JP2004281580A - Apparatus and method for conveying - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造対象物に対して処理を施す処理装置間を、少なくとも1つの製造対象物を容器に収容して搬送する搬送装置及び搬送方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体工場では、製造対象物としての基板が例えば25枚収容可能な容器としてのカセットに入れられ、そのカセットが、OHT(Overhead Hoist Transport)、AGV(Auto Guide Vehicle)、RGV(Rail Guided Vehicle)などにより各処理装置間で搬送されている。従来の製造工程では、基板投入から出荷までの一連の工程を通じて、各基板は予め決められたカセットに収容された状態でカセットを一単位として搬送されている。
【0003】
従来の製造工程では、その途中であるカセットに収容されていた複数の基板の一部が異なる他のカセットに収容されることや、既にカセットの所定位置に収容されている基板がカセット内のその他の位置に変更されて収容されることが無かった。つまり、途中の検査において不良と判断され、廃棄される基板を除いて、一旦あるカセットに収容された基板は、そのカセットのみによって各処理装置間を搬送されていた(例えば特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平6−206149号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような従来の製造工程では、各処理装置が基板を1枚ずつ処理しているため、あるカセットに収容されている1枚の基板の処理が終了しても、その同一のカセットに収容されている他の基板の処理が終了するまで、既に処理の終了した基板が次の処理装置による処理を受けることができなかった。つまり、同一のカセットに収容されている基板全てについて処理が終了するまでは、カセットの全ての基板が次の処理工程に進むことができないことから、無駄な待ち時間が発生し、非常にTAT(Turn Around Time)が長くなっていた。
【0006】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解消して、収容する製造対象物をフレキシブルに変更しつつ、工程内において容器単位で製造対象物を搬送することができる搬送装置及び搬送方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、本願発明によれば、製造対象物に対して処理を施す処理装置間を、少なくとも1つの前記製造対象物を容器に収容して搬送する搬送装置であって、複数の前記処理装置を含む工程内において前記容器を搬送する容器搬送手段と、前記容器搬送手段から前記容器を取得し、前記容器に収容された前記製造対象物の少なくとも一部を入れ替えることで前記容器による前記製造対象物の搬送単位を切り替え、前記製造対象物を入れ替えた容器を前記容器搬送手段に戻す搬送単位切替手段とを備えることを特徴とする搬送装置により、達成される。
上記構成によれば、容器搬送手段によって工程内で容器が搬送されている。この容器は、容器搬送手段から取得され、収容している少なくとも1つの製造対象物の少なくとも一部が入れ替えられて搬送単位が切り替えられる。そして、製造対象物の搬送単位が切り替えられた容器は、再び容器搬送手段に戻される。このような構成とすると、収容する製造対象物をフレキシブルに変更しつつ、工程内において容器単位で製造対象物を搬送することができる。
【0008】
上記構成において、各前記ベイ間において、前記容器単位で複数の前記製造対象物を搬送する工程間搬送手段と、前記工程間搬送手段と前記容器搬送手段との間で前記容器の受け渡しを行う容器受渡手段とを備えるのが好ましい。
上記構成によれば、容器受渡手段は、工程間搬送手段から容器を受け取り、工程内に引き渡す。そして、工程内では、容器搬送手段によって容器が搬送されている。この容器は、容器搬送手段から取得され、収容している少なくとも1つの製造対象物の少なくとも一部が入れ替えられて搬送単位が切り替えられる。そして、製造対象物の搬送単位が切り替えられた容器は、再び容器搬送手段に戻される。製造対象物が各処理装置で処理が施されて再度容器に収容された後に、製造対象物を収容する容器が、容器搬送手段によって搬送され、容器受渡手段によって工程間搬送手段に引き渡される。このような構成とすると、収容する製造対象物をフレキシブルに変更しつつ、工程内において容器単位で製造対象物を搬送することができる。
【0009】
上記構成において、前記容器受渡手段は、前記搬送単位切替手段を備えるのが好ましい。
上記構成によれば、容器受渡手段は、工程間搬送手段から容器を受け取った際に、容器に収容されている少なくとも1つの製造対象物の少なくとも一部が入れ替えられて搬送単位が切り替えられる。従って、搬送装置は、容器搬送手段によって容器を工程内において搬送する前に、容器による製造対象物の搬送単位を変更して、製造対象物を効率よく容器単位で搬送することができる。
【0010】
上記構成において、前記搬送単位切替手段は、前記製造対象物に施される各前記処理装置の処理を考慮して、前記容器による前記製造対象物の搬送単位を切り替える構成とするのが好ましい。
上記構成によれば、容器には、収容している複数の製造対象物の処理を考慮して、容器による製造対象物の搬送単位が切り替えられているので、各製造対象物は、処理装置における処理待ち時間を短縮することができる。
【0011】
上記目的は、本願発明によれば、製造対象物に対して処理を施す処理装置間を、少なくとも1つの前記製造対象物を容器に収容して搬送する搬送方法であって、複数の前記処理装置を含む工程内において容器搬送手段によって前記容器を搬送する容器搬送ステップと、前記容器搬送手段から前記容器を取得し、前記容器に収容された前記製造対象物の少なくとも一部を入れ替えることで前記容器による前記製造対象物の搬送単位を切り替え、前記製造対象物を入れ替えた容器を前記容器搬送手段に戻す搬送単位切替ステップとを備えることを特徴とする、搬送方法により、達成される。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態としての搬送装置が適用された搬送システム1000の構成例を示す平面図である。
