KR100515955B1 - Processing chamber of FPD manufacturing machine having a device for opening the cover - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상부 커버를 개폐할 수 있는 상부커버개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 관한 것이다. The present invention relates to a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly to a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus having a top cover opening and closing device that can open and close the top cover.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는, 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 상기 공정 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며, 상기 공정 챔버 외부에는 상기 상부 커버를 상하로 승강할 수 있는 승강기구와 상기 승강기구에 의하여 상승된 상부 커버를 회전시킬 수 있는 회전기구를 포함하는 제1 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 한다. The process chamber of the apparatus for manufacturing a flat panel display device according to the present invention includes a chamber main body and an upper cover which can be opened and closed above the chamber main body to block the inside of the chamber and form a process chamber capable of forming a vacuum. A substrate support for supporting a substrate to be processed, a processing gas supply system for supplying a processing gas, and an exhaust system for exhausting the chamber; Is provided, the outside of the process chamber is provided with a first upper cover opening and closing device including a lifting mechanism for lifting the upper cover up and down and a rotating mechanism for rotating the upper cover raised by the lifting mechanism It features.
Description
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상부 커버를 개폐할 수 있는 상부커버개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 관한 것이다. The present invention relates to a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly to a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus having a top cover opening and closing device that can open and close the top cover.
평판표시소자를 제조하기 위한 장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다. 이때, 상기 로드락 챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상기 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상기 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다. 따라서 이 공정챔버 내부에는 성막이나 에칭 공정 등을 수행하기 위하여 각종 장치가 구비된다. 일반적으로 이 공정 챔버는 상하로 분리가능하게 형성되며, 하부를 챔버 본체(100)라 하고, 상부를 상부 커버(200)라 한다. 챔버 본체(100)와 상부 커버(200) 사이에는 오링 등의 밀봉부재가 개재되어 챔버 내부의 기밀을 유지한다. 챔버 본체(100)에는 기판이 놓여지는 하부 전극 등이 배치되고, 상부 커버에는 챔버 내부로 공정가스를 공급하는 샤워헤드, 상부 전극 등이 배치된다. Among apparatuses for manufacturing a flat panel display device, a vacuum processing apparatus generally includes three vacuum chambers, a loadlock chamber, a transfer chamber, and a process chamber. At this time, the load lock chamber serves to accept an unprocessed substrate from the outside or to take out the processed substrate to the outside, and the transfer chamber is provided with a robot for transferring the substrate between the chambers. It transfers the predetermined substrate from the load lock chamber to the process chamber, or transfers the processed substrate from the process chamber to the load lock chamber, and the process chamber uses a plasma in vacuum or thermal energy to deposit a film on the substrate. It forms a film or performs etching. Therefore, various apparatuses are provided in this process chamber for performing a film-forming, an etching process, etc. In general, the process chamber is formed to be separated up and down, the lower part is referred to as the chamber body 100, the upper part is called the upper cover 200. A sealing member such as an O-ring is interposed between the chamber body 100 and the upper cover 200 to maintain airtightness inside the chamber. A lower electrode on which the substrate is placed is disposed in the chamber body 100, and a shower head, an upper electrode, and the like, which supply a process gas into the chamber are disposed in the upper cover.
이때, 상기 공정 챔버내에서는 여러가지 가스나 플라즈마를 이용하므로 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 상기 공정 챔버내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 공정 챔버의 유지 보수 작업시 챔버 내부로 작업자가 진입하여 작업할 수 없으므로, 챔버를 개방한 후에 유지 보수 작업을 진행한다. 즉 상부 커버를 개방하여 챔버 내부가 노출된 상태에서 유지 보수 작업을 진행하는 것이다. In this case, since various gases or plasmas are used in the process chamber, when a large number of processes are repeated, equipment in the process chamber may be damaged or contaminated, and replacement or repair thereof is necessary periodically. During maintenance work of the process chamber, the worker cannot enter and work inside the chamber, so the maintenance work is performed after opening the chamber. In other words, the maintenance work is performed while the upper cover is opened and the inside of the chamber is exposed.
종래에 상기 상부 커버를 개폐하기 위해서는 도 1a에 도시된 바와 같이, 상기 공정 챔버의 외부에 상기 상부커버(200)를 개폐할 수 있는 개폐수단(10)을 구비하고, 상기 개폐수단(10)에 의하여 상기 상부커버(200)를 개폐한다. Conventionally, in order to open and close the upper cover, as shown in FIG. 1A, an opening and closing means 10 capable of opening and closing the upper cover 200 is provided on the outside of the process chamber, and in the opening and closing means 10. By opening and closing the upper cover 200.
상기 상부커버(200)의 개폐 과정을 살펴보면, 먼저 상기 개폐수단(10)에 구비되어 있는 수직 방향 구동기구(도면에 미도시)에 의하여 상기 상부커버(200)를 소정 간격 만큼 수직 방향으로 들어 올린 후(도 1b 참조), 상기 상부커버(200)가 들어 올려진 상태에서 수평 이동 가이드(20)를 이용하여 수평방향으로 이동한다(도 1c 참조). 그리고 상기 상부커버(200)가 완전히 수평방향으로 이동한 후 상기 상부커버(200)를 회전 기구(도면에 미도시)에 의하여 180°회전시킨다(도 1d, 도 1e). 이렇게 하여 상기 공정 챔버의 하부와 상부를 모두 개방시켜 상기 공정 챔버 내부의 각 장비를 교환하거나 보수하는 작업을 한다. Looking at the opening and closing process of the upper cover 200, first by lifting the upper cover 200 in the vertical direction by a predetermined interval by a vertical drive mechanism (not shown in the figure) provided in the opening and closing means (10) After (see FIG. 1b), the horizontal cover is moved in the horizontal direction by using the horizontal movement guide 20 in the upper cover 200 is lifted (see FIG. 1c). After the upper cover 200 is completely moved in the horizontal direction, the upper cover 200 is rotated by 180 ° by a rotating mechanism (not shown) (FIGS. 1D and 1E). In this way, the lower and upper portions of the process chamber are opened to replace or repair the respective equipment inside the process chamber.
