KR100582636B1 - 허브 블레이드 - Google Patents

Abstract

절삭 장치에 배설된 회전 스핀들의 선단부에 형성되어 있는 블레이드 지지부에 허브 블레이드를 장착하는 경우에 있어서, 장착을 용이하게 행하는 것을 가능하게 하는 동시에, 회전 스핀들의 회전 시에 편심이 발생하는 것을 방지함으로써 허브 블레이드에 진동이 발생하지 않도록 하여, 절삭 정밀도를 높인다.

허브 블레이드(10)에 형성된 삽입공(17)을 블레이드 지지부(12)에 형성된 블레이드 마운트부(14)의 테이퍼 형상에 대응한 테이퍼 형상으로 형성하여, 테이퍼면끼리가 밀착된 상태에서 고정되도록 한다.

허브 블레이드, 삽입공, 블레이드 지지부, 블레이드 마운트부, 테이퍼 형상.

Description

허브 블레이드 {HUB BLADE}

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에서의 허브 블레이드, 이 허브 블레이드가 장착되는 스핀들 및 장착 너트를 나타낸 단면도.

도 2는 동 허브 블레이드, 블레이드 마운트, 스핀들 및 장착 너트를 나타낸 단면도.

도 3은 본 발명의 제2 실시 형태에서의 허브 블레이드, 스핀들 및 장착 너트를 나타낸 사시도.

도 4는 동 허브 블레이드, 스핀들 및 장착 너트를 나타낸 단면도.

도 5는 동 허브 블레이드 및 장착 너트를 스핀들에 조립한 상태를 나타낸 정면도.

도 6은 동 허브 블레이드의 외경(外徑), 두께, 삽입공의 경사 각도를 기호로 나타낸 단면도.

도 7은 허브 블레이드가 탑재되는 절삭 장치의 일예를 나타낸 사시도.

도 8은 종래의 허브 블레이드를 구비한 절삭 수단의 구성을 나타낸 사시도.

도 9는 종래의 허브 블레이드, 스핀들 및 장착 너트를 나타낸 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 허브 블레이드, 10a: 원형 기대(基臺), 10b: 절삭날, 11: 스핀들, 12: 블레이드 지지부, 13: 스토퍼부, 14: 블레이드 마운트부, 15: 장착 너트, 16: 피(被)나사맞춤부, 17: 삽입공, 18: 삽입구, 20: 스핀들, 21: 블레이드 마운터, 22: 마운터 삽입공, 22a: 피(被)걸어맞춤부, 23: 블레이드 마운터 장착 너트, 24: 제1 피나사맞춤부, 25: 스토퍼부, 26: 블레이드 마운트부, 27: 제2 피나사맞춤부, 28: 나사맞춤부, 29: 삽입구, 30: 허브 블레이드, 31: 원형 기대, 32: 절삭날, 33: 플랜지, 34: 삽입공, 35: 삽입구, 40: 스핀들, 41: 블레이드 지지부, 42: 블레이드 마운트부, 43: 피나사맞춤부, 50: 절삭 장치, 51: 척 테이블, 52: 얼라인먼트 수단, 53: 절삭 수단.

본 발명은 절삭 장치에 탑재되어 피가공물을 절삭하는 블레이드로서, 특히 절삭날이 허브와 일체로 형성된 타입의 허브 블레이드에 관한 것이다.

이 종류의 허브 블레이드는 예를 들면, 도 11에 나타낸 절삭 장치(50)에 탑재된다. 이 절삭 장치(50)에서 예를 들면, 웨이퍼 W를 절삭할 때는, 웨이퍼 W는 지지 테이프 T를 통해 프레임 F에 지지되고, 웨이퍼 W를 지지하는 지지 수단인 척 테이블(51)에 흡인 지지된다. 그리고, 척 테이블(51)이 X축 방향으로 이동하여 얼라인먼트 수단(52)의 바로 아래에 위치하게 되고, 패턴 매칭 등의 처리에 의해 절삭 영역이 검출되어, 절삭 영역과 절삭 수단(53)을 구성하는 블레이드와의 Y축 방향의 위치 맞춤이 행해진다. 이렇게 하여 위치 맞춤이 이루어지면, 다시 척 테이블(51) 이 X축 방향으로 이동하여, 절삭 수단(53)을 구성하는 허브 블레이드(56)의 20000RPM 정도의 회전에 의한 작용을 받아 절삭이 행해진다.

