
- 제 13 항에 있어서,픽 앤드 플레이스 장치는 노즐인 것을 특징으로 하는 진공 발생용 시스템.
- 제 13 항에 있어서,픽 앤드 플레이스 장치는 그리퍼(gripper)인 것을 특징으로 하는 진공 발생용 시스템.
- 부품 배치 장치에서 사용되는 시스템으로서, 상기 시스템은:호스 커플링, 밸브 및 그들의 조합으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 복수개의 유동 통로 요소들;배기 포트를 가지는 벤튜리; 및픽 앤드 플레이스 장치;를 구비하고,상기 시스템의 제 1 부분은 그것을 통해서 압축된 공기 유동의 양의 압력을 가지고 상기 시스템의 제 2 부분은 그것을 통해서 압축된 공기 유동의 음의 압력을 가지며, 상기 제 1 부분은 상기 복수개의 요소들을 구비하고 상기 제 2 부분은 상기 픽 앤드 플레이스 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 부품 배치 장치에서 사용되는 시스템.
- 부품 배치 장치에서 부품을 집어올려서 유지하기 위한 진공을 발생시키는 방법으로서,압축된 공기를 밸브에 제공하는 단계; 및상기 밸브와 픽 앤드 플레이스 장치 사이에 벤튜리를 제공하는 단계;를 구비하는 진공을 발생시키는 방법.
- 제 19 항에 있어서,진공이 상기 픽 앤드 플레이스 장치에 제공되도록 상기 밸브를 개방하여 상기 압축된 공기를 상기 벤튜리를 통하여 유동시키는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 진공을 발생시키는 방법.
- 제 19 항에 있어서,외부 물질이 상기 밸브를 통하여 역으로 유동하는 것을 방지하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공을 발생시키는 방법.
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US6848338B1 (en) * | 2002-10-17 | 2005-02-01 | Delaware Capital Formation, Inc. | High acceleration spindle drive and method of using same |
US6820325B2 (en) * | 2002-10-17 | 2004-11-23 | Delaware Capital Formation, Inc. | Integrated air flow control for a pick and place spindle assembly |
DE10302802A1 (de) * | 2003-01-24 | 2004-08-26 | Siemens Ag | Mehrfach-Bestückkopf |
DE102004038839B3 (de) * | 2004-08-10 | 2005-12-22 | Siemens Ag | Greifereinheit, Bestückkopf und Verfahren zum Bestücken von Substraten mit elektrischen Bauelementen |
US8675464B2 (en) | 2005-11-03 | 2014-03-18 | Cinram Group, Inc. | Dual sided optical storage media and method for making same |
US7986611B1 (en) | 2007-03-22 | 2011-07-26 | Cinram International Inc. | High-density optical recording media and method for making same |
US7471019B2 (en) * | 2005-12-30 | 2008-12-30 | The Gillette Company | High speed assembly actuator |
US20080003092A1 (en) * | 2006-06-30 | 2008-01-03 | Petar Baclija | Rotary union connection |
US7637713B1 (en) | 2007-02-13 | 2009-12-29 | Cinram International Inc. | Apparatus and method for separating topmost disc-like object from a stack |
US8272673B2 (en) * | 2008-12-31 | 2012-09-25 | Delta Design, Inc. | Pick and place handler with a floating lock device |
TWI391307B (zh) * | 2010-01-15 | 2013-04-01 | Advanced Semiconductor Eng | 吸頭與應用此吸頭之輸送機台 |
JP5287741B2 (ja) * | 2010-01-21 | 2013-09-11 | 富士通株式会社 | 部品のマウンタ装置及び部品のマウント方法 |
SE542377C2 (en) | 2012-06-28 | 2020-04-21 | Universal Instruments Corp | Pick and place machine, and method of assembly |
CN103174497B (zh) * | 2012-08-15 | 2015-09-16 | 苏州派格丽减排***有限公司 | Scr***中的还原剂喷射控制装置 |
SE543326C2 (en) | 2014-02-07 | 2020-12-01 | Universal Instruments Corp | Pick and place head with internal vacuum and air pressure supply, system and method |
US10383268B2 (en) * | 2016-09-14 | 2019-08-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Electronic component installing device and cartridge for electronic component installing device |
