KR100525544B1 - 열식 유량 검출 장치 - Google Patents

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KR100525544B1
KR100525544B1 KR10-2003-0034660A KR20030034660A KR100525544B1 KR 100525544 B1 KR100525544 B1 KR 100525544B1 KR 20030034660 A KR20030034660 A KR 20030034660A KR 100525544 B1 KR100525544 B1 KR 100525544B1
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미츠비시덴키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 종래 기술의 회로 구성이 복잡하게 되어 장치의 소형화가 곤란하다는 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 상기 문제점을 해결하기 위한 수단에 있어서, 상류측으로부터 하류측으로 흐르는 유체의 온도를 검출하는 상류측 및 하류측 온도 검출 소자(1, 2) 및 고정 저항(5, 6)으로 구성된 브리지 회로와, 온도 검출 소자(1, 2)의 온도차가 소정치가 되도록, 상류측 및 하류측 발열 소자(3, 4)에 연속적으로 전력을 공급하는 온도차 제어 회로를 구비하고, 상기 온도차 제어 회로는 상기 브리지 회로에 접속된 차동 증폭기(10)와, 제1의 정전압 전원(16)과, 제1의 정전압 전원보다 낮은 제2의 정전압 전원(14)과, 상류측 및 하류측 발열 소자(3, 4)를 가지며, 상류측 발열 소자(3)는 차동 증폭기(10)의 출력측과 제2의 정전압 전원(14) 사이에 접속되고, 하류측 발열 소자(4)는 차동 증폭기(10)의 출력측과 제1의 정전압 전원(16) 사이에 접속되어 있는 구성을 특징으로 한다. 그에 따라, 흐름 방향도 판별할 수 있고, SN비에 우수한 아날로그 전압의 유량 신호를 얻을 수 있다.

Description

열식 유량 검출 장치{THERMAL TYPE FLOW RATE DETECTOR}
본 발명은 예를 들면 기체 또는 액체의 유속 또는 유량을 검출하는 열식 유속계, 열식 유량계에 관한 것으로, 응용예로서 특히 자동차용 엔진 등의 흡입 공기량을 검출하는데 이용되고, 검출 정밀도를 향상할 수 있는 열식 유량 검출 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 자동차용 엔진에의 흡입 공기량을 계측하는 유량 검출 장치로서 질량 유량을 검출할 수 있고, 코스트 퍼포먼스에 우수한 열식이 일반적으로 이용되고 있다. 엔진은 피스톤의 왕복 운동에 의해 공기를 흡입하고, 스로틀 밸브(throttle valve)의 개폐에 의해 흡입 공기를 증감한다. 4기통 가소린 엔진에의 흡입 공기는 스로틀 밸브의 개방도가 증대할수록 맥동 진폭이 커지고, 전개(full power)로 되는 운전 상태에 있어서는 역류를 수반하는 맥동류로 된다. 따라서 엔진에의 흡입 공기량을 정확하게 검출하는데는 역류도 검출할 수 있는 유량계가 필요하게 된다.
역류를 검출할 수 있는 열식 유량계로서는 특개평 10-500493호 공보에 나타난 바와 같이, 실리콘 기판의 표면측으로 발열 소자와 그 발열 소자의 상류(upstream) 및 하류(downstream)에 온도 검출 소자를 배치하고, 해당 발열 소자를 일정 온도로 제어한 때의 상하류의 온도 검출 소자의 온도차로부터 유량을 검출하는 온도차 검출 방식이 실용화 되어 있다. 흐름 방향에 대해 상류측의 온도 검출 소자의 쪽이 하류측의 온도 검출 소자보다도 온도가 내려가기 때문에, 순류와 역류에서는 온도차의 부호가 역전함에 의해 역류가 검출 가능하게 된다.
상기 발열 소자 및 온도 검출 소자는 실리콘의 미세 가공을 이용하여 열용량을 저감하는 다이어프램(diaphragm) 구조로 하고 있지만, 기계적 강도의 확보 때문에, 필요한 응답성을 얻을 수 없어서, 엔진이나 그 운전 상태에 따라서는 검출 정밀도가 문제로 된다, 또한, 출력 신호는 발열 소자와 흡입 공기 온도의 온도차에 의존하기 때문에, 장치마다 정온도(fixed temperature) 제어 회로의 온도차 조정이 필요하게 된다. 또한, 정온도 검출 회로와 상하류의 온도 검출 소자의 온도차를 검출하는 온도차 검출 회로가 필요하게 되기 때문에 회로의 소형화가 곤란하다.
한편, 상기 열식 유량 검출 장치가 흡입 공기 온도와 발열 소자의 온도를 일정하게 제어하는데 대해 특개평 11-326003호 공보에 나타내는 열식 유량 검출 장치는 각각 발열 소자 및 온도 검출 소자로 이루어지는 2개의 물체로 구성되어 있고, 측정된 온도차가 제어 루프에 의해 제로의 값으로 유지되어 있고, 온도차는 제로이어야 한다는 상기 기준에 따르기 위한 물체에의 공급 전력에 의거한 신호를 유량 신호로서 이용하고 있다.
종래의 열식 유량 검출 장치에 관해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 8은 종래의 열식 유량 검출 장치의 구성을 도시한 도면이다. 또한 도 9는 종래의 열식 유량 검출 장치의 유량 검출 소자의 배치를 도시한 도면이다.