この搬送システム1000は、製造対象物の一例としての半導体ウェハ(以下「ウェハ」という)に対して複数の処理を施す複数の工程を経てウェハを製造するための製造装置において、ウェハWを搬送するために設けられている。尚、この製造対象物は、例えば液晶デバイスの基板であっても良い。以下では、製造対象物の一例としてウェハWを例示して説明する。
【0013】
この搬送システム1000は例えば工場に設置されており、この工場はいくつかのベイに分かれている。各ベイは、例えば成膜工程、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程〜剥離工程、イオン注入工程(インプラ工程)〜剥離工程という区分で分けられている。これら各ベイには、ウェハWに対して処理を行う処理装置が複数設置されている。
【0014】
具体的には、このベイには、例えばウェハWに対して各処理を施す処理装置23,24,25,26,27,28が設置されている。これら処理装置23,24,25,26,27,28は、例えば洗浄処理、CVD(Chemical Vapour Depositon)処理、アニール処理、抵抗測定処理、膜厚測定処理及びスパッタリング処理を施す。
【0015】
これらの処理装置23等は、工程順に従って配列されたいわゆるフローショップ形態を採用している。尚、これらの処理装置23等は、従来のようないわゆるジョブショップ形態に従って配列していても良いことはいうまでもない。このようなフローショップ形態を採用すると、ウェハWのベイ間搬送をできるだけ少なくすると共に搬送距離を短くし、TAT(Turn Around Time)を短縮することができる。
【0016】
また、この搬送システム1000は、各ベイ間においてウェハWを、例えばFOUP(Front Opening Unified Pod)と呼ばれる容器の一例としてのカセット15に収納し、例えばOHT(Overhead Hoist Transport)により搬送している。このカセット15は、例えば25枚のウェハWを収納する機能を有する。
【0017】
ベイ内においては、各処理装置23等間において、ウェハWを収納したカセット15が搭載されるステージ41をT方向に搬送するベイ内搬送コンベア18が設けられている。このステージ41は、ベイ内搬送コンベア18において、例えば一定間隔毎に並んで配置されており、各々等速で搬送されている。各処理装置23等とベイ内搬送コンベア18との間には、カセット15を受け渡しする図示しないロボットが設けられている。
【0018】
このロボットは、カセット15をベイ内搬送コンベア18と処理装置23等のロードポートとの間で受け渡しを行う機能を有する。これらの処理装置23等は、それぞれ引き込んだカセット15のウェハWをまとめて同時に処理したり、1枚ずつ処理する。尚、以下の説明では、このように複数のウェハWをまとめて同時に処理することを「バッチ処理」という。
【0019】
ベイ内搬送コンベア18内には、搬送単位切替装置100が設けられている。
搬送単位切替装置100は、例えばベイ内搬送コンベア18の内周側に設けられている。この搬送単位切替装置100は、ベイ内搬送コンベア18からカセット15を取得してカセット15に収容された少なくとも1つのウェハWの少なくとも一部を入れ替えることで、カセット15によるウェハWの搬送単位を切り替え、ウェハWを入れ替えたカセット15をベイ内搬送コンベア18に戻す機能を有する。
【0020】
搬送単位切替装置100は、少なくとも1台のロボット203a(203)及び本体45を備えている。尚、本実施形態では、一例としてロボット203aが4台設けられている。このロボット203aは、ベイ内搬送コンベア18によって搬送されているカセット15を取得したり、ベイ内搬送コンベア18にカセット15を戻す機能を有する。
【0021】
本体45は、少なくともロボット21及びロードポート43を備えている。ロードポート43は、ロボット203aがベイ内搬送コンベア18から取得したカセット15を一時的に配置できる構成となっている。つまり、上述のロボット203aは、ベイ内搬送コンベア18とロードポート43との間でカセット15を移載する機能を有する。また、このロボット203aは、カセット15に収容されたウェハWの搬送単位を切り替える必要のあるカセット15を選択的に取得し、その必要のないカセット15を取得しない構成となっている。ロボット203aは、例えばカセット15の外形を把持する。
【0022】
また、上記ロボット21は、必要に応じて、ロードポート43に配置されたカセット15から選択的にウェハWを引き抜き、例えばP方向に移動しつつウェハWの搬送単位を変更するように、そのカセット15或いは他のカセットに収納させる機能を有する。このロボット21は、例えばウェハWに施される処理装置23等の処理を考慮して、カセット15によるウェハWの搬送単位を切り替えるのが望ましい。このようにすると、ウェハWは、処理装置23等によって処理される際の待ち時間を短縮することができる。このロボット21の構造的な詳細については後述する。
【0023】
また、この搬送システム1000においては、ベイ間搬送コンベア11とベイ内搬送コンベア18との間にストッカ200が設けられている。このストッカ200は、ベイ間搬送コンベア11から取得されたカセット15を一時的に保管してベイ内搬送コンベア18に引き渡したり、ベイ内搬送コンベア18から取得したカセット15をベイ間搬送コンベア11に引き渡す機能を有する。
【0024】
ストッカ200は、カセット15を一時的に保管するスペースの他、ロボット203b(203)及びロボット203c(203)を備えている。ロボット203bは、上述したロボット203aと同様の構成であるが、ストッカ200とベイ間搬送コンベア11との間でカセット15を移載する機能を有する点が異なっている。一方、ロボット203cも、上述したロボット203aと同様の構成であるが、ストッカ200とベイ内搬送コンベア18との間でカセット15を移載する機能を有する点が異なっている。
【0025】
図2は、図1に示すロボット21の外観の一例を示す斜視図である。
