KR100592131B1 - Intermediate product carrying apparatus, and intermediate product carrying method - Google Patents

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Abstract

공정간에서 반송되어 오는 캐리어에 저장되어 있는 제조 대상물을, 공정내에서 투입하고자 하는 순서로 적극적으로 이동하여 대상으로 되는 제조 장치로 반송할 수 있는 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법이 제공된다. Provided are a conveying apparatus of a manufactured object and a conveying method of a manufactured object capable of actively moving a manufactured object stored in a carrier which is conveyed between steps, in an order to be introduced in the process, and then conveying the manufactured object to a targeted manufacturing device. do.

복수의 공정간에서 반송되어 오는 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어(15)를, 해당하는 공정에 취입한 후에, 공정내에 배치된 제조 대상물의 제조 장치에 제조 대상물(W)을 매엽 반송에 의해 반송하는 매엽 반송 컨베이어(18)에, 캐리어(15) 내의 복수의 제조 대상물을 이체시키는 제조 대상물의 반송 장치(16)에 있어서, 공정내에 배치되어, 공정간에서 반송되어 오는 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어(15)를 해당하는 공정에 취입하여, 제조 대상물의 이동을 실행하기 위한 제조 대상물 이체 수단(100)을 구비하는 것을 특징으로 한다. After blowing the carrier 15 which stores the some object to be conveyed between some processes into the said process, the object to be manufactured W is sheet-feeded to the manufacturing apparatus of the object of manufacture arrange | positioned in a process. In the conveying apparatus 16 of the object of manufacture which transfers the some object of manufacture in the carrier 15 to the sheet | seat conveyance conveyer 18 to convey, it stores in the process, the some object of manufacture which is conveyed between processes. It is characterized by including the manufacturing object transfer means 100 for blowing the said carrier 15 into the said process, and performing the movement of a manufacturing object.

Description

제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법{INTERMEDIATE PRODUCT CARRYING APPARATUS, AND INTERMEDIATE PRODUCT CARRYING METHOD} The conveying apparatus of a manufacturing object and the conveying method of a manufacturing object {INTERMEDIATE PRODUCT CARRYING APPARATUS, AND INTERMEDIATE PRODUCT CARRYING METHOD}             

도 1은 본 발명의 제조 대상물의 반송 장치의 실시 형태를 포함하는 반도체 제조 장치의 일부분을 나타내는 평면도,BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The top view which shows a part of semiconductor manufacturing apparatus containing embodiment of the conveying apparatus of the manufacturing object of this invention,

도 2는 도 1의 하나의 공정을 나타내는 평면도,2 is a plan view showing one step in FIG. 1;

도 3은 도 2의 공정 중의 제조 대상물 이체 수단과 공정간 반송 컨베이어 및 매엽 반송 컨베이어를 나타내는 사시도,3 is a perspective view showing the object to be manufactured in the process shown in FIG.

도 4는 도 2의 공정의 일부분인 하나의 제조 장치와 매엽 반송 컨베이어의 일부분을 나타내는 사시도,4 is a perspective view showing a part of a manufacturing apparatus and a sheet conveying conveyor which are part of the process of FIG. 2;

도 5는 탑재 이송 로봇의 구조예를 나타내는 사시도, 5 is a perspective view showing a structural example of a mounted transfer robot;

도 6은 도 5의 탑재 이송 로봇의 다른 각도에서 본 사시도, 6 is a perspective view from another angle of the mounting transfer robot of FIG. 5;

도 7은 탑재 이송 로봇의 핸드에 웨이퍼가 탑재된 상태를 도시한 도면,7 is a view showing a state in which a wafer is mounted on the hand of the mounting transfer robot;

도 8은 본 발명의 제조 대상물의 반송 방법의 일례를 나타내는 흐름도,8 is a flowchart showing an example of a conveying method of the object of manufacture of the present invention;

도 9는 본 발명의 다른 실시 형태를 나타내는 평면도. 9 is a plan view showing another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

15 : 캐리어 16 : 제조 대상물의 반송 장치15 carrier 16 conveying device of object

18 : 매엽 반송 컨베이어 100 : 제조 대상물 이체 수단18: sheet conveying conveyor 100: manufacturing object transfer means

W : 웨이퍼(제조 대상물의 일종) W: Wafer (a kind of manufactured object)

본 발명은, 복수의 공정간에서 반송되어 오는 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 취입하고, 캐리어 내의 제조 대상물의 순서 혹은 조합을 변경하여 반송하기 위한 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법에 관한 것이다. The present invention is a conveying apparatus of a manufacturing object and a conveying method of a manufacturing object for taking in a carrier storing a plurality of manufacturing objects conveyed between a plurality of steps, changing the order or combination of the manufacturing object in the carrier, and conveying it. It is about.

예컨대, 제조 대상물로서의 반도체 웨이퍼(이하 웨이퍼라 함)를 제조하기 위한 반도체 제조 장치는, 예컨대 리소그래피 장치, 성막 장치, 에칭 장치, 세정 장치, 검사 장치 등의 각종 웨이퍼 제조 장치를 갖고 있다.For example, a semiconductor manufacturing apparatus for manufacturing a semiconductor wafer (hereinafter referred to as a wafer) as a manufacturing target includes various wafer manufacturing apparatuses such as a lithography apparatus, a film deposition apparatus, an etching apparatus, a cleaning apparatus, an inspection apparatus, and the like.

어느 종류의 반도체 제조 장치의 그룹으로부터, 다른 종류의 반도체 제조 장치의 그룹까지의 사이의 공정간에서는, 웨이퍼는 캐리어라 불리는 저장 부재에 의해 저장된 상태로 반송된다. 그리고 어떤 공정에 반송되어 온 캐리어로부터는, 웨이퍼가 취출됨으로써, 그 웨이퍼는 그 공정내에서 소정의 처리가 실행되도록 되어 있다.In the process between the group of a certain kind of semiconductor manufacturing apparatus and the group of the other kind of semiconductor manufacturing apparatus, a wafer is conveyed in the state stored by the storage member called a carrier. And the wafer is taken out from the carrier conveyed to some process, and the wafer is made to perform predetermined process in the process.

이러한 복수의 공정을 갖는 반도체 제조 장치는, 순차적으로 반송 통로를 따라 라인 형상으로 배열되어 있는 것이 있다(예컨대 일본 특허 공개 제 1999-145022 호의 제 1 항과 도 1 참조). Some semiconductor manufacturing apparatuses having such a plurality of processes are sequentially arranged in a line shape along the conveyance passage (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1999-145022, see Fig. 1).

또한, 이 캐리어(웨이퍼 카세트라 함) 방식에 의한 웨이퍼의 반송 대신에, 웨이퍼의 소량 다품종 생산의 요구로부터, 컨베이어상에 웨이퍼를 1장씩 탑재하여 반송하는 이른바 매엽 반송의 방식이 나오고 있다. 이 매엽 반송 방식은, 웨이퍼의 소량 다품종 생산에 대응시킨 것이다(예컨대 일본 특허 공개 제 2002-334917 호의 제 1 항과 도 1 참조). 이러한 매엽 반송 방식은 웨이퍼의 공정내 반송으로 이용하고자 하는 희망이 있다.Moreover, instead of conveying a wafer by this carrier (called a wafer cassette) system, the so-called sheet-fed conveyance system which mounts and conveys a wafer one by one on a conveyor is proposed by the request of production of a small quantity of various types of wafers. This single sheet conveying system corresponds to the production of small quantities of various kinds of wafers (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-334917 and Fig. 1). There is a desire to use such a single sheet conveying method for in-process conveyance of a wafer.

상술한 바와 같은 공정간 반송에 의해 반송된 캐리어로부터, 캐리어 내의 웨이퍼를, 직접 매엽 반송 컨베이어에 투입하고자 하면 다음과 같은 문제가 발생한다. The following problem arises when the wafer in a carrier is to be put into a sheet | seat conveyance conveyor directly from the carrier conveyed by the inter-process conveyance mentioned above.

이전의 공정으로부터 공정간 반송되어 온 캐리어 내에는, 이 해당 공정내에서 처리를 실행하는 제조 장치가 상이한 복수의 웨이퍼가 혼재하여 저장되어 있다.In the carrier conveyed between processes from the previous process, the some wafer from which the manufacturing apparatus which performs a process in this process differs is mixed and stored.

이러한 웨이퍼 중에는, 공정내의 제조 장치의 상황에 따라서는, 바로 매엽 반송 컨베이어에 투입할 수 없는 경우가 있다. In such a wafer, depending on the situation of the manufacturing apparatus in a process, it may not be able to immediately put in a sheet conveyance conveyor.

또한, 공정간 반송에 의해 반송되어 온 캐리어의 웨이퍼를 도착 순서대로 매엽 반송 컨베이어에 투입하면, 단계 변경 시간이 빈번히 발생하여 장치의 생산 효율을 저하시키는 경우가 있다.Moreover, when the wafer of the carrier conveyed by the inter-process conveyance is thrown into the sheet | seat conveyance conveyor in order of arrival, a step change time may generate | occur | produce frequently and the production efficiency of an apparatus may fall.

그래서 본 발명은 상기 과제를 해소하고, 공정간에서 반송되어 오는 캐리어에 저장되어 있는 제조 대상물을, 공정내에 투입할 때의 효율을 고려한 순서 혹은 조합으로 적극적으로 전환하여, 대상으로 되는 제조 장치로 반송할 수 있는 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.Thus, the present invention solves the above problems, and actively converts the manufacturing object stored in the carrier conveyed between the steps into a sequence or a combination considering the efficiency at the time of injecting the product into the manufacturing device. It aims at providing the conveying apparatus of the manufacturing object which can be made, and the conveying method of a manufacturing object.

본 발명의 제조 대상물의 반송 장치는, 복수의 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 해당하는 상기 공정으로 취입한 후에, 상기 공정내에 배치된 상기 제조 대상물의 제조 장치에 상기 제조 대상물을 매엽 반송에 의해 반송하는 매엽 반송 컨베이어에, 상기 캐리어 내의 상기 복수의 제조 대상물을 이체시키는 제조 대상물의 반송 장치에 있어서, The conveying apparatus of the object of manufacture of the present invention takes the carrier storing the plurality of objects of manufacture conveyed between a plurality of processes in the corresponding step, and then the apparatus for producing the object of manufacture placed in the step is In the conveying apparatus of the manufacturing object which transfers the said several manufacturing object in the said carrier to the sheet conveying conveyor which conveys a manufacturing object by sheet | leaf conveyance,

상기 공정내에 배치되어 있고, 상기 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하는 상기 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입하고 상기 제조 대상물의 이체를 실행하기 위한 제조 대상물 이체 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.It is provided in the said process, and the manufacturing object transfer means for blowing the said carrier which stores the some manufacture object conveyed between the said processes to the said process, and performing a transfer of the said manufacturing object, It is characterized by the above-mentioned. do.

