KR100606567B1 - Apparatus for manufacturing flat panel display - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 평판표시소자의 제조에 적합하도록 로드락 챔버 또는 공정 챔버 등을 상하로 적층하여 구비시킨 적층형 챔버를 가지는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly, to a flat panel display device manufacturing apparatus having a stacked chamber in which a load lock chamber or a process chamber is stacked up and down so as to be suitable for manufacturing a large flat panel display device. will be.

본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 각 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 챔버가 상하로 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display device manufacturing apparatus including a load lock chamber, a transfer chamber, and a process chamber, wherein each chamber may independently form a vacuum atmosphere, and may be independently driven. Chambers are stacked on top of each other.

평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 로드락 챔버, 적층형 로드락 챔버Flat Panel Display, Flat Panel Display Manufacturing Device, Load Lock Chamber, Stacked Load Lock Chamber

Description

평판표시소자 제조장치{Apparatus for manufacturing flat panel display}Flat panel display device manufacturing apparatus {Apparatus for manufacturing flat panel display}

도 1은 일반적인 평판표시소자 제조장치에 있어서 각 챔버의 배열상태를 도시한 모식 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view showing the arrangement of each chamber in a general flat panel display device manufacturing apparatus.

도 2는 본 발명에 따른 적층형 로드락 챔버 및 공정 챔버가 반송챔버에 결합되는 모습을 모식적으로 나타낸 단면도이다. 2 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a stacked load lock chamber and a process chamber according to the present invention are coupled to a transfer chamber.

도 3은 본 발명에 따른 적층형 로드락 챔버의 내부 구조를 나타내는 단면도이다. 3 is a cross-sectional view showing the internal structure of the stacked load lock chamber according to the present invention.

도 4는 적층형 로드락 챔버의 상부 개폐부 및 제1 개폐부 구동수단의 결합 모습을 나타내는 부분 사시도이다. Figure 4 is a partial perspective view showing a coupling state of the upper opening and closing portion and the first opening and closing drive means of the stacked load lock chamber.

도 5는 적층형 로드락 챔버의 제1 개폐부 구동수단의 구동 모습을 나타내는 단면도이다. 5 is a cross-sectional view showing a driving state of the first opening and closing unit driving means of the stacked load lock chamber.

도 6은 적층형 로드락 챔버의 제1 기판지지봉의 구동 모습을 나타내는 단면도이다. 6 is a cross-sectional view illustrating a driving state of a first substrate supporting rod of the stacked load lock chamber.

도 7a,7b는 적층형 로드락 챔버의 제1 기판지지봉의 다른 실시예의 구동 모습을 나타내는 단면도이다. 7A and 7B are sectional views showing a driving state of another embodiment of the first substrate supporting rod of the stacked load lock chamber.

도 8은 본 발명에 따른 로드락 챔버의 상부 개폐부와 하부 개폐부가 열린 구조를 나타내는 단면도이다. 8 is a cross-sectional view illustrating a structure in which an upper opening portion and a lower opening portion of the load lock chamber according to the present invention are opened.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100 : 로드락 챔버 200 : 반송챔버 100: load lock chamber 200: conveying chamber

210 : 반송로봇 300 : 공정챔버210: carrier robot 300: process chamber

400 : 제1 로드락 챔버 410 : 제1 개구부400: first load lock chamber 410: first opening

420 : 상부 개폐부 430 : 제1 개폐부 구동수단420: upper opening portion 430: first opening portion driving means

440 : 제1 기판지지봉 450 : 제1 밀봉부재440: first substrate support rod 450: first sealing member

460 : 하부판 500 : 제2 로드락 챔버 460: lower plate 500: second load lock chamber

510 : 제2 개구부 520 : 하부 개폐부 510: second opening 520: lower opening and closing portion

530 : 제2 개폐부 구동수단 540 : 제2 기판지지봉 530: second opening and closing drive means 540: second substrate support rod

550 : 제2 지그 560 : 하부 프레임550: second jig 560: lower frame

600 : 외부 프레임 610 : 제1 지그600: outer frame 610: first jig

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 평판표시소자의 제조에 적합하도록 로드락 챔버 또는 공정 챔버 등을 상하로 적층하여 구비시킨 적층형 챔버를 가지는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly, to a flat panel display device manufacturing apparatus having a stacked chamber in which a load lock chamber or a process chamber is stacked up and down so as to be suitable for manufacturing a large flat panel display device. will be.

일반적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display) 등의 평판표시소자 제조장치는 로드락챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성된다. In general, a flat panel display device manufacturing apparatus such as a liquid crystal display (Liquid Crystal Display) is composed of a load lock chamber, a transfer chamber, a process chamber.

상기 로드락챔버(100), 반송챔버(200), 공정챔버(300)는 도 1에 도시된 바와 같이, 병렬적으로 나란하게 연결되어 구비되며, 각 챔버 간에는 기밀을 유지할 수 있는 게이트가 구비되어, 각 챔버간의 진공 분위기 등을 독립적으로 유지할 수 있도록 한다. As shown in FIG. 1, the load lock chamber 100, the transfer chamber 200, and the process chamber 300 are connected side by side in parallel to each other, and gates are provided between the chambers to maintain airtightness. In addition, the vacuum atmosphere between the chambers can be maintained independently.

