KR100899101B1

KR100899101B1 - Substrate Transfer Apparatus

Info

Publication number: KR100899101B1
Application number: KR1020070103763A
Authority: KR
Inventors: 임종현; 문동진; 서재희
Original assignee: 엠파워(주)
Priority date: 2007-10-15
Filing date: 2007-10-15
Publication date: 2009-05-27
Also published as: KR20090038332A

Abstract

본 발명은 기판 반송장치에 관한 것으로, 그 구성은 기반 반송장치에 있어서, 외부에서 반입되는 기판을 안치시키는 하우징; 및 상기 하우징 측면에 마련되어 하우징에 안치된 기판을 이송시키는 싸이드 롤러;를 포함하며, 상기 하우징은 외부로부터 공급되는 공기와 물을 혼합하여 상단면으로 분사시켜 기판을 부양하게 한다.The present invention relates to a substrate conveying apparatus, the configuration of which is based on a substrate conveying apparatus, comprising: a housing for placing a substrate loaded from the outside; And a side roller provided at a side of the housing to transfer the substrate placed in the housing, wherein the housing mixes air and water supplied from the outside and sprays the upper surface to support the substrate.

본 발명에 따르면, 기판 이송시 발생할 수 있는 손상을 최소화하고, 마찰에 의한 미립자 발생을 억제할 수 있게 함으로써 기판 불량률을 감소시킬 수 있게 하는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to reduce the defect rate of the substrate by minimizing damage that may occur during substrate transfer and suppressing the generation of fine particles due to friction.

기판, 롤러, 에어, 물, 노즐 Substrate, Roller, Air, Water, Nozzle

Description

기판반송장치{Substrate Transfer Apparatus}Substrate Transfer Apparatus

본 발명은 기판 반송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판 이송시 발생할 수 있는 손상을 최소화하고, 마찰에 의한 미립자 발생을 억제할 수 있게 함으로써 기판 불량률을 감소시킬 수 있게 하는 기판 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus capable of minimizing damage that may occur during substrate transfer and reducing substrate defect rate by suppressing generation of fine particles due to friction. .

최근 들어 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 시대상에 부응하기 위해 평판표시장치의 필요성이 대두되었다. 이에 따라 색 재현성이 우수하고 박형인 박막트랜지스터형 액정표시소자(TFT-LCD)가 개발되었다.Recently, the necessity of a flat panel display device has emerged in order to meet the times of thinning, light weight, and low power consumption. Accordingly, a thin film transistor type liquid crystal display (TFT-LCD) having excellent color reproducibility has been developed.

통상적으로 액정표시장치에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광투과율을 그에 공급되는 비디오 데이터 신호로 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다.In general, a liquid crystal display device displays an image corresponding to a data signal on a panel by adjusting light transmittance of liquid crystal cells arranged in a matrix on a liquid crystal panel with a video data signal supplied thereto.

이를 위하여 액정표시장치는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀 별로 데이터 공급을 전환하기 위한 박막 트랜지스터, 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선 및 TFT의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등을 구비하게 된다.To this end, the liquid crystal display includes electrodes for applying an electric field to the liquid crystal layer, a thin film transistor for switching data supply for each liquid crystal cell, signal wiring for supplying externally supplied data to the liquid crystal cells, and a control signal for the TFT. Signal wiring and the like for providing the same.

일반적으로 액정표시장치는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 공정을 동반 하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 방향을 위한 배향막의 형성 및 러빙 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성되게 된다.In general, a liquid crystal display device includes a manufacturing process of a panel top and a bottom plate accompanied by a process of forming a liquid crystal cell forming a pixel unit, a process of forming and rubbing an alignment layer for the liquid crystal direction, a bonding process of a top plate and a bottom plate, and a bonded top plate. And a process of injecting and encapsulating a liquid crystal between the lower plate and the like.