그러나, 상술한 상부커버 개폐장치(10)는 그 구성이 복잡하며, 상기 상부커버(200)의 개폐에 매우 오랜 시간이 필요한 문제점이 있다. However, the above-described upper cover opening and closing device 10 is complicated in configuration, and there is a problem that a very long time is required for opening and closing the upper cover 200.
특히, 상기 상부커버(200)를 상기 챔버 본체(100)에서 개방시키는 데에 매우 넓은 공간이 필요하여 평판표시소자 제조장치가 설치되는 클린 룸의 공간을 너무 많이 차지하는 문제점이 있다. In particular, a very large space is required to open the upper cover 200 from the chamber main body 100, thus taking up too much space in a clean room where the flat panel display device manufacturing apparatus is installed.
본 발명의 목적은 구성이 간단하면서도 짧은 시간에 상부커버를 개폐할 수 있는 상부커버 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 제공함에 있다. An object of the present invention is to provide a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus having a top cover opening and closing device that can open and close the top cover in a short time with a simple configuration.
본 발명의 다른 목적은 클린 룸 내의 공간을 많이 차지하지 않으면서도 상부 커버를 개폐할 수 있는 상부커버 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 제공함에 있다. Another object of the present invention is to provide a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus having a top cover opening and closing device that can open and close the top cover without taking up much space in the clean room.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는, 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 상기 공정 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며, 상기 공정 챔버 외부에는 상기 상부 커버를 상하로 승강할 수 있는 승강기구와 상기 승강기구에 의하여 상승된 상부 커버를 회전시킬 수 있는 회전기구를 포함하는 제1 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 한다. The process chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to an aspect of the present invention for achieving the above object is provided with a chamber body and an upper cover that can be opened and closed above the chamber body is blocked inside the chamber to form a vacuum A process chamber is formed, the process chamber having a substrate support for supporting a substrate to be processed, a process gas supply system for supplying a process gas, and an exhaust system for exhausting the chamber; Is provided, the outside of the process chamber is provided with a first upper cover opening and closing device including a lifting mechanism for lifting the upper cover up and down and a rotating mechanism for rotating the upper cover raised by the lifting mechanism It features.
본 발명의 다른 관점에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는, 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 상기 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며, 상기 챔버 외부의 일 모서리에 상기 상부 커버를 상하로 승강시키고, 회전시킬 수 있는 제2 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 한다. The process chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to another aspect of the present invention, the chamber body and the upper cover which is open and close the upper side of the chamber body is provided, the interior of the chamber is cut off from the outside to form a process chamber capable of forming a vacuum, A substrate support for supporting a substrate to be processed, a processing gas supply system for supplying a processing gas, and an exhaust system for exhausting the chamber; It is provided, and the second upper cover opening and closing device capable of lifting and rotating the upper cover up and down at one corner outside the chamber is characterized in that it is provided.
본 발명의 또 다른 관점에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는, 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 상기 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며, 상기 챔버 외부의 마주보는 양면의 중앙에 각각 상기 상부 커버를 상하로 승강시키고, 회전시킬 수 있는 제3 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus includes a chamber main body and an upper cover that is open and close at an upper side of the chamber main body to block the inside of the chamber and form a process chamber capable of forming a vacuum. A substrate support for supporting a substrate to be processed, a processing gas supply system for supplying a processing gas, and an exhaust system for exhausting the chamber; Is provided, and the third upper cover opening and closing device for lifting and rotating the upper cover up and down, respectively, in the center of the opposite sides facing the outside of the chamber is provided.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 각 관점에 따른 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 후술하는 실시예에 의하면 본 발명의 구성 및 작용을 보다 명확하게 이해할 수 있을 것이다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment according to each aspect of the present invention. According to the embodiments described below will be able to understand the configuration and operation of the present invention more clearly.
< 실시예 1 ><Example 1>
본 실시예에 의한 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버 본체(100)와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부커버(200)가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 기판 지지대(도면에 미도시), 처리가스 공급시스템(300) , 배기 시스템(도면에 미도시) 및 제1 상부커버 개폐장치(400)가 구비된다. As shown in FIG. 2, the process chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a chamber main body 100 and an upper cover 200 that can be opened and closed on the upper side of the chamber main body to block the inside of the chamber from the outside. Thus, a process chamber capable of forming a vacuum is formed, and a substrate support (not shown), a processing gas supply system 300, an exhaust system (not shown) and a first upper cover opening / closing device 400 are provided.
상기 제1 상부커버 개폐장치(400)는 도 3a에 도시된 바와 같이 승강기구(410)와 제1 회전기구(420)로 구성된다. 상기 승강기구(410)는 상기 챔버 외부에 설치되며, 특히 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 공정챔버의 각 모서리 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 승강기구(410)는 상기 공정 챔버의 각 모서리 부분에 4개의 제1 승강축(412)을 설치하고, 도 3a에 도시된 바와 같이, 상기 승강축(412) 중 이웃하는 승강축끼리 그 상부를 가이드 레일(414)로 연결시킨다. 상기 제1 승강축(412)은 상하로 승강할 수 있도록 구비되므로 상기 제1 승강축(412)의 상단에 연결된 상기 가이드레일(414)도 상하로 승강하게 된다. The first upper cover opening and closing device 400 is composed of a lifting mechanism 410 and the first rotating mechanism 420 as shown in Figure 3a. The lifting mechanism 410 is installed outside the chamber, and in particular, as shown in FIG. 2, it is preferable to be installed at each corner portion of the process chamber. In this case, the lifting mechanism 410 is provided with four first lifting shafts 412 in each corner portion of the process chamber, as shown in Figure 3a, the lifting shafts adjacent to one of the lifting shafts 412 The upper part is connected to the guide rail 414. Since the first lifting shaft 412 is provided to move up and down, the guide rail 414 connected to the upper end of the first lifting shaft 412 is also lifted up and down.
