JP2001047385A - 電気部品装着ヘッド - Google Patents

電気部品装着ヘッド

Info

Publication number
JP2001047385A
JP2001047385A JP11222836A JP22283699A JP2001047385A JP 2001047385 A JP2001047385 A JP 2001047385A JP 11222836 A JP11222836 A JP 11222836A JP 22283699 A JP22283699 A JP 22283699A JP 2001047385 A JP2001047385 A JP 2001047385A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piston
pressure
pressure chamber
cylinder housing
electric component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11222836A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeyoshi Isogai
武義 磯貝
Yuji Katsumi
裕司 勝見
Noriaki Iwaki
範明 岩城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Corp
Original Assignee
Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Machine Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority to JP11222836A priority Critical patent/JP2001047385A/ja
Priority to US09/624,859 priority patent/US6328362B1/en
Priority to DE60042869T priority patent/DE60042869D1/de
Priority to EP00306669A priority patent/EP1075174B1/en
Publication of JP2001047385A publication Critical patent/JP2001047385A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool
    • H05K13/0409—Sucking devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
    • Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
    • Y10T29/53174—Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
    • Y10T29/53178—Chip component

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】電気部品のプリント基板への装着荷重を精度よ
く制御可能な電気部品装着ヘッドを提供する。 【解決手段】吸着ノズル１６をヘッド本体１２にシリン
ダ１８を介して保持させる。シリンダ１８は、シリンダ
ハウジング２４とピストン２６とを含むものとし、ピス
トン２６の上方に形成される圧力室４０と下方に形成さ
れる圧力室４２との圧力を圧力制御装置５５により制御
する。ピストン２６とシリンダハウジング２４との隙間
に軸受用気体供給装置６８により加圧気体を供給して気
体軸受を構成する。圧力室４０，４２の圧力の大小によ
り、装着荷重を、ピストン２６および吸着ノズル１６の
重量より大きくすることも小さくすることもでき、か
つ、ピストン２６の摺動抵抗が小さくて済むため、装着
荷重を精度よく制御することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電気部品装着装置に
おける電気部品装着ヘッドに関するものであり、特に、
電気部品（電子部品を含む）の装着対象材への押付荷重
である装着荷重の制御に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の電気部品装着ヘッドの一例を図５
に概略的に示す。この電気部品装着ヘッド１００は、
（ａ）ヘッド本体１０２と、（ｂ）電気部品を吸着する
吸着ノズル１０４と、（ｃ）それらヘッド本体１０２と
吸着ノズル１０４とを吸着ノズル１０４の軸線に平行な
方向に移動可能に接続するボールスプライン１０６と、
（ｄ）その吸着ノズル１０４を下方へ付勢するコイルス
プリング１０８とを含む。吸着ノズル１０４は、スプラ
イン軸１１０にボールを介して嵌合されたボールスプラ
インナット１１２に保持され、そのボールスプラインナ
ット１１２を介してコイルスプリング１０８により付勢
されている。ヘッド本体１０２は昇降装置により昇降さ
せられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効
果】本電気部品装着ヘッド１００においては、装着に先
立って、吸着ノズル１０４のヘッド本体１０２に対する
相対位置と、吸着ノズルに作用する下向きの力との関係
が調べられ、その関係に基づいて装着時における昇降台
の下降位置が決定される。接触検知センサ１１４により
電気部品と装着対象材とが接触したことが検知され、そ
こから下降位置までの下降ストロークが、上記関係に基
づいて制御されることにより、装着荷重が所定の大きさ
になるようにされるのである。換言すれば、電気部品を
適正荷重で装着対象材に押し付けるために、装着に先立
って、吸着ノズル１０４のヘッド本体１０２に対する相
対位置と、吸着ノズルに作用する下向きの力との関係が
調べられることと、ヘッド本体１０２の下降位置が精度
よく制御されることとが必要であった。
【０００４】さらに、この装置においては、装着荷重の
最小値が、主に、吸着ノズル１０４およびそれと一体
的に移動する部材の自重と、ヘッド本体１０２が下降
位置まで下降させられた状態におけるコイルスプリング
１０８の弾性力と、ボールスプライン１０６の摺動抵
抗とによって決まる。そのため、装着荷重の最小値を十
分に小さくすることが困難であった。
【０００５】本発明は、以上の事情を背景とし、電気部
品の装着荷重を容易に精度よく制御することと、最小装
着荷重を軽減させることとの少なくとも一方を達成する
ことを課題として為されたものであり、本発明によっ
て、下記各態様の電気部品装着ヘッドが得られる。各態
様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、
