KR100531209B1 - A glass panel conveyance apparatus having the function for rising to the surface - Google Patents

A glass panel conveyance apparatus having the function for rising to the surface Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판을 부상시켜 가공장치 또는 검사장치 등에 공급하거나 기계장치와의 사이를 반송시키기 위한 기판부상 반송장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate-floating conveying apparatus for floating a substrate and supplying it to a processing apparatus or an inspection apparatus or the like and conveying it with a mechanical apparatus.

본 발명에 의한 기판부상 반송장치는 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부양시키는 다수의 분사모듈(20); 상기 다수의 분사모듈(20)을 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)에 의해 지지판(31)에 고정시키고, 양 끝단과 베이스(34)를 체결할 수 있는 고정 브라켓(33)을 구비하는 반송모듈(30); 상기 다수의 분사모듈(20)의 노즐구멍으로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물의 공급을 개폐시키는 솔레노이드 밸브모듈(24); 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급하는 공급부(25); 상기 기판(16)의 유무를 감지할 수 있는 기판감지센서(26); 및 상기 기판감지센서(26)의 전기적 신호를 입력포트(27a)를 통하여 받아들여서 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)를 제어하는 제어 장치(27);를 포함하는 것을 특징으로 한다. The substrate portion conveying apparatus according to the present invention comprises a plurality of injection module 20 for supporting the substrate by injecting air or water having a predetermined pressure; The plurality of injection modules 20 are fixed to the support plate 31 by screws 23d installed on the fixing plate 23 and provided with fixing brackets 33 for fastening both ends and the base 34. Carrying module 30; A solenoid valve module 24 for opening and closing a supply of air or water having a predetermined pressure to the nozzle holes of the plurality of injection modules 20; A supply unit 25 supplying air or water having a predetermined pressure to the solenoid valve module 24; A substrate detection sensor 26 capable of sensing the presence or absence of the substrate 16; And a control device 27 which receives the electrical signal of the substrate sensor 26 through the input port 27a and outputs a control signal through the output port 27b to control the solenoid valve module 24. It is characterized by including.

본 발명에 의하면, 기판을 부상시킨 상태에서 전진 및 후진시킴으로써 기판의 표면에서 발생하는 흠집 또는 상처로 인한 기판을 표면손상의 불량률을 최소화할 수 있는 효과를 가진다. According to the present invention, it is possible to minimize the defect rate of the surface damage of the substrate due to the scratches or scratches generated on the surface of the substrate by moving forward and backward in the state in which the substrate is floating.

Description

기판부상 반송장치{A glass panel conveyance apparatus having the function for rising to the surface}A glass panel conveyance apparatus having the function for rising to the surface}

본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 TFT-LCD 및 벽걸이 TV등의 제조공정에 있어서 기판을 가공장치 또는 검사장치 등에 공급하거나 기계장치와의 사이를 반송시키기 위한 기판반송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus for supplying a substrate to a processing apparatus, an inspection apparatus, or the like and conveying it with a mechanical apparatus in a manufacturing process such as TFT-LCD and wall-mounted TV. will be.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 반송장치의 구성, 제어방법 및 그 문제점에 대하여 살펴보기로 한다.Hereinafter, a configuration, a control method, and a problem of a conventional conveying apparatus will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 롤러를 사용하여 기판을 반송하는 기판반송장치 및 그 제어 시스템의 평면도를 도시한 것이다.1 shows a plan view of a substrate transfer apparatus and a control system for conveying a substrate using a conventional roller.

도시한 바와 같이, 종래에 롤러를 사용하는 기판반송장치는 다수의 롤러(14a)를 축(14)에 연결하고 축의 한쪽 끝에는 베어링(15)을 설치하여 축의 회전운동을 안내하고 다른 쪽에는 베어링(15)으로 지지되고 있는 풀리(12)에 고정되어 있다. As shown in the drawing, a substrate transport apparatus using a roller conventionally connects a plurality of rollers 14a to a shaft 14, and installs a bearing 15 at one end of the shaft to guide the rotational movement of the shaft and a bearing (on the other side). It is fixed to the pulley 12 supported by 15).