도 8에 있어서, 상류측 온도 검출 소자(R2), 하류측 온도 검출 소자(R3), 고정 저항(R5 및 R6)에 의해 브리지 회로가 구성되어 있고, 이 브리지 회로의 출력은 비교기에 입력된다. 해당 비교기의 출력은 스위칭 소자(Q1 및 Q2)를 통하여 발열 소자(R1 및 R4)에 접속되어 있다.
상류측 온도 검출 소자(R2), 하류측 온도 검출 소자(R3), 발열 소자(R1 및 R4)는 어느 것이나 저항이 온도에 의해 변화하는 예를 들면, 백금, 니켈 등 감온 저항체로 이루어지고, 도 9에 도시한 바와 같은 마이크로 브리지 구조로 이루어지는 2개의 물체(O1 및 O2)로 형성되어 있다.
도 8에 도시한 회로 구성에 있어서는 상류측 발열 소자(R1)와 하류측 발열 소자(R4)가 교대로 가열됨으로써, 상류측 온도 검출 소자(R2)와 하류측 온도 검출 소자(R3)는 거의 같은 온도가 되도록 밸런스 되어 있다. 예를 들면, 스위칭 소자(Q1)가 온 상태에 있어서는 상류측 발열 소자(R1)가 가열 상태로 되고, 하류측 발열 소자(R4)는 비가열 상태로 된다. 상류측 발열 소자(R1)의 가열에 의해 상류측 온도 검출 소자(R2)의 온도가 높아지면 고정 저항(R6)과 상류측 온도 검출 소자(R2)의 접속점에 있어서의 전압이 상승하고, 고정 저항(R5)과 하류측 온도 검출 소자(R3)의 접속점에 있어서의 전압보다도 높아지면 비교기의 출력은 반전하여, 스위칭 소자(Q2)가 ON 상태, 스위칭 소자(Q1)가 0FF 상태로 된다. 따라서 하류측 발열 소자(R4)가 가열되어 하류측 온도 검출 소자(R3)의 온도가 상승하고, 반대로 상류측 온도 검출 소자(R2)의 온도가 저하된다.
상술한 바와 같이 발열 소자(R1, R4)에 교대로 단속적으로 전력이 공급됨으로써 상류측 온도 검출 소자(R2)와 하류측 온도 검출 소자(R3)는 같은 온도가 되도록 밸런스 된다. 상류측 발열 소자(R1)의 구동 신호가 되는 스위칭 소자(Q1)의 게이트 신호의 듀티비는 유량이 제로인 때에 50%로 되고, 순방향의 유량이 클수록 듀티비는 증대하고, 역방향의 유량이 증대할 수록 듀티비는 감소하기 때문에, 듀티비를 모니터 함으로써 순방향과 역방향의 유량이 검출 가능하게 된다.
상술한 열식 유량 검출 장치는 종래의 온도차 검출 방식과 달리, 출력 신호가 발열 소자의 온도에 거의 의존하지 않고 유량만의 함수로 되기 때문에, 발열 소자의 온도 조정이 불필요하게 되는 메리트를 갖고 있다. 또한, 검출 회로에 있어서 피드백 제어된 발열 소자의 구동 신호를 유량 신호로 하고 있기 때문에, 온도차 검출 방식에 비하여 응답성이 빠른 특징을 갖고 있다. 그러나, 발열 소자를 단속 제어하는 스위칭 소자의 0N 저항이 온도 등으로 변동하면 출력도 변화한다. 또한, 스위칭에 기인한 노이즈가 유량 신호에 혼입되고, 특히 유량 감도가 낮은 때에는 SN비가 나빠지는 경우가 있다.
또한, 열식 유량 검출 장치의 출력이 펄스 신호이기 때문에 인터페이스 회로가 필요하게 되는 경우가 있다. 즉, 아날로그-디지털 변환기에 입력되는 경우는 펄스 신호를 아날로그 전압으로 변환하는 저역 통과 필터가 필요하게 되고, 리플이 작은 아날로그 전압을 얻으려고 하면 저역 통과 필터의 차단 주파수를 낮게 설정할 필요가 있고, 이로 인해 응답성이 늦어진다는 과제를 갖고 있다.
도 10에 도시한 다른 종래의 열식 유량 장치는 상술한 바와 같은 발열 소자를 단속 제어하는 방식과는 달리, 관로(pipe line)의 외주에 발열 소자(R7, R8)을 마련하여 (직선(linear)) 제어 장치에 있어서 각각의 발열 소자부의 온도차를 열전대로 검출하고, 열전대의 출력이 제로가 되도록 발열 소자(R7, R8)를 가열 제어한다. 상기 특개평 11-326003호 공보에 있어서 (직선) 제어 장치의 상세한 회로 구성의 기술은 없지만, 다른 같은 실시예로부터 고려하면 열전대의 전압을 변환하는 아날로그-디지털 변환기와 발열 소자(R7, R8)에 가열 전류를 공급하기 위한 디지털-아날로그 변환기, 및 신호 처리부로 구성된다. 도 10에 도시한 열식 유량 검출 장치는 도 8과는 달리 발열 소자를 연속적으로 제어하는 것도 가능하지만, 아날로그-디지털 변환기 및 디지털-아날로그 변환기, 신호 처리부가 필요하게 되기 때문에 회로 구성이 복잡하여 장치의 소형화가 곤란하게 된다.