이러한 평판표시소자 제조장치는 공정의 완벽을 기하기 위하여 클린룸 내에 설치되기 때문에 평판표시소자 제조장치가 클린룸내에서 차지하는 면적이 좁을수록 장비의 설치 단가가 낮아지는 것이며, 결과적으로 생산되는 평판표시소자의 제조 단가가 낮아지는 것이다. 따라서, 클린룸내에서 좁은 면적을 차지하면서도 높은 생산 효율을 얻어내는 것이 평판표시소자 제조장치에 있어서 매우 중요하다.Since the flat panel display device manufacturing apparatus is installed in a clean room to complete the process, the narrower the area occupied by the flat panel display device manufacturing apparatus in the clean room, the lower the installation cost of the equipment. The manufacturing cost of the will be lowered. Therefore, obtaining a high production efficiency while occupying a small area in a clean room is very important for a flat panel display device manufacturing apparatus.

특히, 최근에는 생산되는 평판표시소자의 크기가 대형화되면서, 평판표시소자 제조장치도 대형화되고 있다. 따라서 동일한 설치 면적을 차지하면서도 평판표시소자 생산 효율성이 높은 평판표시소자 제조장치의 개발이 강하게 요구된다. 그러므로 하나의 로드락 챔버로는 펌핑시간이 오래 소요되므로 상술한 요구에 대응할 수 없다는 문제점이 있다. In particular, as the size of flat panel display devices produced in recent years has increased, the flat panel display device manufacturing apparatus has also increased in size. Therefore, it is strongly required to develop a flat panel display device manufacturing apparatus that occupies the same installation area and has high flat panel display device production efficiency. Therefore, there is a problem in that one load lock chamber takes a long pumping time and thus cannot meet the above-described requirements.

또한 종래의 로드락 챔버는 챔버 자체를 개방할 수 없는 구조이므로, 기판이 로드락 챔버내에서 파손되는 경우 또는 로드락 챔버 내에 손상이 발생하거나 부품의 교체 필요성이 있을때 상기 로드락 챔버에 구비되어 있는 게이트를 통하여 파손된 기판을 제거하거나, 로드락 챔버 내부의 보수작업을 수행할 수 밖에 없었다. 그러나, 로드락 챔버가 대형화되면서 더이상 좁은 게이트를 통하여 파손된 기판을 제거하거나 챔버 내부의 유지 보수 작업을 하는 것이 불가능해지는 심각한 문제점이 있다. In addition, the conventional load lock chamber is a structure that can not open the chamber itself, so that when the substrate is broken in the load lock chamber or when damage occurs in the load lock chamber or when there is a need to replace parts are provided in the load lock chamber The damaged substrate was removed through the gate, or repair work in the load lock chamber was performed. However, as the load lock chamber is enlarged, there is a serious problem that it is no longer possible to remove the damaged substrate through the narrow gate or perform maintenance work inside the chamber.

또한 공정 챔버에서도 동일한 문제점이 발생하며, 이를 해결하기 위한 공정 챔버의 구조가 요구된다. In addition, the same problem occurs in the process chamber, the structure of the process chamber is required to solve this problem.

본 발명의 목적은 독자적으로 진공 형성이 가능한 로드락 챔버 또는 진공 챔버를 적층형으로 구비하는 적층형 챔버를 구비하여 평판표시소자 생산의 효율성이 높은 평판표시소자 제조장치의 제공에 있다. Disclosure of Invention An object of the present invention is to provide a flat panel display device manufacturing apparatus having a high efficiency of flat panel display device production by providing a load lock chamber or a vacuum chamber in which a vacuum chamber can be independently formed.

본 발명의 다른 목적은 로드락 챔버 또는 진공챔버를 적층형으로 구비하면서도 챔버 내부의 유지 보수 작업이 용이한 구조의 챔버를 구비한 평판표시소자 제조장치의 제공에 있다. Another object of the present invention is to provide a flat panel display device manufacturing apparatus having a load lock chamber or a vacuum chamber in a stacked structure, but having a chamber having a structure in which maintenance work inside the chamber is easy.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, In the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention for achieving the above object is a flat panel display device manufacturing apparatus consisting of a load lock chamber, a transfer chamber, a process chamber,

상기 각 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 챔버가 상하로 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다. Each of the chambers may independently form a vacuum atmosphere, and a plurality of independently driven chambers may be formed by being stacked up and down.

또한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, In addition, the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention, in the flat panel display device manufacturing apparatus consisting of a load lock chamber, a transfer chamber, a process chamber,

상기 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 로드락 챔버 또는 공정챔버가 상하로 적층되어 형성되는 적층형 챔버인 것을 특징으로 한다. The load lock chamber or process chamber may independently form a vacuum atmosphere, and a plurality of load lock chambers or process chambers that are independently driven may be stacked chambers formed by being stacked up and down.