必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。
これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであ
り、本明細書に記載の技術的特徴やそれらの組合せが以
下の態様に限定されると解釈されるべきではない。ま
た、１つの項に複数の事項が記載されている場合、常に
それら事項をすべて一緒に採用しなければならないわけ
ではなく、一部の事項のみを取り出して採用することも
可能である。 （１）ヘッド本体と、電気部品を吸着する吸着ノズル
と、それらヘッド本体と吸着ノズルとを吸着ノズルの軸
線に平行な方向に相対移動可能に接続するシリンダであ
って、シリンダハウジングと、そのシリンダハウジング
の内側に摺動可能に嵌合されたピストンとを備え、そ
のピストンの両端面のうち一方の端面とシリンダハウジ
ングとにより画定される第１圧力室と、ピストンの他方
の端面とシリンダハウジングとにより画定される第２圧
力室との少なくとも一方と、シリンダハウジング側と
ピストン側とにそれぞれ設けられて互に摺動可能に嵌合
されることによりピストンのシリンダハウジングに対す
る摺動を案内する２つの摺動案内面とを有するシリンダ
と、前記第１圧力室と前記第２圧力室とのうち現に形成
されるものの少なくとも一方の圧力を制御する圧力制御
装置とを含む装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッド
（請求項１）。本項に記載の装着荷重制御装置付き電気
部品装着ヘッドにおいては、ヘッド本体と吸着ノズルと
の相対位置が変化しても装着荷重が変化しないので、ヘ
ッド本体の高さ位置如何にかかわらず装着荷重を一定に
保つことができる。その上、シリンダに形成される各圧
力室の圧力を検出することにより、その圧力と予め判っ
ている吸着ノズルの重さ等とに基づいて装着荷重を取得
することができるので、装着荷重を直接検出することな
く装着荷重を容易に精度良く制御することができる。な
お、圧力室には、圧力が制御されるものと、一定の圧力
に保持されるものと、常時大気に連通させられるものと
が含まれる。具体的には、第１圧力室と第２圧力室との
うち、現に形成される圧力室が１つである場合には、そ
の圧力室の圧力が制御され、現に形成される圧力室が２
つである場合は、それら２つの圧力室の少なくとも一方
の圧力が制御される。後者の場合において圧力が制御さ
れない圧力室は、例えば、常時大気に連通させられて大
気圧に保持されるか、または、気体源としての圧力制御
装置または軸受用気体供給装置により一定の圧力に保持
される。 （２）前記２つの摺動案内面の隙間に気体を供給して気
体軸受を形成する軸受用気体供給装置を含むことを特徴
とする (1)項に記載の装着荷重制御装置付き電気部品装
着ヘッド（請求項２）。従来の電気部品装着ヘッドにお
いては、吸着ノズルがころがり軸受によりヘッド本体に
支持されていたが、ころがり軸受の摺動抵抗を十分に小
さくすること、あるいは均一にすることが困難であるた
め、装着荷重を十分小さくすること、あるいは装着荷重
のばらつきを小さくすることが困難であった。それに対
して、本項に記載の装着荷重制御装置付き電気部品装着
ヘッドにおいては、２つの摺動案内面の隙間に気体が供
給されて、気体軸受が形成され、摺動抵抗が無視できる
ほど小さくなるため、最小装着荷重を小さくすることが
でき、あるいは装着荷重のばらつきを小さくすることが
できる。なお、圧力制御装置を介して圧力室に加圧気体
を供給する気体源と、軸受用気体供給装置の気体源とは
別々に設けられても、共通とされてもよい。 （３）前記シリンダに前記第１圧力室と前記第２圧力室
とが形成され、前記圧力制御装置により第１圧力室と第
２圧力室との圧力が共に制御される (1)項または(2)項
に記載の装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッド。本
項に記載の装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッドに
おいては、第１圧力室と第２圧力室との圧力の制御によ
り、装着荷重を、吸着ノズルおよびそれと一体的に昇降
する部材の自重より大きくすることも、小さくすること
も可能である。 （４）前記第１圧力室と前記第２圧力室とが形成され、
それら第１圧力室と第２圧力室との一方の圧力が前記圧
力制御装置により制御される (1)項または (2)項に記載
の装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッド。第１圧力
室と第２圧力室との両方が形成されるが、それら両圧力
室の一方の圧力のみを制御すればよいため、圧力制御装
置の構成が簡単で済む。なお、装着荷重が、吸着ノズル
およびそれと一体的に昇降する部材の自重より大きい場
合には、それらを下方へ付勢する圧力室の圧力のみが制
御されるようにし、自重より小さい場合には、それらを
上方へ付勢する圧力室の圧力のみが制御されるようにす
ることが望ましい。 （５）前記シリンダの前記第１圧力室と前記第２圧力室
とのいずれか一方が形成され、その一方の圧力室の圧力
が前記圧力制御装置により制御される (1)項または (2)
項に記載の装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッド。
本項に記載の装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッド
においては、シリンダに、吸着ノズルをそれの軸線に平
行な２方向のいずれか一方に付勢する圧力室が形成され
る。この場合にも、上記 (4)項の説明のうち、「第１圧
力室と第２圧力室との両方が形成される」旨の説明以外
の部分が当てはまる。 （６）前記シリンダの前記ピストン側の摺動案内面が、
ピストンに形成される (2)項ないし (5)項のいずれか１
つに記載の装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッド。
ピストンとシリンダハウジングとにより気体軸受が形成
される。２つの摺動案内面の隙間はピストンの摺動を案
内するのに十分に小さくされ、かつ、その隙間に潤滑用
の気体が供給されて摺動抵抗が可能な限り小さくされ
る。隙間に供給される気体は、第１圧力室と第２圧力室
との少なくとも一方へ漏れるが、漏れ量は、その少なく
とも一方の圧力制御に悪影響を及ばさないほど少量であ
ると考えてよい。 （７）前記シリンダの前記ピストン側の摺動案内面が、
ピストンから突出し、そのピストンと前記ヘッド本体と
前記吸着ノズルとのいずれか一方とを連結するピストン
ロッドに形成される (2)項ないし (5)項のいずれか１つ
に記載の装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッド。本