상기 제1 승강축(412)의 상하운동을 위해서 상기 제1 승강축(412)마다 상하 운동을 위한 상하운동 구동원이 구비된다. 그리고 상기 제1 승강축(412)에는 에어(air) 실린더나 오일(oil) 실린더 또는 체인 등이 설치되어 상기 상하운동 구동원의 동력을 이용하여 상기 가이드레일(414)을 승강시킬 수 있도록 한다. In order to vertically move the first elevating shaft 412, a vertical movement drive source for an up and down movement is provided for each of the first elevating shafts 412. In addition, an air cylinder, an oil cylinder, a chain, or the like is installed on the first lifting shaft 412 so that the guide rail 414 can be lifted and lowered by using the power of the vertical motion driving source.
그리고 상부커버(200) 외부 면 중 마주보는 양 면에는 각각 제1 회전기구(420)가 구비된다. 상기 제1 회전기구(420)는 상기 상부커버(200)를 회전시킬 수 있도록 회전 구동원을 구비하며, 상기 제1 회전기구(420)의 하부는 가이드레일 쉐프트(shaft, 도 2에 422로 표기됨)에 의하여 상기 가이드레일(414)과 연결된다. 이때 상기 제1 회전기구(420)에는 수평운동 구동원도 함께 구비되어 있어서, 상기 가이드레일(414)을 따라서 수평방향으로 운동할 수 있다. The first rotating mechanism 420 is provided on both surfaces of the outer surface of the upper cover 200 that face each other. The first rotating mechanism 420 has a rotation drive source to rotate the upper cover 200, the lower portion of the first rotating mechanism 420 is a guide rail shaft (shaft, denoted as 422 in Figure 2) Is connected to the guide rail 414. At this time, the first rotation mechanism 420 is also provided with a horizontal motion drive source, it can move in the horizontal direction along the guide rail 414.
이하에서는 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 있어서, 상기 제1 상부커버개폐장치(400)에 의하여 상부커버(200)를 개폐하는 과정을 상세히 설명한다. Hereinafter, a process of opening and closing the upper cover 200 by the first upper cover opening and closing device 400 in the process chamber of the apparatus for manufacturing a flat panel display device according to the present embodiment will be described in detail.
우선 도 3a 내지 도 3c는 공정챔버의 상부커버(200) 내부만을 유지, 보수하는 경우에 상부커버(200) 개폐과정을 설명하는 도면이다. First, FIGS. 3A to 3C are diagrams illustrating an opening and closing process of the upper cover 200 when only the inside of the upper cover 200 of the process chamber is maintained and repaired.
먼저 도 3a에 도시된 바와 같이, 상기 제1 승강축(412)을 구동시켜 상기 상부커버(200)를 챔버몸체(100)에 걸리지 않고 회전할 수 있을 정도의 높이로 상승시킨다. 이때, 상기 4개의 제1 승강축(412)은 모두 동시에 구동되며 같은 높이로 상승되도록 제어된다. First, as shown in FIG. 3A, the first elevating shaft 412 is driven to raise the upper cover 200 to a height that can rotate without being caught by the chamber body 100. At this time, the four first lifting shafts 412 are all driven at the same time and controlled to rise to the same height.
그리고 상기 상부커버(200)가 회전할 수 있는 높이로 상승하면, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 회전기구(420)의 회전 구동원을 구동시켜서 상기 상부커버(200)를 180° 회전시킨다. When the upper cover 200 rises to a height at which the upper cover 200 can rotate, as shown in FIG. 3B, the upper cover 200 is rotated by 180 ° by driving a rotation driving source of the first rotating mechanism 420. .
마지막으로 상기 상부커버(200)가 완전히 회전하고 나면 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 제1 상승축(412)을 하강하도록 구동시켜서 상기 상부커버(200)를 상기 챔버몸체(100) 상으로 위치시킨다. 이때, 상기 챔버몸체(100) 상에는 상기 상부커버(200)의 모서리 부분을 지지할 수 있는 지그(430)를 별도로 준비하였다가 위치시키는 것이 바람직하다. 이는 상기 상부커버(200)에 의하여 상기 챔버몸체(100) 또는 챔버 내부에 설치되어 있는 설비가 손상되는 것을 방지하기 위함이다. Finally, after the upper cover 200 is completely rotated, as shown in FIG. 3c, the first cover shaft 412 is driven to descend so that the upper cover 200 is positioned on the chamber body 100. Let's do it. At this time, it is preferable to prepare and position a jig 430 that can support the corner portion of the upper cover 200 on the chamber body 100 separately. This is to prevent damage to the chamber body 100 or the equipment installed inside the chamber by the upper cover 200.
그리고 나서 상기 상부커버(200)에 설치되어 있는 샤워헤드 등의 구조물을 교환하거나, 오염물을 제거하는 보수 작업을 실시한다. 이러한 보수작업이 완료되면 상술한 과정의 역순으로 상기 상부커버(200)를 다시 원위치 시키면 된다. Then, to replace the structure, such as a shower head installed in the upper cover 200, or to perform a maintenance work to remove contaminants. When the maintenance is completed, the upper cover 200 may be returned to its original position in the reverse order of the above-described process.
다음으로 도 4a 내지 도 4c는 상기 공정챔버의 챔버몸체(100) 내부에 설비되어 있는 구조물을 교환하거나 청소하는 경우에 상부커버(200)를 개폐하는 과정을 나타내는 도면이다. 4A to 4C are views illustrating a process of opening and closing the upper cover 200 when replacing or cleaning a structure installed in the chamber body 100 of the process chamber.