ロボット21は、本体300、第1アーム301、第2アーム302及びハンド303を有する。第1アーム301は、本体300に対して中心軸CLを中心として回転可能な構成となっている。一方、第2アーム302は、回転軸CL1を中心として第1アーム301に対して回転可能な構成となっている。また、ハンド303は、回転軸CL2を中心として回転可能であると共に、回転軸CL3を中心として回転可能な構成となっている。
【0026】
このハンド303は、図5に示すようなほぼU字型のアーム部305,305を有する。アーム305,305には、それぞれウェハWfの外周面を保持する保持部306が設けられている。尚、ロボット21は、1つのハンド303(シングルハンド)を備えていても良いし、2つのハンド303(ダブルハンド)を備えていてもよいし、3つ以上のハンド303を備えていてもよい。
【0027】
搬送システム1000は以上のような構成であり、次に図1及び図2を参照しつつその動作例としての搬送方法の一例について説明する。
図3は、本発明の第1実施形態としての搬送方法の手順の一例を示すフローチャートである。
ステップST1では、少なくとも1枚のウェハWを収容したカセット15が、ベイ間搬送コンベア11によって、ベイ間を搬送されてくる。
【0028】
次にステップST2では、図1のストッカ200のロボット203bが、ベイ間搬送コンベア11によって搬送されてきたカセット15を把持し、ストッカ200内に取り込んで、所定のスペースにカセット15を配置する。次にステップST3では、ストッカ200のロボット203cが、所定のスペースに配置されたカセット15を把持し、ベイ内搬送コンベア18に移載する。従って、カセット15は、ベイ内搬送コンベア18によってT方向に、処理装置23等間を搬送される。
【0029】
ここでまず、ウェハWが例えば処理装置23によって処理される。この処理装置23は、上述のように例えば洗浄処理を施す装置である。具体的には、処理装置23とベイ内搬送コンベア18との間に設けられている図示しないロボットによって、カセット15がベイ内搬送コンベア18から処理装置23に取得される(ステップST7)。この処理装置23は、例えば上述したバッチ処理を行う装置であり、例えばカセット15から全てのウェハWを引き抜き、複数の槽でウェハWを洗浄、乾燥し(ステップST8)、再びカセット15に戻す。次にカセット15は、上記図示しないロボットによって、再びベイ内搬送コンベア18に戻される。
【0030】
ここで、カセット15に収容されているウェハWの搬送単位を変える必要がある場合には、直ちに次の処理装置24等に進む代わりに、ベイ内搬送コンベア18によって搬送されているカセット15が、搬送単位切替装置100によって取得される(ステップST4)。具体的には、搬送単位切替装置100では、ロボット203a(203)が、ベイ内搬送コンベア18のステージ41に搭載されているカセット15を把持し、ロードポート43に配置する。
【0031】
この搬送単位切替装置100では、例えば25枚収容しているカセット15の蓋が開けられ、ロボット21によって、例えば1枚だけウェハWが引き抜かれて別のカセット15に移載される。つまり、ウェハWは、その搬送単位が切り替えられたのである(ステップST5)。移載された例えば1枚のウェハWを収容したカセット15は、その蓋が気密に閉じられる。そして、ステップST6では、ロボット203aが、そのカセット15をロードポート43からベイ内搬送コンベア18のステージ41に移載する。
【0032】
そしてさらに、ステップST7では、このカセット15が、次の工程である処理装置24に取り込まれ、カセット15に収容しているウェハWが1枚ずつ引き出されて処理が施される(ステップST8)。具体的には、この処理装置24は、上述のように例えば1枚ずつウェハWに対してCVD処理を施す。この処理装置24は、ウェハWを1枚配置するための図示しないバッファを備えており、カセット15が配置されている図示しないロードポートから1枚のウェハWを、バッファに配置する。このバッファは、5枚程度のウェハWを溜めることができ、例えば先に溜まっていたウェハWから処理装置24によって順番に処理が施される。
【0033】
処理が終了したウェハWは、先程ウェハWが引き出されて空になったカセット15に収容され、カセット15ごとベイ内搬送コンベア18に戻される(ステップST9)。尚、搬送単位切替装置100では、上述した残り24枚のウェハWについても、例えば同様に1枚ずつカセット15にそれぞれ入れられ、ベイ内搬送コンベア18によって搬送される。
【0034】
ここで、このように24枚のウェハWをそれぞれ他のカセット15に収容しようとすると、空のカセット15が24個必要となるが、予めストッカ200から空のカセット15をベイ内搬送コンベア18に載せて搬送させておくようにすれば、これら残り24枚のウェハWについても、同様に処理待ち時間が少なく効率よく処理が施されるようになる。
【0035】
そして、上述のように処理装置24によって処理が終了したカセット15は、再びベイ内搬送コンベア18に戻され、搬送単位切替装置100がこれら例えば25個のカセット15を取得する。搬送単位切替装置100は、別々のカセット15に収容されていたウェハWを1つのカセット15に移載して搬送単位を変更し、例えば25枚のウェハWを収容しているカセット15の蓋を気密に閉める。
【0036】
空となった例えば24個のカセット15は、ベイ内搬送コンベア18によってストッカ200まで搬送され、ストッカ200に格納される。尚、このような空のカセット15は、ベイ内搬送コンベア18を使ってストッカ200に戻す代わりに、搬送単位切替装置100内部に、カセット15を一時的に保管する図示しないストッカを持たせても良いことはいうまでもない。また、空のカセット15は、例えばOHT(Overhead Hoist Transport)であるベイ間搬送コンベア11を使用して別経路で供給するようにしても良い。
【0037】
このウェハWは、必要に応じて同様に処理装置25,26,27,28のいずれか又はいずれかの組み合わせによって処理される。ここで、処理装置27は、上述のようにアニール処理をウェハWに対して施す装置である。この処理装置27は、例えば100枚のウェハWを同時に処理するバッチ処理装置である。この処理装置27は、例えば25枚のウェハWを収容しているカセット15の図示しないストッカを備えている、この処理装置27は、カセット15をベイ内搬送コンベア18から図示しないロードポートへの移載機能によって、カセット15を取得して、カセット15に収容されたウェハWをまとめて同時に処理を行う。
