KR100609756B1

KR100609756B1 - 팁용 홀더와 그 제조방법 및 그 팁용 홀더를구비하는 스크라이브 장치와 수동 커터

Info

Publication number: KR100609756B1
Application number: KR1020047009268A
Authority: KR
Inventors: 도미모리히로시
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2001-12-18
Filing date: 2002-12-18
Publication date: 2006-08-08
Also published as: WO2003051784A1; TW200301229A; JP4105631B2; KR20040074089A; AU2002366314A1; EP1466872A4; EP1466872B1; CN1604877A; ATE402125T1; EP1466872A1; CN1298645C; US20050016351A1; DE60227841D1; JPWO2003051784A1; TWI239322B; HK1076443A1

Abstract

양측에 원추 모양의 축을 형성하여 이루어지는 커터 팁을 구비하는 팁용 홀더에 있어서, 커터 팁을 축지하기 위한 팁용 홀더측의 오목부를, 소정 곡률반경의 커브면을 구비하는 벨 형상으로 하였다. 또한 팁용 홀더의 오목부에 고체 윤활제를 팁용 홀더의 외측으로부터 공급할 수 있는 구조로 하였다. 이에 따라 팁용 홀더에 있어서의 커터 팁의 가공수명을 연장시킬 수 있었다.

Description

팁용 홀더와 그 제조방법 및 그 팁용 홀더를 구비하는 스크라이브 장치와 수동 커터{HOLDER FOR TIP AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND SCRIBING DEVICE AND MANUAL CUTTER THAT ARE PROVIDED WITH THE HOLDER FOR TIP}

본 발명은, 커터 팁(cutter tip)을 구비하는 팁(tip)용 홀더(holder)와 그 제조방법 및 팁 홀더(tip holder)를 구비하는 스크라이브 장치(scribe 裝置)와 수동 커터(manual cutter)에 관한 것이다.

취성재료(脆性材料) 절단용의 팁용 홀더에 있어서는, 취성재료를 절단하기 위하여 팁용 홀더의 하단부에 커터 팁을 부착하여 취성재료의 표면에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성한다. 도1은, 종래에 있어서의 커터 팁의 하나의 예로서, 이것은 일본국 공개실용신안 실공소62-023779호 공보에 개시되어 있는 것이다. 이 커터 팁2는, 도1(a)에 나타나 있는 바와 같이 2개의 원추체(圓錐體)의 바닥면을 서로 접합시킨 것과 같은 형상을 이루고, 뾰족한 양쪽 선단(先端)(정점(頂點))부를 당해 커터 팁2의 축(軸)으로서 이용한 것이다. 이외에도 도1(b), (c) 및 (d)에 나타나 있는 바와 같은 커터 팁2에 있어서의 축(軸)의 경사면(傾斜面)이 오목한 모양인 커터 팁, 경사면이 볼록한 모양인 커터 팁 및 양쪽 선단부에 R-베벨링(R-chamfer) 가공을 실시한 커터 팁이 있다. 이 커터 팁2의 재질(材質)은 소결 다이아몬드(燒結 diamond)이다. 상기 구성의 커터 팁에서는, 축지부(軸支部)에서의 팁용 홀더와의 마찰저항(摩擦抵抗)이 작아 스크라이브(scribe) 수명이 길어지게 된다.

그러나 최근에 스크라이브 가공을 실시하여 얻어지는 예를 들면 액정표시패널(liquid crystal panel) 등에 있어서, 저가(低價)의 최종제품의 요구에 따라 스크라이브 가공 비용의 절감과 스크라이브 가공의 가공효율의 향상이 한층 더 요구되고 있다. 팁용 홀더에 관하여도 스크라이브 가공에 적용할 수 있는 수명이 더 긴 것을 개발할 필요가 있다.

본 발명의 목적은, 가공효율을 더 높이고 또한 스크라이브 수명이 긴 팁용 홀더를 제공하는 것이다.