상기 언급된 상판 및 하판에 의한 패널의 제조 공정, 상판 및 하판의 합착 공정, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정, 세척 공정 등 각 단계의 공정들을 수행하기 위해서는 기판(이하 : 상판 및 하판을 기판이라 함)을 미리 셋팅된 정확한 위치로 이송하게 된다.In order to perform the processes of each step such as the manufacturing process of the panel by the upper plate and the lower plate, the bonding process of the upper plate and the lower plate, the process of injecting and encapsulating the liquid crystal between the bonded upper plate and the lower plate, and the washing process, the substrate (hereinafter: The upper plate and the lower plate are referred to as the substrate) to be transferred to the correct preset position.

이처럼 일련의 제조공정 중 기판을 이송하기 위한 이송장치에 관한 것으로서, 도 1 또는 도 2에 도시된 종래의 기술을 보면, 상기 이송장치(100)는 상기 이송장치(100)는 상기 모터(122)의 회전력을 벨트(124)에 전달시키면 다수개의 구동롤러(128)가 기판(300) 하단에 위치한 반송롤러(126)에 회전력을 전달하여 기판(300)을 이송하게 되는 것이다.As such, the present invention relates to a transfer apparatus for transferring a substrate during a series of manufacturing processes. Referring to the related art shown in FIG. 1 or 2, the transfer apparatus 100 includes the transfer apparatus 100 and the motor 122. When the rotational force is transmitted to the belt 124, the plurality of driving rollers 128 transfers the rotational force to the conveying roller 126 located at the bottom of the substrate 300 to transfer the substrate 300.

그러나, 상기 반송롤러(126)에 의한 이송은 롤러와 벨트의 마찰에 의해 생기는 미세입자들(Particle)로 인해 기판(300)의 표면을 손상시키는 문제점이 있으며, 기판과 반송롤러의 마찰에 의해 기판이 손상되는 문제점이 있었다.However, the conveyance by the conveying roller 126 has a problem of damaging the surface of the substrate 300 due to the particles (particles) generated by the friction of the roller and the belt, the substrate by the friction between the substrate and the conveying roller There was this marred issue.

또한, 벨트를 오랜 기간 사용하면 벨트가 끊어져 사고의 위험성이 높아지는 문제점이 있으며, 현재 기판 들을 보면 대형화 추세로 가고 있는데, 이러한 벨트 이송은 이송장치가 차지하는 공간이 많아질 뿐만 아니라 벨트로 인한 기판 손상이 더욱 심화되는 문제점과 동시에 유지 보수에 들어가는 시간과 비용이 더욱 많아지는 문제점이 있다.In addition, if the belt is used for a long time, there is a problem that the belt is broken and the risk of an accident is increased. Currently, the substrates are increasing in size, and the transfer of the belt not only increases the space occupied by the conveying device but also damages the substrate due to the belt. At the same time, there is a problem that the time and costs for maintenance are increased.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판 이송시 발생할 수 있는 손상을 최소화하고, 마찰에 의한 미립자 발생을 억제할 수 있게 함으로써 기판 불량률을 감소시킬 수 있게 하는 기판 반송장치을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to minimize the damage that can occur during substrate transfer, it is possible to suppress the generation of fine particles by friction to reduce the substrate failure rate In providing a substrate transfer apparatus.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.The present invention has the following configuration to achieve the above object.

본 발명의 기반 반송장치에 있어서, 외부에서 반입되는 기판을 안치시키는 하우징; 및 상기 하우징 측면에 마련되어 하우징에 안치된 기판을 이송시키는 싸이드 롤러;를 포함하며, 상기 하우징은 외부로부터 공급되는 공기와 물을 혼합하여 상단면으로 분사시켜 기판을 부양하게 한다.A base conveying apparatus of the present invention, comprising: a housing for placing a substrate loaded from the outside; And a side roller provided at a side of the housing to transfer the substrate placed in the housing, wherein the housing mixes air and water supplied from the outside and sprays the upper surface to support the substrate.

또한 상기 싸이드 롤러의 상단은 상기 하우징 상단면 보다 돌출되게 마련되며, 상기 하우징 상단면에는 공기와 물이 혼합 분사될 수 있게 하는 적어도 하나 이상의 노즐구를 형성하거나 또는 다공성 미세 필터 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 한다.In addition, the upper end of the side roller is provided to protrude more than the upper end surface of the housing, the upper end surface of the housing to form at least one or more nozzle holes for the air and water can be mixed injection or made of any one selected from the porous fine filter do.