먼저 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 제1 승강축(412)을 구동시켜 상기 상부커버(200)를 상기 챔버몸체(100)에 걸리지 않고 회전할 수 있는 높이로 상승시킨다. 이때, 상기 제1 상부커버 개폐장치(400)의 구동방법은 상기 도 3a에 도시된 바와 마찬가지이다. First, as shown in FIG. 4A, the first lifting shaft 412 is driven to raise the upper cover 200 to a height capable of rotating without being caught by the chamber body 100. At this time, the driving method of the first upper cover opening and closing device 400 is the same as that shown in FIG.
그리고 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 상부커버(200)가 회전할 수 있는 높이로 충분히 상승하면 상기 상부커버(200)를 상기 제1 회전기구(420)를 이용하여 90°정도 회전시킨다. As shown in FIG. 4B, when the upper cover 200 is sufficiently raised to rotate, the upper cover 200 is rotated by about 90 ° using the first rotating mechanism 420.
그 후 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 상부커버(200)가 90°정도 회전된 상태에서 상기 제1 회전기구(420)의 수평방향 구동원을 구동시켜서 상기 상부커버(200)를 수평방향으로 이동시킨다. 이때, 상기 상부커버(200)는 상기 가이드레일(414)의 말단까지 이동시킨다. 그리고 나서 상기 제1 승강축(412)을 하강시켜 상기 상부커버(200)를 안전한 하부 위치로 하강시킨 후 상기 챔버몸체(100) 내부의 보수 작업을 시작하는 것이 바람직하다. 이는 작업자의 안전을 위하여 상기 상부커버(200)를 안전한 위치에 위치시키는 것이다. 보수작업이 완료되면 상술한 과정의 역순으로 상부커버(200)를 원위치시키면 된다. Thereafter, as shown in FIG. 4C, the upper cover 200 is moved in a horizontal direction by driving a horizontal driving source of the first rotating mechanism 420 while the upper cover 200 is rotated about 90 °. Let's do it. At this time, the upper cover 200 is moved to the end of the guide rail 414. Then, the first lifting shaft 412 is lowered to lower the upper cover 200 to a safe lower position, and then it is preferable to start the maintenance work inside the chamber body 100. This is to place the top cover 200 in a safe position for the safety of the operator. When the maintenance work is completed, the upper cover 200 in the reverse order of the above-described process may be replaced.
상술한 바와 같이 상기 상부커버(200)를 개폐하면 상기 상부커버를 개폐하기 위하여 별도의 클린 룸 공간이 필요하지 않아서 평판표시소자 제조장치를 설비하는 비용이 감소하고 따라서 제조되는 평판표시소자의 제조단가가 하락하는 효과가 있다. 또한, 상기 상부커버(200)를 개폐하는 과정이 간단하므로 그 개폐에 소요되는 시간이 짧아진다. As described above, when the upper cover 200 is opened and closed, a separate clean room space is not needed to open and close the upper cover, thereby reducing the cost of installing the flat panel display device manufacturing apparatus and thus manufacturing cost of the flat display device manufactured. Has the effect of falling. In addition, since the process of opening and closing the upper cover 200 is simple, the time required for opening and closing is shortened.
< 실시예 2 ><Example 2>
본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는 도 5에 도시된 바와 같이 챔버 본체(100)와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버(200)가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 기판 지지대(도면에 미도시), 처리가스 공급시스템(300), 배기 시스템(도면에 미도시) 및 제2 상부커버 개폐장치(500)가 구비된다. The process chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present embodiment is provided with a chamber body 100 and an upper cover 200 that can be opened and closed on the chamber body as shown in FIG. A process chamber capable of forming a vacuum is formed, and a substrate support (not shown), a process gas supply system 300, an exhaust system (not shown) and a second upper cover opening / closing device 500 are provided.
상기 제2 상부커버 개폐장치(500)는 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 승강축(510)과 상기 제2 승강축(510)의 상부에 설치되는 제2 회전기구(520)를 포함하여 구성된다. 이때 상기 제2 상부커버 개폐장치(500)는 상기 공정챔버의 외부에 설치되되, 상기 공정챔버 모서리 중 한 모서리 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 상기 제2 승강축(510)의 하부에는 상기 제2 승강축(510)을 승강시킬 수 있는 상하운동 구동원이 구비된다. 그리고 상기 제2 승강축(510)에는 에어(air) 실린더나 오일(oil) 실린더 또는 체인 등이 설치되어 상기 상하운동 구동원의 동력을 이용하여 승강운동을 할 수 있도록 구비된다. As shown in FIG. 5, the second upper cover opening and closing device 500 includes a second lifting shaft 510 and a second rotating mechanism 520 installed on the second lifting shaft 510. It is composed. At this time, the second upper cover opening and closing device 500 is installed on the outside of the process chamber, it is preferable to be installed at one corner of the corner of the process chamber. The lower portion of the second lifting shaft 510 is provided with a vertical movement drive source for raising and lowering the second lifting shaft 510. The second lifting shaft 510 is provided with an air cylinder, an oil cylinder, a chain, or the like, so that the lifting movement can be performed by using the power of the vertical motion driving source.
상기 제2 승강축(510)의 상부에는 제2 회전기구(520)가 설치되되, 상기 제2 회전기구(520)의 일 측면은 상기 상부커버(200)의 일 모서리에 연결된다. 이때 상기 제2 회전기구(520)에는 상기 상부커버(200)를 회전시킬 수 있는 회전 구동원이 구비된다. A second rotating mechanism 520 is installed on the upper portion of the second lifting shaft 510, and one side of the second rotating mechanism 520 is connected to one edge of the upper cover 200. At this time, the second rotation mechanism 520 is provided with a rotation drive source for rotating the upper cover 200.