項に記載の装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッドに
おいては、ピストンロッドとシリンダハウジングとに摺
動案内面が形成され、その隙間に気体が供給されて気体
軸受が構成される。 （８）ヘッド本体と、電気部品を吸着する吸着ノズル
と、前記ヘッド本体に設けられ、前記吸着ノズルをヘッ
ド本体に対して相対移動可能に保持する保持手段とを含
む電気部品装着ヘッドであって、前記保持手段が、シリ
ンダハウジングと、そのシリンダハウジングの内側に摺
動可能に嵌合されたピストンとを備えたシリンダを含
み、かつ、そのシリンダが、前記ピストンの両端面の
うち一方の端面と前記シリンダハウジングとにより画定
される第１圧力室と、ピストンの他方の端面とシリンダ
ハウジングとにより規定される第２圧力室との少なくと
も一方と、その少なくとも一方と連通した連通口と、
シリンダハウジング側とピストン側とにそれぞれ設け
られて互に摺動可能に嵌合されることにより、ピストン
のシリンダハウジングに対する摺動を案内する２つの摺
動案内面と、それら２つの摺動案内面間の隙間に、圧
力気体を前記ピストンの軸線を対称軸として軸対称に供
給する軸受用気体供給通路とを備えることを特徴とする
電気部品装着ヘッド（請求項３）。２つの摺動案内面
は、ピストンとシリンダハウジングとに形成されても、
ピストンロッドとシリンダハウジングとに形成されても
よい。その摺動案内面の隙間に気体が供給され、気体軸
受とされることにより、摺動案内面の摺動抵抗が無視で
きるほど小さくされる。第１圧力室と第２圧力室とのい
ずれか一方が形成されても、両方が形成されてもよい。
本電気部品装着ヘッドは、上記連通口に圧力制御装置を
接続し、軸受用気体供給通路に気体供給装置を接続すれ
ば、前記 (1)項に記載の装着荷重制御装置付き電気部品
装着ヘッドとすることができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の一実施形態であ
る電気部品装着ヘッド１０を概念的に示す。この電気部
品装着ヘッド１０は、ヘッド本体１２と、電気部品１４
を吸着する吸着ノズル１６とを備え、さらに、それら吸
着ノズル１６とヘッド本体１２とを上下方向に相対移動
可能に連結するシリンダ１８を備えている。電気部品装
着ヘッド１０は、図示しない昇降装置にヘッド本体１２
を昇降可能に保持されている。吸着ノズル１６は、円筒
状の吸着管２０と吸着管保持体２２とを有する。吸着管
保持体２２の下部には、吸着管保持体２２より径の大き
いバックプレート２３が設けられており、バックプレー
ト２３の中央から吸着管２０が同軸に延び出している。
バックプレート２３は、吸着管２０に保持された電気部
品を吸着管保持体２２側から照明し、あるいは電気部品
の一律な背景を形成する役割を果たす。吸着管２０を吸
着管保持体２２から取り外し可能としても、吸着管保持
体２２をシリンダ１８から取り外し可能としても、吸着
管２０も吸着管保持体２２も取り外し不能としてもよ
い。
【０００７】シリンダ１８は、シリンダハウジング２４
と、そのシリンダハウジング２４に摺動可能に嵌合され
たピストン２６とを含む。ピストン２６には、下方へ延
び出すピストンロッド２８が突設され、そのピストンロ
ッド２８に前述の吸着ノズル１６が固定的に保持されて
いる。
【０００８】シリンダハウジング２４は、それの上端部
においてヘッド本体１２に固定的に保持されている。シ
リンダハウジング２４は、図２に示すように、横断面形
状が矩形（図示の例では正方形）となるように形成され
ている。具体的には、シリンダハウジング２４には、一
辺の長さが長い上方の大矩形孔部３２と、一辺の長さが
大矩形孔部３２より短い下方の小矩形孔部３４と、それ
ら大矩形孔部３２，小矩形孔部３４間の肩面３６とを有
する段付きのシリンダボアが形成されている。ピストン
２６も、大矩形孔部３２と嵌合する大矩形部３８と、小
矩形孔部３４と嵌合する小矩形部３９とを有して段付き
の角柱状を成し、大矩形部３８と肩面３６との係合によ
りピストン２６の下降端位置が規定される。
【０００９】大矩形孔部３２と大矩形部３８との嵌合隙
間は、小矩形孔部３４と小矩形部３９との嵌合隙間より
大きくされており、シリンダハウジング２４内の空間
は、小矩形孔部３４と小矩形部３９との嵌合部により圧
力室４０と圧力室４２とに仕切られている。ピストンロ
ッド２８はシリンダハウジング２４の貫通孔４４を貫通
して外部に突出しており、貫通孔４４とピストンロッド
２８との嵌合隙間はほぼ小矩形孔部３４と小矩形部３９
との嵌合隙間と等しくされている。すなわち、小矩形孔
部３４と小矩形部３９との嵌合隙間と、貫通孔４４とピ
ストンロッド２８との嵌合隙間とが最も小さいのであ
り、大矩形部３８はシリンダハウジング２４と接触せ
ず、小矩形孔部３４の内周面と小矩形部３９の外周面お
よび貫通孔４４の内周面とピストンロッド２８の外周面
がピストン２６の摺動を案内する摺動案内面として機能
するようにされている。これら摺動案内面間には、摺動
抵抗を小さくするためにシール部材は設けられていな
い。
【００１０】圧力室４０と圧力室４２とにはそれぞれ連
通口４６と連通口４８とが設けられ、小矩形孔部３４の
内周面には軸受用気体供給通路５０が開口させられてい
る。ここで軸受用気体供給通路について詳細に説明す
る。なお、小矩形孔部３４と貫通孔４４とについて、構
成がほぼ共通しているので、小矩形孔部３４についての
み詳細な説明を行うこととし、貫通孔４４について説明
を省略する。図２に示すように、ピストン２６を囲むよ
うに４つの多孔質材５１が配設されている。小矩形孔部
３４の内周面の、軸受用気体供給通路５０の開口部に多
孔質材５１が埋め込まれ、多孔質材５１の内周面と小矩
形孔部３４の内周面とが滑らかに連続するようにされて
いる。それら４つの多孔質材５１に軸受用気体を供給す
るように、軸受用気体供給通路５０から、第一気体案内
通路５２が延び出して、各多孔質材５１の背後に形成さ
れた気体供給室５４に連通させられている。さらに、小
矩形孔部３４と同様に、貫通孔４４の内周面に、４つの
多孔質材５１が埋め込まれ、各多孔質材５１の背後に形
成された気体供給室５４に連通して第二気体案内通路５
３が形成されている。これら第一および第二気体案内通
路５２，５３が互いに連通させられて、小矩形孔部３４
と貫通孔４４とにほぼ等しい圧力で気体が供給される。
なお、第一および第二気体案内通路５２，５３が連通さ
れずに、第二気体案内通路５３に軸受用気体を供給する
別の軸受用気体供給通路が設けられても良い。
【００１１】いずれにしても、軸受用気体供給通路５０
等に外部から軸受用圧力気体が供給されれば、小矩形孔
部３４と小矩形部３９との嵌合隙間と、貫通孔４４とピ
ストンロッド２８との嵌合隙間とにピストン２６の軸線
を対称軸とする軸対称の状態で圧力気体が供給されるこ
ととなり、その圧力気体は嵌合隙間を通って微少量ずつ
圧力室４０，圧力室４２および大気中へ流れる。その