본 발명에 관한 팁용 홀더(tip用 holder)는, 칼날 능선(cutting edge)의 양측에 원추(圓錐) 모양의 축(軸)을 형성하여 이루어지는 커터 팁(cutter tip)과, 2개의 홀더부재(holder 部材)와, 이 홀더부재의 대향(對向)하는 측에 각각 설치되어 커터 팁을 축지(軸支)하는 베어링(bearing)으로 이루어진다. 여기에서 베어링의 커터 팁을 축지하는 오목부의 형상을 벨(bell) 형 상으로 한다. 예를 들면, 이 벨 형상은 소정 곡률반경(曲律半徑)의 커브면(curve 面)이다.

상기의 팁용 홀더에 있어서, 예를 들면 상기 오목부는 상기 홀더부재에 비관통(非貫通) 이다.

상기의 팁용 홀더에 있어서, 예를 들면 상기 오목부는 상기 홀더부재에 비관통이고, 상기 벨 형상의 곡률반경은 커터 팁의 칼날 능선의 직경을 Dmm라고 하면, 0.1Dmm∼Dmm이다.

상기의 팁용 홀더에 있어서, 예를 들면 상기 오목부는 상기 홀더부재를 관통(貫通)하고 있다.

상기의 팁용 홀더에 있어서, 예를 들면 상기 오목부는 상기 홀더부재를 관통하고 또한 상기 벨 형상의 곡률반경은 커터 팁의 칼날 능선의 직경을 Dmm 라고 하면, Dmm∼2Dmm이다.

상기의 팁용 홀더에 있어서, 예를 들면 상기 베어링의 재질(材質)이 단결정 다이아몬드(單結晶 diamond)이다.

상기의 팁용 홀더에 있어서, 예를 들면 상기 베어링의 재질이 소결 다이아몬드(燒結 diamond)이다.

칼날 능선의 양측에 원추 모양의 축을 형성하여 이루어지는 커터 팁을 구비하는 팁용 홀더의 제조방법에 있어서, 상기 커터 팁을 축지하는 베어링에 벨 형상의 오목부를 형성하고, 이어서 제1홀더부재(first holder member)와 제2홀더부재에 상기 베어링을 지지시키는 베어링 지지부재(bearing 支持部材)를 설치하고, 이어서 커터 팁 및 베어링을 구비하는 제1홀더부재와 제2홀더부재를 각각 조합시킨다.

상기의 제조방법에 있어서, 예를 들면 베어링의 재질이 단결정 다이아몬드이다. 여기에서 바람직하게는, 상기의 벨 형상의 오목부가 YAG 레이저를 이용하여 가공된다.

또한 상기의 제조방법에 있어서, 예를 들면 상기 베어링의 재질이 소결 다이아몬드이다. 여기에서 바람직하게는, 상기의 벨 형상의 오목부가 방전가공(放電加工)된다.

또한 본 발명에 관한 스크라이브 장치는, 취성재료기판(脆性材料基板)을 재치(載置)하고 있는 테이블(table)에 대하여 상대적으로 X방향 및/또는 Y방향으로 이동하는 스크라이브 헤드(scribe head)에 본 발명에 관한 상기의 팁용 홀더를 구비한다.

본 발명에 관한 수동용 커터는, 통(筒) 모양의 그립(grip)과, 상기의 그립의 일단측(一端側)에 장착되는 본 발명에 의한 상기의 팁용 홀더로 이루어진다.

본 발명은, 2개의 원추체(圓錐體)의 바닥면을 서로 접합시킨 것과 같은 형상의 커터 팁을 지지하는 팁용 홀더측의 오목부를 소정의 곡률반경의 커브면으로 하였기 때문에, 커터 팁의 회전 정밀도가 높아지고 또한 고체 윤활제를 공급함으로써 축지부와의 마찰저항(摩擦抵抗)이 감소하기 때문에 커터 팁 및 팁용 홀더의 수명을 연장시킬 수 있다.

도1은 팁용 홀더에 구비되는 종래의 커터 팁의 예를 나타내는 도면이다.