또한 상기 제2 승강축(510)이 형성된 모서리의 대각선 방향 모서리에는 도 6a에 도시된 바와 같이 보조 승강축(530)이 더 설치되는 것이 바람직하다. 상기 보조승강축(530)에는 그 하부에 상기 보조 승강축(530)을 승강시킬 수 있는 상하운동 구동원이 구비되고, 상기 보조 승강축(530)의 상부에는 상기 상부커버(200)의 일 모서리와 연결되는 상부커버 연결부(532)가 구비된다. 이때 상기 상부커버 연결부(532)는 상기 상부커버(200)와 탈착이 가능하게 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 상부커버(200)를 상기 제2 승강축(510)과 함께 승강시키는 경우에는 상기 상부커버(200)와 연결되어 상기 상부커버(200)를 승강시키고, 상기 상부커버(200)를 회전시키는 경우에는 상기 상부커버(200)와 분리되어 상기 상부커버가 회전할 수 있도록 한다. In addition, it is preferable that the auxiliary lifting shaft 530 is further installed at a diagonal corner of the corner where the second lifting shaft 510 is formed, as shown in FIG. 6A. The auxiliary lifting shaft 530 is provided with a vertical movement drive source for raising and lowering the auxiliary lifting shaft 530 in the lower portion, and the upper and lower edges of the upper cover 200 in the upper portion of the auxiliary lifting shaft 530 An upper cover connection part 532 is provided. In this case, the upper cover connection part 532 is preferably provided to be detachable from the upper cover 200. That is, when elevating the upper cover 200 together with the second elevating shaft 510, the upper cover 200 is connected to elevate the upper cover 200, and the upper cover 200 is rotated. In this case, the upper cover is separated from the upper cover 200 to allow the upper cover to rotate.
상기 보조 승강축(530)에는 에어실린더, 오일 실린더 또는 체인 등이 설치되어 상기 상하운동 구동원의 동력을 이용하여 상기 보조 승강축(530)의 상부에 연결된 상부커버(200)를 승강할 수 있도록 구비된다. An air cylinder, an oil cylinder, or a chain is installed on the auxiliary lifting shaft 530 so as to elevate the upper cover 200 connected to the upper part of the auxiliary lifting shaft 530 by using the power of the vertical motion driving source. do.
그리고 상기 제2 상부커버개폐장치(500)에는 상기 제2 승강축(510)이 상기 상부커버(200)를 승강시키는 동안에는 상기 상부커버연결부(532)가 상기 상부커버(200)와 연결되어 있어서, 상기 보조 승강축(530)이 상기 제2 승강축(510)과 함께 상기 상부커버(200)를 승강시키고, 상기 제2 회전기구(520)가 구동하는 경우에는 상기 상부커버연결부(532)가 상기 상부커버(200)와 분리되어 상기 상부커버(200)가 회전할 수 있도록 제어하는 제1 제어부(도면에 미도시)가 더 구비되는 것이 바람직하다. The upper cover connecting part 532 is connected to the upper cover 200 while the second lifting shaft 510 lifts the upper cover 200 to the second upper cover opening and closing device 500. When the auxiliary lifting shaft 530 lifts the upper cover 200 together with the second lifting shaft 510, and the second rotating mechanism 520 is driven, the upper cover connecting portion 532 is the It is preferable that the first control unit (not shown in the drawing) is separated from the upper cover 200 to control the upper cover 200 to rotate.
또한 상기 제2 회전기구(520)에는 상기 상부커버(200)를 180°회전시켜 상부커버(200)의 내부가 지면 반대 방향을 향하도록 구동시킬 수 있는 보조회전기구(도면에 미도시)가 더 구비될 수 있다. 이는 상기 상부커버(200) 내부의 설비 및 부품에 대한 보수 작업을 용이하게 하기 위함이다. In addition, the second rotating mechanism 520 further includes an auxiliary rotating mechanism (not shown in the drawing) capable of rotating the upper cover 200 by 180 ° to drive the inside of the upper cover 200 to face in the opposite direction to the ground. It may be provided. This is to facilitate the repair work on the equipment and components inside the upper cover 200.
이하에서는 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 있어서, 상기 제2 상부커버 개폐장치(500)에 의하여 상부커버(200)를 개폐하는 과정을 상세히 설명한다.Hereinafter, a process of opening and closing the upper cover 200 by the second upper cover opening and closing device 500 in the process chamber of the apparatus for manufacturing a flat panel display device according to the present embodiment will be described in detail.
먼저 도 6a에 도시된 바와 같이, 상기 제2 승강축(510)과 상기 보조 승강축(530)이 동시에 작동하여 상기 상부커버(200)를 상승시킨다. 이때 상기 상부커버(200)를 상승시키는 높이는 상기 상부커버(200)가 상기 챔버본체(100) 내부의 설비와 충돌하지 않고 회전할 수 있는 높이면 된다. 따라서 실시예 1에서 처럼 상기 상부커버(200)가 회전가능한 높이까지 상승할 필요는 없다. First, as shown in FIG. 6A, the second lifting shaft 510 and the auxiliary lifting shaft 530 operate simultaneously to raise the upper cover 200. In this case, the height of raising the upper cover 200 may be such that the upper cover 200 can rotate without colliding with the equipment inside the chamber body 100. Therefore, as in the first embodiment, the upper cover 200 does not have to rise to the rotatable height.
그리고 상기 상부커버(200)를 상승시키는 동안에는 상기 상부커버연결부(532)는 상기 상부커버(200)에 연결되어 상기 제2 승강축(510)과 함께 상기 상부커버(200)를 승강시킨다. 이는 상기 상부커버(200)를 지면과 평행하게 상승시킴으로써 상기 제2 승강축(510)에 가해지는 힘을 분산시키기 위함이다. The upper cover connection part 532 is connected to the upper cover 200 to lift the upper cover 200 together with the second lifting shaft 510 while raising the upper cover 200. This is to disperse the force applied to the second lifting shaft 510 by raising the upper cover 200 in parallel with the ground.