또한, 도9에 도시한 바와 같은 온도 검출 소자와 발열 소자의 배열에서는 상류측의 발열 소자(R1)가 상류측 온도 검출 소자(R2)보다도 상류측에 위치하기 때문에, 상류측의 발열 소자(R1)의 열은 유체를 통하여 상류측 온도 검출 소자(R2)에 의해 받아들여져 유량 감도가 작아진다는 과제를 갖고 있다.
상술한 바와 같이 상하류에 위치하는 2개의 온도 검출 소자의 온도차를 제로가 되도록 제어하고, 그 때의 발열 소자에의 공급 전력 상당을 검출하는 종래의 유량 검출 장치에서는 발열 소자를 단속하는 스위칭 소자의 특성의 영향을 받거나, 아날로그-디지털 변환기 및 디지털-아날로그 변환기, 신호 처리부 등이 필요하게 되기 때문에 회로 구성이 복잡하게 되고 장치의 소형화가 곤란하다는 문제점이 있다.
또한, 2개의 물체에 형성된 온도 검출 소자 및 발열 소자의 배열이 순류 상류측으로부터 상류측 발열 소자 - 상류측 온도 검출 소자 - 하류측 온도 검출 소자 - 하류측 발열 소자의 배열이기 때문에, 상류측의 발열 소자의 열을 상류측 온도 검출 소자가 수열하여 유량 감도가 작아진다는 문제점이 있다.
또한, 종래 기술에서는 유체 온도가 변화한 때의 영향에 관해 고려되어 있지 않기 때문에, 자동차 엔진에의 흡입 공기와 같이 공기 온도가 크게 변화된 때는 상류측의 발열 소자에 있어서의 열전달율의 온도 의존성과 하류측의 발열 소자에 있어서의 열전달율의 온도 의존성의 차이에 기인한 유량 검출 오차가 생긴다는 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 종래보다도 대폭적으로 간소화 된 회로 구성에 의해 흐름 방향도 판별할 수 있고, SN비가 우수한 아날로그 전압의 유량 신호를 얻을 수 있는 열식 유량 검출 장치를 얻는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 열식 유량 검출 장치는 상류측으로부터 하류측으로 흐르는 유체의 온도를 검출하는 제1 및 제2의 온도 검출 소자, 및 제1 및 제2의 고정 저항으로 구성된 브리지 회로와, 상기 제1 및 제2의 온도 검출 소자의 온도차가 소정치가 되도록, 제1 및 제2의 발열 소자에 연속적으로 전력을 공급하는 온도차 제어 회로를 구비하고. 상기 온도차 제어 회로는 상기 브리지 회로에 접속된 차동 증폭기와, 제1의 정전압 전원과, 상기 제1의 정전압 전원보다 낮은 제2의 정전압 전원과, 상기 제1 및 제2의 발열 소자를 가지며, 상기 제1의 발열 소자는 상기 차동 증폭기의 출력측과 상기 제2의 정전압 전원 사이에 접속되고, 상기 제2의 발열 소자는 상기 차동 증폭기의 출력측과 상기 제1의 정전압 전원 사이에 접속되어 있다.
본 발명에 관한 열식 유량 검출 장치는 상기 온도차 제어 회로가, 상기 제1 또는 제2의 발열 소자에 직렬로 접속된 제3의 고정 저항을 또한 구비한다.
본 발명에 관한 열식 유량 검출 장치는 상기 브리지 회로가, 상기 제1 또는 제2의 온도 검출 소자에 병렬 또는 직렬로 접속된 제 4의 고정 저항을 또한 구비한다.
본 발명에 관한 열식 유량 검출 장치는 상기 제1의 온도 검출 소자가 상기 제2의 온도 검출 소자보다도 상류측에 위치하고, 상기 제1의 발열 소자가 상기 제2코 발열 소자보다도 상류측에 위치하고, 상기 제1의 온도 검출 소자가 상기 제1의 발열 소자보다도 상류측에 위치하고 있다.
제1의 실시예
본 발명의 제1의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치에 관해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치 구성을 도시한 도면이다. 또한 각 도면중, 동일 부호는 동일 또는 상응하는 부분을 나타낸다.
도 1에 있어서, 1은 상류측 온도 검출 소자, 2는 하류측 온도 검출 소자, 3은 상류측 발열 소자, 4는 하류측 발열 소자, 5는 고정 저항, 6은 고정 저항, 10은 차동 증폭기, 11은 고정 저항, 12는 컨덴서, 13은 고정 저항, 14는 제2의 정전압 전원, 15는 출력 단자, 16은 제1의 정전압 전원이다.
상류측 온도 검출 소자(1)와 하류측 온도 검출 소자(2), 고정 저항(5, 6) 및 정전압 전원(Vdd)으로 브리지 회로를 구성하고, 그 브리지 회로의 출력측은 차동 증폭기(10)의 입력측에 접속된다.
차동 증폭기(10)의 반전 입력 단자와 브리지 회로 사이에 접속된 고정 저항(13), 차동 증폭기(10)의 반전 입력 단자와 출력 단자(15) 사이에 접속된 고정 저항(11) 및 컨덴서(12)는 2차 지연계의 위상 보상의 역할을 하는 위상 보상 회로를 구성하고 있다.
차동 증폭기(10)의 출력측과 제1의 정전압 전원(16) 사이에 하류측 발열 소자(4)가, 또한 차동 증폭기(10)의 출력측과 제2의 정전압 전원(14) 사이에 상류측 발열 소자(3)가 직렬로 접속되어 있다.