또한 본 발명에 따른 로드락 챔버에는,In addition, the load lock chamber according to the present invention,

- 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버;A first load lock chamber located at the top;

·상기 제1 로드락 챔버의 상부면 소정 부분에 형성된 제1 개구부; A first opening formed in a predetermined portion of an upper surface of the first load lock chamber;

·상기 제1 개구부를 밀폐할 수 있도록 제1 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 상부 개폐부; An upper opening / closing portion provided with a larger area than the first opening so as to seal the first opening;

·상기 상부 개폐부의 상부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 상기 상부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제1 개폐부 구동수단; A first opening / closing part driving means connected to the upper opening / closing part on the upper opening / closing part and provided to drive the upper opening / closing part up and down;

·상기 상부 개폐부의 하부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제1 기판지지부재가 구비되는 제1 기판지지봉; A first substrate supporting rod connected to the upper opening and closing portion below the upper opening and closing portion, the first substrate supporting member being provided at a predetermined portion thereof;

- 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버;A second load lock chamber located below;

·상기 제2 로드락 챔버의 하부면 소정 부분에 형성된 제2 개구부; A second opening formed in a predetermined portion of a lower surface of the second load lock chamber;

·상기 제2 개구부를 밀폐할 수 있도록 제2 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 하부 개폐부; A lower opening / closing portion provided with a larger area than the second opening so as to seal the second opening;

·상기 하부 개폐부의 하부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 상기 하부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제2 개폐부 구동수단; A second opening / closing part driving means connected to the lower opening / closing part under the lower opening / closing part and provided to drive the lower opening / closing part up and down;

·상기 하부 개폐부의 상부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제2 기판지지부재가 구비되는 제2 기판지지봉; A second substrate supporting rod connected to the lower opening and closing portion at an upper portion of the lower opening and closing portion, and having a second substrate supporting member at a predetermined portion thereof;

이 구비된 평판표시소자 제조장치를 개시한다.Disclosed is a flat panel display device manufacturing apparatus.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the present invention.

본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치에는 로드락 챔버(100), 반송챔버(200), 공정챔버(300)가 구비된다. The flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention is provided with a load lock chamber 100, the transfer chamber 200, the process chamber 300.

이때 상기 로드락 챔버(100) 또는 공정 챔버(300)는 적층형 챔버로 구비된다. 상기 적층형 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 각각 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독립적으로 구동되는 복수개의 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 상하로 적층되는 구조의 챔버를 말한다. At this time, the load lock chamber 100 or the process chamber 300 is provided as a stacked chamber. The stacked load lock chamber or process chamber may independently form a vacuum atmosphere, and refers to a chamber having a structure in which a plurality of independently driven load lock chambers or process chambers are stacked up and down.

따라서 상기 로드락 챔버(100) 또는 공정 챔버(300)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버(400)와 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버(500) 또는 상부에 위치되는 제1 공정 챔버(700)와 하부에 위치되는 제2 공정 챔버(800)로 구성된다. 이때 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버(400) 또는 제1 공정 챔버(700)는 그 상부면의 소정 부분에 열릴 수 있는 개구부(도면에 미도시)가 형성되어 상부 방향으로 열리는 구조이며, 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버(500)와 제2 공정 챔버(800)는 그 하부면의 소정 부분에 열릴 수 있는 개구부(도면에 미도시)가 형성되어 하부 방향으로 열리는 구조로 구비되는 것이 바람직하다. 개구부가 열리는 방식은 개구부 자체가 상방 또는 하방으로 이동되어서 열릴 수도 있고, 개구부가 슬라이딩 방식으로 좌우로 이동하여 열리는 구조일 수도 있다. Accordingly, as shown in FIG. 2, the load lock chamber 100 or the process chamber 300 may include a first load lock chamber 400 positioned at an upper portion thereof and a second load lock chamber 500 positioned at an upper portion thereof or an upper portion thereof. It consists of a first process chamber 700 positioned in the second process chamber 800 located in the lower portion. In this case, the first load lock chamber 400 or the first process chamber 700 positioned at an upper portion has a structure in which an opening (not shown) that is open at a predetermined portion of the upper surface thereof is formed to open upward. The second load lock chamber 500 and the second process chamber 800 positioned at the openings (not shown) may be formed in a predetermined portion of the lower surface thereof to have a structure that opens in a downward direction. Do. The opening may be opened by moving the opening itself upward or downward, or may be a structure in which the opening is moved left and right in a sliding manner.

그리고 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1 로드락 챔버(400)에는 제1 개구 부(410), 상부 개폐부(420), 제1 개폐부 구동수단(430), 제1 기판지지봉(440)이 구비되고, 상기 제2 로드락 챔버(500)에는 제2 개구부(510), 하부 개폐부(520), 제2 개폐부 구동수단(530), 제2 기판지지봉(440)이 구비되는데, As shown in FIG. 3, the first load lock chamber 400 includes a first opening part 410, an upper opening part 420, a first opening part driving means 430, and a first substrate supporting rod 440. The second load lock chamber 500 includes a second opening portion 510, a lower opening portion 520, a second opening portion driving means 530, and a second substrate supporting rod 440.

이하에서는 상기 적층형 로드락 챔버의 구조를 각 구성요소 별로 상세하게 설명한다.Hereinafter, the structure of the stacked load lock chamber will be described in detail for each component.