롤러(14a)를 연결하고 있는 축에 연결되어 있는 각각의 풀리는 벨트(13)에 의해 동력이 전달되어 롤러(14a)가 회전하도록 구성되어 있으며, 풀리(12)는 전동기(11)에 의하여 회전운동을 받는다. 롤러(14a)의 회전에 의해서 기판(16)은 전진 또는 후진을 하게 되어 기계장치에 기판(16)을 공급한다.Each pulley connected to the shaft connecting the roller 14a is configured to transmit power by the belt 13 so that the roller 14a rotates, and the pulley 12 is rotated by the electric motor 11. Receive. The rotation of the roller 14a causes the substrate 16 to move forward or backward to supply the substrate 16 to the machinery.

기판의 유무를 감지하는 기판감지센서(17)에 의해 기판의 위치를 확인하는 신호를 제어장치(10)의 입력포트(10a)를 통하여 입력되면 제어장치(10)는 이 신호를 사용하여 사전에 작성되어 있는 프로그램을 통하여 기판의 위치를 확인하고 출력포트(10b)를 통하여 제어신호를 출력하여 전동기(11)를 제어한다.When a signal for checking the position of the substrate is input through the input port 10a of the control apparatus 10 by the substrate detecting sensor 17 which detects the presence or absence of the substrate, the control apparatus 10 uses this signal in advance. The position of the board is checked through the prepared program, and a control signal is output through the output port 10b to control the motor 11.

상기와 같은 종래의 기판의 반송장치에서는 롤러(14a)와 기판(16)이 직접 접촉하여 기판(16)이 전진 또는 후진을 하게 되므로 롤러(14a)와 기판(16)의 마찰에 의한 기판(16)의 표면이 상처를 입거나 흠집을 발생시키므로 이러한 요소들의 제품의 불량의 원인이 된다. 또한 기판(16)의 대형면적이 되면 처짐의 현상이 발생하면서 더욱더 큰 흠집을 발생시키는 문제점이 있었다.In the conventional substrate transfer apparatus as described above, since the roller 14a and the substrate 16 are in direct contact with the substrate 16 to move forward or backward, the substrate 16 may be caused by friction between the roller 14a and the substrate 16. The surface of the cuff may be scratched or scratched, causing these components to be defective. In addition, when the large area of the substrate 16 is sag occurs, there is a problem of generating even larger scratches.

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판과 롤러의 접촉으로 인하여 발생되는 기판 표면의 상처 및 흠집을 발생을 없애기 위하여 압축공기 또는 수압을 사용하여 기판을 부상시키므로 기판을 비접촉으로 반송시킬 수 있도록 시스템을 구축할 수 있으며 압축공기 또는 수압에 의하여 부상된 상태에서 전진 또는 후진방향으로 경사지게 설치한 노즐을 통하여 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사시켜서 기판을 이동시켜서 기계장치에 공급하거나 배출시킬 수 있는 기판반송장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, in order to eliminate the scratches and scratches on the surface of the substrate caused by the contact of the substrate and the roller to lift the substrate by using compressed air or water pressure to contact the substrate in a non-contact The system can be constructed to be conveyed, and the substrate is moved and supplied to the machine by spraying air or water having a predetermined pressure through a nozzle installed inclined in the forward or backward direction while being injured by compressed air or hydraulic pressure. To provide a substrate transport apparatus that can be discharged or discharged.