【0038】
そして、他のベイに進むべく、ウェハWは、例えばカセット15を搬送単位として、カセット15ごとロボット203cによって把持されてストッカ200に一時的に配置される(ステップST10)。そして、このカセット15が、ロボット203bによって把持され、ストッカ200からベイ間搬送コンベア11に移載され、ベイ間搬送が行われる(ステップST11)。
【0039】
本発明の実施形態によれば、搬送単位切替装置100を経由して、カセット15によるウェハWの搬送単位を変えることにより、例えば1枚ずつ処理を施す処理装置23等では、同一のカセット15に収容された他のウェハWを処理している間、処理済みのウェハWが処理を待たなくても良くなるため、待ち時間を少なくすることができる。しかも、1枚ずつ処理する代わりに、同時に多数のウェハWに対して処理を施す処理装置27においては、従来通り、カセット15に十分にウェハWを収納させ、効率よく処理を施すことができる。
【0040】
従って、本発明の実施形態によれば、従来よりもTAT(Turn Around Time)を短くして、効率よくウェハWを生産することができる。しかも、少量他品種のウェハW生産への対応が容易になる。本実施形態は、縦型炉などに適用すると、フィルダミーを入れる必要が無くなり、コストダウンを図ることができる。また、本発明の実施形態によれば、例えばフォトリソグラフィ処理やイオン注入処理(インプラ処理)のような段取り替えがかかる処理装置の前に、同じ条件で処理できるウェハWだけを集めてカセット15に収容して搬送単位を切り替えれば、段取り替え時間を短縮することもできる。
【0041】
<第2実施形態>
図4は、本発明の第2実施形態としての搬送システム1000aの構成例を示す平面図である。
本発明の第2実施形態としての搬送システム1000aでは、図1〜図3において第1実施形態としての搬送システム1000と同一の符号を付した箇所はほぼ同じ構成であるから、同一の構成は図1〜図3と共通の符号を用いてその説明を省略し、異なる点を中心として説明する。
第2実施形態としての搬送システム1000aでは、ベイ内搬送コンベア18の内周側に搬送単位切替装置100が設けられている代わりに、ストッカ200aに上記搬送単位切替装置100とほぼ同様な機能が搭載されている搬送単位切替装置100aが設けられている点が異なっている。
【0042】
図5は、本発明の第2実施形態としての搬送方法の手順の一例を示すフローチャートである。尚、図5における各手順は、図3における各手順とほぼ同様であるので、同じ手順の部分は同一の符号を用いて、その説明を省略し、以下異なる点を中心として説明する。
第2実施形態では、ベイ間搬送コンベア11から取得されたカセット15が、ベイ内搬送コンベア18によって搬送される前に、ウェハWの搬送単位を変えることができる点が異なっている。従って、図5に示すフローチャートでは、図3に示すステップST3及びステップST4を省略することができる。
【0043】
本発明の第2実施形態によれば、第1実施形態とほぼ同様の効果を発揮することができるとともに、これに加えて、ベイ間搬送コンベア11からストッカ200aがカセット15を受け取った際に、カセット15に収容されている少なくとも1つのウェハWを入れ替えて、カセット15によるウェハWの搬送単位を切り替えることができる。従って、搬送システム1000aは、ベイ内搬送コンベア18によって、カセット15をベイ内において搬送する前にカセット15によるウェハWの搬送単位を変更して、ウェハWを効率よくカセット15単位で搬送することができる。また、上述のように空のカセット15を搬送する際においては、ベイ内搬送コンベア18を使用しなくても良くなるので、さらに効率よくウェハWに対して処理を施すことができる。
【0044】
本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。例えば上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。
また、上記搬送単位切替装置100は、上述のようにベイ内搬送コンベア18の内周側に設置する代わりに、各処理装置23等と同様にベイ内搬送コンベア18の外周側に設置しても良いことはいうまでもない。
【0045】
また、ベイ内におけるウェハWの搬送には、ベイ内搬送コンベア18のようなコンベアを用いる代わりに、例えばAGV(Auto Guide Vehicle)を用いても良いことはいうまでもない。またさらに、搬送単位切替装置100は、上述のようにウェハWを1枚ずつ処理したい場合とバッチ処理したい場合にカセット15によるウェハWの搬送単位を切り替えることのみならず、例えば工程の途中で不良が発生して収容枚数の減ったカセット15に、ウェハWを追加収容するように機能させても良いことはいうまでもない。また、この搬送単位切替装置100,100aは、例えばフォトリソグラフィ処理において同じフォトマスクを使用するウェハWや、同じレシピを使用するウェハWだけをカセット15に収容するように搬送単位を切り替えるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態としての搬送システムの構成例を示す図。
【図2】図1に示すロボットの外観の一例を示す斜視図。
【図3】搬送方法の手順の一例を示すフローチャート。
【図4】本発明の第2実施形態としての搬送システムの構成例を示す図。
【図5】搬送方法の手順の一例を示すフローチャート。
【符号の説明】