먼저 상기 제1 개구부(410)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면 소정 부분에 형성된다. 이때 상기 제1 개구부(410)는 상기 제1 로드락 챔버(400)의 벽면 중 상부면이 뚫려서 소정 크기의 구멍이 형성된 것을 말한다. 상기 제1 개구부(410)는 상기 제1 로드락 챔버(400) 내부에서 기판이 파손되거나, 장비에 손상이 있을 경우, 이를 제거하거나 보수하기 위하여 작업자가 직접 들어가거나 여러가지 장비를 사용할 수 있어야 하므로 상기 제1 로드락 챔버(400) 상부면의 대부분을 차지하도록 형성되는 것이 바람직하다. First, as shown in FIG. 4, the first opening 410 is formed in a predetermined portion of an upper surface of the first load lock chamber 400. In this case, the first opening 410 refers to a hole having a predetermined size formed by opening an upper surface of the wall of the first load lock chamber 400. The first opening 410 is a substrate that is damaged in the first load lock chamber 400, if there is damage to the equipment, the operator to directly enter or to use a variety of equipment to remove or repair the The first load lock chamber 400 is preferably formed to occupy most of the upper surface.

다음으로 상기 상부 개폐부(420)는 상기 제1 로드락 챔버(400)에 형성되어 있는 제1 개구부(410)를 밀폐할 수 있도록 제1 개구부(410)보다 큰 면적으로 구비된다. 즉, 상기 제1 개구부(410)를 완전히 막아서 상기 제1 로드락 챔버(400)의 외부와 내부를 격리시키는 역할을 한다. 따라서 상기 상부 개폐부(420)는 상기 제1 개구부(410)가 형성된 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면과 겹치도록 상기 제1 개구부(410)보다 넓은 면적으로 형성되며, 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면과 겹치는 부분에는 밀봉부재 삽입홈(도면에 미도시)이 형성되고, 상기 밀봉부재 삽 입홈에는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 밀봉부재(450)가 구비된다. 이는 상기 상부 개폐부(420)가 상기 제1 로드락 챔버(400)와 분리되는 구조임에도 불구하고 상기 제1 로드락 챔버(400)의 내부에 진공이 형성될 수 있도록 밀봉시키기 위한 것이다. Next, the upper opening / closing portion 420 is provided with a larger area than the first opening portion 410 to seal the first opening portion 410 formed in the first load lock chamber 400. That is, the first opening 410 is completely blocked to isolate the outside from the inside of the first load lock chamber 400. Accordingly, the upper opening / closing portion 420 is formed to have a larger area than the first opening portion 410 so as to overlap the upper surface of the first load lock chamber 400 in which the first opening portion 410 is formed. A sealing member insertion groove (not shown) is formed in a portion overlapping the upper surface of the lock chamber 400, and the sealing member insertion groove is provided with a first sealing member 450 as shown in FIG. 3. . This is to seal the vacuum to be formed inside the first load lock chamber 400, although the upper opening and closing portion 420 is separated from the first load lock chamber 400.

다음으로 상기 상부 개폐부(420)의 상부에는 제1 개폐부 구동수단(430)이 구비된다. 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)를 상하로 구동시켜 개폐시키는 역할을 한다. 이때 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)의 상부에 1개가 구비될 수도 있고, 다수개가 구비될 수도 있다. Next, the first opening and closing part driving means 430 is provided on the upper opening and closing portion 420. The first opening and closing part driving means 430 serves to open and close the upper opening and closing part 420 by driving up and down. In this case, one first opening / closing drive unit 430 may be provided on the upper portion of the upper opening / closing portion 420, or a plurality of first opening / closing driving means 430 may be provided.

본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는 대형 기판의 제조를 위한 것으로 그 면적이 크므로, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)이 상기 상부 개폐부(420)의 각 모서리 근처에 1개씩 4개가 구비되는 것이 무게 중심을 잡기 쉽고, 각 제1 개폐부 구동수단(430)에 가해지는 하중을 분산시킬 수 있어서 바람직하다. Since the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention is for manufacturing a large substrate and its area is large, as shown in FIG. 4, the first opening / closing driving means 430 is formed at each corner of the upper opening / closing portion 420. It is preferable to be provided with four one by one near the center of gravity and to distribute the load applied to each of the first opening and closing drive means 430.

또한, 상기 제1, 2 로드락 챔버(400, 500)의 외부에는 도 3에 도시된 바와 같이, 외부 프레임(600)이 더 구비되고, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)와 상기 외부 프레임(600)에 각각 연결되며, 상기 외부 프레임(600)에 결합되어 지지된다. In addition, as illustrated in FIG. 3, an outer frame 600 is further provided outside the first and second load lock chambers 400 and 500, and the first opening / closing driving unit 430 is configured to cover the upper opening / closing unit ( 420 and the outer frame 600, respectively, are coupled to and supported by the outer frame 600.