이러한 구성에 의하면, 매엽 반송 컨베이어는 공정내에 배치되어 있다. 이 매엽 반송 컨베이어는, 공정내에 배치된 제조 대상물의 제조 장치에 대하여 제조 대상물을 매엽 반송에 의해 반송하도록 되어 있다.According to this structure, the sheet conveying conveyor is arrange | positioned in a process. This sheet conveyance conveyer conveys a manufacturing object by sheet | leaf conveyance with respect to the manufacturing apparatus of the object of manufacture arrange | positioned in a process.

제조 대상물 이체 수단은 공정내에 배치되어 있다. 이 제조 대상물 이체 수단은, 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하는 캐리어를 해당하는 공정에 취입하고 제조 대상물의 이체를 실행한다. 그리고 제조 대상물 이체 수단은, 이체시킨 제조 대상물을 매엽 반송 컨베이어에 반송하는 것이다.The object to be transferred is manufactured in the process. This manufacturing object transfer means blows into the corresponding process the carrier which stores the several manufacturing object conveyed between processes, and performs a transfer of a manufacturing object. The object to be manufactured is transferred to the sheet conveying conveyor.

이와 같이 함으로써, 제조 대상물 이체 수단은, 이 공정내에서 제조 대상물을 투입하고자 하는 순서 혹은 조합에 따라, 공정간에서 반송되어 온 캐리어로부터 공정내에서 이용하는 캐리어로 제조 대상물의 순서 혹은 조합을 적극적으로 변경하여 저장할 수 있다. In this way, the object to be manufactured transfer means actively changes the order or combination of the object to be manufactured from the carrier conveyed between the processes to the carrier to be used in the process according to the order or combination to which the object to be manufactured is introduced in this process. Can be stored.

이로써, 캐리어에는 목적지가 동일한 제조 대상물을 탑재할 수 있다. 따라서 이 캐리어에 탑재된 웨이퍼는, 매엽 반송 컨베이어에 대하여 순차적으로 이동하여, 공정내의 어느 제조 장치를 향해 효율적으로 반송될 수 있다. 이로써 제조 대상물의 반송 효율을 높여, 반송에 필요한 택트(tact)를 짧게 하여, 제조 대상물의 제조 효율을 높일 수 있다.Thereby, the carrier can be equipped with the manufacturing object of the same destination. Therefore, the wafer mounted on this carrier can move sequentially with respect to the sheet conveying conveyor, and can be conveyed efficiently toward any manufacturing apparatus in a process. Thereby, the conveyance efficiency of a manufacture object can be improved, the tact required for conveyance can be shortened, and the manufacture efficiency of a manufacture object can be improved.

상기 구성에 있어서, 상기 매엽 반송 컨베이어는 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 갖고, 상기 가설 스탠드는 적어도 1매의 상기 제조 대상물을 유지하는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. In the above configuration, it is preferable that the single sheet conveying conveyor has a plurality of temporary stands along the conveying direction, and the temporary stand holds at least one production object.

이러한 구성에 의하면, 매엽 반송 컨베이어는 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 갖고 있다. 이 가설 스탠드는 적어도 1매의 제조 대상물을 유지할 수 있다. 이와 같이 하면, 매엽 반송 컨베이어에 의한 제조 대상물의 반송 효율을 더 향상시킬 수 있다. According to this structure, the sheet | seat conveyance conveyor has some temporary stand along a conveyance direction. This temporary stand can hold at least 1 manufacturing object. By doing in this way, the conveyance efficiency of the manufacturing object by a sheet conveyance conveyor can be improved further.

상기 구성에 있어서, 상기 제조 대상물 이체 수단은, 복수의 상기 캐리어를 보관하기 위한 캐리어 스토커와, 상기 공정간에서 반송되어 오는 상기 캐리어를 상기 캐리어 스토커에 취입하고, 또 상기 캐리어 스토커로부터 상기 캐리어를 취출하기 위한 제 1 교환부와, 상기 제조 대상물을 유지하는 제조 대상물 스토커와, 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어가 저장하고 있는 상기 제조 대상물을 상기 제조 대상물 스토커로 이동시키고, 상기 제조 대상물 스토커에 있는 상기 제조 대상물을 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어에 다시 저장함으로써, 상기 제조 대상물의 배치 순서를 변경하기 위한 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단과, 상기 캐리어의 상기 순서 변경 완료된 제조 대상물을 상기 캐리어와 상기 매엽 반송 컨베이어 사이에서 교환하기 위한 제 2 교환부를 갖는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. In the said structure, the said object object transfer means blows into the said carrier stocker the carrier stocker for storing a plurality of said carriers, and the said carrier conveyed between the said processes, and takes out the said carrier from the said carrier stocker. A first exchanger for making, a manufactured object stocker holding the manufactured object, and the manufactured object stored by the carrier in the carrier stocker are moved to the manufactured object stocker, and the manufacturing in the manufactured object stocker By storing the object again in the carrier in the carrier stocker, manufacturing object loading conveyance and reordering means for changing the arrangement order of the manufacturing object, and the carrier and the sheetfed conveyance of the changed ordered production object of the carrier Bridge between conveyors It is preferable to have a 2nd exchange part for illuminating.

이러한 구성에 의하면, 제 1 교환부는 공정간에서 반송되어 오는 캐리어를 캐리어 스토커에 취입한다. 이 제 1 교환부는 캐리어 스토커로부터 외부로 캐리어를 배출하는 기능도 갖고 있다. According to this structure, a 1st exchange part blows in the carrier stocker the carrier conveyed between processes. This first exchange part also has a function of discharging the carrier from the carrier stocker to the outside.

제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단은, 캐리어 스토커에 있는 캐리어가 저장하고 있는 제조 대상물을 제조 대상물 스토커로 이송한다. 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단은, 제조 대상물 스토커에 있는 제조 대상물의 배치 순서를 변경하여 캐리어에 넣는 것이다.The manufacturing object loading conveyance and order changing means conveys the manufacturing object stored by the carrier in a carrier stocker to a manufacturing object stocker. The manufacturing object loading conveyance and order changing means change the arrangement order of the manufacturing object in the manufacturing object stocker, and put it in a carrier.

제 2 교환부는, 캐리어의 순서 변경 완료된 제조 대상물을 캐리어와 매엽 반송 컨베이어 사이에서 교환한다.The 2nd exchange part exchanges the manufacture object of which the order change of the carrier was completed between a carrier and a sheet conveyance conveyor.

이와 같이 함으로써, 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단은, 제조 대상물의 배치 순서를 변경한 제조 대상물을 캐리어에 저장할 수 있다. 그리고 제 2 교환부는, 순서 변경 완료된 제조 대상물을 캐리어로부터 매엽 반송 컨베이어로 효율적으로 교환할 수 있다. By doing in this way, the manufacturing object loading conveyance and the order change means can store the manufacturing object which changed the arrangement order of a manufacturing object in a carrier. And a 2nd exchange part can exchange the manufacturing object of which the order change was completed from a carrier to a sheet conveyance conveyor efficiently.

상기 구성에 있어서, 상기 제 2 교환부는 적어도 하나의 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있고, 상기 제 2 교환부가 복수의 상기 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있는 경우에는, 상기 탑재 이송 로봇 사이에 상기 제조 대상물의 트레이가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. In the above configuration, when the second exchanger is constituted by at least one mounted transfer robot, and the second exchanger is constituted by a plurality of the mounted transfer robots, the tray of the object to be manufactured is mounted between the mounted transfer robots. Is preferably arranged.

이러한 구성에 의하면, 제 2 교환부는 적어도 하나의 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있다. 제 2 교환부가 복수의 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있는 경우에는, 탑재 이송 로봇 사이에 제조 대상물의 트레이가 배치되어 있다. According to this structure, the 2nd exchange part is comprised by the at least 1 mounting transfer robot. When the 2nd exchange part is comprised by the some mounting robot, the tray of a manufacturing object is arrange | positioned between the mounting robots.

이로써, 또한 제 2 교환부는 순서 변경 완료된 제조 대상물을 캐리어와 매엽 반송 컨베이어 사이에서 더 효율적으로 교환할 수 있다. Thereby, the 2nd exchange part can exchange the manufacturing object of which the order change was completed between the carrier and the sheet conveying conveyor more efficiently.

상기 구성에 있어서, 상기 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 매엽 반송 컨베이어에는, 상기 제조 대상물을 처리하기 위한 복수의 제조 장치가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. In the above configuration, it is preferable that the object to be manufactured is a semiconductor wafer, and the sheet conveying conveyor is provided with a plurality of manufacturing apparatuses for processing the object to be manufactured.

이러한 구성에 의하면, 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이다. 매엽 반송 컨베이어에는, 제조 대상물을 처리하기 위한 복수의 제조 장치가 배치되어 있다. According to such a structure, a manufacturing object is a semiconductor wafer. In the sheet conveying conveyor, the some manufacturing apparatus for processing a manufacturing object is arrange | positioned.

이로써, 목적지가 동일한 웨이퍼는 각 제조 장치에 대하여 순차적으로 효율적으로 반송될 수 있다. In this way, wafers having the same destination can be efficiently conveyed sequentially to each manufacturing apparatus.

본 발명의 제조 대상물의 반송 방법은, 복수의 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입한 후에, 상기 캐리어 내의 상기 제조 대상물을 다른 캐리어에 이체시켜 반송하기 위한 제조 대상물의 반송 방법으로, 상기 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하는 상기 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입하는 캐리어 취입 단계와, 상기 캐리어에 저장된 상기 제조 대상물의 이체를 실행하고, 상기 이체시킨 제조 대상물을 매엽 반송 컨베이어에 이체시키기 위한 제조 대상물 이체 단계와, 상기 공정내에 배치된 상기 제조 대상물의 제조 장치에 대하여, 상기 매엽 반송 컨베이어에 의해 상기 제조 대상물을 매엽 반송으로 반송하는 공정내 매엽 반송 단계를 갖는 것을 특징으로 한다. The conveying method of the manufacturing object of this invention transfers the said manufacturing object in the said carrier to another carrier, after inject | pouring the carrier which stores the some manufacturing object conveyed between several processes to the said process. In the conveying method of the manufacturing object to carry out, Carrier blowing step which blows into the said process the said carrier which stores the some manufacture object conveyed between the said processes, And transfer of the said manufacturing object stored in the said carrier is performed, And a step of transferring the production object by sheet conveying conveyor to the production object transferring step for transferring the transferred object to the sheet conveying conveyor, and the manufacturing apparatus of the object of manufacture disposed in the step by the sheet conveying conveyor. It is characterized by having a single sheet conveying step.

이러한 구성에 의하면, 캐리어 취입 단계에서는, 공정간에서 반송되어 오는 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어는 해당하는 공정에서 취입된다.According to such a structure, in the carrier injection step, the carrier which stores the some manufacture object conveyed between processes is blown in at the said process.

제조 대상물 이동 단계에서는, 캐리어에 저장된 제조 대상물의 이체가 실행된다. 그리고 이체시킨 제조 대상물은 매엽 반송 컨베이어에 이체된다. In the manufacturing object moving step, transfer of the manufacturing object stored in the carrier is performed. The object to be transferred is transferred to a sheet conveying conveyor.