상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 기판부상 반송장치는 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부양시키는 다수의 분사모듈(20); 상기 다수의 분사모듈(20)을 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)에 의해 지지판(31)에 고정시키고, 양 끝단과 베이스(34)를 체결할 수 있는 고정 브라켓(33)을 구비하는 반송모듈(30); 상기 다수의 분사모듈(20)의 노즐구멍으로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물의 공급을 개폐시키는 솔레노이드 밸브모듈(24); 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급하는 공급부(25); 상기 기판(16)의 유무를 감지할 수 있는 기판감지센서(26); 및 상기 기판감지센서(26)의 전기적 신호를 입력포트(27a)를 통하여 받아들여서 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)를 제어하는 제어 장치(27);를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate-floating conveying apparatus, comprising: a plurality of injection modules 20 for supporting a substrate by spraying air or water having a predetermined pressure; The plurality of injection modules 20 are fixed to the support plate 31 by screws 23d installed on the fixing plate 23 and provided with fixing brackets 33 for fastening both ends and the base 34. Carrying module 30; A solenoid valve module 24 for opening and closing a supply of air or water having a predetermined pressure to the nozzle holes of the plurality of injection modules 20; A supply unit 25 supplying air or water having a predetermined pressure to the solenoid valve module 24; A substrate detection sensor 26 capable of sensing the presence or absence of the substrate 16; And a control device 27 which receives the electrical signal of the substrate sensor 26 through the input port 27a and outputs a control signal through the output port 27b to control the solenoid valve module 24. It is characterized by including.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the configuration and operation of the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 기판부상 반송장치의 단면도를 도시한 것으로, 분사모듈(20), 반송모듈(도 4에 도시됨), 솔레노이드 밸브(24), 압축공기 공급부(25), 센서(26) 및 제어 장치(27)로 이루어진다.Figure 2 shows a cross-sectional view of the substrate portion conveying apparatus according to the present invention, the injection module 20, the conveying module (shown in Figure 4), the solenoid valve 24, the compressed air supply 25, the sensor 26 ) And the control device 27.

분사모듈(20)은 공급부(25)로부터 공급되는 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판(16)을 부양시키는 수단으로, 부상분사노즐(21b), 전진분사노즐(21c) 및 후진분사노즐(21a)을 구비한다.The injection module 20 is a means for supporting the substrate 16 by injecting air or water having a predetermined pressure supplied from the supply unit 25, and the floating injection nozzle 21b, the forward injection nozzle 21c, and the reverse injection nozzle. The nozzle 21a is provided.

반송모듈(도 4에 도시됨)은 기판(16)을 반송시키는 장치로서, 복수의 분사모듈(20)을 구비하고, 상기 복수의 분사모듈(20)에 의해 분사되는 압축공기 또는 수압에 의해 상기 기판(16)을 부상시키고, 상기 부상된 기판(16)을 전진 및 후진시킨다. The conveying module (shown in FIG. 4) is a device for conveying the substrate 16. The conveying module includes a plurality of ejection modules 20, and is compressed by compressed air or hydraulic pressure sprayed by the plurality of ejection modules 20. The substrate 16 is floated, and the floated substrate 16 is advanced and retracted.

솔레노이드 밸브모듈(24)은 상기 복수의 분사모듈(20)의 노즐구멍으로 압축공기의 공급을 개폐시키는 수단으로, 부상 솔레노이드 밸브(24b), 전진 솔레노이드 밸브(24c) 및 후진 솔레노이드 밸브(24a)를 구비한다.The solenoid valve module 24 is a means for opening and closing the supply of compressed air to the nozzle holes of the plurality of injection modules 20. The solenoid valve module 24b includes the solenoid valve 24b, the forward solenoid valve 24c, and the reverse solenoid valve 24a. Equipped.

공급부(25)는 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)로 공급하는 수단이다. The supply unit 25 is a means for supplying air or water having a predetermined pressure to the solenoid valve module 24.

기판감지센서(26)는 상기 기판(16)이 상기 반송모듈에서 반송 유무를 감지한다.The substrate sensor 26 detects whether the substrate 16 is conveyed from the conveying module.

제어 장치(27)는 상기 기판감지센서(26)의 전기적 신호를 입력포트(27a)를 통하여 받아들여서 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 솔레노이드 밸브모듈(24)을 제어한다.The control device 27 receives the electrical signal of the substrate sensor 26 through the input port 27a and outputs a control signal through the output port 27b to control the solenoid valve module 24.

상기 구성에 대한 상세한 설명은 도 3과 도 4를 통하여 설명하기로 한다. Detailed description of the configuration will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

도 3은 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부상, 전진 및 후진이 가능하도록 구성된 분사모듈(20)의 단면도를 도시한 것이다.Figure 3 shows a cross-sectional view of the injection module 20 is configured to enable the lifting, forward and backward of the substrate by injecting air or water having a predetermined pressure.