際、嵌合隙間に軸対称の空気の層が形成され、小矩形部
３９の外周面は小矩形孔部３４の内周面と接触しない状
態に保たれる。この状態では、大矩形部３８と大矩形孔
部３２も勿論接触しないため、ピストン２６はシリンダ
ハウジング２４と非接触の状態で同心に位置決めされる
こととなる。小矩形孔部３４および小矩形部３９と、貫
通孔４４およびピストンロッド２８と、上記空気層とに
より気体軸受が形成されるのである。
【００１２】本実施形態においては、ピストン２６の上
昇端位置は、大矩形部３８のシリンダボアの上側の端面
への当接により規定されるようになっている。また、前
述のように、ピストン２６の下降端位置は大矩形部３８
の肩面３６への当接により規定されており、その下降端
位置においてもピストン２６が連通口４８を塞ぐことは
ない。ただし、小矩形部３９の下端面の、シリンダボア
の下側の端面への当接によりピストン２６の下降端位置
が規定されるようにすることも可能である。その場合に
は、小矩形部３９の下端面と、シリンダボアの下側の端
面との一方から他方に向かって突出し、他方に当接する
ことによりピストン２６の下降端位置を規定する当接突
部を設け、連通口４８が塞がれないようにすることが望
ましい。
【００１３】前記連通口４６，４８には図３に示す圧力
制御装置５５が接続されている。圧力制御装置５５は、
加圧気体源５６からの加圧された気体（加圧気体と称す
る）の圧力を制御するものであり、加圧気体源５６とし
ては、例えば、空気を加圧して供給するエアポンプや、
工場内に配設されている工場エア供給口を採用し得る。
圧力制御装置５５は、加圧気体源５６から供給される加
圧気体の圧力を、設定された一定の圧力に減圧する圧力
レギュレータ５８と、圧力室４０に接続される圧力制御
弁６０と、圧力室４２に接続される圧力制御弁６１とを
備えている。圧力制御装置５５にはさらに、圧力制御弁
６０，６１への供給電流を制御して、圧力制御弁６０，
６１から供給される加圧気体の圧力を制御する制御装置
６４が含まれている。制御装置６４には、圧力室４０お
よび圧力室４２にそれぞれ設けられ、それらの圧力を検
出する圧力センサ６２と圧力センサ６３とが接続されて
おり、それらの検出信号が供給される。
【００１４】本実施形態においては、圧力制御弁６０，
６１としてリリーフ弁付き比例電磁減圧弁が使用されて
おり、制御装置６４は、吸着ノズル１６に吸着保持され
て、プリント基板に装着される各電気部品１４のプリン
ト基板への装着荷重が、各電気部品１４に対してそれぞ
れ予め設定されて記憶装置に記憶されている適正押付荷
重と等しくなるように、圧力室４０，４２の圧力を制御
する。電気部品１４の装着荷重Ｆは、Ｆ＝（Ｐ40−
Ｐ42）×Ｓ＋Ｗで表される。ただし、Ｐ40は圧力室４０
の圧力、Ｐ42は圧力室４２の圧力、Ｓはピストン２６の
小矩形部３９の横断面積、Ｗはピストン２６，吸着ノズ
ル１６および電気部品１４の重量である。電気部品１４
の重量は無視されるようにしてもよい。圧力室４０の圧
力Ｐ40が圧力室４２の圧力Ｐ42より大きくされれば、装
着荷重Ｆは重量Ｗより大きくなり、圧力室４０の圧力Ｐ
40が圧力室４２の圧力Ｐ42より小さくされれば、装着荷
重Ｆは重量Ｗより小さくなる。圧力制御装置５５は、次
に装着すべき電気部品１４の種類に応じて記憶装置から
適正装着荷重を読み出し、その適正装着荷重から圧力Ｐ
40，Ｐ42を決定し、圧力センサ６２，６３の検出値が決
定した圧力Ｐ40，Ｐ42に等しくなるように、圧力制御弁
６０，６１への供給電流を制御する。
【００１５】前記軸受用気体供給通路５０は、圧力レギ
ュレータ６６を介して加圧気体源５６に接続されてい
る。これにより、軸受用気体供給通路５０を経て２つの
摺動案内面４４，４６間の隙間に圧力レギュレータ６６
により一定の圧力に制御された加圧気体が常時供給さ
れ、ピストン２６とシリンダハウジング２４との摺動抵
抗が小さくされる。本実施形態においては、軸受用気体
供給通路５０，圧力レギュレータ６６および加圧気体源
５６により、軸受用気体供給装置６８が構成されている
のであるが、加圧気体源５６が工場エア供給口である場
合には、この工場エア供給口は軸受用気体供給装置６８
には含まれず、工場エア供給口への接続部が含まれるも
のとする。
【００１６】小矩形孔部３４の内周面には、その内周面
に沿って軸方向に延びる長穴７０が形成されており、ピ
ストンロッド２８の外周面の長穴７０に対向する部位に
は、ピストンロッド２８の軸線に平行な方向に延びる長
穴７２が形成されている。長穴７２は、ピストン２６の
位置のいかんを問わず長穴７０と連通し、かつ、連通口
４８と連通しない長さで形成されている。長穴７０から
半径方向に延びる連通口７４がシリンダハウジング２４
の外周面に開口する一方、長穴７２が、ピストンロッド
２８および吸着ノズル１６の中心に形成された負圧通路
７６，７８に連通させられており、負圧供給装置７９が
連通口７４に接続されることにより、吸着ノズル１６に
負圧が供給される。負圧供給装置７９は、連通口７４を
負圧源に連通させる状態と、正圧源に連通させる状態
と、大気に連通させる状態とに切換え可能な方向切換弁
装置を備えている。
【００１７】次に、本実施形態の装着荷重制御装置付き
電気部品装着ヘッドによる電気部品の装着作業を説明す
る。制御装置６４に設けられた図示しない制御盤が操作
されることにより装着対象材としてのプリント基板への
電気部品１４の装着開始が指示されると、電気部品１４
が吸着ノズル１６に吸着され、装着位置へ移動させられ
る。前述のように、ヘッド本体１２が昇降装置に保持さ
れているが、その昇降装置が図示しないＸＹロボットに
より、吸着ノズル１６の軸線と直交する平面内の任意の
位置へ移動させられるようになっており、この移動によ
り装着位置に位置決めされるのである。なお、吸着ノズ
ル１６は、例えばインデックステーブルにより、予め定
められた一定の装着位置へ移動させられ、プリント基板
がＸＹテーブルにより任意の位置へ移動させられるよう
にしてもよい。
【００１８】今回装着される電気部品１４とプリント基
板との組合せに基づいて予め定められた適正装着荷重が
読み出され、その適正装着荷重に基づいて、圧力室４０
と圧力室４２との圧力が決定される。制御装置６４は各
圧力室４０，４２の圧力を決定した大きさに制御するの
であるが、電気部品１４がプリント基板に接触していな
い状態では、適正装着荷重に相当する下向きの付勢力が
肩面３６により受けられ、ピストン２６および吸着ノズ
ル１６が下降端位置に保たれることとなる。
【００１９】次に電気部品装着ヘッド１０が昇降装置に
より下降させられて、電気部品１４がプリント基板に接
触させられる。その際、電気部品装着ヘッド１０は、少
なくとも電気部品１４がプリント基板に接触する直前か
らは十分小さい速度で下降させられ、電気部品１４のプ
リント基板への接触時に、電気部品装着ヘッド１０の慣
性力により電気部品１４のプリント基板に対する押付荷
重が実質的に増大することが回避される。電気部品装着