도2는 종래의 팁용 홀더의 베어링부의 상세를 나타내는 확대도이다.

도3은 와이어 드로어(wire-drawer)에 있어서의 다이스 부를 나타내는 도면이다.

도4는 팁용 홀더의 정면도와 측면도이다.

도5는 본 발명의 실시예1에 있어서의 팁용 홀더의 베어링부의 확대도이다.

도6은 본 발명의 실시예2에 있어서의 팁용 홀더의 베어링부의 확대도이다.

도7은 본 발명의 실시예3에 있어서의 팁용 홀더의 베어링부의 확대도이다.

도8은 본 발명의 실시예3에 있어서의 팁용 홀더의 베어링의 제작예를 나타내는 도면이다.

도9는 본 발명의 팁용 홀더를 장착한 스크라이브 장치의 정면도이다.

도10은 도9의 스크라이브 장치의 측면도이다.

도11은 본 발명의 팁용 홀더를 장착한 수동용 커터의 부분 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 관하여 설명한다. 또 도면에 있어서 동일한 참조기호는 동일 또는 유사한 것을 나타낸다.

본 발명자는, 가공효율을 높이고 스크라이브(scribe) 수명을 더 길게 하기 위하여 종래의 팁(tip)용 홀더(holder)를 검토하였다. 도2는, 팁용 홀더1의 하단부에 부착되는 종래의 커터 팁(cutter tip)2와 그 홀더1의 베어링(bearing)3a의 상세를 나타낸다. 베어링3a는 커터 팁의 양측을 지지한다. 베어링3a는, 소결 다이아몬드(燒結 diamond)로 이루어지고, 커터 팁2와 접촉하는 축지부(軸支部)3b에는 커터 팁2의 형상을 따르도록 원추(圓錐) 모양의 오목부가 형성되어 있다. 칼날의 수명 테스트에 의하여 칼날의 스크라이브 수명을 연장시키기 위해서는, 커터 팁2의 칼날부분의 손모(損耗)를 방지하는 것보다 커터 팁2와 축지부3b와의 마찰저항(摩擦抵抗)을 감소시켜서 커터 팁2의 회전 정밀도를 높이는 것이 효과적이라는 것을 알았다. 즉 칼날의 수명을 연장시키기 위해서는, 커터 팁의 회전 정밀도를 높여서 커터 팁의 축(軸)이나 팁용 홀더의 베어링 마모량(磨耗量)을 작게 하는 것이 바람직하다.

그런데 도3은, 선재(線材)S의 직경을 연속적으로 드로잉(drawing)시키기 위한 위드드로어 머신(withdrawer machine)에 있어서의 다이스 부(dice 部)를 나타내고 있다. 이 다이스 부는, 입구측으로부터 벨(bell)(엔트런스(entrance)), 어프로치(approach), 리덕션(reduction), 베어링(bearing), 백 릴리프(back relief) 및 엑시트(exit)라고 부르는 부위로 이루어지고, 수명 및 가공 정밀도의 측면에서 이 다이스는 다이아몬드로 형성되어 있다. 이 다이스에 있어서의 내면가공(內面加工) 영역은, 가공 정밀도, 내마모성(耐磨耗性) 및 충분한 강도(强度)를 얻기 위하여 적절한 형상으로 되어 있고, 그 단면(斷面)의 형상은 완만하게 커브(curve)되어 있다.

본 발명자는, 도2에 나타나 있는 원추 모양의 오목부의 축지부를 대신하여 도3에 나타나 있는 다이스에 있어서의 벨 부에 있는 것과 같은 커브되어 있는 벨 형상의 축지부를 채용하여 안정한 선접촉(線接觸)에 의하여 커터 팁의 구심력(求心力)을 향상시켜서 회전 정밀도를 더 높임으로써 칼날의 스크라이브 수명의 장기화가 도모된다는 것을 알아내었다.