분사모듈(20)은 기판을 부상시킬 수 있는 부상분사노즐(21b), 상기 부상분사노즐(21b)에 대하여 소정의 경사진 각도(21d)로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사시켜서 기판을 전진시키는 전진분사노즐(21c), 상기 전진분사노즐(21c)과는 정반대(180도)의 각도로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사시켜서 후진시키는 후진분사노즐(21a)을 구비한다. The injection module 20 sprays air or water having a predetermined pressure at a predetermined inclined angle 21d with respect to the floating injection nozzle 21b and the floating injection nozzle 21b, which can float the substrate. A forward spray nozzle 21c for advancing and a backward spray nozzle 21a for spraying air or water having a predetermined pressure at an angle of 180 degrees opposite to the forward spray nozzle 21c are provided.

분사 스테이지(21)와 고정판(23)은 부상, 전진, 후진에 해당하는 각각의 분사노즐(21a,21b,21c)에 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급할 수 있는 부상 주입구(23b), 전진 주입구(23c)와 후진 주입구(23a)를 구비한다.The injection stage 21 and the fixed plate 23 are float injection holes 23b for supplying air or water having a predetermined pressure to the respective injection nozzles 21a, 21b, and 21c corresponding to floating, forward, and reverse, and forward. The injection port 23c and the reverse injection port 23a are provided.

상기 분사 스테이지(21)를 결합하고 있는 고정판(23)은 상기 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)를 이용하여 도 4에 도시된 지지판(31)과 체결할 수 있도록 구성되어 있으며, 상기 분사 스테이지(21)에 구성되어 있는 챔버 내의 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물의 누설을 방지하기 위하여 분사 스테이지(21)와 고정판(23) 사이에 패킹(22)이 삽입된다.The fixing plate 23 to which the spraying stage 21 is coupled is configured to be fastened with the supporting plate 31 shown in FIG. 4 by using the screws 23d installed on the fixing plate 23. A packing 22 is inserted between the spray stage 21 and the fixed plate 23 to prevent leakage of air or water having a predetermined pressure in the chamber configured in the spray stage 21.

따라서, 상기 부상 주입구(23b)를 통하여 공급된 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물은 기판(16)과 분사 스테이지(21) 사이에 공기막 또는 수포막을 형성하여 비접촉을 유지시키므로 기판(16)에 상처나 흠집이 발생하는 것을 방지할 수 있으며 전진 주입구(23c)와 후진 주입구(23a)에 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급함으로써 기판의 전진과 후진이 가능하다. Accordingly, air or water having a predetermined pressure supplied through the floating injection hole 23b forms an air film or a blister film between the substrate 16 and the spraying stage 21 to maintain non-contact, thereby causing damage to the substrate 16. Scratches can be prevented from occurring and the substrate can be moved forward and backward by supplying air or water having a predetermined pressure to the forward injection port 23c and the reverse injection port 23a.

상기 분사 스테이지(21)에 구성되어 있는 각각의 분사노즐(21a,21b,21c)은 각각의 공정 챔버에 여러 개의 노즐을 직경이 0.05 ~ 0.5 mm의 범위 내에서 구멍가공을 하여 노즐로 사용하며 기판과 전진과 후진을 위해서는 부상분사노즐(21b)에 대하여 20도 내지 70도의 각도 범위 내에서 구멍가공을 실시하여 전진분사노즐(21c)과 후진분사노즐(21a)로 사용한다.Each spray nozzle 21a, 21b, 21c of the spray stage 21 is used as a nozzle by drilling a plurality of nozzles in each process chamber in the range of 0.05 to 0.5 mm in diameter. In order to move forward and backward, holes are drilled in the angle range of 20 degrees to 70 degrees with respect to the floating jet nozzle 21b, and used as the forward jet nozzle 21c and the reverse jet nozzle 21a.

도 4는 다수의 분사모듈(20)을 구비하는 반송모듈(30)을 베이스(34)에 설치한 조립도의 단면도를 도시한 것이다. 4 is a cross-sectional view illustrating an assembly view in which the transfer module 30 including the plurality of injection modules 20 is installed on the base 34.