ヘッド１０は電気部品１４がプリント基板に接触した
後、さらに、予め定められた下降位置まで下降させられ
る。それに伴って、圧力室４２の容積が増大し、圧力室
４０の容積が減少するが、これらの容積変化にもかかわ
らず、両圧力室４０，４２の圧力は圧力制御弁６０，６
１により、上記決定された大きさに保たれる。例えば、
圧力室４０の容積が減少して圧力室４０の圧力が決定さ
れた大きさより大きくなろうとすると、圧力制御弁６０
のリリーフ弁により過剰な気体が放出されて、圧力室４
０の容積変化にかかわらず圧力が一定に保たれる。した
がって、電気部品１４はプリント基板に適正装着荷重で
押し付けられ、予めプリント基板に塗布されている接着
剤，ペースト状半田等の固着剤により、プリント基板に
固着される。このように、装着荷重が一定に保たれた状
態で電気部品装着ヘッド１０が下降させられるので、電
気部品装着ヘッド１０の下降位置を精密に調整する必要
はない。電気部品装着ヘッド１０の下降位置は、具体的
には、大矩形部３８が肩面３６から離れ、かつ、シリン
ダボアの上側の端面に当接しない状態になる位置であれ
ば、どこに設定されても構わないのである。
【００２０】電気部品１４のプリント基板への固着後、
吸着ノズル１６への負圧の供給が断たれるとともに、ヘ
ッド本体１２が上昇させられるが、当初は吸着ノズル１
６は電気部品１４に接触し続ける。やがて、ピストン２
６の大矩形部３８がシリンダハウジング２４の肩面に当
接し、その後は吸着ノズル１６がヘッド本体１２と共に
上昇して、電気部品１４から離れる。電気部品装着ヘッ
ド１０が、次の電気部品を受け取るべき位置へ移動させ
られ、一回の作動が終了する。
【００２１】本実施形態においては、シリンダハウジン
グ２４の小矩形孔部３４の内周面とピストン２６の小矩
形部３９の外周面および貫通孔４４の内周面とピストン
ロッド２８の外周面が摺動案内面として機能し、ピスト
ン２６の摺動が案内されている。これに対して、小矩形
孔部３４と貫通孔４４とのいずれか一方においてピスト
ン２６の摺動を案内することも可能である。その際に
は、摺動を案内しない方の嵌合隙間を、摺動を案内する
方の嵌合隙間より大きくするとともに、軸方向の長さを
短くして、その部位においてシリンダハウジング２４と
ピストン２６とが互いに接触しないようにすることが望
ましい。さらにこの場合、負圧通路７８は前述のいずれ
の嵌合隙間を介して負圧供給装置７９を接続しても良
く、あるいは、図３に示すように、ヘッド本体１２に形
成した嵌合穴８４を介して負圧供給装置７９を接続する
こととしても良い。
【００２２】なお、以上の実施形態においては、シリン
ダ１８の断面が矩形となるように形成されていたが、矩
形以外の形状、例えば、円形，三角形等であっても良
い。
【００２３】前記実施形態においては、シリンダハウジ
ング２４がヘッド本体１２に固定的に保持されることに
よりシリンダ１８が保持されていたが、ピストン２６を
ヘッド本体１２に固定的に保持させ、シリンダハウジン
グ２４をヘッド本体１２に対して相対移動可能として、
そのシリンダハウジング２４に吸着ノズル１６を保持さ
せてもよい。この場合には、圧力室４０および圧力室４
２と２つの摺動案内面４４，４６の隙間とに気体を供給
する供給路は、シリンダハウジング２４にではなく、ピ
ストン２６に形成することも可能である。
【００２４】前記実施形態においては、圧力センサ６
２，６３の検出値が制御装置６４により決定された圧力
Ｐ40，Ｐ42に等しくなるように、圧力制御弁６０，６１
への供給電流が制御されていたが、圧力室センサ６２，
６３が設けられず、ピストン２６等の自重および目標装
着荷重等に基づいて圧力制御弁６０，６１への供給電流
が制御されてもよい。
【００２５】前記実施形態においては、吸着ノズル１６
の負圧通路７６が小矩形孔部３４と小矩形部３９との嵌
合部を経て負圧供給装置７９に接続されていたが、図４
に示すように、吸着ノズル１６の負圧通路７６が、ピス
トン２６を貫通して、負圧供給装置７９に接続されるよ
うにすることも可能である。具体的には、ピストン２６
とピストンロッド２８とに、吸着ノズル１６の負圧通路
７６と同軸に負圧通路８０を形成するとともに、ピスト
ン２６の上端面から嵌合突部８２を突出させ、ヘッド本
体１２に形成した嵌合孔８４に嵌合させる。ただし、嵌
合突部８２の外周面と嵌合孔８４の内周面とは互いに接
触せず、かつ、ほぼ気密を保持し得るように嵌合隙間を
設定することが必要である。また、嵌合突部８２の長さ
は、ピストン２６が下降位置にある場合でも嵌合孔８４
から離脱しないように決定する必要がある。そして、嵌
合孔８４に負圧供給装置７９を接続すれば、ピストン２
６の位置いかんを問わず、吸着ノズル１６に負圧を供給
することができる。なお、嵌合孔８４に負圧が供給され
る状態では、ピストン２６に、嵌合突部８２の横断面積
と負圧との積に相当する力が上向きに作用するため、圧
力室４０，４２の圧力決定時にはこの事実が考慮される
ようにすることが望ましい。また、負圧に基づく上向き
の力の変動の影響をできる限り小さくするために、嵌合
突部８２の外径は必要最小限とすることが望ましい。
【００２６】以上、本発明の二三の実施形態を詳細に説
明したが、これはあくまでも例示であり、本発明は、前
記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および
発明の効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業
者の知識に基づいて種々の変更，改良を施した形態で実
施することができる。
【００２７】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である装着荷重制御装置付
き電気部品装着ヘッドの電気部品装着ヘッド部分を概念
的に示す正面断面図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】上記装着荷重制御装置付き電気部品装着ヘッド
の圧力制御装置および軸受用気体供給装置の部分を示す
回路図である。
【図４】本発明の別の実施形態における電気部品装着ヘ
ッドを概念的に示す正面断面図である。
【図５】従来の電気部品装着ヘッドを概念的に示す正面
断面図である。
【符号の説明】
１２：ヘッド本体 １６：吸着ノズル １８：シリ
ンダ ２４：シリンダハウジング ２６：ピストン
２８：ピストンロッド ３４：小矩形孔部 ３
９：小矩形部 ４０，４２：圧力室 ４６，４８：
連通口 ５０：軸受用気体供給通路 ５５：圧力制
御装置 ６８：軸受用気体供給装置
フロントページの続き (72)発明者 岩城 範明 愛知県知立市山町茶碓山19番地 富士機械 製造株式会社内 Ｆターム(参考） 3F061 AA01 CA01 CB12 DB06 DD00 5E313 AA01 AA11 CC02 CC03 EE02 EE24 EE38 FF24 FF28 FF29