제2의 정전압 전원(14)은 제1의 정전압 전원(16)보다도 전압이 낮은 전위로, 본 실시예에서는 GND에 접속되어 있다. 차동 증폭기(10)는 출력측으로부터 상류측 발열 소자(3)에 전류를 공급하고, 제1의 정전압 전원(16)으로부터 하류측 발열 소자(4)를 통하여 출력측으로 전류를 흡입하는 능력을 갖고 있다.
또한, 차동 증폭기(10), 위상 보상 회로, 상류측 발열 소자(3), 하류측 발열 소자(4), 제2의 정전압 전원(14) 및 제1의 정전압 전원(16)으로 온도차 제어 회로가 구성되어 있다.
도 2는 본 제1의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 유량 검출 소자의 배치를 도시한 평면도와 단면도이다.
도 2에 있어서, 21은 전극, 22는 다이어프램, 23은 실리콘 기판, 24는 절연막이다.
도 2의 상단의 평면도에 있어서, 전극(21)은 온도 검출 소자(1, 2) 및 발열 소자(3, 4)와 외부 회로를 전기적으로 접속한다. 흐름 방향에 대해 수직으로 상류측으로부터 상류측 온도 검당 소자(1), 상류측 발열 소자(3), 하류측 발열 소자(4), 하류측 온도 검출 소자(2)가 차례로 형성되어 있고, 어느것이나 예를 들면 백금이나 니켈과 같이 저항치가 온도에 의해 변화하는 감온 저항체로 구성되어 있다. 종래는 도 9에 도시한 바와같이 발열 소자(R1, R4)가 온도 검출 소자(R2, R3)보다도 상류측 또는 하류측에 위치하고 있음에 대해, 본 실시예에서는 발열 소자(3, 4)와 온도 검출 소자(1, 2)의 위치 관계가 역전하고 있는 것이 특징이다.
도 2의 하단의 평면도에 있어서의 A-A'선의 단면도에 있어서, 유량 검출 소자 형성부는 열용량을 내리기 위해 에칭에 의해 실리콘 기판(23)의 이면측 일부를 제거하고, 박막 다이어프램(22)를 형성하고 있다. 또한, 절연막(24)은 두께 수㎛으로 이루어지는 질화규소 또는 산화규소로 이루어지고, 감온 저항막(유량 검출 소자)을 상하로부터 보호하고 있다.
다음에, 본 제1의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 동작에 관해 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에 도시한 열식 유량 검출 장치는 정상시, 차동 증폭기(10)의 반전 입력 단자와 비반전 입력 단자가, 거의 동일 전압이 되도록 발열 소자(3, 4)에 가열 전류가 공급된다. 즉, 온도차 제어 회로는 2개의 온도 검출 소자(1, 2)의 저항 온도 특성이 같고, 또한 고정 저항(5, 6)이 같은 경우에는 상류측 온도 검출 소자(1)와 하류측 온도 검출 소자(2)의 온도가 같게 되도록, 발열 소자(3, 4)에 제1의 정전압 전원(16) 및 차동 증폭기(10)로부터 가열 전류를 공급하고, 그 결과, 온도 검출 소자(1, 2)의 온도는 동일 온도로 유지된다.
도 2에 도시한 바와 같이 유량 검출 소자인 온도 검출 소자(1, 2)와 발열 소자(3, 4)의 열적 특성이 상류측과 하류측에서 동등하며 또한 발열 소자(3과 4)의 저항 온도 특성도 동일하면 유량 제로인 때, 차동 증폭기(10)의 출력은 제1의 정전압 전원(16)과 제2의 정전압 전원(14)의 중간의 전위로 된다. 이 상태로부터 순방향의 유량이 늘어나면 상류측 발열 소자(3) 및 상류측 온도 검출 소자(1)가 하류측 발열 소자(4) 및 하류측 온도 검출 소자(2)보다도 열전달율이 커지기 때문에 상류측 발열 저항은 하류측 발숙 저항보다도 보다 많은 발열량이 필요하게 된다. 따라서 상류측 온도 검출 소자(1)와 하류측 온도 검출 소자(2)의 온도차를 제로로 유지하기 위해, 하류측 발열 소자(4)보다도 보다 많은 가열 전류가 차동 증폭기(10)로부터 상류측 발열 소자(3)에 공급된다.
도 3은 순방향을 플러스, 역방향을 마이너스라고 정의한 유량과 유량 신호(Ih/IO, Vm/Vcc)의 관계를 도시한 도면이다.
도 3에 있어서, 횡축은 유량(Qm), 종축의 좌측은 전류비(Ih/IO), 종축의 우측은 전압비(Vm/Vcc)를 각각 나타낸다. 또한, Ihu는 상류측 발열 소자(3)에 있어서의 전류, Ihd는 하류측 발열 소자(4)에 있어서의 전류, IO는 유량 제로 때의 전류를 나타낸다. 또한, Vm은 출력 단자(15)에 있어서의 전압을 나타내고, Vcc는 제1의 정전압 전원(16)의 전압을 나타낸다.