도4는, 취성재료(脆性材料) 절단용의 팁용 홀더1의 정면도(A) 및 그 측면도(B)를 나타내고 있다. 팁용 홀더의 하부에는 2개의 홀더부재(holder 部材)1a, 1b가 병행(竝行)하여 설치되어 있고, 도면에 나타나 있지 않은 베어링에 의하여 팁2가 회전 가능하도록 피벗(pivot) 지지되어 있다. 도4에서는, 홀더부재1a, 1b가 팁용 홀더1에 일체(一體)로 형성되어 있고, 하단에 커터 팁2를 삽입하여 조립되어 있다. 홀더부재1a, 1b의 베어링 부의 축심(軸芯)은 일직선이 되도록 팁용 홀더가 제작되어 있어, 소정의 거리를 두고 결합되어 커터 팁2를 회전 가능하도록 지지시킴으로써 원하는 용도로 사용하는 것이 가능하다.

도5는, 본 발명의 실시예1에 있어서의 팁용 홀더20의 하단부 단면을 나타내고 있다. 도5에 나타나 있는 바와 같이 제1홀더부재20a와 제2홀더부재20b 하부의 서로 대향(對向)하는 면에 각각 형성되는 원형(圓形)의 홈에 베어링 지지부(bearing 支持部材)6이 예를 들면 용접되어 부착된다. 이 베어링 지지부재6은, 예를 들면 Fe-Cu-Sn의 소결금속(燒結金屬)으로서, 예를 들면 단결정 다이아몬드(單結晶 diamond)인 다이아몬드를 가공한 베어링5a와 함께 소정의 원기둥 형상으로 소결(燒結)되어 형성되어 있다. 커터 팁2는 칼날 능선(cutter edge)의 양측에 원추 모양의 축을 형성하여 이루어진다. 베어링5a에 있어서의 표면의 축지부5b는, 도3의 벨 부에 있는 것과 같은 커브되어 있는 벨 형상으로 되어 있다. 예를 들면 커터 팁2의 칼날 능선의 직경이 2mm인 때에 상기 커브의 곡률반경(曲律半徑)은 대략 0.2∼2mm이다. 또한 상기한 칼날 능선의 직경을 Dmm라고 하면, 커브의 곡률반경은 대략 0.1Dmm∼Dmm의 길이의 범위에서 선택된다.

그 축지부5b는 비관통(非貫通)의 오목부를 형성하고 있다. 즉 축지부5b의 오목부는 베어링5a에 대하여 비관통이다. 이 경우에 고체 윤활제(固體潤滑劑)는 축지부5b의 커터 팁2측으로부터 공급된다. 고체 윤활제로서는 이황화 텅스텐(tungsten disulfide)이나 이황화 몰리브덴(molybdenum disulfide) 등이 있고, 이들은 넓은 사용온도, 난증발성(難蒸發性) 등의 특징을 구비하고 있다.

또한 도6은, 본 발명의 실시예2에 있어서의 팁용 홀더20의 하단부를 나타내고 있다. 실시예1에 있어서의 팁용 홀더의 하단부와 마찬가지로, 제1홀더부재20a와 제2홀더부재20b 하부의 서로 대향(對向)하는 면에 각각 형성되는 원형의 홈에 베어링 지지부재6과 베어링7a를 설치한다. 축 지지부(軸支持部)7b는, 관통구멍7d를 구비하고, 그 관통구멍7d가 베어링 지지부재6에 의하여 막혀 있다.

도7은, 본 발명의 실시예3에 있어서의 팁용 홀더20의 하단부를 나타내고 있다. 실시예2에 있어서의 팁용 홀더의 하단부와 마찬가지로, 제1홀더부재20a와 제2홀더부재20b 하부의 서로 대향하는 면에 각각 형성되는 원형의 홈에 베어링 지지부재6과 베어링7a를 설치한다. 여기에서 축지부7b는, 베어링7a를 관통하는 관통구멍7d를 구비하고 있고 또한 그 관통구멍7d와 일치하도록 베어링 지지부재6 및 홀더20측에 있어서도 관통구멍7c가 형성되어 있다. 이 관통구멍7c 및 관통구멍7d는, 홀더20의 외측으로부터 공급되는 고체 윤활제의 투입구(投入口)로서 사용된다.