그리고 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상하로 구동될 수 있도록 구비되어 있어서, 자신에 결합되어 있는 상부 개폐부(420)를 개폐하는데, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 외부 프레임(600)에 구비된 제1 지그(610)에 의하여 연결되며, 상기 외부 프레임(600)의 상부로 돌출되면서 상승하고 하강된다. The first opening and closing part driving means 430 is provided to be driven up and down, and opens and closes the upper opening and closing part 420 coupled to the first opening and closing part driving means 430, as shown in FIG. 5, in the outer frame 600. It is connected by the first jig 610 provided, and ascending and descending while protruding to the upper portion of the outer frame 600.

다음으로 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상부 개폐부(420)의 하부에서 상기 상부 개폐부(420)와 연결되며, 그 소정 부분에 제1 기판지지부재(442)가 구비된다. 즉, 상기 제1 기판지지봉(440)은 상기 제1 로드락 챔버(400) 내부에 기판(444)을 위치시킬 수 있도록 구비되는 것이며, 상기 제1 기판지지부재(442)는 실제로 기판(444)과 접촉되는 부분이다. Next, as shown in FIG. 3, the first substrate support rod 440 is connected to the upper opening / closing portion 420 at a lower portion of the upper opening / closing portion 420, and the first substrate supporting member 442 is disposed at a predetermined portion thereof. Is provided. That is, the first substrate support rod 440 is provided to position the substrate 444 inside the first load lock chamber 400, and the first substrate support member 442 is actually the substrate 444. This part is in contact with.

또한 상기 제1 기판지지부재(442)는 각 제1 기판지지봉(440)에 하나가 형성될 수도 있지만, 하나의 로드락 챔버에 여러개의 기판을 동시에 지지하기 위하여 다수개가 형성될 수도 있다. In addition, one first substrate support member 442 may be formed in each of the first substrate support rods 440, but a plurality of first substrate support members 442 may be formed to simultaneously support multiple substrates in one load lock chamber.

또한 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 6에 도시된 바와 같이, 상하방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. 이는 상기 제1 기판 지지봉(440)에 위치한 기판(444)를 반송챔버(200)에 구비되어 있는 반송로봇(210)에 인계하거나 상기 반송로봇(210)으로 인계받는 경우 등 그 높이를 조절할 필요가 있을때 높이를 조절함으로써 기판의 전달을 효율적으로 하기 위함이며, 더 나아가서는 상기 상부 개폐부(420)를 개방하고 제1 로드락 챔버(400)의 내부를 보수하는 경우에 상기 제1 기판지지봉(440)을 상부로 이동시킴으로써 보수작업이 보다 용이하게 이루어지게 하기 위함이다. In addition, the first substrate support rod 440 is preferably provided to be driven in the vertical direction, as shown in FIG. It is necessary to adjust the height of the substrate 444 positioned on the first substrate support rod 440 to the transfer robot 210 provided in the transfer chamber 200 or to take over the transfer robot 210. In order to efficiently transfer the substrate by adjusting the height, the first substrate support rod 440 when the upper opening / closing portion 420 is opened and the interior of the first load lock chamber 400 is repaired. This is to make the maintenance work easier by moving to the top.

또한 상기 제1 기판지지봉(440)을 상하로 구동시키면 상기 상부 개폐부(420)를 개방하는 경우 상부 개폐부(420)를 상승시키는 높이를 낮출 수 있어서, 본 발명의 평판표시소자 제조장치가 설치되는 클린룸의 높이를 낮출 수 있는 장점이 있다. In addition, when the first substrate support rod 440 is driven up and down, the height of raising the upper opening / closing portion 420 may be lowered when the upper opening / closing portion 420 is opened. The advantage is that the height of the room can be lowered.

또한 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 7a, 7b에 도시된 바와 같이, 상기 상부 개폐부(420) 중 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 연결되는 부분에 제1 기판지지봉 통과홈(422)을 형성시키고, 상기 제1 기판지지봉 통과홈(422)을 관통하도록 구비되되, 상기 제1 기판지지봉 통과홈(422)의 외주부분과 상기 제1 기판지지봉(440)의 소정부분을 밀봉시키는 제1 벨로우즈 모듈(446)이 더 구비되며, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 더욱 바람직하다. In addition, as shown in FIGS. 7A and 7B, the first substrate support rod 440 includes a first substrate support rod passage groove 422 at a portion of the upper opening portion 420 connected to the first opening and closing part driving means 430. The first substrate support bar is formed to pass through the groove 422, the outer periphery of the first substrate support rod through groove 422 and the first portion sealing the predetermined portion of the first substrate support rod 440 The bellows module 446 is further provided, and it is more preferable that the bellows module 446 is provided to overlap the inside of the first opening / closing driving means 430 and to be driven up and down.

즉, 상기 제1 기판지지봉(440)이 상승하는 경우 그 상승하는 부분이 상기 제1 개폐부 구동수단(430)의 내부에 형성된 홈을 통해서 삽입되도록 하여 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 제1 기판지지봉(440)이 동시에 상승하는 경우에 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 제1 기판지지봉(440)이 중첩되도록 하여 상승되는 전체 높이가 더욱 낮아져서 본 발명의 평판표시소자가 설치되는 클린룸의 높이를 더욱 낮출 수 있으며, 상기 상부 개폐부(420)를 들어올리는 높이가 낮으므로 개폐 동작 자체도 짧은 시간에 용이하게 이루어지는 장점이 있다. That is, when the first substrate support rod 440 is raised so that the rising portion is inserted through the groove formed in the first opening and closing driving means 430, as shown in Figure 7b, the first opening and closing portion When the driving means 430 and the first substrate support rod 440 are raised at the same time, the total height raised by overlapping the first opening / closing drive means 430 and the first substrate support rod 440 is further lowered. The height of the clean room in which the flat panel display device is installed may be further lowered, and the height of lifting the upper opening / closing portion 420 is low, so that the opening and closing operation itself may be easily performed in a short time.