매엽 반송 단계에서는, 공정내에 배치된 제조 대상물의 제조 장치에 대하여, 매엽 반송 컨베이어가 제조 대상물을 매엽 반송에 의해 반송할 수 있다. In the sheet conveying step, the sheet conveying conveyor can convey the object of manufacture by sheet conveying with respect to the manufacturing apparatus of the object of manufacture arranged in the process.

이로써, 제조 대상물 이체 수단은, 이 공정내에서 제조 대상물을 투입하고자 하는 순서 혹은 조합에 따라 공정간에서 반송되어 오는 캐리어로부터 공정 내에서 이용하는 캐리어에 제조 대상물의 순서 혹은 조합을 변경하여 저장할 수 있다. Thereby, the object to be manufactured can be changed and stored in the carrier to be used in the process from the carrier conveyed between the processes according to the order or combination to which the object to be manufactured is introduced in this process.

이로써, 캐리어에는 목적지가 동일한 제조 대상물을 탑재할 수 있다. 따라서 이 캐리어에 탑재된 웨이퍼는, 매엽 반송 컨베이어에 대하여 순차적으로 이동하여, 공정내의 어느 제조 장치를 향해 효율적으로 반송될 수 있다. 이로써, 제조 대상물의 반송 효율을 높여서, 반송에 필요한 택트를 짧게 하여, 제조 대상물의 제조 효율을 높일 수 있다.Thereby, the carrier can be equipped with the manufacturing object of the same destination. Therefore, the wafer mounted on this carrier can move sequentially with respect to the sheet conveying conveyor, and can be conveyed efficiently toward any manufacturing apparatus in a process. Thereby, the conveyance efficiency of a manufacture object can be improved, the tact required for conveyance can be shortened, and the manufacture efficiency of a manufacture object can be improved.

상기 구성에 있어서, 상기 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 매엽 반송 컨베이어는, 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 갖고, 상기 가설 스탠드는 적어도 1매의 상기 제조 대상물을 유지하는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. In the above configuration, it is preferable that the object to be manufactured is a semiconductor wafer, the sheet conveying conveyor has a plurality of temporary stands along the conveying direction, and the temporary stand holds at least one of the manufactured objects. Do.

이러한 구성에 의하면, 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이다. 매엽 반송 컨베이어에는, 제조 대상물을 처리하기 위한 복수의 제조 장치가 배치되어 있다. According to such a structure, a manufacturing object is a semiconductor wafer. In the sheet conveying conveyor, the some manufacturing apparatus for processing a manufacturing object is arrange | positioned.

이로써, 목적지가 동일한 웨이퍼는 각 제조 장치에 대하여 순차적이고 효율적으로 반송될 수 있다. In this way, wafers having the same destination can be conveyed sequentially and efficiently with respect to each manufacturing apparatus.

발명의 실시예Embodiment of the Invention

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면에 기초하여 설명한다. Best Mode for Carrying Out the Invention Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 제조 대상물 반송 장치의 바람직한 실시 형태를 포함하는 반도체 제조 장치의 일례를 나타내고 있다.1 shows an example of a semiconductor manufacturing apparatus including a preferred embodiment of a production object carrying apparatus of the present invention.

도 1에 나타내는 반도체 제조 장치(10)에 있어서의 제조 대상물은 반도체 웨이퍼[이하, 웨이퍼(W)라 함]이다. The manufacturing object in the semiconductor manufacturing apparatus 10 shown in FIG. 1 is a semiconductor wafer (henceforth wafer W).

이 반도체 제조 장치(10)는, 반도체 제조 시스템이라고도 불리며, 복수의 처리를 실시하는 복수의 공정을 거쳐 웨이퍼를 제조하기 위한 제조 설비이다. 이 웨이퍼(W)는 예컨대 액정 장치의 기판을 제조할 수 있다. This semiconductor manufacturing apparatus 10 is also called a semiconductor manufacturing system, and is a manufacturing facility for manufacturing a wafer through a plurality of processes of performing a plurality of processes. This wafer W can manufacture the board | substrate of a liquid crystal device, for example.

도 1에 도시하는 반도체 제조 장치(10)는, 공정간 반송 컨베이어(11)와 복수 의 공정(이하, 공정이라 함)(13, 14, 19)을 갖고 있다.The semiconductor manufacturing apparatus 10 shown in FIG. 1 has the inter-process conveyance 11 and some process (henceforth a process) 13, 14, 19. As shown in FIG.

도 1의 반도체 제조 장치(10)의 예로는, 도면의 간략화를 위해, 예컨대 3개의 공정(13, 14, 19)이 도시되어 있다.In the example of the semiconductor manufacturing apparatus 10 of FIG. 1, for example, three processes 13, 14, and 19 are shown for simplicity of the drawings.

그러나, 공정의 수는 특별히 한정되는 것이 아니라, 2개이어도 4개 이상이어도 무방하다. 또한 도 1에서는, 공정(13, 14, 19)이, 공정간 반송 컨베이어(11)의 한쪽에서 공정간 반송 컨베이어(11)의 반송 방향(R)을 따라 순차적으로 배열되어 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 공정은 공정간 반송 컨베이어(11)의 일방측과 타방측에 각각 복수 배열되어 있어도 물론 무방하다.However, the number of steps is not particularly limited and may be two or four or more. In addition, in FIG. 1, the process 13, 14, 19 is sequentially arrange | positioned along the conveyance direction R of the interprocess conveyance 11 on one side of the interprocess conveyance 11. However, it is not limited to this, The process may of course be arranged in multiple numbers on one side and the other side of the inter-process conveyance conveyor 11, of course.

공정간 반송 컨베이어(11)는, 캐리어(15)를 반송 방향으로 반송하여, 공정(13, 14, 19) 중 임의의 하나에 대하여 공급하기 위한 것이다. The inter-process conveyance conveyor 11 is for conveying the carrier 15 to a conveyance direction, and supplying to any one of the processes 13, 14, and 19. As shown in FIG.

본 발명의 실시 형태에 있어서는, 「공정간」란 공정(13, 14, 19) 내의 예컨대 공정(13)과 공정(14) 혹은 공정(14)과 공정(19) 혹은 공정(13)과 공정(19)과 같은 공정의 사이를 말한다. In the embodiment of the present invention, the term "between steps" refers to, for example, the steps 13, 14, or 19 in the steps 13, 14, and 19, or the step 14, the step 19, or the step 13 and the step ( It is during the same process as 19).

또한 「공정내」란 공정(13, 14, 19)의 각 내부를 말한다. 「공정」은 「베이」라고도 불리고 있다.In addition, "in process" means each inside of process (13, 14, 19). "Process" is also called "bay."

도 1에 도시하는 각 공정(13, 14, 19)에는, 각각 제조 대상물의 반송 장치(16)가 배치되어 있다. In each process 13, 14, 19 shown in FIG. 1, the conveying apparatus 16 of a manufacturing object is arrange | positioned, respectively.

도 1에 도시하는 반도체 제조 장치(10)는, 그 전체가 예컨대 바람직하게는 클린룸 내에 배치되어 있다. 각 공정(13, 14, 19)은 각각 별개로 역시 클린룸 내에 배치되어 있다. 이 클린룸 내는, 천정으로부터 바닥 아래로의 공기의 흐름(다운 플로우)을 발생하고 있어, 이로써 공기 중의 먼지를 제거하여, 규정된 청정도 레벨(청정도 클래스)로 관리되어 있다.In the semiconductor manufacturing apparatus 10 shown in FIG. 1, the whole, for example, is preferably arrange | positioned in a clean room. Each process (13, 14, 19) is separately arranged also in a clean room. The inside of this clean room generates a flow (downflow) of air from the ceiling to the floor, thereby removing dust in the air and managing it at a prescribed cleanliness level (clean class).

공정(13, 14, 19)은 각각의 매엽 반송 컨베이어(18)를 갖고 있다. 각 매엽 반송 컨베이어(18)는 클린 터널에 의해 분리되어 있다. 이 클린 터널은 웨이퍼(W)가 통과하는 부분을 매우 작은 폐쇄 공간으로 분리하기 위한 것이다.The process 13, 14, 19 has each sheet | seat conveyance conveyor 18. As shown in FIG. Each sheet conveying conveyor 18 is separated by a clean tunnel. This clean tunnel is for separating the portion through which the wafer W passes into a very small closed space.

도 3에 도시하는 바와 같이 클린 터널(30)은 복수의 팬 부착 필터 유닛(FFU)(31)을 갖고 있다. 이 팬 부착 필터 유닛(31)은 클린 터널(30)의 천정에 배치되어 있다. 팬 부착 필터 유닛(31)은 천장으로부터 바닥으로의 공기의 흐름(다운플로우)을 발생하고 있고, 이로써 공기 중의 먼지를 제거하여, 규정된 청정도 레벨(청정도 클래스)로 클린 터널 내를 관리하도록 되어 있다.As shown in FIG. 3, the clean tunnel 30 has a plurality of fan filter units (FFU) 31. This fan filter unit 31 is arranged on the ceiling of the clean tunnel 30. The fan-mounted filter unit 31 generates air flow (downflow) from the ceiling to the floor, thereby removing dust in the air and managing the inside of the clean tunnel at a prescribed cleanliness level (clean class). It is.

도 1의 제조 대상물의 반송 장치(16)는 각 공정(13, 14, 19)에 각각 배치되어 있다. 각 공정(13, 14, 19)은, 예컨대 각각 제조 대상물의 반송 장치(16)와, 하나 또는 복수의 제조 장치(23 내지 26)를 구비하고 있다. 이러한 제조 장치(23 내지 26)는, 예컨대 리소그래피 장치, 성막 장치, 에칭 장치, 세정 장치, 검사 장치와 같은 각종의 웨이퍼 제조 장치이고, 필요한 순서로 배열되어 있다. 이 제조 장치(23 내지 26)는 처리 장치 또는 생산 장치라고도 한다.The conveying apparatus 16 of the object of manufacture of FIG. 1 is arrange | positioned at each process 13, 14, and 19, respectively. Each process 13, 14, 19 is equipped with the conveying apparatus 16 of a manufacturing object, and one or some manufacturing apparatuses 23-26, respectively, for example. These manufacturing apparatuses 23-26 are various wafer manufacturing apparatuses, such as a lithographic apparatus, a film-forming apparatus, an etching apparatus, a cleaning apparatus, and an inspection apparatus, for example, and are arrange | positioned in the required order. These manufacturing apparatuses 23-26 are also called a processing apparatus or a production apparatus.

일례로서, 도 1에 나타내는 공정(13)은, 예컨대 노광 공정 모듈이고, 공정(14)은, 예컨대 에칭·박리 공정 모듈이고, 그리고 공정(19)은 성막 공정 모듈이다. 각각의 모듈에는 각각의 공정의 처리에 필요한 일련의 장치가, 매엽 반송 컨베이어(18)를 따라 공정 순서대로 나열되어 있는 것이 바람직하다. As an example, the process 13 shown in FIG. 1 is an exposure process module, for example, the process 14 is an etching and peeling process module, and the process 19 is a film forming process module. In each module, it is preferable that a series of apparatuses required for the processing of each process are arranged in the order of the process along the sheet conveying conveyor 18.