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ヘッド本体と、 電気部品を吸着する吸着ノズルと、 それらヘッド本体と吸着ノズルとを吸着ノズルの軸線に
    平行な方向に相対移動可能に接続するシリンダであっ
    て、シリンダハウジングと、そのシリンダハウジングの
    内側に摺動可能に嵌合されたピストンとを備え、その
    ピストンの両端面のうち一方の端面とシリンダハウジン
    グとにより画定される第１圧力室と、ピストンの他方の
    端面とシリンダハウジングとにより画定される第２圧力
    室との少なくとも一方と、シリンダハウジング側とピ
    ストン側とにそれぞれ設けられて互に摺動可能に嵌合さ
    れることによりピストンのシリンダハウジングに対する
    摺動を案内する２つの摺動案内面とを有するシリンダ
    と、 前記第１圧力室と前記第２圧力室とのうち現に形成され
    るものの少なくとも一方の圧力を制御する圧力制御装置
    とを含むことを特徴とする装着荷重制御装置付き電気部
    品装着ヘッド。
  2. 【請求項２】 前記２つの摺動案内面の隙間に気体を供
    給して気体軸受を形成する軸受用気体供給装置を含むこ
    とを特徴とする請求項１に記載の装着荷重制御装置付き
    電気部品装着ヘッド。
  3. 【請求項３】ヘッド本体と、 電気部品を吸着する吸着ノズルと、 前記ヘッド本体に設けられ、前記吸着ノズルをヘッド本
    体に対して相対移動可能に保持する保持手段とを含む電
    気部品装着ヘッドであって、 前記保持手段が、シリンダハウジングと、そのシリンダ
    ハウジングの内側に摺動可能に嵌合されたピストンとを
    備えたシリンダを含み、かつ、そのシリンダが、前記
    ピストンの両端面のうち一方の端面と前記シリンダハウ
    ジングとにより画定される第１圧力室と、ピストンの他
    方の端面とシリンダハウジングとにより規定される第２
    圧力室との少なくとも一方と、その少なくとも一方と
    連通した連通口と、シリンダハウジング側とピストン
    側とにそれぞれ設けられて互に摺動可能に嵌合されるこ
    とにより、ピストンのシリンダハウジングに対する摺動
    を案内する２つの摺動案内面と、それら２つの摺動案
    内面間の隙間に、圧力気体を前記ピストンの軸線を対称
    軸として軸対称に供給する軸受用気体供給通路とを備え
    ることを特徴とする電気部品装着ヘッド。
JP11222836A 1999-08-05 1999-08-05 電気部品装着ヘッド Pending JP2001047385A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11222836A JP2001047385A (ja) 1999-08-05 1999-08-05 電気部品装着ヘッド
US09/624,859 US6328362B1 (en) 1999-08-05 2000-07-24 Electric-component mounting head
DE60042869T DE60042869D1 (de) 1999-08-05 2000-08-04 Bestückungskopf für elektrisches Bauteil
EP00306669A EP1075174B1 (en) 1999-08-05 2000-08-04 Electric-component mounting head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11222836A JP2001047385A (ja) 1999-08-05 1999-08-05 電気部品装着ヘッド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001047385A true JP2001047385A (ja) 2001-02-20