유량(Qm)이 제로(0)인 때에, Ihu = Ihd = IO, Rhu(상류측 발열 소자(3)의 저항치) = Rhd(하류측 발열 소자(4)의 저항치)가 성립하기 때문에, Ihu/IO = Ihd/IO = 1.0, Vm/Vcc = 0.5가 성립한다. 순방향의 유량이 증대하면, Ihu/IO 및 Vm/Vcc는 증대하고, 반대로 Ihd/IO, (Vcc - Vm)/Vcc는 감소한다. 또한, 상류측 온도 검출 소자(1) 및 상류측 발열 소자(3)는 역류시에는 하류측 온도 검출 소자(2) 및 하류측 발열 소자(4)보다도 하류측에 위치하기 때문에, 상술한 가열 전류의 유량 의존성은 역전한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 차동 증폭기(10)의 출력 단자(15)의 전압(Vm)은 역류 영역으로부터 순방향 영역에 걸처서 유량에 대해 단조 증가하는 특성을 나타낸다. 따라서 도 1에 도시한 비교적 간단한 아날로그 회로를 구성하고, 전압(Vm) 또는 제1의 정전압 전원(16)과 출력 단자(15) 사이의 전압을 측정함으로써, 순류, 역류 영역을 포함한 유량이 검출 가능하게 된다.
도 4는 본 실시예의 유량 검출 소자(온도 검출 소자와 발열 소자)와, 도 9에 도시한 종래예의 유량 검출 소자(온도 검출 소자와 발열 소자)를 사용한 때의 유량 특성을 비교하여 도시한 도면이다.
도 4에 있어서, 횡축은 유량(Qm), 종축은 전압비(Vm /Vcc)를 각각 나타낸다.
또한, 어느것이나 도 1의 회로를 이용하고 있다. 종래예는 발열 소자(R1, R4)가 온도 검출 소자(R2, R3)보다 더 상류측 또는 하류측에 위치하고 있기 때문에 상류측의 온도 검출 소자(R2)가 상류측의 발열 소자(R1)의 열을 수열하여, 상류측과 하류측의 발열 소자 및 온도 검출 소자의 열전달율의 차가 작아진다. 한편, 본 실시예에 있어서의 유량 검출 소자의 경우, 상류측 온도 검출 소자(1)가 상류측 발열 소자(3)보다도 상류측에 위치하고 있어기 때문에 종래예에 보여지는 바와 같은 수열의 영향이 없고, 결과로서 상류측과 하류측의 발열 소자 및 온도 검출 소자의 열전달율의 차가 커진다. 따라서 상류측 발열 소자(3)와 하류측 발열 소자(4)의 가열 전류의 차이가 크게 되어, 도 4에 도시한 바와 같이 본 실시예의 쪽이 종래예에 비하여 유량 감도가 증대하고, 검출 정밀도에 우수한 특성이 얻어진다.
또한, 상술한 실시예에 있어서는 도 1에 있어서 고정 저항(5, 6)을 같은 저항치로 설정하고, 2개의 온도 검출 소자(1, 2)의 온도를 같아지도록 구성하였지만, 예를 들면 고정 저항(6)의 저항치를 고정 저항(5)보다 크게 설정함으로써, 상류측 온도 검출 소자(1)는 하류측 온도 검출 소자(2)보다도 일정 온도 높아지도록 발열 소자(3, 4)에 전류가 공급된다.
또한, 역으로 고정 저항(5)의 저항치를 고정 저항(6)보다 크게 설정함으로써, 하류측 온도 검출 소자(2)는 상류측 온도 검출 소자(1)보다도 일정 온도 높아지도록 발열 소자(3, 4)에 전류가 공급된다. 상술한 어느 예에 있어서도, 도 1의 회로와 같은 동작을 나타내고, 전압(Vm) 또는 제1의 정전압 전원(16)과 출력 단자(15) 사이의 전압을 측정함으로써 순류, 역류 영역을 포함한 유량이 검출 가능하게 된다.
본 제1의 실시예에 의하면, 온도차 제어 회로는 아날로그-디지털 변환기나 디지털-아날로그 변환기 등을 사용하지 않고 간단한 아날로그 회로만으로 구성할 수 있다.
또한 상류측 온도 검출 소자(1)가 상류측 발열 소자(3)보다도 상류측에 위치하도록에 배열함으로써, 상류측 온도 검출 소자(1)가 상류측 발열 소자(3)로부터 유체를 통하여 수열하지 않기 때문에 유체에 의한 냉각 효과가 높아지고 유량 감도가 향상한다.
제2의 실시예
본 발명의 제2의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치에 관해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 5는 본 발명의 제2의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 5에 있어서, 고정 저항(7)을 제외하고, 회로 및 유량 검출 소자 모두 도 1에 도시한 상기 제1의 실시예과 같다. 이 고정 저항(7)은 하류측 발열 소자(4)에 직렬로 또한 하류측 발열 소자(4)와 제1의 정전압 전원(16) 또는 출력 단자(15) 사이에 접속되어 있다.
다음에, 본 제2의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 동작에 관해 도면을 참조하면서 설명한다.
유체 온도의 변화에 대해 온도 드리프트가 문제가 되지 않는 경우는 도 1에 도시한 회로 구성으로도 좋지만, 특히 자동차와 같이 유체 온도가 -30℃로부터 +100℃ 부근까지 변동하는 경우, 온도 드리프트가 문제로 되는 일이 있다. 발열 소자에 있어서의 발열량과 방열량의 관계식은 아래와 같은 식(1)로 표시된다.