11・・・ベイ間搬送コンベア(工程間搬送手段)、15・・・カセット(容器)、18・・・ベイ内搬送コンベア(容器搬送手段)、23〜28・・・処理装置、100,100a・・・搬送単位切替装置(搬送単位切替手段)、200,200a・・・ストッカ(容器受渡手段)、203a・・・ロボット、203b,203c・・・ロボット(容器受渡手段)、1000,1000a・・・搬送システム(搬送装置)、W・・・ウェハ(製造対象物)[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a transport device and a transport method for accommodating at least one production target in a container and transporting the same between processing apparatuses that perform processing on the production target.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In a conventional semiconductor factory, substrates to be manufactured are put into a cassette as a container capable of accommodating, for example, 25 sheets, and the cassette is made up of an OHT (Overhead Hoist Transport), an AGV (Auto Guide Vehicle), and an RGV (Rail Guided Vehicle). ), Etc., and are transported between the processing apparatuses. In a conventional manufacturing process, through a series of processes from substrate input to shipping, each substrate is transported in a cassette as one unit while being stored in a predetermined cassette.
[0003]
In the conventional manufacturing process, a part of a plurality of substrates housed in a cassette in the middle thereof is housed in another different cassette, or a substrate already housed in a predetermined position of the cassette is not stored in another cassette. It was not changed to the position and was not accommodated. In other words, except for a substrate that is determined to be defective in an intermediate inspection and is discarded, a substrate once housed in a certain cassette has been transported between processing apparatuses only by the cassette (for example, see Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-6-206149
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a conventional manufacturing process, since each processing apparatus processes substrates one by one, even if processing of one substrate stored in a certain cassette is completed, the same cassette is processed. Until the processing of another accommodated substrate has been completed, the substrate that has already been processed cannot be processed by the next processing apparatus. That is, since all the substrates in the cassette cannot proceed to the next processing step until the processing is completed for all the substrates contained in the same cassette, a wasteful waiting time is generated, and very TAT ( Turn Around Time) was getting longer.
[0006]
Therefore, an object of the present invention is to solve the above problems and provide a transfer apparatus and a transfer method capable of transferring a product to be manufactured in units of containers in a process while flexibly changing a product to be stored. That is.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