반송모듈(30)은 다수의 분사모듈(20)을 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)에 의하여 지지판(31)에 체결하고 있다. 또한 반송모듈(30)은 고정 브라켓(33)에 의해 양 끝단이 지지판 체결볼트(32)에 의하여 고정되고 고정 브라켓(33)은 베이스(34)에 설치되어 기판반송장치를 조립한다. The conveyance module 30 fastens the plurality of injection modules 20 to the support plate 31 by screws 23d provided on the fixed plate 23. In addition, the transport module 30 is fixed at both ends by the fixing bracket 33, the support plate fastening bolts 32 and the fixing bracket 33 is installed on the base 34 to assemble the substrate transport apparatus.

기판(16)을 기계장치에 공급하고 배출하기 위해서는 상기에서 설명한 반송모듈(30)을 다수의 열로서 구성하여야 하며 기판(16)의 크기에 따라서 구축되는 반송모듈(30)의 열의 수는 달라진다. In order to supply and discharge the substrate 16 to the mechanical device, the transfer module 30 described above should be configured as a plurality of rows, and the number of rows of the transfer module 30 to be constructed depends on the size of the substrate 16.

이와 같이 반송모듈(30)은 기판(16)의 크기에 따라서 조정이 가능하며 기판(16)을 반송하는 길이에 따라서도 조정이 가능하므로 얇은 판으로 형성되어 있는 기판을 가공하기 위한 가공기계장치 또는 기판 위에 가공되어 잇는 제품의 형상을 검사하기 위한 검사장치 등에 기판을 공급하거나 배출하는데 사용하는 것이 적합하다.As described above, the transfer module 30 may be adjusted according to the size of the substrate 16 and may also be adjusted depending on the length of the substrate 16 to be transported. Thus, a processing machine device for processing a substrate formed of a thin plate or It is suitably used for supplying or discharging substrates to inspection apparatus for inspecting the shape of products processed on the substrates.

도 5는 본 발명에 의한 기판부상 반송장치의 제어방법을 도시한 것이다. 5 shows a control method of a substrate-floating conveying apparatus according to the present invention.

기판감지센서(26)에 의해 기판의 유무를 감지한 전기적 신호가 입력포트(27a)를 통하여 제어장치(27)에 입력되면 제어장치는 사전에 작성되어 있는 프로그램에 의해 기판의 부상, 전진, 후진에 맞도록 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 2포트 2위치 솔레노이드 밸브모듈(24)을 제어한다. When an electrical signal that detects the presence or absence of a substrate by the substrate detection sensor 26 is input to the control unit 27 through the input port 27a, the control unit is floated, moved forward, or retracted by a previously prepared program. The control signal is output through the output port 27b so as to control the 2-port 2-position solenoid valve module 24.

상기 2포트 2위치 솔레노이드 밸브(24a, 24b, 24c)의 P포트는 공급부(25)와 연결되어 있고 A 포트는 부상, 전진, 후진 주입구(23a,23b,23c)와 연결되어 있다.The P ports of the two-port two-position solenoid valves 24a, 24b, and 24c are connected to the supply part 25, and the A port is connected to the floating, forward, and reverse inlet ports 23a, 23b, and 23c.

기판(16)을 부상만 실시할 경우에는 제어장치(27)에서는 2포트 2위치 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 접속되어 있는 출력포트(27b)에 제어신호를 출력하도록 프로그램을 작성한다.In the case where only the substrate 16 is floating, the control device 27 writes a program to output a control signal to the output port 27b connected to the two-port two-position floating solenoid valve 24b.

기판(16)을 전진시킬 경우에는 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 전진 솔레노이드 밸브(24c)가 동시에 작동하여 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급할 수 있도록 제어 장치(27)에서는 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하며 기판(16)의 반송길이가 길 경우에는 기판(16)의 위치에 따라서 순차적으로 각각의 분사모듈(20)에 연결되어 있는 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 전진 솔레노이드 밸브(24c)가 동작되도록 프로그램을 작성한다.In the case of advancing the substrate 16, the control unit 27 provides an output port 27b so that the floating solenoid valve 24b and the forward solenoid valve 24c operate simultaneously to supply air or water having a predetermined pressure. When the conveyance length of the substrate 16 is long and the conveyance length of the substrate 16 is long, the floating solenoid valve 24b and the forward solenoid valve 24c which are connected to the respective injection modules 20 sequentially according to the position of the substrate 16. ) To make the program work.