그리고 나서, 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 상부커버연결부(532)를 상기 상부커버(200)와 분리시킨 후 상기 제2 승강축(510) 상부에 설치된 제2 회전기구(520)를 가동시켜서 상기 상부커버(200)를 90회전시킨다. 그러면 상기 상부커버(200)는 상기 챔버본체(100)에서 분리되어 그 내부의 유지 보수 작업이 가능해진다. 따라서 본 실시예에서는 상기 챔버본체(100)의 유지 보수작업시나 상기 상부커버(200) 내부의 유지 보수작업시에 상기 상부커버(200)를 개폐하는 방법은 동일하다. Then, as illustrated in FIG. 6B, the upper cover connecting portion 532 is separated from the upper cover 200, and then the second rotating mechanism 520 installed on the second lifting shaft 510 is operated to operate the second cover. Rotate the top cover 200 by 90 degrees. Then, the upper cover 200 is separated from the chamber body 100 to allow maintenance work therein. Therefore, in this embodiment, the method of opening and closing the upper cover 200 during the maintenance work of the chamber body 100 or the maintenance work inside the upper cover 200 is the same.
다만, 상부커버(200) 내부의 유지 보수 작업시에는 상기 상부커버(200)의 하부에 별도의 지그(도면에 미도시)를 지지함으로써 상기 상부커버(200)가 하강하는 것을 방지하는 것이 바람직하다. 이는 상기 제2 승강축에 가해지는 힘을 분산시키는 것과 동시에 상기 상부커버(200) 하부에서 작업하는 작업자의 안전을 강구하는 한편 상기 상부커버(200) 내부의 설비 및 부품의 교체 또는 분해 작업시 이들을 지지하는 장소로서의 역할도 하게 된다. 보수작업이 완료되면 상술한 과정의 역순으로 상부커버(200)를 원위치시키면 된다.However, during the maintenance work inside the upper cover 200, it is preferable to prevent the upper cover 200 from falling by supporting a separate jig (not shown) in the lower portion of the upper cover 200. . This disperses the force applied to the second lifting shaft and at the same time seeks safety of the worker working under the upper cover 200, while replacing or dismantling the equipment and parts inside the upper cover 200. It will also serve as a supportive place. When the maintenance work is completed, the upper cover 200 in the reverse order of the above-described process may be replaced.
또한 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 보조회전기구(도면에 미도시)를 구동시켜 상기 상부커버(200)를 양 모서리를 이은 대각선을 중심으로 180°회전시키는 공정을 더 포함할 수 있다. 이는 상부커버(200) 내부의 보수 작업을 용이하게 하기 위함이다. In addition, as shown in Figure 6c, by driving the auxiliary rotating mechanism (not shown in the figure) may further include a step of rotating the upper cover 200 by 180 degrees around a diagonal line connecting both corners. This is to facilitate the maintenance work inside the upper cover 200.
상술한 제2 상부커버 개폐장치(500)를 이용하여 상기 상부커버(200)를 개폐하면 그 과정이 매우 간단하고, 그 구성이 간단하여 공정챔버의 유지 보수 작업 및 그에 따른 상부커버의 개폐작업이 매우 용이하며, 작업시간이 단축되는 장점이 있다. When the upper cover 200 is opened and closed by using the second upper cover opening and closing device 500 described above, the process is very simple, and its configuration is simple, so that the maintenance work of the process chamber and the opening / closing operation of the upper cover are performed accordingly. It is very easy and has the advantage of shortening the working time.
< 실시예 3 ><Example 3>
본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는 도 7에 도시된 바와 같이 챔버 본체(100)와 상기 챔버 본체(100) 상측에 개폐가 가능한 상부 커버(200)가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 기판 지지대(도면에 미도시), 처리가스 공급시스템(300), 배기 시스템(도면에 미도시) 및 제3 상부커버개폐장치(600)가 구비된다. As shown in FIG. 7, the process chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present exemplary embodiment includes a chamber main body 100 and an upper cover 200 that can be opened and closed on the upper side of the chamber main body 100. And a process chamber capable of forming a vacuum by being cut off, and having a substrate support (not shown), a processing gas supply system 300, an exhaust system (not shown), and a third upper cover opening / closing device 600. do.
상기 제3 상부커버개폐장치(600)는 도 8a에 도시된 바와 같이 제3 회전기구(610), 제4 회전기구(620) 및 제3 승강축(630)으로 구성된다. 이때, 상기 제3 회전기구(610)는 상기 챔버본체(100) 외부에 설치되고, 상기 제4 회전기구(620)는 상기 상부커버(200) 외부에 설치되며, 상기 제3 승강축(630)은 상기 제3 회전기구(610)와 상기 제4 회전기구(620)를 연결시킨다. 그리고 상기 제3 상부커버 개폐장치(600)는 상기 공정챔버 외부의 마주보는 면에 2세트가 대칭되게 설치되는 것이 바람직하다. 따라서 상기 상부커버(200)를 공정챔버의 양측에서 동시에 승강시켜서 개폐하는 것이다. As illustrated in FIG. 8A, the third upper cover opening and closing device 600 includes a third rotating mechanism 610, a fourth rotating mechanism 620, and a third lifting shaft 630. At this time, the third rotating mechanism 610 is installed outside the chamber body 100, the fourth rotating mechanism 620 is installed outside the upper cover 200, the third lifting shaft 630 The third rotating mechanism 610 connects the fourth rotating mechanism 620. In addition, the third upper cover opening and closing device 600 is preferably two sets are symmetrically installed on the facing surface outside the process chamber. Therefore, the upper cover 200 is opened and closed by lifting at the same time on both sides of the process chamber.
상기 제3 회전기구(610)는 도 8a에 도시된 바와 같이 상기 챔버본체(100)의 외부에 설치되며, 상기 제3 승강축(630)의 하단이 연결되어 있다. 따라서 상기 제3 회전기구(610)는 상기 제3 승강축(630)을 좌우로 회전시킬 수 있도록 구비되는 것이다. 그러므로 상기 제3 회전기구(610)에는 회전 구동원이 구비되어 있다. The third rotating mechanism 610 is installed outside the chamber body 100, as shown in Figure 8a, the lower end of the third lifting shaft 630 is connected. Therefore, the third rotating mechanism 610 is provided to rotate the third lifting shaft 630 left and right. Therefore, the third rotation mechanism 610 is provided with a rotation drive source.