도 12는 프론트 커버를 벗긴 상태의 절삭 수단(53)을 나타낸 것이며, 스핀들 하우징(54)에 의해 회전 가능하게 지지된 스핀들(55)의 선단에 피가공물을 절삭하는 블레이드, 예를 들면, 원형 기대(56a)와 절삭날(56b)로 이루어지는 허브 블레이드(56)가 장착되어, 장착 너트(57)에 의해 고정된 구성으로 되어 있다. 또, 스핀들하우징(54)의 선단에는 블레이드 커버(58)가 장착되고, 이에 따라 허브 블레이드(56)가 피복되는 구성으로 되어 있고, 또한 블레이드 커버(58)에는 절삭 시에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 노즐(59)도 배설되어 있다.

도 13에 나타낸 바와 같이, 스핀들(35)의 선단부에는 블레이드 지지부(60)가 형성되어 있고, 이 블레이드 지지부(60)는 스핀들(55)의 축경(軸徑)보다도 큰 직경을 가지는 스토퍼부(61)와, 허브 블레이드(56)가 장착되는 피장착부(62)와, 블레이드 지지부(60)의 가장 선단에 형성되고 장착 너트(57)가 나사 맞춤하는 수나사로 이루어지는 피나사맞춤부(63)로 구성되어 있다.

그리고, 허브 블레이드(56)에 장착공(64)이 형성되어 있고, 이 장착공(64)을 피장착부(62)에 끼워 넣고, 장착 너트(57)를 피나사맞춤부(63)에 나사 맞춤시킴으로써, 허브 블레이드(56)가 스토퍼부(61)와 장착 너트(57)에 의해 협지(挾持)되어 스핀들(55)에 고정되고, 스핀들(55)의 회전과 함께 회전 가능하게 된다.

그러나, 장착공(64)의 내경(內徑)은 피장착부(62)의 축경과 거의 동일하고, 나아가 한결같이 일정한 내경으로 되어 있기 때문에, 허브 블레이드(56)를 블레이드 지지부(60)에 장착하기 어렵다고 하는 문제가 있다.

한편, 장착공(64)의 피장착부(62)에의 삽입을 가능하게 하기 위해, 장착공(64)의 내경은 피장착부(62)의 축경보다도 약간(예를 들면, 십수㎛ 정도) 크게 형성되어 있기 때문에, 장착했을 때에 양자의 사이에 약간의 간극이 발생하고, 이것이 원인이 되어 스핀들(55)의 회전 시에는 편심이 발생하는 경우가 있다. 이렇게 하여 편심이 발생하면, 허브 블레이드(56)에 진동이 발생하여 절삭 정밀도를 악화시켜, 웨이퍼에 치핑(chipping)(절삭밥)이 발생하기 쉽게 된다고 하는 문제가 있다. 특히, 절삭 효율을 높이기 위해 스핀들(55)의 회전수를 30000RPM∼60000RPM으로 크게 한 경우에는 이 문제는 현저하게 나타난다.