그리고 상기 제1 기판 지지봉(440)의 말단에는 도 3에 도시된 바와 같이, 하부판(460)이 구비된다. 하부판(460)은 넓은 판상의 형상이며, 그 크기는 제1 기판 지지봉(440)에 의하여 지지되는 기판보다 넓은 크기이어야 한다. 하부판(460)은 제1 기판 지지봉(440)의 가장 말단에 형성되어 상기 제1 기판 지지봉(440)에 지지된 기판이 파손되는 경우 그 파편이 하부판(460)에 떨어지도록 하는 것이다. A lower plate 460 is provided at the end of the first substrate support rod 440, as shown in FIG. 3. The lower plate 460 has a wide plate shape, and the size of the lower plate 460 should be wider than that of the substrate supported by the first substrate support rod 440. The lower plate 460 is formed at the extreme end of the first substrate support rod 440 so that the fragments fall on the lower plate 460 when the substrate supported by the first substrate support rod 440 is broken.

따라서 파손된 기판의 제거작업시 상기 제1 개구부(410)를 상승시킨 후 상기 하부판(460) 상부면에 떨어져 있는 기판의 파편을 제거하면 되는 것이다. 그러므로 제1 로드락 챔버로 기판의 제거를 위해 작업자가 들어갈 필요가 없다. Therefore, when removing the damaged substrate, the first opening 410 is raised, and then the fragments of the substrate separated from the upper surface of the lower plate 460 may be removed. Therefore, there is no need for an operator to enter the first load lock chamber for removal of the substrate.

다음으로 상기 제2 개구부(510)는 제2 로드락 챔버(500)의 하부면 소정 부분에 형성되며, 그 형상이나 크기는 상기 제1 개구부(410)와 동일하게 형성되는 것이 바람직하다. Next, the second opening 510 is formed in a predetermined portion of the lower surface of the second load lock chamber 500, and its shape or size is preferably the same as that of the first opening 410.

또한, 상기 하부 개폐부(520)는 상기 제2 개구부(510)를 밀폐할 수 있도록 제2 개구부(510)보다 큰 면적으로 구비되는데, 그 구조나 역할은 상기 상부 개폐부(420)와 동일하다. 다만, 상기 하부 개폐부(520)는 상부 개폐부(420)와 달리 하측 방향으로 개폐된다. In addition, the lower opening and closing portion 520 is provided with a larger area than the second opening 510 to seal the second opening 510, the structure or role is the same as the upper opening and closing portion 420. However, the lower opening and closing portion 520 is opened and closed in a downward direction unlike the upper opening and closing portion 420.

또한 상기 제2 개폐부 구동수단(530)은 상기 하부 개폐부(520)의 하부에서 상기 하부 개폐부(520)와 연결되며, 상기 하부 개폐부(520)를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비된다. 이때 상기 제2 개폐부 구동수단(530)은 제1 개폐부 구동수단(430)과 동일한 구조이며, 동일한 역할을 한다. 다만, 그 구동 방향이 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 반대이고, 상기 외부 프레임(600)에 결합된 하부 프레임(560)에 제2 지그(550)에 결합되어 지지될 수도 있고, 지면에 설치된 지지대(도면에 미도시)에 결합되어 지지될 수도 있는 점은 상이하다. In addition, the second opening and closing unit driving means 530 is connected to the lower opening and closing portion 520 at the lower portion of the lower opening and closing portion 520, it is provided to drive the lower opening and closing portion 520 up and down. At this time, the second opening and closing drive means 530 has the same structure as the first opening and closing drive means 430, and plays the same role. However, the driving direction thereof is opposite to the first opening / closing driving means 430, and may be supported by being coupled to the second jig 550 to the lower frame 560 coupled to the outer frame 600, or to the ground. The points that may be coupled to and supported by the installed support (not shown in the drawings) are different.

다음으로 상기 제2 기판지지봉(540)도 상기 제1 기판지지봉(440)과 동일한 구조이므로, 상기 하부 개폐부(520)의 상부에서 상기 하부 개폐부(520)와 연결되며, 그 소정 부분에 제2 기판지지부재(542)가 구비된다. 또한 상기 제2 기판지지봉(540)도 상하 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. Next, since the second substrate support rod 540 also has the same structure as the first substrate support rod 440, the second substrate support rod 540 is connected to the lower opening and closing portion 520 at an upper portion of the lower opening and closing portion 520, and the second substrate is disposed at a predetermined portion thereof. A support member 542 is provided. In addition, the second substrate support rod 540 is also preferably provided to be driven in the vertical direction.