그리고 상기 노즐구는 기판의 진행 방향으로 경사지게 개구되게 한다.The nozzle port is inclined to open in the advancing direction of the substrate.

본 발명에 따르면, 기판 이송시 발생할 수 있는 손상을 최소화하고, 마찰에 의한 미립자 발생을 억제할 수 있게 함으로써 기판 불량률을 감소시킬 수 있게 하 는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to minimize the damage that can occur during the transfer of the substrate, it is possible to suppress the generation of particulates by friction has the effect of reducing the substrate failure rate.

또한 기판의 크기에 따라 그 설치 수를 다양하게 할 수 있으며, 상기 기판 이송시 기판 지지면을 넓게 할 수 있어 기판이 휨으로 인한 손상을 최소화할 수 있는 효과가 있다.In addition, the number of installations can be varied according to the size of the substrate, and the substrate support surface can be widened during the transfer of the substrate, thereby minimizing damage due to the warpage of the substrate.

그리고 물에 의한 기판 지지를 통해 기판에 부착될 수 있는 이물질을 제거할 수 있는 세정 효과를 기재할 수 있다.And it can be described a cleaning effect that can remove the foreign matter that can be attached to the substrate through the substrate support by water.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3에 도시된 바에 의하면, 기판 반송장치(10)는 외부에서 반입되는 기판(G)을 안치하는 하우징(11)과 상기 하우징(11) 일측에 연결되어 상기 하우징 내 부로 공기(A)를 공급하게 하는 에어 공급 라인(13)과 물(W)을 공급하는 물공급 라인(14)이 연결되어 있으며 하우징 내부는 빈 박스 형태를 하고 있다. 또한 상기 하우징(11)에는 일정 크기를 갖는 노즐구(12)가 상단며 전체면에 걸쳐 균일하게 개구되어 있다. 그리고 상기 하우징(11) 폭 방향 양 측에는 일정 간격 이격된 거리에 다수개의 싸이드 롤러(15)가 등간격 배치되어 있다. 여기서 상기 싸이드 롤러(15)의 상단부는 상기 하우징(11)의 상단면 보다 상부로 돌출되게 한다.As shown in FIG. 3, the substrate transfer device 10 is connected to one side of the housing 11 that holds the substrate G carried from the outside and one side of the housing 11 to supply air A into the housing. The air supply line 13 and the water supply line 14 for supplying water (W) are connected, and the inside of the housing has a hollow box shape. In addition, the housing 11 has a nozzle opening 12 having a predetermined size and is uniformly opened over the entire surface. In addition, a plurality of side rollers 15 are disposed at equal intervals on both sides of the housing 11 in the width direction. Here, the upper end of the side roller 15 is protruded upward from the upper end of the housing 11.