이와 같이, 회전 스핀들의 선단부에 형성된 블레이드 지지부에 허브 블레이드를 장착하는 경우에 있어서는, 장착을 용이하게 행하는 것을 가능하게 하는 동시에, 회전 스핀들의 회전 시에 편심이 발생하는 것을 방지함으로써 허브 블레이드에 진동이 발생하지 않도록 하여, 절삭 정밀도를 높이는 것에 해결해야 할 과제를 가지고 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 구체적 수단으로서 본 발명은, 피가공물을 지지하는 지지 수단과, 상기 지지 수단에 지지된 피가공물을 절삭하는 블레이드 및 상기 블레이드가 장착되는 스핀들을 구비한 절삭 수단을 최소한 포함하는 절삭 장치에 있어서, 상기 스핀들의 선단부에 형성된 블레이드 지지부에 장착되는 허브 블레 이드로서, 원형 기대(基臺)와, 상기 원형 기대의 외주부로부터 돌출된 절삭날로 구성되고, 원형 기대의 중심부에는, 블레이드 지지부를 구성하는 블레이드 마운트부의 테이퍼 형상에 대응하여 삽입구측으로 향해 직경이 확대되는 테이퍼 형상의 삽입공이 형성되어 있는 허브 블레이드를 제공한다.

그리고, 이 허브 블레이드는 삽입공의 테이퍼면이 스핀들의 회전 축심(軸心)에 대하여 5°∼20°의 각도를 이루도록 형성되어 있는 것, 원형 기대의 두께는 10mm∼20mm인 것을 부가적 요인으로 한다.

이와 같이 구성되는 허브 블레이드는 삽입공의 삽입구의 내경이 블레이드 지지부 선단의 축경보다도 충분히 크기 때문에, 블레이드 마운트부에의 장착 시에 정밀한 위치 맞춤을 필요로 하지 않고, 또 블레이드 마운트부의 테이퍼면에 따라 원활하게 장착할 수 있기 때문에, 장착을 매우 용이하게 행할 수 있다.

또, 삽입공의 테이퍼면이 블레이드 마운트부의 테이퍼면에 간극 없이 밀착된 상태로 고정되기 때문에, 스핀들의 회전 시에 허브 블레이드에 편심이 그다지 일어나지 않아 진동도 매우 작아진다.

또한, 삽입공을 구성하는 테이퍼면이 스핀들의 회전 축심에 대하여 5°∼20°의 각도를 이루도록 형성되어 있는 경우, 원형 기대의 두께가 10mm∼20mm인 경우에는, 특히 허브 블레이드의 편심이 작아져, 진동을 최소한으로 억제할 수 있는 동시에 재료의 낭비를 없앨 수 있다.

본 발명의 제1 실시 형태로서, 도 11에 나타낸 절삭 장치에 탑재되는 스핀들에 장착되는 허브 블레이드(10)에 대하여 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 예에서는, 스핀들(11)의 선단부에 블레이드 지지부(12)가 형성되어 있고, 이 블레이드 지지부(12)는 스핀들(11)의 축경보다도 큰 직경을 가지는 스토퍼부(13)와, 허브 블레이드(10)가 장착되는 블레이드 마운트(14)와, 장착 너트(15)가 나사 맞춤하는 피나사맞춤부(16)로 구성되어 있지만, 블레이드 마운트부(14)가 테이퍼 형상으로 형성되어 있는 점에서, 도 12 및 도 13에 나타낸 종래예와는 상이하다.

허브 블레이드(10)는 원형 기대(10a)와, 원형 기대(10a)로부터 외주측으로 돌출한 절삭날(10b)로 이루어지고, 축심 방향으로는 테이퍼 형상으로 형성된 블레이드 마운트부(14)의 형상에 대응시킨 테이퍼 형상의 삽입공(17)이 형성되어 있다. 이 삽입공(17)은 삽입구(18)측으로 향해 직경이 확대되는 테이퍼 형상으로 형성되고, 삽입구(18)는 블레이드 지지부(12) 선단의 축경보다도 충분히 큰 내경을 가지고 있다.