또한 이 경우, 축지부7b는 예를 들면 커터 팁2의 칼날 능선의 직경이 3mm인 때에 상기 커브의 곡률반경은 대략 3∼6mm이다. 또한 상기의 칼날 능선의 직경을 Dmm라고 하면 커브의 곡률반경은 대략 Dmm∼2Dmm의 길이의 범위에서 선택된다.

본 발명의 팁용 홀더는, 도4에서의 2개의 홀더부재1a, 1b 각각을 상기 실시예1부터 실시예3에 있어서의 제1홀더부재20a, 제2홀더부재20b로 치환(置換)한 것이다.

도8은, 단결정 다이아몬드 또는 소결 다이아몬드로부터 베어링7a를 제조하는 경우의 제조공정에 있어서의 하나의 실시예를 나타낸다. 단결정 다이아몬드X로부터 베어링7a를 제작하는 경우에는, 단결정 다이아몬드X는, 상하의 부분((도8(a)의 사선부)을 스케이프(scaife(skeif)) 등에 의한 가공에 의하여 커트(cut)하고, YAG 레이저에 의하여 그 중심에 벨 형상의 구멍(bell-shaped hole)이 형성되어 축지부7b의 기본이 되는 벨 형상을 구비하는 구멍이 형성된다(도8(b)). 그리고 베어링7a가 소정의 외형 크기가 되도록 YAG 레이저에 의하여 둥글게 가공된다(도8(c)). 그 후에 축지부7b에 프리 그래인(free grain)(다이아몬드 그래인(diamond grain) 2∼4μm)을 공급하고, 축지부와 같은 선단각도(先端角度)의 바늘모양 부재12를 회전시키고 또한 스윙(swing) 운동시켜서 벨 형상을 무너뜨리지 않도록 래핑(lapping) 가공이 이루어진다(도8(f)).

또한 소결 다이아몬드인 베어링7a를 제작하는 경우에는, 최초로 소정의 외형 크기를 갖는 원기둥 모양의 베어링 부재7a'에 다이아몬드 입자가 소결된다(도8(d)). 다음에 미리 벨 형상으로 성형(成形)된 방전용 전극(放電用電極)11을 이용하여 베어링 부재7a'에 대하여 방전가공(放電加工)을 하여 베어링 부재7a'에 벨 형상을 전사(轉寫)한다(도8(e)). 그 후에 방전가공된 면에 프리 그래인(다이아몬드 그래인 2∼4μm)을 공급하고, 축지부와 같은 선단각도의 바늘모양 부재12를 회전시키고 또한 스윙 운동시켜서 벨 형상을 무너뜨리지 않도록 래핑 가공이 이루어진다(도8(f)).

베어링7a에는 사파이어(sapphire)나 루비(ruby) 등의 보석(gem)을 사용하더라도 좋다. 또한 마무리의 래핑 가공은 상기 방법에 한하지 않고, 예를 들면 와이어 래핑(wire lapping) 가공을 사용하더라도 좋다.

본 발명의 팁용 홀더의 제조에 있어서는, 상기한 바와 같이 소정의 벨 형상의 오목부가 형성된 베어링5a, 7a는 베어링 지지부재6에 지지되어 제1홀더부재20a와 제2홀더부재20b에 설치된다. 다음에 커터 팁2 및 베어링5a, 7a를 구비하는 제1홀더부재20a와 제2홀더부재20b가 조합된다.

팁용 홀더에 대하여 칼날의 하중(荷重)을 1.0kg으로 하여 스크라이브 테스트를 하면, 도2의 종래의 타입에서는, 내구성(耐久性) 평가 테스트 결과인 주행수명거리(走行壽命距離)가 평균 15만m인 것에 대하여, 본 발명의 것에서는 평균 30만m로 대폭적으로 스크라이브 수명이 길어졌다. 또한 1만m마다 고형 윤활제를 투입함으로써 칼날의 수명이 대략 20%에서 30% 더 길어졌다.