예컨대, 도 5 또는 도 6에 도시된 바와 같이 외부로부터 반입된 기판(G)을 싸이드 롤러(15) 상에 안치되게 한 상태에서 에어 공급 라인(13)과 물공급 라인(14)을 통해 하우징 내부로 물(W)과 공기(A)를 주입시켜 충진시키면 공급되는 압력에 의해 하우징 내에서 물과 공기가 혼합되게 되고 하우징 상단면을 개구 형성한 노즐구(12)를 통해 분출하게 된다. 이때 분출되는 물과 공기가 기판(G) 하단면을 가압하게 하여 기판(G) 저면을 부양하게 되어 싸이드 롤러에 의해 지지되는 기판의 처짐을 방하게 되고 상기 싸이드 롤러는 회전력에 의해 기판을 이송하게 된다. 즉, 상기 싸이드 롤러(15)로 하여금 기판의 측면 가장 자리만을 지지하게 함으로써 기판이 롤러에 의해 손상되는 것을 최소화할 수 있게 되고, 롤러가 기판의 가장 자리만을 지지시 발생할 수 있는 기판 처짐을 물과 공기의 분출을 통해 기판 저면을 부양 지지하게 함으로써 기판 처짐에 의해 손상을 방지할 수 있게 된다. 여기서 상기 싸이드 롤러(15)는 다양한 형태의 구동수단에 의해 회전하는 것은 주지사실임으로 구체적인 설명은 생략한다.For example, the inside of the housing through the air supply line 13 and the water supply line 14 with the substrate G loaded from the outside as settled on the side roller 15 as shown in Fig. 5 or 6 When the water (W) and the air (A) is injected and filled, the water and air are mixed in the housing by the supplied pressure, and the upper end surface of the housing is ejected through the nozzle hole 12 having the opening. At this time, the ejected water and air pressurizes the bottom surface of the substrate G to support the bottom surface of the substrate G to prevent sagging of the substrate supported by the side roller, and the side roller transfers the substrate by rotational force. do. That is, by allowing the side roller 15 to support only the edge of the side of the substrate, it is possible to minimize the damage of the substrate by the roller, and the substrate deflection that may occur when the roller supports only the edge of the substrate. By supporting the bottom of the substrate by blowing air, it is possible to prevent damage due to the substrate sagging. Here, since the side roller 15 is rotated by various driving means, it is a governor's office, and thus, detailed description thereof will be omitted.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 노즐구(12)의 개구 방향을 기판(G)의 진행 방향(화살표 방향)으로 경사각(θ)을 갖게 형성함으로써 기판(G) 이송 더욱 효율적으로 이루어지게 할 수 있게 할 수도 있게 된다. 그리고 상기 노즐구를 통해 분출되는 물과 공기의 압력은 안치된 기판의 무게를 감안하여 조정하며 분출 압력에 의해 기판이 싸이드 롤러에서 이탈되지 않을 정도의 압력을 갖는 것이 바람직하며 이는 에어 공급 라인과 물 공급 라인의 공급 압력을 조정함으로써 가능하게 된다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, the opening direction of the nozzle hole 12 is formed to have an inclination angle θ in the advancing direction (arrow direction) of the substrate G so that the substrate G can be transported more efficiently. You can also enable it. In addition, the pressure of the water and air jetted through the nozzle hole is adjusted in consideration of the weight of the substrate placed therein, and it is preferable to have a pressure such that the substrate is not released from the side roller by the jetting pressure, which is an air supply line and water. This is possible by adjusting the supply pressure of the supply line.

도 1은 종래 기술의 기판 반송장치를 나타내는 측면도.1 is a side view showing a substrate transfer device of the prior art;

도 2는 종래 기술의 기판 반송장치를 나타내는 측면도.2 is a side view showing a substrate transfer device of the prior art;

도 3은 본 발명의 기판 반송장치를 나타내는 사시도.3 is a perspective view showing a substrate transfer device of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 노즐구를 나타내는 부분 단면도.FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing the nozzle port shown in FIG. 3. FIG.

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 기판 반송장치를 나타내는 작동상태도.5 and 6 is an operating state diagram showing a substrate transport apparatus according to the present invention.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 기판 반송장치 11 : 하우징10 substrate transfer apparatus 11 housing

12 : 노즐구 13 : 에어 공급 라인12 nozzle nozzle 13 air supply line

14 : 물 공급 라인 15 : 싸이드 롤러14: water supply line 15: side roller

Claims

기반 반송장치에 있어서,In the base conveying device,

외부에서 반입되는 기판을 안치시키는 하우징; 및A housing for placing a substrate loaded from the outside; And

상기 하우징 측면에 마련되어 하우징에 안치된 기판을 이송시키는 싸이드 롤러;를 포함하며,And a side roller provided at a side of the housing to transfer a substrate placed in the housing.

상기 하우징 상단면에는 공기와 물이 혼합 분사될 수 있게 하는 적어도 하나 이상의 노즐구를 형성하고, 상기 노즐구는 기판의 진행 방향으로 경사지게 개구되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치. And at least one nozzle hole on the upper end surface of the housing to allow a mixture of air and water to be sprayed, and the nozzle hole is inclined to open in a direction in which the substrate moves .

제 1 항에 있어서,The method of claim 1,

상기 싸이드 롤러의 상단은 상기 하우징 상단면 보다 돌출되게 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.An upper end of the side roller is provided to protrude more than the upper end surface of the housing.

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