이와 같이 구성되는 허브 블레이드(10)를 블레이드 마운트부(14)에 장착할 때는, 삽입구(18)를 블레이드 지지부(12)의 선단에 위치시키고, 삽입공(17)에 블레이드 마운트부(14)가 걸려 맞추어지도록 허브 블레이드(10)의 한면이 스토퍼부(13)에 맞닿을 때까지 허브 블레이드(10)를 삽입한다. 그리고, 장착 너트(15)를 피나사맞춤부(16)에 나사 맞춤시키면, 블레이드 마운트부(14)의 테이퍼면과 삽입공(17)의 테이퍼면이 간극 없이 밀착된 상태로 고정된다.

이와 같이, 허브 블레이드(10)의 장착에 있어서, 종래와 같이 블레이드 마운트부(14)와 삽입공(17)과의 정밀한 위치 맞춤을 행할 필요가 없고, 삽입구(18)의 내부에 블레이드 지지부(12)의 선단부가 수납되도록 대충 위치를 부여한 후에 허브 블레이드(10)를 밀어넣는 것만으로 되기 때문에, 용이하게 장착할 수 있다.

또, 장착 너트(15)를 피(被)나사맞춤부(16)에 나사 맞춤시키면, 블레이드 마운트부(14)의 테이퍼면과 삽입공(17)의 테이퍼면이 간극 없이 밀착된 상태로 고정되기 때문에, 스핀들(11)의 회전 시에 허브 블레이드(10)에 편심이 일어나지 않는다. 따라서, 허브 블레이드(10)에 진동이 발생하지 않으므로 절삭 정밀도가 높아져, 치핑도 발생하기 어렵게 된다.

다음에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 스핀들(20)의 선단에 별개로 블레이드 지지부로서 블레이드 마운터(21)가 장착되고, 이 블레이드 마운터(21)에 허브 블레이드(10)가 장착되는 경우에 대하여 설명한다. 그리고, 이 경우에도 허브 블레이드(10)는 도 1의 경우와 동일한 것을 장착할 수 있다.

도 2의 경우는, 스핀들(20)의 선단에 마운터 삽입구(29)를 위치시키고, 블레이드 마운터(21)를 삽입하여, 스핀들(20)과 블레이드 마운터(21)의 내부에 형성된 마운터 삽입공(22)이 걸려 맞추어지고, 또한 블레이드 마운터 장착 너트(23)가 제1 피나사맞춤(24)에 나사 맞춤됨으로써, 블레이드 마운터(21)가 스핀들(20)에 고정된다. 그리고, 도시한 바와 같이, 마운터 삽입공(22)의 전부 또는 일부에 테이퍼 형상의 피걸어맞춤부(22a)를 형성하고, 스핀들(20)에도 그 테이퍼 형상에 대응한 걸어맞춤부(28)를 형성함으로써 블레이드 마운터(21)의 스핀들(20)에의 장착을 용이하게 행할 수 있는 동시에, 블레이드 마운터(21)에 진동이 발생하는 것을 방지할 수도 있다.

블레이드 마운터(21)는 스토퍼부(25)와, 테이퍼 형상의 블레이드 마운트부(26)와, 수나사가 형성된 제2 피나사맞춤부(27)로 구성되어 있다. 그리고, 블레이드 마운트부(26)의 테이퍼면에 허브 블레이드(10)를 끼워 넣어 삽입공(17)의 테이퍼면끼리가 밀착되고, 또한 장착 너트(15)를 제2 피나사맞춤부(27)에 나사 맞춤시키면, 스토퍼부(25)와 장착 너트(15)에 의해 협지되어 허브 블레이드(10)가 블레이드 마운터(21)에 고정된다.

이와 같이 하여, 블레이드 마운터(21)에 허브 블레이드(10)가 장착되는 경우에도, 도 1의 경우와 마찬가지로 블레이드 마운트부(26)와 삽입공(17)의 정밀한 위치 맞춤을 행할 필요가 없고, 삽입구(18)의 내부에 블레이드 마운터(21)의 선단부가 수납되도록 대충 위치를 부여한 후에 허브 블레이드(10)를 밀어 넣는 것만으로 되기 때문에, 용이하게 장착할 수 있다.