그러나 이러한 공정(13, 14, 19)의 모듈의 종류는, 이에 한정되는 것이 아니라 단순한 일례이다. However, the types of modules in the processes 13, 14, and 19 are not limited thereto but merely examples.

제 1 실시 형태1st Embodiment

도 2는, 도 1에 도시하는 각 공정(13, 14, 19)에 있어서의 제조 대상물 반송 장치(16)를 확대하여 나타내고 있다. 제조 대상물 반송 장치(16)는, 각 공정(13, 14, 19)에 있어서 거의 동일한 구조이기 때문에, 도 2를 참조하면서, 공정(14)과 그 제조 대상물 반송 장치(16)를 대표로 설명한다.FIG. 2 enlarges and shows the manufacturing object conveying apparatus 16 in each process 13, 14, 19 shown in FIG. Since the manufacturing object conveying apparatus 16 is a structure substantially the same in each process 13, 14, 19, the process 14 and the manufacturing object conveying apparatus 16 are demonstrated with reference to FIG. .

도 1과 도 2에 있어서, 공정간 반송 컨베이어(11)에 의해 반송되어 오는 캐리어(15)는, 후프(FOUP) 혹은 웨이퍼 카세트 등으로도 불리는 것으로, 웨이퍼를 밀폐할 수 있는 것이다. In FIG. 1 and FIG. 2, the carrier 15 conveyed by the inter-process conveyance 11 is also called a hoop or wafer cassette, and can seal a wafer.

도 2에 도시하는 공정(14)은, 공정간 반송 컨베이어(11)에 대응하여 설치되어 있다. 공정(14)은 하나의 매엽 반송 컨베이어(18)와, 상술한 복수의 제조 장치(23, 24, 25, 26) 및 제조 대상물 이체 수단(100)을 갖고 있다. The process 14 shown in FIG. 2 is provided corresponding to the interconveyor 11 between processes. The process 14 has one sheet conveyance conveyor 18, the some manufacturing apparatuses 23, 24, 25, 26 mentioned above, and the object to be transferred.

매엽 반송 컨베이어(18)가 웨이퍼를 반송하는 반송 방향은 T로 나타내고 있다. 제조 대상물 이체 수단(100)은 공정간 반송 컨베이어(11)와 제조 장치(23) 사이에 배치되어 있다. 제조 장치(23, 24)는 매엽 반송 컨베이어(18)의 한쪽에 있어서 반송 방향(T)을 따라 배열되어 있다. 동일하게 해서, 다른 2개의 제조 장치(25, 26)는, 반송 방향(T)을 따라 매엽 반송 컨베이어(18)의 다른 한쪽에 배열되어 있다.The conveyance direction in which the sheet conveyance conveyor 18 conveys a wafer is shown by T. FIG. The manufacturing object transfer means 100 is arrange | positioned between the interprocess conveyance 11 and the manufacturing apparatus 23. As shown in FIG. The manufacturing apparatuses 23 and 24 are arrange | positioned along the conveyance direction T in one side of the sheet conveyance conveyor 18. As shown in FIG. Similarly, the other two manufacturing apparatuses 25 and 26 are arrange | positioned on the other side of the sheet | seat conveyance conveyor 18 along the conveyance direction T. As shown in FIG.

도 3은 도 2에 도시하는 제조 대상물 반송 장치(16)와 공정간 반송 컨베이어(11)의 일부의 구체적인 예를 나타내는 사시도이다. FIG. 3: is a perspective view which shows the specific example of a part of the manufacturing object conveyance apparatus 16 and the interprocess conveyance 11 shown in FIG.

우선, 도 2와 도 3에 도시하는 매엽 반송 컨베이어(18)에 대하여 설명한다.First, the sheet conveyance conveyor 18 shown in FIG. 2 and FIG. 3 is demonstrated.

매엽 반송 컨베이어(18)는 베이스(18A)와 복수의 가설 스탠드(46)를 갖고 있다. 이 매엽 반송 컨베이어(18)는 복수의 웨이퍼(W)를 반송하고자 하는 반송 방향(T)을 따라 무단(endless) 형상으로 반송하기 위한 장치이다. 각 가설 스탠드(46)는, 베이스(18A)상을 반송 방향(T)을 따라 무단 형상으로 이동 가능하다. 각 가설 스탠드(46)는 동일한 간격을 두고 반송 방향(T)을 따라 배열되어 있다. The sheet conveying conveyor 18 has a base 18A and a plurality of temporary stands 46. This single sheet conveying conveyor 18 is an apparatus for conveying a plurality of wafers W in an endless shape along a conveying direction T to be conveyed. Each temporary stand 46 is movable in an endless shape along the conveyance direction T on the base 18A. Each temporary stand 46 is arranged along the conveyance direction T at equal intervals.

각 가설 스탠드(46)는 적어도 하나의 웨이퍼 유지부(47)를 갖고 있다. 이 웨이퍼 유지부(47)는 거의 U자형을 갖고 있고, 웨이퍼(W)를 착탈 가능하게 탑재할 수 있다. 이 각 가설 스탠드(46)는 도 3의 도시예에서는 웨이퍼 유지부(47)를 하나 갖고 있다. Each temporary stand 46 has at least one wafer holding part 47. This wafer holding part 47 has a substantially U-shape, and the wafer W can be detachably mounted. Each temporary stand 46 has one wafer holding part 47 in the example of FIG.

그러나, 이 웨이퍼 유지부(47)는, Z 방향, 즉 반송 방향(T)과 수직인 방향을 따라 상측 방향으로 복수 매 간격을 두고 배치될 수 있다.However, this wafer holding part 47 may be arranged at a plurality of intervals in the upward direction along the Z direction, that is, the direction perpendicular to the conveying direction T. FIG.

이와 같이 함으로써, 각 가설 스탠드(46)는 복수의 웨이퍼 유지부(47)를 보유하게 되므로, 각 가설 스탠드(46)는 적어도 1매 또는 복수 매의 웨이퍼(W)를 유지하여 반송할 수 있다. 따라서, 매엽 반송 컨베이어(18)가 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 효율을 높일 수 있다. By doing in this way, each temporary stand 46 will hold the some wafer holding part 47, and each temporary stand 46 can hold | maintain and convey at least 1 or several wafer W. As shown in FIG. Therefore, the conveyance efficiency which the sheet | seat conveyance conveyor 18 conveys the wafer W can be improved.

도 4는, 도 2에 도시하는 하나의 제조 장치(23)와, 매엽 반송 컨베이어(18)의 일 부분의 구조를 대표로 상세히 나타내고 있다.FIG. 4 shows the structure of one manufacturing apparatus 23 and the part of the sheet conveying conveyor 18 shown in FIG. 2 in detail as a representative.

제조 장치(23)와 매엽 반송 컨베이어(18) 사이에는, 탑재 이송 로봇(21)과 버퍼(34)가 배치되어 있다. 탑재 이송 로봇(21)은 매엽 반송 컨베이어(18)의 가설 스탠드(46)와 제조 장치(23) 사이에서 웨이퍼(W)를 교환하기 위한 장치이다.The mounting transfer robot 21 and the buffer 34 are arrange | positioned between the manufacturing apparatus 23 and the sheet conveyance conveyor 18. As shown in FIG. The mounted transfer robot 21 is an apparatus for exchanging the wafer W between the temporary stand 46 of the sheet conveying conveyor 18 and the manufacturing apparatus 23.

버퍼(34)는 다음과 같은 기능을 갖고 있다. 탑재 이송 로봇(21)이 웨이퍼 유지부(47)로부터 웨이퍼(W)를 수취했을 때에, 즉시 제조 장치(23)측으로 투입할 수 없는 경우에, 그 웨이퍼(W)를 버퍼(34)에 일시적으로 보관시킨다.  The buffer 34 has the following functions. When the loading transfer robot 21 cannot receive the wafer W from the wafer holding part 47 immediately, the wafer W is temporarily placed in the buffer 34. Keep it.

동일하게 하여, 탑재 이송 로봇(21)이 제조 장치(23)로부터 처리 완료한 웨이퍼(W)를 수취했을 때에, 즉시 매엽 반송 컨베이어(18)의 웨이퍼 유지부(47)에 탑재할 수 없을 때에는, 그 웨이퍼(W)를 버퍼(34)에 일시적으로 보관시키도록 되어 있다.Similarly, when the mounting transfer robot 21 cannot receive the processed wafer W from the manufacturing apparatus 23, when it cannot be mounted in the wafer holding part 47 of the sheet conveyance conveyor 18 immediately, The wafer W is temporarily stored in the buffer 34.

이로써, 제조 장치(23)와 가설 스탠드(46) 사이에 있어서의 웨이퍼의 교환이 매끄럽고 또한 효율적으로 실행할 수 있도록 되어 있다.Thereby, the exchange of the wafer between the manufacturing apparatus 23 and the temporary stand 46 can be performed smoothly and efficiently.

도 2에 도시하는 제조 장치(23 내지 26)와 매엽 반송 컨베이어(18) 사이에는, 각각 탑재 이송 로봇(21)과 버퍼(34)가 배치되어 있다. The mounted transfer robot 21 and the buffer 34 are arrange | positioned between the manufacturing apparatuses 23-26 and the sheet conveyance conveyor 18 shown in FIG. 2, respectively.

도 4에 도시하는 바와 같이 탑재 이송 로봇(21)과 버퍼(34)는 본체(35)에 의해 구획되어 있다. 이 본체(35)의 상부에는 팬 부착 필터 유닛(FFU)(39)이 설치되어 있다. 이 팬 부착 필터 유닛(39)이 작동함으로써, 본체(35) 내에 공기의 흐름(다운플로우)을 발생시킴으로써, 본체(35) 내를 일정한 청정도로 유지할 수 있다.As shown in FIG. 4, the mounting transfer robot 21 and the buffer 34 are partitioned by the main body 35. A fan filter unit (FFU) 39 with a fan is provided above the main body 35. By operating the filter unit 39 with a fan, a flow (downflow) of air is generated in the main body 35, whereby the inside of the main body 35 can be maintained at a constant cleanliness.

또한 도 3과 도 4에 도시하는 매엽 반송 컨베이어(18)의 각 가설 스탠드(46) 는 클린 터널(30)에 의해 피복되어 있다. 클린 터널(30)의 상부에는 팬 부착 필터 유닛(31)이 설치되어 있다. 이 팬 부착 필터 유닛(31)이 작동함으로써, 클린 터널(30) 내의 폐쇄 공간에는 공기의 흐름(다운플로우)이 발생하기 때문에, 클린 터널(30) 내는 소정의 청정도로 유지할 수 있다.Moreover, each temporary stand 46 of the sheet conveyance conveyor 18 shown to FIG. 3 and FIG. 4 is coat | covered with the clean tunnel 30. As shown in FIG. In the upper part of the clean tunnel 30, the filter unit 31 with a fan is provided. By operating this filter unit 31 with a fan, since the flow of air (downflow) occurs in the closed space in the clean tunnel 30, the inside of the clean tunnel 30 can be maintained to predetermined | prescribed cleanliness.