According to the invention of the present application, the above object is a transfer apparatus that accommodates and transports at least one of the objects to be manufactured in a container between processing apparatuses that perform processing on the objects to be manufactured, wherein the plurality of the processing apparatuses Container transporting means for transporting the container in a process including: obtaining the container from the container transporting means, and replacing at least a part of the object to be manufactured contained in the container, thereby obtaining the object by the container. The present invention is attained by a transport device comprising: a transport unit switching unit that switches a transport unit of an object and returns a container in which the object to be manufactured has been replaced to the container transport unit.
According to the above configuration, the container is transported in the process by the container transport unit. This container is obtained from the container transport means, and at least a part of at least one of the contained objects to be manufactured is replaced, and the transport unit is switched. Then, the container in which the transport unit of the object to be manufactured has been switched is returned to the container transport unit again. With such a configuration, it is possible to transport the manufacturing objects in units of containers in the process while changing the manufacturing objects to be accommodated flexibly.
[0008]
In the above configuration, between the bays, an inter-process transport unit that transports the plurality of objects to be manufactured in units of the container, and a container that transfers the container between the inter-process transport unit and the container transport unit. It is preferable to provide a delivery means.
According to the above configuration, the container delivery means receives the container from the inter-process transport means and delivers the container to the process. Then, in the process, the container is transferred by the container transfer means. This container is obtained from the container transport means, and at least a part of at least one of the contained objects to be manufactured is replaced, and the transport unit is switched. Then, the container in which the transport unit of the object to be manufactured has been switched is returned to the container transport unit again. After the object to be manufactured is processed in each processing apparatus and stored in the container again, the container housing the object to be manufactured is transported by the container transporting means, and delivered to the inter-process transporting means by the container delivery means. With such a configuration, it is possible to transport the manufacturing objects in units of containers in the process while changing the manufacturing objects to be accommodated flexibly.