Family

ID=16788678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11222836A Pending JP2001047385A (ja) 1999-08-05 1999-08-05 電気部品装着ヘッド

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6328362B1 (ja)
EP (1) EP1075174B1 (ja)
JP (1) JP2001047385A (ja)
DE (1) DE60042869D1 (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002205293A (ja) * 2001-01-09 2002-07-23 Murata Mfg Co Ltd 吸着ノズル及びそれを用いたワーク搬送装置
KR20030046306A (ko) * 2001-12-05 2003-06-12 에섹 트레이딩 에스에이 반도체 칩을 설치하기 위한 장치
JP2003311671A (ja) * 2002-04-26 2003-11-05 Kuroda Precision Ind Ltd 切換弁装置
KR20120093927A (ko) * 2009-10-06 2012-08-23 에어로라스 게엠베하, 에어로슈타티쉐 라거- 레이저테크닉 전기 또는 전자 부품을 핸들링하기 위한 마운팅 헤드
JP2012202416A (ja) * 2011-03-23 2012-10-22 Ckd Corp アクチュエータ及びアクチュエータの製造方法
JP2015171749A (ja) * 2014-03-12 2015-10-01 ファナック株式会社 バラ積みされたワークを取り出すロボットシステム及びワークの把持状態を判定する判定方法
JP2016201410A (ja) * 2015-04-08 2016-12-01 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 荷重補正装置、荷重補正方法、実装装置及び実装方法
JPWO2015011805A1 (ja) * 2013-07-24 2017-03-02 富士機械製造株式会社 部品実装機の部品移載装置
WO2017170539A1 (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 住友重機械工業株式会社 アクチュエータ
KR20180048167A (ko) * 2016-11-02 2018-05-10 삼성전자주식회사 피커 어셈블리 및 이를 구비하는 추출장치
JP2020019098A (ja) * 2018-08-01 2020-02-06 Thk株式会社 負圧発生構造およびアクチュエータ
WO2021111709A1 (ja) * 2019-12-06 2021-06-10 Smc株式会社 真空吸着シリンダ集合体
KR102683645B1 (ko) * 2019-12-06 2024-07-11 에스엠시 가부시키가이샤 진공 흡착 실린더 집합체

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001063999A2 (en) * 2000-02-22 2001-08-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Suction nozzle for holding component by suction
US6592325B2 (en) * 2001-06-25 2003-07-15 Industrial Technology Research Institute Air-suspended die sorter
US6651866B2 (en) * 2001-10-17 2003-11-25 Lilogix, Inc. Precision bond head for mounting semiconductor chips
JP2004063653A (ja) * 2002-07-26 2004-02-26 Nikon Corp 防振装置、ステージ装置及び露光装置
US6820325B2 (en) * 2002-10-17 2004-11-23 Delaware Capital Formation, Inc. Integrated air flow control for a pick and place spindle assembly
WO2005025287A1 (de) * 2003-09-05 2005-03-17 Siemens Aktiengesellschaft Greifereinheit zum bestücken von substraten mit elektrischen bauelementen
US7543867B2 (en) * 2005-09-30 2009-06-09 Photon Dynamics, Inc. Vacuum gripping system for positioning large thin substrates on a support table
US7471019B2 (en) * 2005-12-30 2008-12-30 The Gillette Company High speed assembly actuator
DE102008059490B3 (de) * 2008-11-28 2010-09-02 Siemens Electronics Assembly Systems Gmbh & Co. Kg Bestückkopf und Bestückautomat
JP5839170B2 (ja) * 2011-09-03 2016-01-06 Tdk株式会社 ワーク搬送装置、並びにワーク処理装置及びワーク処理方法
JP5869005B2 (ja) * 2012-01-19 2016-02-24 富士機械製造株式会社 吸着ノズル及びその異常検出装置
DE102012212249B4 (de) * 2012-07-12 2016-02-25 Infineon Technologies Ag Verfahren zur Herstellung eines Verbundes und eines Halbleitermoduls
US9022444B1 (en) * 2013-05-20 2015-05-05 Western Digital Technologies, Inc. Vacuum nozzle having back-pressure release hole
JP2015062211A (ja) * 2013-09-23 2015-04-02 日本電産リード株式会社 接触装置
US10259104B2 (en) * 2013-10-28 2019-04-16 Nikon Corporation Precision clamp
CN105583841B (zh) * 2014-10-20 2018-01-23 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 定位治具
EP3307042B1 (en) * 2015-05-27 2021-08-04 FUJI Corporation Component mounting head and suction nozzle assembly that can be used in same
CN108353531B (zh) * 2015-11-04 2020-05-08 株式会社富士 载荷计测装置及载荷计测方法
SG11201810084WA (en) * 2016-06-28 2018-12-28 Akribis Systems Pte Ltd Pick-and-place device having force measurement capability
CN108953471A (zh) * 2018-07-10 2018-12-07 哈尔滨工业大学 一种无摩擦重力卸荷机构

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4266905A (en) * 1979-04-20 1981-05-12 Board Of Regents For Education Of The State Of Rhode Island Apparatus for acquiring workpieces from a storage bin or the like
US4432701A (en) * 1981-04-07 1984-02-21 Yoji Ise Vacuum controlling device
US4657470A (en) * 1984-11-15 1987-04-14 Westinghouse Electric Corp. Robotic end effector
US4703965A (en) * 1986-02-25 1987-11-03 Micro Component Technology, Inc. Integrated circuit placement device vacuum head
JPS6355800A (ja) 1986-08-26 1988-03-10 Nec Corp Ｉｃカ−ド
US4850780A (en) * 1987-09-28 1989-07-25 Kulicke And Soffa Industries Inc. Pre-peel die ejector apparatus
US4950011A (en) * 1988-10-24 1990-08-21 Nicky Borcea Tool for precisely positioning a workpiece
US5201875A (en) * 1990-01-16 1993-04-13 Aetrium, Inc. Probe and inverting apparatus
JPH07105637B2 (ja) * 1990-05-31 1995-11-13 三洋電機株式会社 部品装着装置
US5029383A (en) 1990-06-07 1991-07-09 Universal Instruments Corporation Articulating tip for pick and place head
US5308132A (en) 1992-10-05 1994-05-03 Motorola, Inc. Circuit assembly device for programmably controlling placement force and method thereto
JPH06224595A (ja) * 1993-01-19 1994-08-12 Juki Corp 部品吸着搭載ヘッド装置
US5420488A (en) 1993-12-03 1995-05-30 Motorola, Inc. Vacuum nozzle having dynamically adjustable placement force
US5626378A (en) * 1994-08-11 1997-05-06 Vactech, Inc. Self-actuated vacuum grip
JPH08279697A (ja) * 1995-04-10 1996-10-22 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電子部品装着ヘッド，電子部品装着装置および電子部品装着方法
JP3677108B2 (ja) * 1996-01-29 2005-07-27 三星テクウィン株式会社 部品搭載装置
JPH1013092A (ja) * 1996-06-26 1998-01-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品装着ヘッド
US5928537A (en) * 1997-03-14 1999-07-27 Fortune; William S. Pneumatic pickup tool for small parts
US6101707A (en) * 1998-03-03 2000-08-15 Sanyo Electric Co., Ltd. Mounting head for electronic component-mounting apparatus