RhIh2 = (a + bQm0.5)(Th - Ta) 식(1)
여기서, Rh은 발열 소자의 저항, Ih는 발열 소자에 있어서의 전류, Qm은 유량, Th는 발열 소자의 온도, Ta는 유체 온도, a 및 b는 유량에 의존하지 않는 정수를 나타낸다. 또한, 출력 단자(15)의 전압(Vm)은 아래와 같은 식(2)로 표시된다.
Vm = {(a + bQm0.5)(Thu - Ta)Rhu}1/2 식(2)
여기서, 첨자 u는 상류측의 발열 소자(3)을 나타낸다.
도 1 및 도 5에 있어서 유량(Qm)이 일정하고 유체 온도가 상승한 경우, 저항치가 정의 온도 계수를 갖고 일정 전압이 인가된 발열 소자의 저항(Rh)은 상승하고, 온도차(Thu - Ta)는 감소한다. 도 1의 회로 구성에 있어서는 상류측 발열 소자(3)와 하류측 발열 소자(4)의 저항치나 발열 온도가 마찬가지로 온도에 의해 변화하기 때문에, 정수(a, b)가 상류측과 하류측에서 동일한 온도 의존성이라면, 전압(Vm)은 변화하지 않고 온도 드리프트는 발생하지 않는다. 그러나, 일반적으로 식(2)로 나타내는 상류측의 정수(a, b)의 온도 계수가, 하류측(식은 생략)보다도 작아진다. 따라서, 도 1의 회로 구성에서는 고온시에 출력이 저하되어, 마이너스의 온도 드리프트가 발생한다.
도 5에 있어서 고정 저항(7)을 접속함으로써, 출력 단자(15)와 제1의 정전압 전원(16) 사이의 전압의 유체 온도 의존성이 작아지고, 예를 들면 유체 온도가 상승한 경우, 출력 단자(15)와 제2의 정전압 전원(14) 사이의 전압은 상승하고, 출력 단자(15)와 제1의 정전압 전원(16) 사이의 전압은 저하된다. 따라서, 고정 저항(7)을 적당하게 조정함으로써 온도 드리프트를 저감하는 것이 가능하게 된다.
도 6은 보상 없음(도 1의 회로 구성)과 보상 있음(도 5의 회로 구성)의 경우의 온도 드리프트 특성을 도시한 도면이다.
도 6에 있어서, 횡축은 유량(Qm), 종축은 유체 온도 23℃인 때의 유량 특성을 기준으로 한 때의 유체 온도가 고온(+80℃)과 저온(-30℃)인 때의 유량 특성의 변화율(온도 드리프트)을 나타내고 있다. 온도 보상 없음에 비하여 온도 보상을 시행한 회로 구성에서는 고온, 저온 함께 온도 드리프트가 작게 되어 있음을 알 수 있다.
또한, 도 5에서는 하류측 발열 소자(4)에 직렬로 고정 저항(7)을 접속하고, 출력 단자(15)와 제2의 정전압 전원(14) 사이의 전압을 유량 신호로 하였지만, 상류측 발열 소자(3)에 직렬로 고정 저항을 접속하고, 출력 단자(15)와 제1의 정전압 전원(16) 사이의 전압을 유량 신호로 하여도 같은 온도 보상을 실현할 수 있다.
본 제2의 실시예에 의하면, 발열 소자(3, 4)와 직렬로 고정 저항(7)을 접속함으로써, 제1의 정전압 전원(16)과 차동 증폭기(10)의 출력측의 사이, 또는 제2의 정전압 전원(14)와 차동 증폭기(10)의 출력측의 사이의 전압의 온도 의존성을 변화시키는 것이 가능하게 된다. 따라서 유체 온도 변화에 의해 생기는 유량 검출 오차를 보상할 수가 있다.
제3의 실시예
본 발명의 제3의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치에 관해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 7은 본 발명의 제3의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 7에 있어서, 고정 저항(8)을 제외하고, 상기 제1의 실시예의 도 1의 회로 구성과 같으며, 상기 제2의 실시예와는 다른 온도 보상 방법을 시행하고 있다.
본 실시예에서는 고정 저항(8)을 온도 검출 소자(1)에 병렬로 접속함으로써 외관상, 상류측 온도 검출 소자(1)의 온도 계수가 저하하는 것을 보충하기 때문에, 상류측 온도 검출 소자(1)가 하류측 온도 검출 소자(2)보다도 유체 온도에 대해 크게 변화하도록 동작한다.
예를 들면, 유체가 고온시에는 하류측 온도 검출 소자(2)보다도 상류측 온도 검출 소자(1)의 온도가 높아지고, 그에 수반하여 하류측 발열 소자(4)보다도 상류측 발열 소자(3)의 온도가 높게 된다. 따라서 상류측 발열 소자(3)의 쪽이 하류측 발열 소자(4)보다도 보다 큰 발열량이 필요하게 되고, 출력 단자(15)의 전압은 증대한다.
유체가 저온시에는 상술한 동작과 반대로, 출력 단자(15)의 전압은 저하된다. 따라서 고정 저항(8)의 값을 최적 조정함에 의해, 상기 제2의 실시예와 마찬가지로 온도 드리프트를 저감할 수 있다. 온도 특성은 도 6의 보상 있음과 동등한 특성을 나타낸다.