CN106229287B (zh) * | 2016-09-30 | 2019-04-05 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 用于转移微元件的转置头及微元件的转移方法 |
WO2020140085A1 (en) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | Boston Semi Equipment, Llc | Tool-less pick tip assembly, housing, and apparatus, and associated method |
CN110116303B (zh) * | 2019-05-17 | 2020-06-23 | 浙江大学 | 一种智能生产线柔性上料机 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3696229A (en) * | 1970-04-14 | 1972-10-03 | Thomas L Angelucci | Bonding tool for through the tool observation bonding and method of bonding |
US3967849A (en) * | 1973-06-14 | 1976-07-06 | Sahlin International, Inc. | Vacuum control system |
US4299604A (en) * | 1980-05-27 | 1981-11-10 | Donaldson Company, Inc. | Air inducer and backwasher for an air cleaner |
JPS59160900U (ja) * | 1983-04-15 | 1984-10-27 | 株式会社 妙徳 | 真空発生装置 |
US4657470A (en) * | 1984-11-15 | 1987-04-14 | Westinghouse Electric Corp. | Robotic end effector |
US4750768A (en) * | 1986-05-14 | 1988-06-14 | Kumar V Sam | Gripper device |
US4950016A (en) * | 1989-04-24 | 1990-08-21 | Teknocraft, Inc. | Integrated pneumatic valve/sensor assembly for vacuum supply apparatus |
DE4001937A1 (de) * | 1990-01-24 | 1991-07-25 | Antriebs Steuerungstech Ges | Handhabungsvorrichtung mit einem sauggreifer und verfahren zum handhaben und ueberpruefen von fluiddurchstroemten bauteilen |
DE4011663C2 (de) * | 1990-04-11 | 1994-03-31 | Spiess Gmbh G | Bogenanleger |
JPH07105637B2 (ja) * | 1990-05-31 | 1995-11-13 | 三洋電機株式会社 | 部品装着装置 |
US5277468A (en) * | 1991-01-30 | 1994-01-11 | John A. Blatt | Vacuum control apparatus |
WO1993005326A1 (en) * | 1991-09-10 | 1993-03-18 | Smc Kabushiki Kaisha | Fluid pressure machine |
ATE171306T1 (de) * | 1993-02-08 | 1998-10-15 | Sez Semiconduct Equip Zubehoer | Träger für scheibenförmige gegenstände |
JPH06338700A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-06 | Sony Corp | 実装装置 |
JPH1013092A (ja) * | 1996-06-26 | 1998-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品装着ヘッド |
US6036415A (en) * | 1998-09-04 | 2000-03-14 | Hardinge, Inc. | Spindle for gripping and closing a mounting member |
JP2000165094A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Koganei Corp | 電子部品の吸着搬送装置 |
JP2001047385A (ja) * | 1999-08-05 | 2001-02-20 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電気部品装着ヘッド |
US6364387B1 (en) * | 1999-11-10 | 2002-04-02 | Data I/O Corporation | Pick and place system and unit therefor |
US6467824B2 (en) * | 2001-03-13 | 2002-10-22 | Data I/O Corporation | Floating seal pick and place system and unit therefor |
DE50112524D1 (de) * | 2001-08-30 | 2007-07-05 | Festo Ag & Co | Vakuumerzeugervorrichtung |
US6820325B2 (en) * | 2002-10-17 | 2004-11-23 | Delaware Capital Formation, Inc. | Integrated air flow control for a pick and place spindle assembly |
US7083208B2 (en) * | 2003-01-21 | 2006-08-01 | Embrex, Inc. | Vacuum assisted egg lifting apparatus having venturi assembly |
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