다음에, 도 2와 도 3에 도시하는 제조 대상물 이체 수단(100)의 구조에 대하여 설명한다. Next, the structure of the object to be manufactured transfer means 100 shown in FIG. 2 and FIG. 3 is demonstrated.

도 2의 제조 대상물 반송 장치(16)는, 보다 상세히 설명하면, 제조 대상물 이체 수단(100)과 매엽 반송 컨베이어(18)에 의해 구성되어 있다. 그리고 이 제조 대상물 이체 수단(100)은, 본체(101)와 2대의 탑재 이송 로봇(40)을 갖고 있다. The manufacturing object conveying apparatus 16 of FIG. 2 is comprised by the manufacturing object transferring means 100 and the sheet conveyance conveyer 18 when it demonstrates in more detail. The object to be manufactured transfer means 100 includes a main body 101 and two mounted transfer robots 40.

탑재 이송 로봇(40)에 대하여 먼저 설명한다. The mounted transfer robot 40 will be described first.

탑재 이송 로봇(40)은 도 4에 도시한 탑재 이송 로봇(21)과 동일한 구조의 로봇이다. 이 탑재 이송 로봇(40)은 제조 대상물 이체 수단(100)측의 캐리어(15)와 매엽 반송 컨베이어(18)의 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47) 사이에서 웨이퍼(W)를 교환하기 위한 장치이다.The mounted transfer robot 40 is a robot of the same structure as the mounted transfer robot 21 shown in FIG. This mounted transfer robot 40 exchanges the wafer W between the carrier 15 on the side of the object to be manufactured 100 and the wafer holding portion 47 of the temporary stand 46 of the sheet conveying conveyor 18. It is a device for.

도 2와 도 3의 예에서는, 2대의 탑재 이송 로봇(40)이, 매엽 반송 컨베이어(18)와 제조 대상물 이체 수단(100) 사이에 배열되어 있다. In the example of FIG. 2 and FIG. 3, two mounted transfer robots 40 are arrange | positioned between the sheet | seat conveyance conveyor 18 and the manufacturing object transfer means 100. FIG.

도 3에 도시하는 탑재 이송 로봇(40)과 도 4에 도시하는 탑재 이송 로봇(21)의 구조는 도 5와 도 6에 구체적으로 나타내고 있다. The structures of the mounted transfer robot 40 shown in FIG. 3 and the mounted transfer robot 21 shown in FIG. 4 are shown concretely in FIG. 5 and FIG.

탑재 이송 로봇(21, 40)은 본체(300), 제 1 아암(301), 제 2 아암(302) 및 핸드(303)를 갖고 있다. 제 1 아암(301)은 본체(300)에 대하여 중심축(CL)을 중심으로 하여 회전 가능하다. 제 2 아암(302)은 회전축(CL1)을 중심으로 하여 제 1 아암(301)에 대하여 회전 가능하다. 핸드(303)는 회전축(CL2)을 중심으로 하여 회전 가능한 동시에, 회전축(CL3)을 중심으로 하여 회전 가능하다. The onboard transfer robots 21 and 40 have a main body 300, a first arm 301, a second arm 302, and a hand 303. The first arm 301 is rotatable about the central axis CL with respect to the main body 300. The second arm 302 is rotatable about the first arm 301 about the rotation axis CL1. The hand 303 is rotatable about the rotational axis CL2 and is rotatable about the rotational axis CL3.

핸드(303)는, 거의 U자형의 아암부(305, 305)를 갖고 있다. 아암(305, 305)에는, 웨이퍼(W)의 외주면을 유지하는 지지부(306)를 갖고 있다. The hand 303 has almost U-shaped arm portions 305 and 305. The arms 305 and 305 have support portions 306 holding the outer circumferential surface of the wafer W. As shown in FIG.

도 7은 도 5와 도 6에 도시하는 탑재 이송 로봇(21)의 핸드(303)를 나타내고 있다. 이 핸드(303)의 지지부(306)는 웨이퍼(W)의 외주부를 지지하고 있다. FIG. 7 shows a hand 303 of the mounted transfer robot 21 shown in FIGS. 5 and 6. The support part 306 of this hand 303 supports the outer peripheral part of the wafer W. As shown in FIG.

다음에, 제조 대상물 이체 수단(100)의 본체(101)에 대하여, 도 2와 도 3을 참조하면서 설명한다. Next, the main body 101 of the object to be manufactured transfer means 100 will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

제조 대상물 이체 수단(100)은, 캐리어 스토커(200), 웨이퍼 스토커(제조 대상물 스토커에 상당함)(201), 제 1 교환부(203), 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)을 갖고 있다. 이 제조 대상물 이체 수단(100)은, 이 본체(101)와 탑재 이송 로봇(40)을 갖고 있고, 이 탑재 이송 로봇(40)은 제 2 교환부이다. The object to be transferred means for manufacturing 100 includes a carrier stocker 200, a wafer stocker (corresponding to a product stocker) 201, a first exchanger 203, and a means for transferring and placing the order of the object to be manufactured 204. Have This manufacturing object transfer means 100 has this main body 101 and the mounting transfer robot 40, and this mounting transfer robot 40 is a 2nd exchange part.

도 2와 도 3의 캐리어 스토커(200)는 복수 대의 캐리어(15)를 보관(스톡)할 수 있는 능력을 갖고 있다. 캐리어 스토커(200)는 도 2의 예에서는 평면에서 보아 직사각형 형상을 갖고 있다. 캐리어 스토커(200)의 긴 변 방향은 매엽 반송 컨베이어(18)의 반송 방향(T)에 평행하다. 캐리어 스토커(200)는 웨이퍼의 탑재 이송 및 순서 변경 처리측부(211)와, 웨이퍼의 교환측부(웨이퍼의 투입 위치라고도 함)(210)를 갖고 있다.The carrier stocker 200 of FIGS. 2 and 3 has the ability to store (stock) a plurality of carriers 15. The carrier stocker 200 has a rectangular shape in plan view in the example of FIG. 2. The long side direction of the carrier stocker 200 is parallel to the conveyance direction T of the sheet conveying conveyor 18. The carrier stocker 200 has a wafer transfer and order change processing side 211 and a wafer exchange side (also referred to as a wafer insertion position) 210.

캐리어 스토커(200)의 교환측부(210)에는, 예컨대 도 2의 예에서는, 최대 6 대의 캐리어(15)를 간격을 두고 배치할 수 있다. 캐리어 스토커(200)의 순서 변경 처리측부(211)에는, 예컨대 최대 3개의 캐리어(15)를 간격을 두고 모두 배치할 수 있다. 캐리어 스토커(200)에 있어서의 각 캐리어(15)의 배열 방향은 반송 방향(T)에 평행한 방향이다. For example, in the example of FIG. 2, up to six carriers 15 may be arranged at intervals on the exchange side portion 210 of the carrier stocker 200. In the order change processing side 211 of the carrier stocker 200, for example, all three carriers 15 can be arranged at intervals. The arrangement direction of each carrier 15 in the carrier stocker 200 is a direction parallel to the conveying direction T. FIG.

이와 같이 캐리어 스토커(200)는 복수의 캐리어(15)를 보관할 수 있다. 캐리어 스토커(200)의 교환측부(210)의 방향은 공정간 반송 컨베이어(11)의 반송 방향(R)과 예컨대 직교하는 방향이다. As described above, the carrier stocker 200 may store the plurality of carriers 15. The direction of the exchange side part 210 of the carrier stocker 200 is a direction orthogonal to the conveyance direction R of the inter-process conveyance conveyor 11, for example.

도 2와 도 3의 캐리어 스토커(200)의 중앙에는 제 1 교환부(203)가 설치된다. 이 제 1 교환부(203)는 캐리어(15)를 캐리어 스토커(200)와 공정간 반송 컨베이어(11) 사이에서 교환하기 위한 캐리어 로봇(220)을 갖고 있다. The first exchanger 203 is installed in the center of the carrier stocker 200 of FIGS. 2 and 3. This 1st exchange part 203 has the carrier robot 220 for exchanging the carrier 15 between the carrier stocker 200 and the interprocess conveyance 11.

제 1 교환부(203)는, 캐리어 로봇(220)뿐만 아니라 가이드 레일(221)을 갖고 있다. 캐리어 로봇(220)은 가이드 레일(221)을 따라 E 방향으로 이동하여 위치 결정 가능하다. The 1st exchange part 203 has the guide rail 221 as well as the carrier robot 220. The carrier robot 220 may move in the E direction along the guide rail 221 and may be positioned.

도 3에 예시하는 바와 같이, 캐리어 로봇(220)의 구조는 탑재 이송 로봇(40)과 동일한 구조이다. 캐리어 로봇(220)의 아암(223)은 아암(224)에 대하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 아암(224)은 본체(225A)에 대하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 아암(223)의 선단에는 핸드(225)가 설치된다. 이 핸드(225)가 캐리어(15)를 착탈 가능하게 유지할 수 있다. As illustrated in FIG. 3, the structure of the carrier robot 220 is the same as that of the mounted transfer robot 40. The arm 223 of the carrier robot 220 is rotatably supported with respect to the arm 224. The arm 224 is rotatably supported with respect to the main body 225A. A hand 225 is provided at the tip of the arm 223. This hand 225 can hold the carrier 15 detachably.

캐리어 로봇(220)이 E 방향으로 이동함으로써, 공정간 반송 컨베이어(11) 상의 캐리어(15)를 캐리어 스토커(200)의 포지션(P1, P2, P3) 중 어느 하나로 운반할 수 있다. 또한 캐리어 로봇(220)은, 캐리어 스토커(200)의 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 위치되어 있는 캐리어(15)를, 포지션(P4) 내지 포지션(P9) 중 어느 것으로 운반할 수 있다.By moving the carrier robot 220 in the E direction, the carrier 15 on the inter-process transfer conveyor 11 can be transported to any of positions P1, P2, and P3 of the carrier stocker 200. In addition, the carrier robot 220 can carry the carrier 15 located in the positions P1 to P3 of the carrier stocker 200 to any of the positions P4 to P9.

또한, 제조 장치(23 내지 26)에 의해 처리된 웨이퍼(W)가 수용된 캐리어(15)는 이 캐리어 로봇(220)을 이용하여 공정간 반송 컨베이어(11)측으로 배출할 수 있다.In addition, the carrier 15 in which the wafers W processed by the manufacturing apparatuses 23 to 26 are accommodated can be discharged to the inter-process transfer conveyor 11 using this carrier robot 220.