또한 상기 제2 기판지지봉(540)도 상기 제1 기판지지봉(440)과 마찬가지로, 상기 하부 개폐부(520) 중 상기 제2 개폐부 구동수단(530)과 연결되는 부분에 제2 기판지지봉 통과홈(도면에 미도시)을 형성시키고, 상기 제2 기판지지봉 통과홈을 관통하도록 구비되되, 상기 제2 기판지지봉 통과홈의 외주부분과 상기 제2 기판지지봉(540)의 소정부분을 밀봉시키는 제2 벨로우즈 모듈(도면에 미도시)이 더 구비되며, 상기 제2 개폐부 구동수단(530)의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. In addition, similar to the first substrate support rod 440, the second substrate support rod 540 also includes a second substrate support rod through-groove in a portion of the lower opening / closing portion 520 connected to the second opening / closing driving means 530. And a second bellows module provided to pass through the second substrate support rod through groove, and sealing an outer circumferential portion of the second substrate support rod through groove and a predetermined portion of the second substrate support rod 540. (Not shown in the figure) is further provided, it is preferably provided so that it can be driven up and down overlapping the inside of the second opening and closing drive means 530.

그리고 상기 상부 개폐부(420)와 하부 개폐부(520)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상부 개폐부(420)는 상부 방향으로 상승하여 열리고, 하부 개폐부(520)는 하부 방향으로 하강하여 열린다. And the upper opening and closing portion 420 and the lower opening and closing portion 520, as shown in Figure 8, the upper opening and closing portion 420 is opened up in the upward direction, the lower opening and closing portion 520 is lowered in the downward direction to open.

또한 상기 반송챔버(200)에 구비되는 반송로봇(210)은 상기 적층형 로드락 챔버(100) 또는 적층형 공정 챔버(300) 사이 에서 기판을 반송하기 위하여는 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 상부에 설치된 제1 로드락 챔버(400)와 제1 공정 챔버(700) 및 하부에 설치된 제2 로드락 챔버(500)와 제2 공정 챔버(800) 모두에서 기판을 반출하거나 반입하기 위해서는 상기 반송로봇(210)이 상하로 구동하면서 기판을 반송하여야 하기 때문이다. In addition, the conveying robot 210 provided in the conveying chamber 200 is preferably provided to be driven up and down in order to convey the substrate between the stacked load lock chamber 100 or the stacked process chamber 300. . That is, in order to carry out or carry in a substrate from both the first load lock chamber 400 and the first process chamber 700 installed in the upper part, and the second load lock chamber 500 and the second process chamber 800 installed in the lower part, This is because the transfer robot 210 must transfer the substrate while driving up and down.

본 발명에 의하면 로드락 챔버의 진공분위기 형성을 위한 펌핑시간 때문에 기판의 반송에 많은 시간이 소요되고, 기판의 처리 효율이 낮아지는 문제점이 해결된다. 즉, 상부에 설치된 제1 로드락 챔버를 한번 이용하여 기판을 반송하고, 제1 로드락 챔버가 다음 기판 반송을 위한 세팅이 진행되는 동안에는 하부에 설치된 제2 로드락 챔버를 이용하여 기판을 반송하면 펌핑시간에 의한 공정 지연을 방지할 수 있는 것이다.  According to the present invention, a pumping time for forming the vacuum atmosphere of the load lock chamber takes a long time to transport the substrate, and the problem of lowering the processing efficiency of the substrate is solved. That is, when the substrate is conveyed by using the first load lock chamber installed in the upper portion, and the substrate is conveyed by using the second load lock chamber installed in the lower portion while the first load lock chamber is set for the next substrate conveyance. Process delay due to pumping time can be prevented.

또한 공정 챔버를 상하로 적층한 구조로 구비시킴으로써 하나의 평판표시소자 제조장치에서 2가지 공정을 수행하거나, 2개의 기판에 대한 공정을 처리할 수 있어서 기판의 처리 효율이 높아지는 장점이 있다. In addition, by providing a process chamber having a structure stacked up and down, it is possible to perform two processes in one flat panel display device manufacturing apparatus or process two substrates, thereby increasing the processing efficiency of the substrate.

더구나 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 대형화 되더라도 그 내부를 용이하게 유지 보수할 수 있도록 각 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 개방되는 구조로 구성되어 유지 보수작업이 용이해지는 장점이 있다. Moreover, even if the load lock chamber or the process chamber is enlarged, the load lock chamber or the process chamber is configured to be open so that the inside can be easily maintained.