그리고 상기 제4 회전기구(620)는 도 8a에 도시된 바와 같이 상기 상부커버(200)의 외부에 설치되며, 상기 제3 승강축(630)의 상단이 연결되어 있다. 상기 제4 회전기구(620)는 상기 상부커버(200)를 회전시키는 역할을 하며, 상기 제3 승강축(630)에 의하여 승강이 가능하다. 따라서 상기 제4 회전기구(620)에는 회전 구동원이 구비되어 있다. The fourth rotating mechanism 620 is installed outside the upper cover 200 as illustrated in FIG. 8A, and an upper end of the third lifting shaft 630 is connected. The fourth rotating mechanism 620 rotates the upper cover 200, and can be lifted and lowered by the third lifting shaft 630. Therefore, the fourth rotation mechanism 620 is provided with a rotation drive source.
마지막으로 상기 제3 승강축(630)은 도 8a에 도시된 바와 같이, 상기 제3 회전기구(610) 및 제4 회전기구(620)에 연결되어 있으면서, 상기 제4 회전기구(620) 및 상기 제4 회전기구(620)에 연결되어 있는 상기 상부커버(200)를 승강시키는 역할을 한다. 이때, 상기 제3 승강축(630)에는 상하운동 구동원이 구비되어 있다. 또한, 상기 제3 승강축(630)에는 에어(air) 실린더나 오일(oil) 실린더 또는 체인 등이 설치되어 상기 상하운동 구동원의 동력을 이용하여 상기 제4 회전기구(630) 및 상기 상부커버(200)를 승강시킬 수 있다. Finally, as shown in FIG. 8A, the third lifting shaft 630 is connected to the third rotating mechanism 610 and the fourth rotating mechanism 620, and the fourth rotating mechanism 620 and the The upper cover 200 which is connected to the fourth rotating mechanism 620 serves to elevate. At this time, the third lifting shaft 630 is provided with a vertical movement drive source. In addition, the third lifting shaft 630 is provided with an air cylinder, an oil cylinder or a chain, and the like, using the power of the vertical motion driving source, the fourth rotating mechanism 630 and the upper cover ( 200) can be elevated.
또한 상기 제3 상부커버개폐장치(600)에는 상기 제3 승강축(630)이 먼저 구동하기 시작하여 상기 제4 회전기구(620)와 상기 상부커버(200)를 소정 높이 만큼 상승시킨 후, 상기 제3 승강축(630)이 계속하여 상승하는 동안 제3 회전기구(610)가 구동하여 상기 제3 승강축(630)을 90°회전 시켜 기울어지게 하며, 상기 제4 회전기구(620)는 상기 상부커버(200)를 180°회전시켜 뒤집어지도록 하되, 상기 상부 커버(200)가 회전하는 경우 상기 챔버본체(100)와 충돌하지 않도록 상기 제3, 제4 회전기구(610, 620) 및 제3 승강축(630)의 구동이 제어되도록 하는 제2 제어부(도면에 미도시)가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, the third elevating shaft 630 is first driven in the third upper cover opening and closing device 600 to raise the fourth rotating mechanism 620 and the upper cover 200 by a predetermined height, and then While the third lifting shaft 630 continues to ascend, the third rotating mechanism 610 is driven to rotate the third lifting shaft 630 by 90 ° to incline, and the fourth rotating mechanism 620 is The upper cover 200 is rotated 180 ° to be turned upside down, but the third and fourth rotating mechanisms 610 and 620 and the third, so as not to collide with the chamber body 100 when the upper cover 200 is rotated. It is preferable that a second control unit (not shown) is further provided to control the driving of the lifting shaft 630.
이하에서는 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 있어서, 상기 제3 상부커버 개폐장치(600)에 의하여 상부커버(200)를 개폐하는 과정을 상세히 설명한다.Hereinafter, the process of opening and closing the upper cover 200 by the third upper cover opening and closing device 600 in the process chamber of the apparatus for manufacturing a flat panel display device according to the present embodiment will be described in detail.
본 실시예에 따른 제3 상부커버 개폐장치(600)의 동작과정은 그 세부 과정을 나누어서 살피면 상기 제3 승강축(630)에 의한 상부커버(200) 상승과정, 상기 제3 회전기구(610)에 의한 상기 제3 승강축(630)의 회전과정 및 상기 제4 회전기구(620)에 의한 상부커버(200)의 회전과정의 3가지 과정이다. The operating process of the third upper cover opening and closing device 600 according to the present embodiment is divided into the detailed process, the process of raising the upper cover 200 by the third lifting shaft 630, the third rotating mechanism 610 Three processes of the rotation process of the third lifting shaft 630 and the rotation process of the upper cover 200 by the fourth rotating mechanism 620 by.
먼저 도 8a에 도시된 바와 같이, 상기 제3 승강축(630)을 구동시켜 상기 상부커버(200)를 제1 높이 만큼 들어올린다. 이때 상기 제1 높이는 상기 상부커버(200)가 상기 챔버본체(100) 내부에 설치되어 있는 부품 및 설비에 충돌하지 않고 우측으로 이동할 수 있는 최소한의 높이면 충분하다. 물론 상기 제3 승강축(630)은 상기 높이 이상으로 계속하여 상기 상부커버(200)를 승강시킨다. First, as shown in FIG. 8A, the third lifting shaft 630 is driven to lift the upper cover 200 by a first height. In this case, the first height may be a minimum height that allows the upper cover 200 to move to the right without colliding with parts and facilities installed in the chamber body 100. Of course, the third lifting shaft 630 continuously lifts the upper cover 200 above the height.