또, 삽입공(17)과 블레이드 마운트부(26)의 테이퍼면끼리가 간극 없이 밀착된 상태로 고정되기 때문에, 스핀들(20)의 회전 시에 허브 블레이드(10)에 편심이 발생하지 않는다. 따라서, 허브 블레이드(10)에 진동이 발생하지 않으므로 절삭 정밀도가 높아져, 피가공물에 치핑도 발생하기 어렵게 된다.

다음에, 본 발명의 제2 실시 형태로서, 도 3∼도 5에 나타낸 허브 블레이드(30)에 대하여 설명한다. 이 허브 블레이드(30)는 원형 기대(31)와, 원형 기대(31)로부터 외주측으로 돌출한 절삭날(32)과, 플랜지(33)로 이루어지고, 삽입공(34)이 이들을 축심 방향으로 관통하는 구성으로 되어 있다. 이 삽입공(34)은 도 4에 나타낸 바와 같이, 삽입구(35)측으로 향해 직경이 확대되는 테이퍼 형상으로 형성되어 있다.

도 3 및 도 4에 나타낸 예에서는, 스핀들(40)의 선단부에 블레이드 지지부(41)가 형성되어 있고, 이 블레이드 지지부(41)는 허브 블레이드(30)가 장착되는 블레이드 마운트부(42)와, 장착 너트(15)가 나사 맞춤되는 피나사맞춤부(43)로 구성되어 있다.

허브 블레이드(30)를 블레이드 마운트부(42)에 장착할 때는, 허브 블레이드(30)의 삽입구(35)를 블레이드 지지부(41)의 선단에 위치시키고, 삽입공(34)에 블레이드 마운트부(42)가 걸려 맞추어지도록 허브 블레이드(30)를 삽입한다. 그리고, 장착 너트(15)를 피나사맞춤부(43)에 나사 맞춤시키면, 블레이드 마운트부(42)의 테이퍼면과 삽입공(34)의 테이퍼면이 간극 없이 밀착된 상태로 고정된다. 이 때의 상태를 도 5에 나타냈다.

이와 같이, 블레이드 마운트부(42)의 테이퍼면과 삽입공(34)의 테이퍼면이 간극 없이 밀착된 상태로 고정되기 때문에, 스핀들(40)의 회전 시에 허브 블레이드(30)에 편심이 일어나지 않는다. 따라서, 허브 블레이드(30)에 진동이 발생하지 않으므로 절삭 정밀도가 높아져, 피가공물에 치핑도 발생하기 어렵게 된다.

그리고, 스핀들(40)에는 도 1의 예에서의 스토퍼부(13), 도 2의 예에서의 스토퍼부(25)에 상당하는 것이 없지만, 블레이드 마운트부(14)의 테이퍼면과 삽입공(17)의 테이퍼면이 간극 없이 밀착된 상태로 고정되어, 블레이드 마운트부(14)가 스토퍼로서의 역할을 다하기 때문에, 반드시 스토퍼부는 필요하지 않다.

여기에서, 도 5의 상태에서 실제로 스핀들(40)을 회전시키고, 그 때의 허브 블레이드(30)의 언밸런스량 및 진동 진폭치를 측정했을 때의 결과를 표 1∼표 4에 나타냈다. 그리고, 언밸런스량의 측정에는 시마쓰세이사쿠쇼(島津製作所)제의 언밸런스량 측정 기기(DBM-EAB-3T)를 사용하고, 진동 진폭치의 측정에는 신켄샤(振硏社)제의 진동 변위량 측정 기기(V-1107M) 및 엔데부코사제의 가속도 센서(213E)를 사용했다. 또, 실험을 행하는 데 있어서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 허브 블레이드(30)의 외경을 D, 두께를 T, 삽입공(34)을 구성하는 테이퍼면의 스핀들(40)의 축심에 대한 경사 각도를 θ로 한 경우, 모든 실험에서 외경 D는 52mm로 했지만, 두께 T 및 경사 각도 θ에 대하여는 여러 가지 타입의 것에 대하여 측정했다.