또한 도 7에서는 상류측 온도 검출 소자(1)와 병렬로 고정 저항(8)을 접속하였지만, 상류측 온도 검출 소자(1)와 직렬로 접속하여도 유체 온도의 변화에 대해 상기한 바와 같은 동작을 나타내고, 같은 효과를 이룰 수 있다. 또한, 하류측 온도 검출 소자(2)와 병렬 또는 직렬로 고정 저항을 접속하여도, 같은 효과를 이룰 수 있다.
본 제3의 실시예에 의하면, 온도 검출 소자(1, 2)에 병렬 또는 직렬로 고정 저항(8)을 접속함으로써 상류측 발열 소자(3)와 하류측 발열 소자(4)의 발열 온도의 유체 온도 의존성을 바꾸는 것이 가능하게 되고, 유체 온도 변화에 의해 생기는 유량 검출 오차를 보상할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 상기 각 실시예에 의하면, 종래보다도 대폭적으로 간소화 된 회로 구성에 의해 흐름 방향도 판별 가능하고, SN비에 우수한 아날로그 전압의 유량 신호를 얻을 수 있다.
또한, 상기 각 실시예에 의하면, 유량 검출 소자인 온도 검출 소자와 발열 소자의 배치를 궁리함에 의해, 유량 감도가 개선되고, 넓은 유량 범위에 걸친 고정밀도의 유량 검출이 가능하게 된다.
또한, 상기 제2의 실시예 및 3에 의하면, 유체 온도가 변화하여도 온도 드리프트가 작은 고정밀한 유량 검출이 가능하게 된다.
본 발명에 관한 열식 유량 검출 장치는 이상 설명한 바와 같이, 상류측으로부터 하류측으로 흐르는 유체의 온도를 검출하는 제1 및 제2의 온도 검출 소자, 및 제1 및 제2의 고정 저항으로 구성된 브리지 회로와, 상기 제1 및 제2의 온도 검출 소자의 온도차가 소정치가 되도록, 제1 및 제2의 발열 소자에 연속적으로 전력을 공급하는 온도차 제어 회로를 구비하고, 상기 온도차 제어 회로는 상기 브리지 회로에 접속된 차동 증폭기와, 제1의 정전압 전원과, 상기 제1의 정전압 전원보다 낮은 제2의 정전압 전원과, 상기 제1 및 제2의 발열 소자를 가지며, 상기 제1의 발열 소자는 상기 차동 증폭기의 출력측과 상기 제2의 정전압 전원 사이에 접속되고, 상기 제2의 발열 소자는 상기 차동 증폭기의 출력측과 상기 제1의 정전압 전원 사이에 접속되어 있기 때문에, 흐르는 방향도 판별할 수 있고, SN비에 우수한 아날로그 전압의 유량 신호를 얻을 수 있다는 효과를 이룬다.
본 발명에 관한 열식 유량 검출 장치는 이상 설명한 바와 같이, 상기 온도차 제어 회로가, 상기 제1 또는 제2의 발열 소자에 직렬로 접속된 제3의 고정 저항을 또한 갖기 때문에, 유체 온도가 변화하여도 온도 드리프트가 작은 고정밀한 유량 검출이 가능하게 된다는 효과를 이룬다.
본 발명에 관한 열식 유량 검출 장치는 이상 설명한 바와 같이, 상기 브리지 회로가, 상기 제1 또는 제2의 온도 검출 소자에 병렬 또는 직렬로 접속된 제 4의 고정 저항을 갖기 때문에, 유체 온도가 변화하여도 온도 드리프트가 작은 고정밀한 유량 검출이 가능하게 된다는 효과를 이룬다.
본 발명에 관한 열식 유량 검출 장치는 이상 설명한 바와 같이, 상기 제1의 온도 검출 소자가 상기 제2의 온도 검출 소자보다도 상류측에 위치하고, 상기 제1의 발열 소자가 상기 제2의 발열 소자보다도 상류측에 위치하고, 상기 제1의 온도 검출 소자가 상기 제1의 발열 소자보다도 상류측에 위치하기 때문에, 유량 감도를 개선할 수 있고, 넓은 유량 범위에 걸처서 고정밀한 유량 검출이 가능하게 된다는 효과를 얻는다.
도 1은 본 발명의 제1의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 구성을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 제1의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 유량 검출 소자의 배치를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 제1의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 유량 특성을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 제1의 실시예과 종래예의 열식 유량 검출 장치의 유량 특성을 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 제2의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 구성을 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 제2의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 온도 특성을 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 제3의 실시예에 관한 열식 유량 검출 장치의 구성을 도시한 도면.
도 8은 종래의 열식 유량 검출 장치의 구성을 도시한 도면.
도 9는 종래의 열식 유량 검출 장치의 유량 검출 소자의 배치를 도시한 도면.
도 10은 다른 종래의 열식 유량 검출 장치의 구성을 도시한 도면.