기판(16)을 후진시킬 경우에는 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 후진 솔레노이드 밸브(24a)를 동시에 작동하여 압축공기를 공급할 수 있도록 제어 장치(27)에서는 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하며 기판(16)의 반송길이가 길 경우에는 기판(16)의 위치에 따라서 순차적으로 각각의 분사모듈(20)에 연결되어 있는 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 후진 솔레노이드 밸브(24a)가 동작되도록 프로그램을 작성한다. When the substrate 16 is reversed, the control device 27 outputs a control signal through the output port 27b so that the floating solenoid valve 24b and the reverse solenoid valve 24a can be operated simultaneously to supply compressed air. When the conveyance length of the substrate 16 is long, the program is operated so that the floating solenoid valve 24b and the reverse solenoid valve 24a which are connected to the respective injection modules 20 are sequentially operated according to the position of the substrate 16. Write.

이상으로, 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments illustrated in the drawings, which are merely exemplary, and it should be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. will be. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 발명에 의하면, 기판을 부상시킨 상태에서 전진 및 후진시킴으로써 기판의 표면에서 발생하는 흠집 또는 상처로 인한 기판을 표면손상의 불량률을 최소화할 수 있는 효과를 가진다. According to the present invention, it is possible to minimize the defect rate of the surface damage of the substrate due to the scratches or scratches generated on the surface of the substrate by moving forward and backward in the state in which the substrate is floating.

또한, 기판의 크기가 변화하더라도 분사모듈을 여러 개 설치함으로써 기판의 크기에도 쉽게 대응을 할 수 있으며 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 경사지게 분사시켜서 기판의 전진과 후진이 가능하므로 기판을 반송하기 위한 별도의 구동장치가 필요 없음으로써 청정 룸에서 작업을 할 경우에는 먼지의 발생률이 적기 때문에 깨끗한 상태에서 작업을 할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, even if the size of the substrate changes, it is easy to cope with the size of the substrate by installing a plurality of injection modules, and the forward and backward movement of the substrate is possible by injecting the air or water having a predetermined pressure inclined to convey the substrate Since there is no need for a separate driving device, when working in a clean room, the incidence of dust is small, so the work can be performed in a clean state.

도 1은 종래의 롤러를 사용하여 기판을 반송하는 기판반송장치 및 그 제어 시스템의 평면도를 도시한 것이다.1 shows a plan view of a substrate transfer apparatus and a control system for conveying a substrate using a conventional roller.

도 2는 본 발명에 의한 기판부상 반송장치의 단면도를 도시한 것이다.2 is a cross-sectional view of a substrate portion transfer apparatus according to the present invention.

도 3은 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부상, 전진 및 후진이 가능하도록 구성된 분사모듈의 단면도를 도시한 것이다.Figure 3 shows a cross-sectional view of the injection module configured to enable the floating, forward and reverse the substrate by injecting air or water having a predetermined pressure.

도 4는 다수의 분사모듈을 구비하는 반송모듈을 베이스에 설치한 조립도의 단면도를 도시한 것이다. 4 illustrates a cross-sectional view of an assembly view in which a transport module including a plurality of injection modules is installed in a base.

도 5는 본 발명에 의한 기판부상 반송장치의 제어방법을 도시한 것이다.5 shows a control method of a substrate-floating conveying apparatus according to the present invention.

※ 도면 부호에 대한 간단한 설명※ Brief description of the reference numerals

20 : 분사모듈 21 : 분사 스테이지20: injection module 21: injection stage

21a : 후진분사노즐 21b : 부상분사노즐21a: backward spray nozzle 21b: floating spray nozzle

21c : 전진분사노즐 21d : 전진 및 후진노즐의 기울기21c: Forward nozzle No. 21d: Tilt of forward and backward nozzle

22 : 패킹 23 : 고정판22: packing 23: fixed plate

23a : 후진 주입구 23b : 부상 주입구23a: reverse inlet 23b: floating inlet

23c : 전진 주입구 24 : 밸브모듈23c: forward inlet 24: valve module

24a : 후진 솔레노이드 밸브 24b : 부상 솔레노이드 밸브24a: reverse solenoid valve 24b: floating solenoid valve