커터 팁2를 축지(軸支)하는 베어링5a, 7a의 축지부5b, 7b에 기름을 함침처리(含浸處理)한 소결합금(燒結合金), 소위 오일리스 베어링(oiless bearing)을 사용함으로써 고체 윤활제의 정기적인 보충이 불필요하게 되어 안정한 스크라이브 성능을 유지시킬 수 있다. 또한 축지부5b, 7b에 표면개질·경화용(表面改質·硬化用)의 코팅(coating) 처리를 실시(예를 들면 디프릭 코팅(defric coating) 처리 등)하더라도 베어링5a, 7a의 수명을 연장시키 는 것이 가능하게 된다.

다음에 상기의 팁용 홀더를 장착한 스크라이브 장치에 대하여 설명한다. 도9와 도10은, 스크라이브 장치에 있어서의 하나의 실시예의 정면도와 측면도이다. 이 스크라이브 장치에 있어서, 수평회전 테이블(水平回轉 table)51에 재치(載置)되는 취성재료기판(脆性材料基板)50을 진공흡착수단(眞空吸着手段)에 의하여 수평회전 테이블51에 고정한다. 평행한 한 쌍의 안내 레일(案內 rail)52는, 이 테이블51을 Y방향(도9에 있어서 지면(紙面)과 직교하는 방향)으로 이동 가능하도록 피벗(pivot) 지지하고, 볼 나사(ball screw)53은 안내 레일52를 따라 테이블51을 이동시킨다. 가이드 바(guide bar)54는 X방향(이 도면에 있어서의 좌우방향)을 따라 테이블51의 상방에 가설(架設)된다. 스크라이브 헤드(scribe head)55는 X방향으로 슬라이딩(sliding) 가능하도록 이 가이드 바54에 설치되고, 모터(motor)56은 이 스크라이브 헤드55를 슬라이딩 시킨다. 상기의 팁용 홀더20은, 스크라이브 헤드55의 하부에 승강(昇降) 가능하고 또한 스윙(swing) 가능하도록 설치되고, 그 하단에 커터 팁2가 회전 가능하도록 장착된다. 한 쌍의 CCD 카메라58이 가이드 바54의 상방에 설치되어 테이블51 상의 취성재료기판50에 표시된 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 인식한다. 또한 이 스크라이브 헤드55 내에는, 1개의 스크라이브 라인(scribe line)의 형성이 완료될 때마다 상기한 바와 같이 커터 팁2를 180도 반전(反轉)시키기 위하여 팁용 홀더20을 180도 반전시키는 커터 팁 반전수단(cutter tip 反轉手段)이 내장되어 있 다.

또한 도11에 나타나 있는 수동 커터(manual cutter)에서는, 상기의 팁용 홀더를 장착하고 있다. 이 수동용 커터의 파지부(把持部)인 통(筒) 모양의 그립(grip)(핸들(handle))61은, 본 출원인에 의한 일본국 공개실용신안 실공소62-23780호 공보에 개시된 글래스 절단기와 동일한 것으로서, 그 하부에 상기의 본 발명에 의한 팁용 홀더20을 장착하고 있다. 수동용 커터는 글래스 뿐만 아니라 세라믹스(ceramic), 반도체(半導體) 재료 등의 취성재료(脆性材料)에도 적용된다. 여기에서는, 또한 커터 팁2에 기름을 공급하기 위하여 그립의 중공부(中空部)에 설치하는 오일 챔버(oil chamber)63, 오일 챔버의 캡(cap)64 및 그에 부수되는 기구(機構)65∼73을 구비하지만, 이것은 본 발명에는 직접적으로 관련되지 않는 기술이기 때문에 그에 대한 설명을 생략한다.

또 본 발명은, 복수의 실시예에 의하여 설명되었지만 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다.