이와 같이 캐리어 로봇(220)은, 공정간 반송 컨베이어(11)와, 캐리어 스토커(200)상의 예컨대 포지션(P1) 내지 포지션(P9) 사이에서, 교환을 실행할 수 있는 기능을 갖고 있다. Thus, the carrier robot 220 has a function which can perform an exchange between the inter-process conveyance 11 and the positions P1 to P9 on the carrier stocker 200, for example.

또한, 포지션(P1) 내지 포지션(P3)은 캐리어 스토커(200)의 탑재 이송 및 순서 변경 처리측부(211)에 직렬로 배열되어 있다. 포지션(P4) 내지 포지션(P9)은 캐리어 스토커(200)의 교환측부(210)에 직렬로 배열되어 있다. In addition, the positions P1 to P3 are arranged in series with the on-board transfer and order change processing side 211 of the carrier stocker 200. Positions P4 to P9 are arranged in series on the exchange side portion 210 of the carrier stocker 200.

다음에, 도 2와 도 3에 도시하는 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)에 대하여 설명한다. Next, the on-board transfer and order changing means 204 of the manufacturing object shown in FIG. 2 and FIG. 3 are demonstrated.

도 3에 구체적으로 나타내는 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)은 웨이퍼 스토커(201)와 캐리어 스토커(200) 사이에 배치되어 있다. 이 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)은, 예컨대 탑재 이송 로봇(40)과 동일한 구조의 로봇(250)과 가이드 레일(251)을 갖고 있다. 로봇(250)은 E 방향을 따라 이동하고 위치결정 가능하다. The mounting conveyance and order change means 204 of the manufacturing object specifically shown in FIG. 3 is arrange | positioned between the wafer stocker 201 and the carrier stocker 200. As shown in FIG. The mounting conveyance and order changing means 204 of this manufacturing object have the robot 250 and the guide rail 251 of the same structure as the mounting conveyance robot 40, for example. The robot 250 is movable along the E direction and capable of positioning.

도 3에 도시하는 로봇(250)의 핸드(303)는, 캐리어 스토커(200)의 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 탑재된 캐리어(15)와, 웨이퍼 스토커(201)측의 저장 케이스(315) 사이에서, 웨이퍼(W)의 교환을 실행할 수 있다. 로봇(250)은, 이러한 웨이퍼(W)의 이동을 실행함으로써, 포지션(P1 내지 P3)에 있는 캐리어(15) 내에서의 웨이퍼(W)의 배치 순서(재배치라고도 함)를 변경할 수 있도록 되어 있다.The hand 303 of the robot 250 shown in FIG. 3 includes a carrier 15 mounted at positions P1 to P3 of the carrier stocker 200 and a storage case (side) of the wafer stocker 201. Between the 315, the wafer W can be exchanged. By carrying out such movement of the wafer W, the robot 250 can change the arrangement order (also referred to as repositioning) of the wafer W in the carrier 15 in the positions P1 to P3. .

도 3에 도시하는 웨이퍼 스토커(201)는 저장 케이스(315)를 갖고 있다. 이 저장 케이스(315)는 예컨대 캐리어(15)와 같은 구조의 것을 채용할 수 있다. 저장 케이스(315)의 출입구는 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 배치된 캐리어(15)의 출입구에 대향하고 있다. 포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 배열된 캐리어(15)의 출입구는 매엽 반송 컨베이어(18)측을 향하고 있다.The wafer stocker 201 shown in FIG. 3 has a storage case 315. The storage case 315 can employ, for example, the same structure as the carrier 15. The entrance and exit of the storage case 315 opposes the entrance and exit of the carrier 15 arrange | positioned in the positions P1 to the position P3. The entrance and exit of the carrier 15 arranged in the positions P4 to P9 faces the sheet conveyance conveyor 18 side.

다음에, 도 8을 참조하면서, 제조 대상물 반송 장치(16)를 이용한 본 발명의 제조 대상물의 반송 방법의 예에 대하여 설명한다. Next, the example of the conveyance method of the manufacturing object of this invention using the manufacturing object conveying apparatus 16 is demonstrated, referring FIG.

도 8에서는, 개략적으로는 캐리어 취입 단계(ST1), 웨이퍼(제조 대상물) 이체 단계(ST2) 및 공정내에서의 매엽 반송 단계(ST3)를 갖고 있다.In FIG. 8, it has the carrier blowing step ST1, the wafer (manufacturing object) transfer step ST2, and the sheet conveyance step ST3 in a process.

또한 웨이퍼 이체 단계(ST2)는 단계(ST2-1) 내지 단계(ST2-4)를 포함하고 있다.In addition, the wafer transfer step ST2 includes steps ST2-1 to ST2-4.

우선 도 8에 나타내는 캐리어 취입 단계(ST1)에 대하여 설명한다.First, the carrier injection step ST1 shown in FIG. 8 will be described.

캐리어 취입 단계(ST1)에서는, 도 2에 나타내는 공정간 반송 컨베이어(11)가 캐리어(15)를 이전 공정, 즉 도 1에 도시하는 공정(13)으로부터 도 2와 도 3에 나타내는 공정(14)에 대하여 반송하여 온다. In the carrier blowing step ST1, the process 14 shown in FIGS. 2 and 3 is carried out by the inter-process transport conveyor 11 shown in FIG. 2 from the process 13 shown in FIG. To return.

이 반송되어 온 캐리어(15)는, 도 3에 도시하는 제 1 교환부(203)의 캐리어 로봇(220)의 작동에 의해, 캐리어 스토커(200)측으로 취입된다. This conveyed carrier 15 is blown into the carrier stocker 200 side by the operation of the carrier robot 220 of the first exchange unit 203 shown in FIG. 3.

취입된 캐리어(15)는, 캐리어 로봇(220)의 동작에 의해, 캐리어 스토커(200)의 포지션(P1) 내지 포지션(P3) 중 어느 빈 곳에 위치된다.The blown carrier 15 is located at any of the positions P1 to P3 of the carrier stocker 200 by the operation of the carrier robot 220.

다음에, 도 8의 웨이퍼 이체 단계(ST2)의 단계(ST2-1)로 옮겨진다.Next, the process moves to step ST2-1 of the wafer transfer step ST2 of FIG. 8.

단계(ST2-1)에서는, 도 3에 도시하는 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)의 로봇(250)이, 예컨대 포지션(P1)에 위치된 취입 완료 캐리어(15)로부터 웨이퍼(W)를 취출한다.In step ST2-1, the robot 250 of the mounting transfer and order change means 204 shown in FIG. 3 takes out the wafer W from the blown-up carrier 15 located at the position P1, for example. do.

다음에 단계(ST2-2)로 옮겨지면, 로봇(250)이, 포지션(P1)의 캐리어(15)로부터 취출한 웨이퍼(W)를, 저장 케이스(315)의 소정 단수(段數) 지점으로 이체시킨다. 즉, 로봇(250)이, 포지션(P1)의 캐리어(15) 내에서 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스토커(201)의 저장 케이스(315)의 소정 단수에 이체시킨다.Next, when it moves to step ST2-2, the robot 250 moves the wafer W taken out from the carrier 15 of the position P1 to the predetermined stage of the storage case 315. Transfer That is, the robot 250 transfers the wafer W to the predetermined stage of the storage case 315 of the wafer stocker 201 in the carrier 15 of the position P1.

이러한 단계(ST2-1)와 단계(ST2-2)를 반복함으로써, 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 있는 이미 취입된 캐리어(15)로부터는, 웨이퍼 스토커(201)의 저장 케이스(315)에 대하여 웨이퍼(W)를 저장하여 간다.By repeating these steps ST2-1 and ST2-2, the storage case 315 of the wafer stocker 201 is removed from the carrier 15 already taken in the positions P1 to P3. The wafer W is stored.

다음에, 도 8의 단계(ST2-3)에 도시하는 바와 같이, 도 3의 로봇(250), 즉 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)의 로봇(250)은 저장 케이스(315)로부터, 비어 있는 포지션(P1) 내지 포지션(P3)의 캐리어(15), 예컨대 포지션(P3)의 빈 캐리어(15)에 대하여, 소정 순서로 웨이퍼(W)를 저장해 간다. 탑재 이송 로봇(40)에 의해 캐리어 스토커(200)로부터 매엽 반송 컨베이어(18)의 웨이퍼 유지부(47)측으로 소정 순서로 웨이퍼(W)를 이동하여 투입해 가는 점을 고려하여, 포지션(P3)의 캐리어(15) 내에는 웨이퍼(W)가 저장되어 간다.Next, as shown in step ST2-3 of FIG. 8, the robot 250 of FIG. 3, that is, the robot 250 of the mounting transfer and order change means 204 of the manufacturing object, is stored in the storage case 315. From this, the wafers W are stored in a predetermined order with respect to the empty carriers 15 at the positions P1 to P3, for example, the empty carriers 15 at the position P3. Position P3 in consideration of the fact that the wafer W is moved in the predetermined order from the carrier stocker 200 to the wafer holding part 47 side of the sheet conveying conveyor 18 by the loading transfer robot 40. The wafer W is stored in the carrier 15.

다음에, 단계(ST2-4)에서는, 도 3에 도시하는 캐리어 로봇(220)이, 포지션(P3)의 캐리어(15)를, 예컨대 비어 있는 포지션(P6)으로 이체시킨다. 그리고, 탑재 이송 로봇(40)이, 포지션(P6)에 위치된 캐리어(15) 내에 저장된 웨이퍼(W)를, 순차적으로 매엽 반송 컨베이어(18)의 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47)로 이체시킨다.Next, in step ST2-4, the carrier robot 220 shown in FIG. 3 transfers the carrier 15 of the position P3 to the empty position P6, for example. And the wafer transfer part 40 of the temporary stand 46 of the sheet conveying conveyor 18 sequentially carries out the wafer W stored in the carrier 15 located in the position P6. Transfer to.

다음에, 도 8의 공정내에서의 매엽 반송 단계(ST3)로 옮긴다.
이 단계(ST3)에서는, 도 2의 매엽 반송 컨베이어(18)의 각 가설 스탠드(46)는 반송 방향(T)으로 반송된다. 가설 스탠드(46)가 반송 방향(T)으로 반송됨으로써, 도 4에 도시하는 바와 같이 투입 순서를 고려하여 투입된 웨이퍼(W)가 제조 장치(23)의 앞에 도달한다.Next, the sheet conveying step ST3 in the process of FIG. 8 is transferred.
In this step ST3, each temporary stand 46 of the sheet conveyance conveyor 18 of FIG. 2 is conveyed in the conveyance direction T. As shown in FIG. As the temporary stand 46 is conveyed in the conveying direction T, as shown in FIG. 4, the wafer W introduced in consideration of the feeding procedure reaches the front of the manufacturing apparatus 23.