24c : 전진 솔레노이드 밸브 26 : 기판감지센서24c: forward solenoid valve 26: substrate detection sensor

27 : 제어장치 30 : 기판반송모듈27: controller 30: substrate transfer module

31 : 지지판 32 : 지지판 체결볼트31: support plate 32: support plate fastening bolt

33 : 고정 브라켓 34 : 베이스33: fixing bracket 34: base

Claims (5)

기판을 반송하는 반송장치에 있어서,In the conveying apparatus which conveys a board | substrate, 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부양시키는 다수의 분사모듈(20);A plurality of injection modules 20 for supporting a substrate by injecting air or water having a predetermined pressure; 상기 다수의 분사모듈(20)을 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)에 의해 지지판(31)에 고정시키고, 양 끝단과 베이스(34)를 체결할 수 있는 고정 브라켓(33)을 구비하는 반송모듈(30);The plurality of injection modules 20 are fixed to the support plate 31 by screws 23d installed on the fixing plate 23 and provided with fixing brackets 33 for fastening both ends and the base 34. Carrying module 30; 상기 다수의 분사모듈(20)의 노즐구멍으로 상기 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물의 공급을 개폐시키는 솔레노이드 밸브모듈(24); A solenoid valve module 24 for opening and closing the supply of air or water having the predetermined pressure to the nozzle holes of the plurality of injection modules 20; 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)로 상기 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급하는 공급부(25); A supply unit 25 supplying air or water having the predetermined pressure to the solenoid valve module 24; 상기 기판(16)의 유무를 감지할 수 있는 기판감지센서(26); 및 A substrate detection sensor 26 capable of sensing the presence or absence of the substrate 16; And 상기 기판감지센서(26)의 전기적 신호를 입력포트(27a)를 통하여 받아들여서 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)를 제어하는 제어 장치(27);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판부상 반송장치.A control device (27) for receiving the electrical signal of the substrate sensor (26) through an input port (27a) and outputting a control signal through the output port (27b) to control the solenoid valve module (24). A substrate floating transfer apparatus, characterized in that. 제1항에 있어서, 상기 분사모듈은 The method of claim 1, wherein the injection module 기판을 부상시키기 위한 부상노즐(21b), 기판을 전진시키기 위한 전진노즐(21c) 및 기판을 후진시키기 위한 후진노즐(21a)을 구비하고, 상기 노즐들(21a,21b,21c)에 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급하는 각각의 공기 챔버를 구비하는 분사 스테이지(21);A floating nozzle 21b for floating the substrate, a forward nozzle 21c for advancing the substrate, and a reverse nozzle 21a for reversing the substrate, and having a predetermined pressure on the nozzles 21a, 21b, 21c. An injection stage 21 having respective air chambers for supplying air or water having a gas flow rate; 상기 공기 챔버의 공기 또는 물이 누설되지 않도록 상기 분사 스테이지(21)와 고정판(23) 사이에 설치되는 패킹(22); 및 A packing 22 installed between the spray stage 21 and the fixing plate 23 so that air or water in the air chamber does not leak; And 상기 분사 스테이지(21)를 고정하고 있으며 부상 주입구(23b), 전진 주입구(23c), 후진 주입구(23a)를 구비하며 지지판(31)과 체결할 수 있도록 체결나사구멍(23d)을 구비하는 고정판(23);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판부상 반송장치. A fixed plate which holds the injection stage 21 and has a floating injection hole 23b, a forward injection hole 23c, a reverse injection hole 23a, and a fastening screw hole 23d so as to be engaged with the support plate 31; 23); substrate substrate conveying apparatus comprising a. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)은 The solenoid valve module 24 of claim 1, wherein 부상 솔레노이드 밸브(24b), 전진 솔레노이드 밸브(24c) 및 후진 솔레노이드 밸브(24a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판부상 반송장치. And a floating solenoid valve (24b), a forward solenoid valve (24c), and a reverse solenoid valve (24a). 삭제delete
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