Claims

칼날 능선(cutting edge)의 양측에 원추(圓錐) 모양의 축(軸)을 형성하여 이루어지는 커터 팁(cutter tip)을 축지(軸支)하기 위한 팁용 홀더로서,

2개의 홀더부재(holder 部材)와,

이 홀더부재의 대향(對向)하는 측에 각각 설치되어 커터 팁을 축지(軸支)하는 베어링(bearing)으로 이루어지고,

상기 베어링의 커터 팁을 축지하는 오목부의 형상을 벨(bell) 형상으로 하는 것을 특징으로 하는 팁용 홀더(tip用 holder).
제1항에 있어서,

상기의 벨 형상은 소정 곡률반경(曲律半徑)의 커브 면(curve 面)인 것을 특징으로 하는 팁용 홀더.
제1항에 있어서,

상기 오목부는, 상기 홀더부재에 비관통(非貫通)인 것을 특징으로 하는 팁용 홀더.
제2항에 있어서,

상기 오목부는 상기 홀더부재에 비관통이고, 상기 곡률반경은 커터 팁의 칼날 능선의 직경을 Dmm라고 하면, 0.1Dmm∼Dmm인 것을 특징으로 하는 팁용 홀더.
제1항에 있어서,

상기 오목부는, 상기 홀더부재를 관통(貫通)하는 것을 특징으로 하는 팁용 홀더.
제2항에 있어서,

상기 오목부는, 상기 홀더부재를 관통하고 또한 상기 곡률반경은 커터 팁의 칼날 능선의 직경을 Dmm라고 하면, Dmm∼2Dmm인 것을 특징으로 하는 팁용 홀더.
제1항에 있어서,

상기 베어링의 재질(材質)이 단결정 다이아몬드(單結晶 diamond)인 것을 특징으로 하는 팁용 홀더.
제1항에 있어서,

상기 베어링의 재질이 소결 다이아몬드(燒結 diamond)인 것을 특징으로 하는 팁용 홀더.
칼날 능선의 양측에 원추 모양의 축을 형성하여 이루어지는 커터 팁의 팁용 홀더의 제조방법에 있어서,

상기 커터 팁을 축지하는 베어링에 벨 형상의 오목부를 형성하는 공정과,

제1홀더부재(first holder member)와 제2홀더부재에 상기 베어링을 지지시키는 베어링 지지부재(bearing 支持部材)를 설치하는 공정과,

상기 커터 팁 및 상기 베어링을 구비하는 제1홀더부재와 제2홀더부재를 각각 조합시키는 공정

을 구비하는 것을 특징으로 하는 팁용 홀더의 제조방법.
제9항에 있어서,

상기 베어링의 재질이 단결정 다이아몬드인 것을 특징으로 하는 팁용 홀더의 제조방법.
제10항에 있어서,

상기 소정의 벨 형상의 오목부가 YAG 레이저를 사용하여 가공되는 것을 특징으로 하는 팁용 홀더의 제조방법.
제9항에 있어서,

상기 베어링의 재질이 소결 다이아몬드인 것을 특징으로 하는 팁용 홀더의 제조방법.
제12항에 있어서,

상기 소정의 벨 형상의 오목부가 방전가공(放電加工)되는 것을 특징으로 하는 팁용 홀더의 제조방법.
스크라이브 헤드(scribe head)가 취성재료기판(脆性材料基板)을 재치(載置)하고 있는 테이블(table)에 대하여 상대적으로 X방향 및/또는 Y방향으로 이동하는 기능을 구비하는 스크라이브 장치에 있어서,

상기 스크라이브 헤드가 청구항1부터 청구항8의 어느 하나의 항에 기재된 팁용 홀더를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
통(筒) 모양의 그립(grip)과, 상기의 그립의 일단측(一端側)에 고정되는 팁용 홀더를 구비하는 수동 커터(manual cutter)에 있어서,

상기 팁용 홀더가 청구항1부터 청구항8의 어느 하나의 항에 기재된 팁용 홀더를 구비하는 것을 특징으로 하는 수동용 커터.