<도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명>
1 : 상류측 온도 검출 소자 2 : 하류측 온도 검출 소자
3 : 상류측 발열 소자 4 : 하류측 발열 소자
5 : 고정 저항 6 : 고정 저항
7 : 고정 저항 8 : 고정 저항
10 : 차동 증폭기 11 : 고정 저항
12 : 컨덴서 13 : 고정 저항
14 : 제2의 정전압 전원 15 : 출력 단자
16 : 제1의 정전압 전원

Claims (3)

  1. 상류측으로부터 하류측으로 흐르는 유체의 온도를 검출하는 제1 및 제2의 온도 검출 소자, 및 제1 및 제2의 고정 저항으로 구성된 브리지 회로와,
    상기 제1 및 제2의 온도 검출 소자의 온도차가 소정치가 되도록, 제1 및 제2의 발열 소자에 연속적으로 전력을 공급하는 온도차 제어 회로를 구비하고,
    상기 온도차 제어 회로는,
    상기 브리지 회로에 접속된 차동 증폭기와,
    제1의 정전압 전원과,
    상기 제1의 정전압 전원보다 낮은 제2의 정전압 전원과,
    상기 제1 및 제2의 발열 소자를 가지며,
    상기 제1의 발열 소자는 상기 차동 증폭기의 출력측과 상기 제2의 정전압 전원 사이에 접속되고, 상기 제2의 발열 소자는 상기 차동 증폭기의 출력측과 상기 제1의 정전압 전원 사이에 접속되는 것을 특징으로 하는 열식 유량 검출 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 온도차 제어 회로는 상기 제1 또는 제2의 발열 소자에 직렬로 접속된 제3의 고정 저항을 또한 갖는 것을 특징으로 하는 열식 유량 검출 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 브리지 회로는 상기 제1 또는 제2의 온도 검출 소자에 병렬 또는 직렬로 접속된 제 4의 고정 저항을 또한 갖는 것을 특징으로 하는 열식 유량 검출 장치.
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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3817497B2 (ja) * 2002-06-10 2006-09-06 株式会社日立製作所 熱式流量計測装置
JP2005140689A (ja) * 2003-11-07 2005-06-02 Mitsubishi Electric Corp 感熱式流量計および燃料制御装置
DE102004033049B4 (de) * 2004-07-08 2016-05-04 Robert Bosch Gmbh Messeinrichtung für einen Durchflusssensor, insbesondere einen Luftmassensensor für Brennkraftmaschinen und Verfahren zum Messen von Luftströmen
US7333899B2 (en) * 2004-10-13 2008-02-19 Therm-O-Disc, Incorporated Fluid flow rate sensor and method of operation
US7205781B2 (en) * 2005-01-12 2007-04-17 Visteon Global Technologies, Inc. Mass air flow circuit having pulse width modulation feedback control
JP2006258676A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Hitachi Ltd 熱式流量計
JP4732046B2 (ja) * 2005-07-20 2011-07-27 東京応化工業株式会社 レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
JP4161078B2 (ja) 2005-11-22 2008-10-08 三菱電機株式会社 熱式流量センサ
JP2007154841A (ja) * 2005-12-08 2007-06-21 Toyota Motor Corp 内燃機関の吸入空気量検出装置
US7653503B2 (en) * 2006-04-20 2010-01-26 Tao Of Systems Integration, Inc. Temperature-compensating sensor system
US7874208B2 (en) * 2007-10-10 2011-01-25 Brooks Instrument, Llc System for and method of providing a wide-range flow controller
KR200453489Y1 (ko) * 2008-09-29 2011-05-06 안중경 입체간판
KR101031916B1 (ko) * 2009-01-09 2011-05-02 이송근 조립식 채널간판
CN201440221U (zh) * 2009-05-21 2010-04-21 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 双路温控电路
JP2012078228A (ja) * 2010-10-01 2012-04-19 Denso Corp 空気流量測定装置
US20140130591A1 (en) 2011-06-13 2014-05-15 Schlumberger Technology Corporation Methods and Apparatus for Determining Downhole Parameters
DE102011052305A1 (de) * 2011-07-29 2013-01-31 Pierburg Gmbh Verbrennungsmotorabgas-Massenstromsensor mit einem Heißfilm-Anemometer
JP5523528B2 (ja) * 2012-09-20 2014-06-18 三菱電機株式会社 熱式流量センサおよび熱式流量センサによる流量検出信号生成方法
US9612146B2 (en) 2014-02-07 2017-04-04 Honeywell International, Inc. Airflow sensor with dust reduction
JP6532810B2 (ja) * 2015-11-18 2019-06-19 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量センサ
US10620022B2 (en) 2018-03-09 2020-04-14 Baker Hughes, A Ge Company, Llc Flow meter and method for measuring fluid flow
CN111323090B (zh) * 2020-03-02 2021-12-14 深圳大学 基于热反馈的微型流量传感器、气流测量***及测量方法
CN115406492B (zh) * 2022-09-30 2024-06-11 重庆川仪自动化股份有限公司 一种带有保护电路的热扩散式开关

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5750893A (en) * 1994-06-21 1998-05-12 Ricoh Co., Ltd. Thermally sensing type flowing velocity measuring apparatus
DE19509555B4 (de) 1995-03-16 2006-01-19 Robert Bosch Gmbh Durchflußsensor
NL1008665C1 (nl) * 1998-03-20 1999-09-21 Berkin Bv Mediumstroommeter.
US5965813A (en) * 1998-07-23 1999-10-12 Industry Technology Research Institute Integrated flow sensor
JP3433124B2 (ja) * 1998-12-15 2003-08-04 株式会社日立製作所 熱式空気流量センサ
NL1014797C2 (nl) * 2000-03-30 2001-10-02 Berkin Bv Massadebietmeter.
US6470741B1 (en) * 2000-06-23 2002-10-29 Instrumentarium, Inc. Hot wire anemometer gas flow sensor having improved operation and compensation

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