도 4에 도시하는 탑재 이송 로봇(21)이, 이 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47) 상에 있는 웨이퍼(W)를 제조 장치(23) 측으로 이체시킨다. 이 때에, 웨이퍼(W)가 제조 장치(23)에 대하여 즉시 투입될 수 없는 경우에는, 웨이퍼(W)를 버퍼(34)에 일시적으로 보관한다. The mounting transfer robot 21 shown in FIG. 4 transfers the wafer W on the wafer holding part 47 of this temporary stand 46 to the manufacturing apparatus 23 side. At this time, when the wafer W cannot be immediately inserted into the manufacturing apparatus 23, the wafer W is temporarily stored in the buffer 34.

제조 장치(23)에 의해 처리된 후의 웨이퍼(W)는, 비어 있는 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47)로 이동시킨다. 이 때에, 즉시 웨이퍼(W)를 웨이퍼 유지부(47)로 이체시킬 수 없는 경우에는, 처리된 웨이퍼(W)는 버퍼(34)에 일시적으로 보관한다. The wafer W after being processed by the manufacturing apparatus 23 is moved to the wafer holding part 47 of the empty temporary stand 46. At this time, when the wafer W cannot be immediately transferred to the wafer holding part 47, the processed wafer W is temporarily stored in the buffer 34. As shown in FIG.

이와 같이, 도 2와 도 3에 도시하는 제조 대상물 이체 수단(100)은, 매엽 반송 컨베이어(18)에 접속되어 있는 제조 장치(23 내지 26)의 가동 상태를 고려하여, 처리하고자 하는 웨이퍼(W)를 매엽 반송 컨베이어(18)측으로 투입하는 투입 순서를 결정하여 투입하여 간다.Thus, the object to be transferred means 100 shown in FIG. 2 and FIG. 3 takes the wafer W to be processed in consideration of the operating states of the manufacturing apparatuses 23 to 26 connected to the sheet conveying conveyor 18. ) Is inputted after determining the feeding order for feeding the sheet conveying conveyer 18 side.

도 2에 도시하는 제조 장치(23 내지 26)가 즉시 웨이퍼(W)를 수취할 수 없을 때에는, 캐리어(15)가 포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 위치된 상태로 되어, 바로는 도 2의 탑재 이송 로봇(40)이 캐리어(15)로부터 웨이퍼(W)를 웨이퍼 유지부(47) 측으로 이체시키지 않도록 한다. 이 구체예로서는, 제조 장치(23 내지 26) 중 어느 하나가 고장나거나 혹은 유지 보수를 위해 생산할 수 없는 경우가 고려된다.When the manufacturing apparatuses 23 to 26 shown in FIG. 2 cannot immediately receive the wafer W, the carrier 15 is in a state in which it is located at the positions P4 to P9 and immediately in FIG. 2. Is not allowed to transfer the wafer W from the carrier 15 to the wafer holding part 47 side. As this specific example, the case where any one of the manufacturing apparatuses 23-26 fails or cannot be produced for maintenance is considered.

예컨대 제조 장치(23)에 대하여 동일 단계에서 복수 매의 웨이퍼(W)를 처리할 필요가 있는 경우에는, 동일 단계의 복수 매의 웨이퍼(W)는 포지션(P4) 내지 포지션(P9) 중 어느 캐리어(15)에 정리하여 저장되어 있다.For example, when it is necessary to process the plurality of wafers W in the same step with respect to the manufacturing apparatus 23, the plurality of wafers W in the same step may be any of the carriers in the positions P4 to P9. It is collectively stored in (15).

예컨대, 제조 장치(23)가 다른 단계에서 웨이퍼를 처리하는 경우에는, 그 단계가 개시될 때까지는, 포지션(P1) 내지 포지션(P3) 또는 포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 위치하고 있는 캐리어(15) 내에 웨이퍼(W)를 저장한 상태로 하여 둔다.For example, in the case where the manufacturing apparatus 23 processes the wafer at another step, the carriers located at the positions P1 to P3 or the positions P4 to P9 until the step starts. 15) The wafer W is stored in the state.

도 3의 매엽 반송 컨베이어(18)의 웨이퍼 유지부(47)에 대하여 웨이퍼(W)를 투입할 수 있는 상태로 되면, 캐리어(15)가 바람직하게는 포지션(P1) 내지 포지션(P3)으로부터 포지션(P4) 내지 포지션(P9)으로 이동되도록 하는 것이 가장 좋다. 포지션(P1) 내지 포지션(P3)은, 이른바 캐리어(15)의 대기 위치이고, 포지션(P4) 내지 포지션(P9)은 캐리어(15)의 웨이퍼(W)가 웨이퍼 유지부(47)에 투입되는 투입 위치라 부를 수 있다.When the wafer W can be injected into the wafer holding portion 47 of the sheet conveying conveyor 18 of FIG. 3, the carrier 15 is preferably positioned from the positions P1 to P3. It is best to make it move from (P4) to the position (P9). Positions P1 to P3 are so-called standby positions of the carrier 15, and positions P4 to P9 are such that the wafer W of the carrier 15 is fed into the wafer holding portion 47. It can be called the injection position.

제 2 실시 형태2nd Embodiment

도 9는 본 발명의 제조 대상물 반송 장치의 제 2 실시 형태를 나타내고 있다.9 has shown 2nd Embodiment of the manufacturing object conveyance apparatus of this invention.

도 9에 도시하는 제 2 실시 형태가, 도 2와 도 3에 나타내는 제 1 실시 형태와 상이한 것은, 매엽 반송 컨베이어(18)와, 제조 대상물 이체 수단(100) 사이에, 제 2 교환부로서의 합계 6대의 탑재 이송 로봇(40)이 배치되어 있다는 점이다. 9 differs from the 1st embodiment shown in FIG. 2 and FIG. 3 that the 2nd embodiment shown in FIG. 9 is a total as a 2nd exchange part between the sheet | seat conveyance conveyor 18 and the manufacturing object transfer means 100. FIG. Six mounted transfer robots 40 are disposed.

이 탑재 이송 로봇(40)은 포지션(P5) 사이에는 3대가 배치되어 있다. 동일하게, 예컨대 포지션(P8)과 매엽 반송 컨베이어(18) 사이에도 3대의 탑재 이송 로봇(40)이 배치되어 있다. 3대의 탑재 이송 로봇(40)으로 이루어지는 그룹에는 하나의 트레이(400)가 설치된다. 이 트레이(400)는, 교환측부(210) 측의 1대의 탑재 이송 로봇(40)과, 매엽 반송 컨베이어(18) 측의 2대의 탑재 이송 로봇(40) 사이에 위치하고 있다. 이와 같이, 적어도 3대의 탑재 이송 로봇(40)과 트레이(400)가 설치되면 다음과 같은 장점이 있다. Three of these mounted transfer robots 40 are arrange | positioned between positions P5. In the same manner, for example, three mounted transfer robots 40 are also disposed between the position P8 and the sheet conveyance conveyor 18. One tray 400 is installed in a group consisting of three mounted transfer robots 40. This tray 400 is located between one mounted transfer robot 40 on the exchange side portion 210 side and two mounted transfer robots 40 on the sheet conveyance conveyor 18 side. As such, when at least three mounted transfer robots 40 and the tray 400 are installed, there are advantages as follows.

포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 위치하고 있는 어느 한 지점의 캐리어(15)로부터 매엽 반송 컨베이어(18)측으로 웨이퍼(W)를 투입해 가는 경우에, 매엽 반송 컨베이어(18)측의 탑재 이송 로봇이 2대씩 설치되어 있다.
이 때문에, 웨이퍼(W)가 매엽 반송 컨베이어(18)측으로 투입되는 시간은 도 2의 제 1 실시 형태에 비하여 짧게 될 수 있다. 즉, 교환측부(210) 측의 탑재 이송 로봇(40)이 트레이(400)에 웨이퍼(W)를 탑재한 후에, 트레이(400)에 탑재된 복수 매의 웨이퍼(W)는, 2대의 탑재 이송 로봇(40)을 이용하여, 매엽 반송 컨베이어(18) 측으로 짧은 시간에 탑재 이송하여 투입해 갈 수 있다.When the wafer W is thrown from the carrier 15 at any point located at the positions P4 to P9 to the sheet conveying conveyor 18 side, the mounted transfer robot on the sheet conveying conveyor 18 side. These two units are installed.
For this reason, the time which the wafer W inputs to the sheet conveyance conveyor 18 side can be short compared with the 1st Embodiment of FIG. That is, after the mounting transfer robot 40 of the exchange side part 210 mounts the wafers W on the tray 400, the plurality of wafers W mounted on the tray 400 transfers two mounted transfers. Using the robot 40, the sheet conveying conveyor 18 can be mounted and transported in a short time.

이와 같이 본 발명의 상술한 실시 형태에서는, 예컨대 도 2와 도 3에 도시하거나 혹은 도 9에 도시하는 제조 대상물 이체 수단(100)이, 공정간 반송 컨베이어(11)로 운반되어 온 캐리어(15)를 취입하여 보관한다. 그리고, 제조 대상물 이체 수단(100)은 스토커 내의 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스토커(201) 측에 보관한다.As described above, in the above-described embodiment of the present invention, for example, the carrier 15 in which the manufacturing object transfer means 100 shown in FIGS. 2 and 3 or shown in FIG. 9 is conveyed to the inter-process transport conveyor 11. Blow up and store. Then, the object to be transferred means for manufacturing 100 stores the wafer W in the stocker on the wafer stocker 201 side.

웨이퍼 스토커(201) 측의 웨이퍼(W)는, 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)을 이용하여 다시 빈 캐리어(15) 내로 순서를 고려하여 투입된다. 이 경우의 웨이퍼(W)의 캐리어(15)에 있어서의 배열 순서는, 예컨대 제조 장치(23 내지 26)의 가동 상태를 고려하여, 웨이퍼(W)가 매엽 반송 컨베이어(18)로 투입되는 순서에 따라 결정된다. The wafer W on the side of the wafer stocker 201 is introduced into the empty carrier 15 in consideration of the order again using the loading conveyance and the order changing means 204 of the object to be manufactured. In this case, the arrangement order in the carrier 15 of the wafer W is in the order in which the wafer W is fed to the sheet conveying conveyor 18 in consideration of the operating states of the manufacturing apparatuses 23 to 26, for example. Is determined accordingly.

캐리어(15)는 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 보관되어 있지만, 웨이퍼의 투입 시기가 오면, 캐리어(15)는 포지션(P4) 내지 포지션(P9) 중 비어 있는 장소로 이체되는 것이 바람직하다. 이로써, 웨이퍼(W)가 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47) 측으로 투입되는 시기가 오면, 탑재 이송 로봇(40)이, 포지션(P4) 내지 포지션(P9) 중 어느 캐리어 내의 웨이퍼(W)를 매엽 반송 컨베이어(18)측에 제조 장치(23 내지 26)의 가동 상태를 고려한 투입 순서로 투입할 수 있는 것이다. Although the carrier 15 is stored in the positions P1 to P3, it is preferable that the carrier 15 is transferred to an empty place among the positions P4 to P9 when the wafer is introduced. . Thereby, when the time when the wafer W is thrown into the wafer holding | maintenance part 47 side of the temporary stand 46 comes, the mounting transfer robot 40 will transfer the wafer W in any of the positions P4 to P9. ) Can be introduced into the sheet conveyance conveyor 18 in the order of taking into consideration the operating states of the manufacturing apparatuses 23 to 26.