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002205293A (ja) * 2001-01-09 2002-07-23 Murata Mfg Co Ltd 吸着ノズル及びそれを用いたワーク搬送装置
KR20030046306A (ko) * 2001-12-05 2003-06-12 에섹 트레이딩 에스에이 반도체 칩을 설치하기 위한 장치
JP2003311671A (ja) * 2002-04-26 2003-11-05 Kuroda Precision Ind Ltd 切換弁装置
KR20120093927A (ko) * 2009-10-06 2012-08-23 에어로라스 게엠베하, 에어로슈타티쉐 라거- 레이저테크닉 전기 또는 전자 부품을 핸들링하기 위한 마운팅 헤드
JP2013507010A (ja) * 2009-10-06 2013-02-28 アエロラス ゲーエムベーハー 電気または電子部品を取り扱うための挿入ヘッド
KR101653139B1 (ko) * 2009-10-06 2016-09-01 에어로라스 게엠베하, 에어로슈타티쉐 라거- 레이저테크닉 전기 또는 전자 부품을 핸들링하기 위한 마운팅 헤드
JP2012202416A (ja) * 2011-03-23 2012-10-22 Ckd Corp アクチュエータ及びアクチュエータの製造方法
JPWO2015011805A1 (ja) * 2013-07-24 2017-03-02 富士機械製造株式会社 部品実装機の部品移載装置
JP2015171749A (ja) * 2014-03-12 2015-10-01 ファナック株式会社 バラ積みされたワークを取り出すロボットシステム及びワークの把持状態を判定する判定方法
US9481091B2 (en) 2014-03-12 2016-11-01 Fanuc Corporation Robot system for taking out bulk stacked workpieces and judgment method for judging workpiece gripping state
JP2016201410A (ja) * 2015-04-08 2016-12-01 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 荷重補正装置、荷重補正方法、実装装置及び実装方法
TWI634269B (zh) * 2016-03-29 2018-09-01 住友重機械工業股份有限公司 Actuator
KR102287002B1 (ko) * 2016-03-29 2021-08-09 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 액추에이터
WO2017170539A1 (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 住友重機械工業株式会社 アクチュエータ
KR20180125539A (ko) * 2016-03-29 2018-11-23 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 액추에이터
JP2017180556A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 住友重機械工業株式会社 アクチュエータ
KR20180048167A (ko) * 2016-11-02 2018-05-10 삼성전자주식회사 피커 어셈블리 및 이를 구비하는 추출장치
KR102545230B1 (ko) * 2016-11-02 2023-06-19 삼성전자주식회사 피커 어셈블리 및 이를 구비하는 추출장치
JP2020019098A (ja) * 2018-08-01 2020-02-06 Thk株式会社 負圧発生構造およびアクチュエータ
KR20210038611A (ko) * 2018-08-01 2021-04-07 티에치케이 가부시끼가이샤 부압 발생 구조 및 액추에이터
JP7158944B2 (ja) 2018-08-01 2022-10-24 Thk株式会社 負圧発生構造およびアクチュエータ
WO2020027271A1 (ja) * 2018-08-01 2020-02-06 Thk株式会社 負圧発生構造およびアクチュエータ
KR102628174B1 (ko) 2018-08-01 2024-01-23 티에치케이 가부시끼가이샤 부압 발생 구조 및 액추에이터
WO2021111709A1 (ja) * 2019-12-06 2021-06-10 Smc株式会社 真空吸着シリンダ集合体
CN114746227A (zh) * 2019-12-06 2022-07-12 Smc 株式会社 真空吸附缸集合体
CN114746227B (zh) * 2019-12-06 2023-12-19 Smc 株式会社 真空吸附缸集合体
KR102683645B1 (ko) * 2019-12-06 2024-07-11 에스엠시 가부시키가이샤 진공 흡착 실린더 집합체
JP7518417B2 (ja) 2022-12-07 2024-07-18 シンフォニアテクノロジー株式会社 容器パージ装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1075174B1 (en) 2009-09-02
DE60042869D1 (de) 2009-10-15
US6328362B1 (en) 2001-12-11
EP1075174A1 (en) 2001-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001047385A (ja) 電気部品装着ヘッド
KR20100085030A (ko) 부품 실장기, 부품 장착 헤드 및 부품 장착 방법
WO2016189678A1 (ja) 部品装着ヘッドおよびそれに用いることができる吸着ノズルアセンブリ
CN101532818A (zh) 接触式计测装置
US20050167565A1 (en) Vacuum-suction tool stand
KR20040036578A (ko) 가변 용량 압축기용 제어 밸브
JPH11227157A (ja) クリーム半田印刷機
JP6312807B2 (ja) 部品装着ヘッド
US20050118032A1 (en) Vaccum-generating unit
JP4794424B2 (ja) エアベアリングユニット
JP2001068895A (ja) 電子部品装着装置
JP6784821B2 (ja) 部品装着ヘッドおよびそれに用いることができる吸着ノズルアセンブリ
JP3963805B2 (ja) 微動装置
JP4859784B2 (ja) ノズルユニット
JP2017092188A (ja) 実装ヘッド、表面実装機および吸着ノズルの吸引状態の検出方法
JP4220225B2 (ja) 表面実装機
JPH06137968A (ja) 緩衝機構における外力測定装置
JP3658821B2 (ja) 姿勢制御型すべり案内装置
JPH08213796A (ja) 実装機の真空吸着装置及び静圧軸受け
JP5385622B2 (ja) ロケートクランプ装置及びワークパネルのクランプ方法
CN220547900U (zh) 静压导轨装置及机床
JP2017059608A (ja) 部品装着機
JPH07183693A (ja) 異形部品装着機
JPH10292803A (ja) スライドシリンダ
JP2005249153A (ja) 電磁弁

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060801

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080729

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080917

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081202

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090202

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090407