[0009]
In the above configuration, the container delivery means preferably includes the transport unit switching means.
According to the configuration, when the container delivery unit receives the container from the inter-process transportation unit, at least a part of at least one object to be manufactured contained in the container is replaced, and the transportation unit is switched. Accordingly, the transport device can change the transport unit of the object to be manufactured by the container before the container is transported in the process by the container transport means, and can efficiently transport the object to be manufactured in container units.
[0010]
In the above configuration, it is preferable that the transport unit switching unit switches the transport unit of the object by the container in consideration of the processing of each of the processing devices performed on the object.
According to the above configuration, in the container, in consideration of the processing of a plurality of stored objects to be manufactured, the transport unit of the object to be manufactured by the container is switched, so that each object to be manufactured is processed in the processing apparatus. The processing waiting time can be reduced.
[0011]
According to the invention of the present application, the above object is a transport method for accommodating at least one production target in a container and transporting the same between processing devices that perform processing on the production target. A container transporting step of transporting the container by a container transporting unit in a process including: obtaining the container from the container transporting unit, and replacing at least a part of the object to be manufactured contained in the container by replacing the container. And a transport unit switching step of switching the transport unit of the object to be manufactured and returning the container in which the object has been replaced to the container transport unit.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<First embodiment>
FIG. 1 is a plan view showing a configuration example of a transport system 1000 to which a transport device according to a first embodiment of the present invention is applied.
The transfer system 1000 transfers a wafer W in a manufacturing apparatus for manufacturing a semiconductor wafer (hereinafter, referred to as a “wafer”) as an example of an object to be manufactured through a plurality of processes of performing a plurality of processes on the wafer. It is provided for. The object to be manufactured may be, for example, a substrate of a liquid crystal device. Hereinafter, the wafer W will be described as an example of the object to be manufactured.
[0013]
The transfer system 1000 is installed in a factory, for example, and the factory is divided into several bays. Each bay is divided into, for example, a film forming step, a photolithography step, an etching step to a peeling step, an ion implantation step (implantation step) to a peeling step. In each of these bays, a plurality of processing apparatuses that perform processing on the wafer W are installed.
[0014]
More specifically,
[0015]
These
[0016]
Further, the transport system 1000 stores the wafer W between the bays in a
[0017]
In the bay, an in-bay transfer conveyor 18 for transferring the stage 41 on which the
[0018]
This robot has a function of transferring the
[0019]
A transfer unit switching device 100 is provided in the in-bay transfer conveyor 18.
The transport unit switching device 100 is provided, for example, on the inner peripheral side of the in-bay transport conveyor 18. The transfer unit switching apparatus 100 switches the transfer unit of the wafer W by the
[0020]
The transport unit switching device 100 includes at least one
[0021]
The
[0022]
In addition, the
[0023]
In the transport system 1000, a stocker 200 is provided between the inter-bay transport conveyor 11 and the intra-bay transport conveyor 18. The stocker 200 temporarily stores the
[0024]
The stocker 200 includes a
[0025]
FIG. 2 is a perspective view showing an example of the appearance of the
The
[0026]
This hand 303 has substantially U-shaped arms 305, 305 as shown in FIG. Each of the arms 305 is provided with a holding
[0027]
The transport system 1000 is configured as described above. Next, an example of a transport method as an operation example thereof will be described with reference to FIGS.
FIG. 3 is a flowchart illustrating an example of a procedure of the transport method according to the first embodiment of the present invention.
In step ST1, the
[0028]
Next, in step ST2, the
[0029]
Here, first, the wafer W is processed by, for example, the
[0030]
Here, when it is necessary to change the transport unit of the wafer W stored in the
[0031]
In the transfer unit switching apparatus 100, for example, the lid of the
[0032]
Further, in step ST7, the
[0033]
The processed wafer W is stored in the
[0034]
Here, in order to accommodate each of the 24 wafers W in the
[0035]
Then, the
[0036]
The empty 24
[0037]
This wafer W is similarly processed by any of the
[0038]
Then, in order to proceed to another bay, the wafer W is held by the
[0039]
According to the embodiment of the present invention, by changing the unit of transfer of the wafer W by the
[0040]
Therefore, according to the embodiment of the present invention, the wafer W can be efficiently produced with a shorter TAT (Turn Around Time) than before. In addition, it is easy to cope with the production of a small amount of other types of wafers W. When this embodiment is applied to a vertical furnace or the like, it is not necessary to insert a fill dummy, and the cost can be reduced. Further, according to the embodiment of the present invention, before a processing apparatus such as a photolithography process or an ion implantation process (implantation process) that requires a setup change, only wafers W that can be processed under the same conditions are collected and placed in the
[0041]
<Second embodiment>
FIG. 4 is a plan view illustrating a configuration example of a
In the
In the
[0042]
FIG. 5 is a flowchart illustrating an example of a procedure of the transport method according to the second embodiment of the present invention. Since each procedure in FIG. 5 is substantially the same as each procedure in FIG. 3, the same steps are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. Hereinafter, different points will be mainly described.