각 포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 배치되는 캐리어(15) 내에는, 목적지가 동일한 웨이퍼(W)가 복수 매 저장된다. 예컨대 목적지가 동일한 웨이퍼(W)란, 예컨대 제조 장치(23)에 있어서 처리되는 웨이퍼이다. 마찬가지로 제조 장치(24 내지 26)에 있어서도 각각 동일한 목적지의 웨이퍼가 반송되어 처리되는 것이다. In the carrier 15 arranged in each of the positions P4 to P9, a plurality of wafers W having the same destination are stored. For example, the wafer W having the same destination is a wafer processed in the manufacturing apparatus 23, for example. Similarly, in the manufacturing apparatuses 24-26, the wafer of the same destination is conveyed and processed, respectively.

도 2와 도 3에 도시하는 캐리어 스토커(200)의 교환측부(210)는, 웨이퍼(W)의 투입 위치에 상당한다. 이에 대하여, 캐리어 스토커(200)의 탑재 이송 및 순서 변경 처리측부(211)는, 제조 장치의 가동 상태를 고려하여 결정되는 투입 순서, 즉 웨이퍼(W)의 정렬 처리 순서를 실행하는 위치이다. The exchange side part 210 of the carrier stocker 200 shown in FIG. 2 and FIG. 3 corresponds to the input position of the wafer W. As shown in FIG. On the other hand, the loading conveyance and order change processing side part 211 of the carrier stocker 200 is a position which performs the insertion order determined in consideration of the operating state of a manufacturing apparatus, ie, the alignment process order of the wafer W. As shown in FIG.

본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 특허 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위에서 여러 변경을 실행할 수 있다.The present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the scope of the claims.

상기 실시 형태의 각 구성은, 그 일부를 생략하거나, 상기와는 상이하도록 임의로 조합할 수 있다.Each structure of the said embodiment can abbreviate | omit a part, and can combine arbitrarily so that it may differ from the above.

본 발명의 실시 형태에 있어서는, 제조 대상물의 일례로서 반도체 웨이퍼(W)를 예로 들고 있다. 그러나 이에 한정하지 않고, 제조 대상물로는, 예컨대 액정 표시 장치에 이용되는 기판 또는 기판용의 웨이퍼이어도 물론 상관없다.In embodiment of this invention, the semiconductor wafer W is taken as an example of a manufacturing object. However, the present invention is not limited thereto, and may be, for example, a substrate used for a liquid crystal display device or a wafer for a substrate.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 특허 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위에서 여러 변경을 실행할 수 있다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims.

상기 실시 형태의 각 구성은, 그 일부를 생략하거나, 상기와는 상이하도록 임의로 조합할 수 있다. Each structure of the said embodiment can abbreviate | omit a part, and can combine arbitrarily so that it may differ from the above.

본 발명은, 공정간에서 반송되어 오는 캐리어에 저장되어 있는 제조 대상물을, 공정내에 투입할 때의 효율을 고려한 순서 혹은 조합으로 적극적으로 전환하여, 대상으로 되는 제조 장치로 반송할 수 있는 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법을 제공하는 효과를 갖는다.The present invention actively converts a manufacturing target object stored in a carrier conveyed between steps into a sequence or combination in consideration of the efficiency at the time of injecting into the process, and can be returned to the target manufacturing apparatus. It has the effect of providing the conveying apparatus and the conveying method of a manufacturing object.

Claims (7)

복수의 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입한 후에, 상기 공정내에 배치된 상기 제조 대상물의 제조 장치에 상기 제조 대상물을 매엽 반송에 의해 반송하는 매엽 반송 컨베이어에, 상기 캐리어 내의 상기 복수의 제조 대상물을 이체시키는 제조 대상물 반송 장치에 있어서, Sheetfed which conveys the said manufacture object by sheet conveying to the manufacturing apparatus of the said manufacture object arrange | positioned in the said process, after blowing the carrier which stores the some manufacture object conveyed between several processes in the said process. In the manufacturing object conveying apparatus which transfers the said some manufacture object in the said carrier to a conveyance conveyor, 상기 공정내에 배치되어 있고, 상기 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하는 상기 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입하고 상기 제조 대상물의 이체를 실행하기 위한 제조 대상물 이체 수단을 구비하며,It is provided in the said process, and the manufacturing object transfer means for blowing the said carrier which stores the some manufacture object conveyed between the said processes to the said process, and performs a transfer of the said manufacture object, 상기 제조 대상물 이체 수단은, The manufacturing object transfer means, 복수의 상기 캐리어를 유지하기 위한 캐리어 스토커와, A carrier stocker for holding a plurality of said carriers, 상기 공정간에서 반송되어 온 상기 캐리어를 상기 캐리어 스토커에 취입하고, 또 상기 캐리어 스토커로부터 상기 캐리어를 취출하기 위한 제 1 교환부와, A first exchanger for blowing the carrier conveyed between the steps into the carrier stocker and taking out the carrier from the carrier stocker; 상기 제조 대상물을 보관하는 제조 대상물 스토커와, An article stocker for storing the article of manufacture; 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어가 저장하고 있는 상기 제조 대상물을 상기 제조 대상물 스토커에 이체시키고, 상기 제조 대상물 스토커에 있는 상기 제조 대상물을 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어에 다시 저장함으로써, 상기 제조 대상물의 배치 순서를 변경하기 위한 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단과, Placement of the article of manufacture by transferring the article of manufacture stored by the carrier in the carrier stocker to the article of stocker and storing the article of manufacture in the article of stocker in the carrier of the carrier stocker again Manufacturing object loading conveyance and order changing means for changing the order; 상기 캐리어의 순서 변경 완료된 제조 대상물을 상기 캐리어와 상기 매엽 반송 컨베이어 사이에서 교환하기 위한 제 2 교환부를 갖는 것을 특징으로 하는Characterized in that it has a second exchange part for exchanging the order of manufacture of said carrier completed between said carrier and said sheet conveying conveyor; 제조 대상물 반송 장치. Production object conveying apparatus. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 매엽 반송 컨베이어는 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 갖고, 상기 가설 스탠드는 적어도 1매의 상기 제조 대상물을 유지하는 것을 특징으로 하는 The sheet conveying conveyor has a plurality of temporary stands along a conveying direction, and the temporary stand holds at least one production object. 제조 대상물 반송 장치. Production object conveying apparatus. 삭제delete 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 제 2 교환부는 적어도 하나의 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있고, 상기 제 2 교환부가 복수의 상기 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있는 경우에는, 상기 탑재 이송 로봇 사이에 상기 제조 대상물의 트레이가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 When the said 2nd exchange part is comprised by the at least 1 mounting transfer robot, and the said 2nd exchange part is comprised by the said plurality of mounting transfer robots, the tray of the said manufacturing object is arrange | positioned between the said mounting transfer robots. Characterized 제조 대상물 반송 장치. Production object conveying apparatus. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 제조 대상물을 처리하기 위한 복수의 제조 장치가 상기 매엽 반송 컨베이어를 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 The said manufacturing object is a semiconductor wafer, The some manufacturing apparatus for processing the said manufacturing object is arrange | positioned along the said sheet | seat conveying conveyor, It is characterized by the above-mentioned. 제조 대상물 반송 장치. Production object conveying apparatus. 복수의 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입한 후에, 상기 캐리어 내의 상기 제조 대상물을 다른 캐리어에 이체시켜 반송하기 위한 제조 대상물 반송 방법에 있어서,In the manufacturing object conveyance method for transferring the said manufacturing object in the said carrier to another carrier, after conveying the carrier which stores the some manufacturing object conveyed between several processes to the said process, 상기 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 상기 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입하는 캐리어 취입 단계와, A carrier blowing step of blowing the carrier storing the plurality of production objects conveyed between the steps into the corresponding step; 상기 캐리어에 저장된 상기 제조 대상물의 이체를 실행하고, 상기 이체시킨 제조 대상물을 매엽 반송 컨베이어에 이체시키기 위한 제조 대상물 이체 단계와,A manufacturing object transferring step for executing the transferring of the manufacturing object stored in the carrier and transferring the transferred manufacturing object to a sheet conveying conveyor; 상기 공정내에 배치된 상기 제조 대상물의 제조 장치에 대하여, 상기 매엽 반송 컨베이어에 의해 상기 제조 대상물을 매엽 반송으로 반송하는 공정내에서의 매엽 반송 단계를 포함하며, It includes a sheet conveyance step in the process of conveying the said object to manufacture by sheet conveying by the said sheet conveying conveyor with respect to the manufacturing apparatus of the said manufacture object arrange | positioned in the said process, 상기 제조 대상물 이체 단계는 제조 대상물 이체 수단에 의해 수행되며, 상기 제조 대상물 이체 수단은, The manufacturing object transferring step is performed by the manufacturing object transferring means, the manufacturing object transferring means, 복수의 상기 캐리어를 유지하기 위한 캐리어 스토커와, A carrier stocker for holding a plurality of said carriers, 상기 공정간에서 반송되어 온 상기 캐리어를 상기 캐리어 스토커에 취입하고, 또 상기 캐리어 스토커로부터 상기 캐리어를 취출하기 위한 제 1 교환부와, A first exchanger for blowing the carrier conveyed between the steps into the carrier stocker and taking out the carrier from the carrier stocker; 상기 제조 대상물을 보관하는 제조 대상물 스토커와, An article stocker for storing the article of manufacture; 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어가 저장하고 있는 상기 제조 대상물을 상기 제조 대상물 스토커에 이체시키고, 상기 제조 대상물 스토커에 있는 상기 제조 대상물을 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어에 다시 저장함으로써, 상기 제조 대상물의 배치 순서를 변경하기 위한 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단과, Placement of the article of manufacture by transferring the article of manufacture stored by the carrier in the carrier stocker to the article of stocker and storing the article of manufacture in the article of stocker in the carrier of the carrier stocker again Manufacturing object loading conveyance and order changing means for changing the order; 상기 캐리어의 순서 변경 완료된 제조 대상물을 상기 캐리어와 상기 매엽 반송 컨베이어 사이에서 교환하기 위한 제 2 교환부를 갖는 것을 특징으로 하는 Characterized in that it has a second exchange part for exchanging the order of manufacture of said carrier completed between said carrier and said sheet conveying conveyor; 제조 대상물 반송 방법. Manufacturing object conveyance method. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 매엽 반송 컨베이어는 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 가지며, 상기 가설 스탠드는 적어도 1매의 상기 제조 대상물을 유지하는 것을 특징으로 하는 The said manufacturing object is a semiconductor wafer, The said sheet | seat conveying conveyor has a some temporary stand along a conveyance direction, The said temporary stand hold | maintains at least 1 said manufacture object, It is characterized by the above-mentioned. 제조 대상물 반송 방법. Manufacturing object conveyance method.
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