그리고 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 상부커버(200)가 상기 제1 높이 이상으로 상승하면 상기 제3 회전기구(610)가 구동하여 상기 제3 승강축(630)을 좌측으로 90°회전시킨다. 또한 상기 제4 회전기구(620)도 이때 상기 상부커버(200)를 180°회전시킨다. 이렇게 해서 각 과정이 완료되면 도 8c에 도시된 바와 같이, 상기 상부커버(200)가 완전히 개방된다. As shown in FIG. 8B, when the upper cover 200 rises above the first height, the third rotating mechanism 610 is driven to rotate the third lifting shaft 630 to the left by 90 °. In addition, the fourth rotating mechanism 620 also rotates the upper cover 200 by 180 °. In this way, when each process is completed, as shown in FIG. 8C, the upper cover 200 is completely opened.
그러나, 상기 제3 승강축(630)의 구동과정과 제3, 4 회전기구(610, 620)의 구동과정은 각각 순서대로 진행되는 것이 아니라 상기 제어부(도면에 미도시)에 의하여 제어됨으로써 각 구동과정이 유기적으로 결합되어 수행된다. 즉, 상기 제3 승강축(630)의 상승과정이 계속되는 동안 상기 제3, 4 회전기구(610, 620)의 회전 과정이 동시에 진행된다. 이때 상기 제3 상부커버 개폐장치(600) 구동과정의 제어에서 가장 중요한 것은 상기 상부커버(200)를 회전시키는 과정에서 상기 상부커버(200)가 상기 챔버본체(100)와 충돌하지 않게 제어하는 것이다. 즉, 상기 제3 승강축(630)의 승강속도와 상기 제4 회전기구(620)의 회전 속도가 적합하게 제어되어야 하는 것이다.However, the driving process of the third lifting shaft 630 and the driving process of the third and fourth rotating mechanisms 610 and 620 are not driven in order, but are controlled by the control unit (not shown). The process is carried out organically. That is, while the process of raising the third lifting shaft 630 is continued, the process of rotating the third and fourth rotating mechanisms 610 and 620 is simultaneously performed. In this case, the most important thing in controlling the driving process of the third upper cover opening and closing device 600 is to control the upper cover 200 so as not to collide with the chamber body 100 in the process of rotating the upper cover 200. . That is, the lifting speed of the third lifting shaft 630 and the rotation speed of the fourth rotating mechanism 620 should be properly controlled.
상기 제3 상부커버 개폐장치(600)에 의하여 상기 상부커버(200)를 개폐하면 그 과정이 마치 하나의 연속된 과정처럼 제어되기 때문에 그 개폐작업에 소요되는 시간이 단축되며 상부커버(200)의 개폐 공정이 용이한 장점이 있다. When the upper cover 200 is opened and closed by the third upper cover opening and closing device 600, since the process is controlled as if it is one continuous process, the time required for the opening and closing operation is shortened and the upper cover 200 is closed. There is an advantage that the opening and closing process is easy.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 의하면 구성이 간단하면서도 짧은 시간에 상부 커버를 개폐할 수 있는 장점이 있다. According to the process chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to the invention there is an advantage in that the top cover can be opened and closed in a short time with a simple configuration.
또한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 의하면 클린 룸 내의 공간을 많이 차지하지 않으면서도 상부 커버를 개폐할 수 있는 장점이 있다. In addition, according to the process chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention there is an advantage that can open and close the top cover without taking up a lot of space in the clean room.
도 1a, 1b, 1c, 1d, 1e는 종래에 공정챔버 상부커버를 개폐하는 개폐장치 및 개폐과정을 나타내는 도면이다. Figure 1a, 1b, 1c, 1d, 1e is a view showing a conventional opening and closing device for opening and closing the process chamber top cover and the opening and closing process.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view illustrating a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus equipped with an opening and closing device according to a first embodiment of the present invention.
도 3a, 3b, 3c는 제1 실시예에 따른 개페장치의 작동과정 및 방법을 나타내는 공정도이다. 3A, 3B, and 3C are process diagrams showing the operation and method of the opening and closing apparatus according to the first embodiment.
도 4a, 4b, 4c는 제1 실시예에 따른 개폐장치의 다른 작동과정 및 방법을 나타내는 공정도이다. 4A, 4B, and 4C are process diagrams showing another operation process and method of the opening and closing apparatus according to the first embodiment.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 나타내는 사시도이다. 5 is a perspective view illustrating a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus equipped with a switching device according to a second embodiment of the present invention.
도 6a, 6b는 제2 실시예에 따른 개폐장치의 작동과정 및 방법을 나타내는 공정도이다. 6A and 6B are process diagrams illustrating an operation process and a method of the opening and closing apparatus according to the second embodiment.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 나타내는 사시도이다. 7 is a perspective view illustrating a process chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus equipped with a switching device according to a third embodiment of the present invention.
도 8a, 8b, 8c는 제3 실시예에 따른 개폐장치의 작동과정 및 방법을 나타내는 공정도이다. 8A, 8B and 8C are process diagrams showing the operation and method of the opening and closing apparatus according to the third embodiment.
< 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>
10 : 개폐수단 20 : 수평이동 가이드10: opening and closing means 20: horizontal movement guide
100 : 챔버몸체 200 : 상부커버100: chamber body 200: upper cover
300 : 처리가스 공급시스템 400 : 제1 상부커버 개폐장치300: processing gas supply system 400: first upper cover opening and closing device
410 : 승강기구 420 : 제1 회전기구410: lifting mechanism 420: first rotating mechanism
500 : 제2 상부커버 개폐장치 510 : 제2 승강축500: second upper cover opening and closing device 510: second lifting shaft
520 : 제2 회전기구 530 : 보조승강축520: second rotating mechanism 530: auxiliary lifting shaft
600 : 제3 상부커버 개폐장치 610 : 제3 회전기구600: third upper cover opening and closing device 610: third rotating mechanism
620 : 제4 회전기구 630 : 제3 승강축620: fourth rotating mechanism 630: third lifting shaft
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