먼저, 표 1은 외경 D=52mm, 두께 T=10mm, 경사 각도 θ=5°의 허브 블레이드(30), 및 이와 동일한 외경 및 두께를 가지는 경사 각도 θ=0°의 도 12 및 도 13에 나타낸 종래의 허브 블레이드(56) 쌍방을 사용하여, 스핀들(40)을 50000RPM으로 회전시키고, 이 때의 언밸런스량을 모멘트(단위는 mg·cm)로 하여 측정했을 때의 결과를 나타낸 것이다. 여기에서, 스핀들(40)에 대한 허브 블레이드(30)의 장착 각도에 의해 언밸런스량이 상이한 경우가 있기 때문에, 허브 블레이드(30)를 스핀들(40)에 대하여 90°씩 회전시켜 장착하고, 어느 일정한 위치를 기준으로 하여 장착 각도를 0°, 90°, 180°, 270°의 4개의 경우로 나누고, 각각의 경우에 대하여 측정했다.

도 7에서 알 수 있는 바와 같이, 종래의 허브 블레이드의 경우에는, 어느 각도에서도 언밸런스량이 30mg·cm 이상으로 되어 있는 것에 대하여, 본 발명의 허브 블레이드의 경우에는, 모두 5mg·cm 이하이어서, 언밸런스량이 대폭 감소되고 있는 것을 알 수 있다.

다음에, 표 2 (A)∼(D)는 도 7의 경우와 동일한 2개의 허브 블레이드를 사용하여, 스핀들(40)의 회전수를 30000RPM, 40000RPM, 50000RPM, 60000RPM으로 하고, 각각의 경우의 진동 진폭치(단위는 ㎛)를 측정했을 때의 결과를 나타낸 것이다.

도 2 (A)∼(D)에서 알 수 있는 바와 같이, 어느 경우에서도 본 발명의 허브 블레이드 쪽이 종래의 허브 블레이드보다도 진동 진폭치가 작은 것이 확인되었다.

표 1 및 표 2의 측정 결과로부터, 본 발명의 허브 블레이드는 스핀들(40)에 대한 편심이 종래의 허브 블레이드(56)보다도 대폭 감소되고 있는 것을 알 수 있다.

하기 표 3은 본 발명의 허브 블레이드(30)에 대하여, 두께 T 및 경사 각도 θ를 변화시킨 여러 가지 타입의 것을 준비하고, 각각에 대하여 언밸런스량을 측정했을 때의 결과를 나타낸 것이다. 그리고, 이 측정에 있어서는, 표 1의 측정의 경우와 마찬가지로, 스핀들(40)에 대한 허브 블레이드(30)의 장착을 0°, 90°, 180°, 270°로 회전시켜 행하고, 각각의 경우에 대하여 측정했지만, 도 9에서는 이들 4개의 경우의 평균치를 나타냈다.

상기 표 3에서 알 수 있는 바와 같이, 두께 T가 5mm인 경우, 경사 각도 θ가 2°인 경우에는 비교적 언밸런스량이 커지지만, 두께 T가 10mm 이상, 경사 각도 θ가 5°이상인 경우에는 언밸런스량이 작아지고 있다.

하기 표 4 (A)∼(B)는, 표 3의 측정의 경우와 동일한 조건에서, 허브 블레이드(30)의 진동 진폭치를 측정했을 때의 값을 나타낸 것으로, (A)는 스핀들(40)을 30000RPM으로 회전시킨 경우, (B)는 스핀들(40)을 60000RPM으로 회전시킨 경우의 측정 결과를 나타낸 것이다.