The second embodiment is different from the second embodiment in that the
[0043]
According to the second embodiment of the present invention, substantially the same effects as in the first embodiment can be exerted, and in addition, when the stocker 200a receives the
[0044]
The present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the scope of the claims. For example, each configuration of the above embodiment can be partially omitted or arbitrarily combined as different from the above.
In addition, instead of being installed on the inner peripheral side of the in-bay conveyor 18 as described above, the transport unit switching apparatus 100 may be installed on the outer peripheral side of the in-bay conveyor 18 as in the case of the
[0045]
Further, it is needless to say that an AGV (Auto Guide Vehicle) may be used to transfer the wafer W in the bay, instead of using a conveyor such as the in-bay transfer conveyor 18. Further, as described above, the transfer unit switching apparatus 100 not only switches the transfer unit of the wafer W by the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a transport system according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing an example of the appearance of the robot shown in FIG.
FIG. 3 is a flowchart illustrating an example of a procedure of a transport method.
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of a transport system according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a flowchart illustrating an example of a procedure of a transport method.
[Explanation of symbols]
11: interbay transfer conveyor (interprocess conveyance means), 15: cassette (container), 18: intrabay conveyance conveyor (container conveyance means), 23 to 28: processing apparatus, 100, 100a ··· Transport unit switching device (transport unit switching means), 200, 200a ··· Stocker (container delivery means), 203a ··· robot, 203b, 203c ··· Robot (container delivery means), 1000, 1000a ..Transport systems (transport devices), W ... wafers (objects to be manufactured)
Claims (5)
複数の前記処理装置を含む工程内において前記容器を搬送する容器搬送手段と、
前記容器搬送手段から前記容器を取得し、前記容器に収容された前記製造対象物の少なくとも一部を入れ替えることで前記容器による前記製造対象物の搬送単位を切り替え、前記製造対象物を入れ替えた容器を前記容器搬送手段に戻す搬送単位切替手段とを備えることを特徴とする搬送装置。A transport device that transports at least one of the objects to be manufactured in a container between the processing devices that perform processing on the objects to be manufactured,
Container transport means for transporting the container in a process including a plurality of the processing apparatus,
A container in which the container is obtained from the container transporting means, and a unit of transport of the object by the container is switched by exchanging at least a part of the object contained in the container, and the object is replaced. And a transfer unit switching means for returning the liquid to the container transfer means.
前記工程間搬送手段と前記容器搬送手段との間で前記容器の受け渡しを行う容器受渡手段とを備えることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。Between each of the bays, an inter-process transport unit that transports a plurality of the objects to be manufactured in units of the container,
2. The transfer apparatus according to claim 1, further comprising: a container delivery unit that transfers the container between the inter-process transfer unit and the container transfer unit.
複数の前記処理装置を含む工程内において容器搬送手段によって前記容器を搬送する容器搬送ステップと、
前記容器搬送手段から前記容器を取得し、前記容器に収容された前記製造対象物の少なくとも一部を入れ替えることで前記容器による前記製造対象物の搬送単位を切り替え、前記製造対象物を入れ替えた容器を前記容器搬送手段に戻す搬送単位切替ステップとを備えることを特徴とする搬送方法。A transport method for transporting at least one of the objects to be manufactured in a container between the processing apparatuses that perform processing on the objects to be manufactured,
A container transporting step of transporting the container by a container transporting unit in a process including a plurality of the processing devices,
A container in which the container is obtained from the container transporting means, and a unit of transport of the object by the container is switched by exchanging at least a part of the object contained in the container, and the object is replaced. Transport unit switching step of returning to the container transport unit.
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- 2003-03-13 JP JP2003068853A patent/JP2004281580A/en active Pending
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