Claims (13)

로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, In the flat panel display device manufacturing apparatus consisting of a load lock chamber, a transfer chamber, a process chamber, 상기 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 상하로 적층되어 형성되는 적층형 챔버이며, The load lock chamber or the process chamber may independently form a vacuum atmosphere, and a plurality of load lock chambers or process chambers that are independently driven are stacked and formed by stacked up and down, 상기 로드락 챔버는,The load lock chamber, - 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버;A first load lock chamber located at the top; ·상기 제1 로드락 챔버의 상부면 소정 부분에 형성된 제1 개구부; A first opening formed in a predetermined portion of an upper surface of the first load lock chamber; ·상기 제1 개구부를 밀폐할 수 있도록 제1 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 상부 개폐부; An upper opening / closing portion provided with a larger area than the first opening so as to seal the first opening; ·상기 상부 개폐부의 상부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 상기 상부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제1 개폐부 구동수단; A first opening / closing part driving means connected to the upper opening / closing part on the upper opening / closing part and provided to drive the upper opening / closing part up and down; ·상기 상부 개폐부의 하부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제1 기판지지부재가 구비되는 제1 기판지지봉; A first substrate supporting rod connected to the upper opening and closing portion below the upper opening and closing portion, the first substrate supporting member being provided at a predetermined portion thereof; - 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버;A second load lock chamber located below; ·상기 제2 로드락 챔버의 하부면 소정 부분에 형성된 제2 개구부; A second opening formed in a predetermined portion of a lower surface of the second load lock chamber; ·상기 제2 개구부를 밀폐할 수 있도록 제2 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 하부 개폐부; A lower opening / closing portion provided with a larger area than the second opening so as to seal the second opening; ·상기 하부 개폐부의 하부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 상기 하부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제2 개폐부 구동수단; A second opening / closing part driving means connected to the lower opening / closing part under the lower opening / closing part and provided to drive the lower opening / closing part up and down; ·상기 하부 개폐부의 상부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제2 기판지지부재가 구비되는 제2 기판지지봉; A second substrate supporting rod connected to the lower opening and closing portion at an upper portion of the lower opening and closing portion, and having a second substrate supporting member at a predetermined portion thereof; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.Flat panel display device manufacturing apparatus comprising a. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 적층형 로드락 챔버의 외부에는 외부 프레임이 더 구비되고, 상기 제1 개폐부 구동수단은 상기 외부 프레임에 결합되어 지지되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치. An outer frame is further provided outside of the stacked load lock chamber, and the first opening and closing unit driving means is coupled to the outer frame and supported. 제1항에 있어서, 상기 제1 개폐부 구동수단은,According to claim 1, The first opening and closing drive means, 소정 간격으로 다수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치. Flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that a plurality is provided at a predetermined interval. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판지지봉에는,The method of claim 1, wherein the first substrate support rod, 그 말단에 넓은 판상의 구조를 가지는 하부판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.Flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the lower plate is further provided with a wide plate-like structure at its end. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판지지봉은,The method of claim 1, wherein the first substrate support rod, 상하방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.Flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that it is provided to be driven in the vertical direction. 제6항에 있어서, 상기 제1 기판지지봉은,The method of claim 6, wherein the first substrate support rod, 상기 상부 개폐부 중 상기 제1 개폐부 구동수단과 연결되는 부분에 제1 기판지지봉 통과홈을 형성시키고, 상기 제1 기판지지봉 통과홈을 관통하도록 구비되되, 상기 제1 기판지지봉 통과홈의 외주부분과 상기 제1 기판지지봉의 소정부분을 밀봉시키는 제1 벨로우즈 모듈이 더 구비되며, 상기 제1 개폐부 구동수단의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.A first substrate support rod passing groove is formed in a portion of the upper opening and closing portion connected to the first opening and closing part driving means, and is provided to pass through the first substrate support rod passage groove, and an outer peripheral portion of the first substrate support rod passage groove and the A first bellows module for sealing a predetermined portion of the first substrate support rod is further provided, the flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that it is provided so as to overlap the inside of the first opening and closing drive means to be driven up and down. 제1항에 있어서, 상기 제2 개폐부 구동수단은,According to claim 1, The second opening and closing drive means, 지면에 구비된 지지대에 지지되거나, 외부 프레임에 결합되어 지지되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치. Flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that supported by a support provided on the ground, or coupled to the outer frame. 제1항에 있어서, 상기 제2 기판지지봉에는,The method of claim 1, wherein the second substrate support rod, 다수개의 기판을 동시에 지지할 수 있도록 다수개의 제2 기판 지지부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.A flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that a plurality of second substrate supporting members are provided to support a plurality of substrates at the same time. 제1항에 있어서, 상기 제2 기판지지봉은,The method of claim 1, wherein the second substrate support rod, 상하방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.Flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that it is provided to be driven in the vertical direction. 제11항에 있어서, 상기 제2 기판지지봉은,The method of claim 11, wherein the second substrate support rod, 하부 개폐부 중 제2 개폐부 구동수단과 연결되는 부분에 제2 기판지지봉 통과홈을 형성시키고, 제2 기판지지봉 통과홈을 관통하도록 구비되되, 제2 기판지지봉 통과홈의 외주부분과 상기 제2 기판지지봉의 소정부분을 밀봉시키는 제2 벨로우즈 모듈이 더 구비되며, 상기 제2 개폐부 구동수단의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.A second substrate support rod passing groove is formed in a portion of the lower opening and closing portion connected to the second opening and closing part driving means, and is provided to pass through the second substrate support rod passage groove, and an outer circumferential portion of the second substrate support rod passage groove and the second substrate support rod are provided. A second bellows module is further provided to seal a predetermined portion of the flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that it is provided to be driven up and down by overlapping the inside of the second opening and closing drive means. 삭제delete
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