상기 표 4 (A) (B)의 어느 것에 있어서도 두께 T가 5mm인 경우, 경사 각도 θ가 2°또는 25°이상인 경우에는 비교적 진동 진폭치가 커지지만, 두께 T가 10mm 이상, 경사 각도 θ가 5∼20°인 경우에는 진동 진폭치가 작아지고 있다. 이들 표 3 및 표 4의 결과를 종합하여 검토하면, 허브 블레이드(30)의 편심을 작게 하기 위해, 두께 T는 10mm 이상, 경사 각도 θ는 5∼20°의 범위에 있는 것이 필요하다고 생각되지만, 두께가 20mm를 초과해도 진동 진폭치는 거의 일정한 값이 되므로, 재료의 낭비를 없애기 위해, 두께는 10mm∼20mm로 하는 것이 바람직하다.

그리고, 스핀들(40)을 40000RPM으로 회전시킨 경우와 50000RPM으로 회전시킨 경우에 대하여는 도시하지 않지만, 어느 경우에도 상기와 마찬가지로, 두께 T가 10mm 이상, 경사 각도 θ가 5∼20°인 경우에 진동 진폭치가 작아지는 것이 확인되었다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 관한 허브 블레이드는 삽입공의 삽입구측의 내경이 블레이드 지지부 선단의 축경보다도 충분히 크기 때문에, 블레이드 지지부에의 장착 시에 정밀한 위치 맞춤을 필요로 하지 않고, 또 블레이드 마운트부의 테이퍼면에 따라 원활하게 장착할 수 있기 때문에, 장착을 매우 용이하게 행할 수 있다. 따라서, 허브 블레이드의 교환 등의 메인티넌스를 효율적으로 행할 수 있다.

또, 삽입공의 테이퍼면이 블레이드 마운트부의 테이퍼면에 간극 없이 밀착된 상태로 고정되기 때문에, 스핀들의 회전 시에 허브 블레이드에 편심이 일어나지 않는다. 따라서, 허브 블레이드에 진동이 발생하지 않으므로 절삭 정밀도가 높아지고, 피가공물에 치핑도 발생하기 어려워, 품질이 높은 제품을 제공하는 것이 가능하게 된다.

또한, 삽입공을 구성하는 테이퍼면이 스핀들의 회전 축심에 대하여 5°∼20°의 각도를 이루도록 형성되어 있는 경우, 원형 기대의 두께가 10mm∼20mm인 경우에는, 특히 허브 블레이드의 편심이 작아져, 진동을 최소한으로 억제하는 동시에 재료의 낭비를 없앨 수 있기 때문에, 치핑의 발생을 매우 효과적으로 방지할 수 있어, 더욱 제품의 고품질화를 도모할 수 있다.

Claims (3)

1. 피가공물을 지지하는 지지 수단과, 상기 지지 수단에 지지된 피가공물을 절삭하는 블레이드 및 상기 블레이드가 장착되는 스핀들을 구비한 절삭 수단을 최소한 포함하는 절삭 장치에 있어서, 상기 스핀들의 선단부에 형성된 블레이드 지지부에 장착되는 허브 블레이드로서,

   원형 기대(基臺)와, 상기 원형 기대의 외주부로부터 돌출된 절삭날로 구성되고, 상기 원형 기대의 중심부에는, 상기 블레이드 지지부를 구성하는 블레이드 마운트부의 테이퍼 형상에 대응하여 삽입구측으로 향해 직경이 확대되는 테이퍼 형상의 삽입공이 형성되어 있는 허브 블레이드.
2. 제1항에 있어서,

   삽입공을 구성하는 테이퍼면은 스핀들의 회전 축심(軸心)에 대하여 5°∼20°의 각도를 이루도록 형성되어 있는 허브 블레이드.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   원형 기대의 두께는 10mm∼20mm인 허브 블레이드.

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