KR100485221B1 - 작업장치의 위치보정장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 작업장치를 탑재한 이동체를 규칙적인 패턴이 형성된 상면위에 소정의 작업위치에 정지시켜 소정의 작업을 하는 작업장치의 위치보정장치 및 교시데이터를 무인반송차의 정지위치의 오차에 기하여 보정하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 그 목적으로하는 바는 시스템 전체의 작업시간을 증가시키지 않고 이동체의 정지위치의 오차에 의해 작업장치의 위치오차를 보정하여 항상 정확한 작업을 하는 것이 가능한 작업장치의 위치보정장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
따라서, 본 발명은 이동체쪽에 설치되어 상면 위의 화상을 촬상하는 촬상수단과, 작업장치의 교시시에 이동체를 정지시킨 상태에서 얻어진 규칙적인 패턴과 인식마크의 화상을 포함하는 촬상화상을 취득하는 교시시의 화상취득수단 및 정지시의 화상취득수단과, 상기 교시시 및 정지시의 화상취득수단에 의해 얻어진 규칙적인 패턴들을 인식마크의 위치에 기하여 비교하고, 결과에따라 데이터를 보정하는 교시데이터 보정수단과를 구비하여 이루어지도록 구성되어 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명은 작업장치등의 가동부의 동작을 수반하지 않아서 고속으로 보정처리가 되고, 데이터의 보정처리는 동작절환 시간을 이용하여 행해지고 또 작업장치는 이미 보정된 데이터에 따라 작업을 하기때문에 시스템 전체의 작업시간을 증가시키지 않게 된다.

Description

작업장치의 위치보정장치 및 그 방법
본 발명은 작업장치를 탑재한 이동체를 규칙적인 패턴이 형성된 상면위 소정의 작업위치에 정지시켜 미리 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태로 교시된 상기 작업장치의 교시데이터에 따라서 소정의 작업을 하는 작업장치의 위치보정장치 및 교시데이터를 상기 무인반송차의 정지위치의 어긋남에 기하여 보정하는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
종래로부터 제조공정등에서는 로버트(작업장치)를 탑재한 무인반송차(이동체)를 소정의 작업위치에 정지시켜 당해 정지위치에서 상기 작업로보트에 의해 소정의 작업을 하도록 무인반송차 탑재로보트등이 이용되고 있다. 이러한 종류의 장치에서는 상기 로보트는 미리 상기 무인반송차를 상기 작업위치에 정지시킨 상태로 교시된 교시데이터에 따라서 작업을 한다. 그렇지만, 통상 상기 무인반송차의 위치결정 정밀도는 낮고, 상기 무인반송차를 상기 교시데이터 취득시의 정지위치에 정확히 정지시키는 것이 곤란하기때문에 무인반송차의 정지위치와 작업대상위치의 상대위치 관계는 그때마다 변화한다. 따라서, 상기 교시데이터에 상기 무인반송차의 정지위치의 오차분을 흡수하도록 보정을 할 필요가 있다. 이러한 무인반송차 탑재로보트의 위치보정방법으로서는, 예컨데 일본국 특공평 8-9151호 공보에 기재된 발명(이하, 종래기술이라 함)이 있다.
상기 종래기술에 관한 암 부착 무인반송차(A0)는 도 9에 도시한 바와같이 구성되어 있다. 무인반송차(31)에는 암(32)이 탑재되어 있고, 이 암(32)은 수평선회, 전후회동 및 상하회동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 상기 암(32)의 선단부에는 핸드(33)와 촬상부(34)가 취부되어 있다. 게다가, 작업대(35) 위의 소정위치에는 상기 암(32)의 핸드(33)에 의해 파지되어 이동되는 워크(Work ; 36)가 적치되어 있다. 또한, 상기 작업대(35)의 상면에는 2점(37a, 37b)으로 되는 마크(37)가 설치되어 있다. 상기 무인반송차(31)는 복수의 작업대(35) 사이를 주행하고, 각 작업대(35)의 앞 소정위치에 정지하여 소정의 작업을 한다.
이상과 같은 구성을 가지는 암부착 무인반송차(A0)에 있어서, 작업대(35)의 앞 정지위치인 상기 교시데이터 취득시의 정지위치에서의 오차량에 관계없이 상기 암(32)에 의한 작업을 정확히 하기위한 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 작업에 앞서 행해지는 암(32)의 동작교시시에 통상 작업대상위치의 교시와 함께 마크(37)의 독취(讀取) 작업점을 교시한다. 즉, 촬상부(34)를 마크(37)의 직상으로 이동하고, 이 위치를 교시하면서 촬상부(34)에 의한 마크(37)의 촬상을 하고, 얻어진 촬상화상에 소정의 화상처리를 실시하여 상기 마크(37a, 37b)의 상기 촬상화상위의 위치좌표(교시시의 좌표위치로 함)를 구해 기억한다.
다음에, 작업시에 있어서, 무인반송차(31)가 상기 작업대(35) 앞에 정지한 후, 먼저 상기 암(32)은 상기 교시된 순서에따라 촬상부(34)를 마크(37)의 위쪽으로 이동시켜 마크(37)를 촬상하고, 얻어진 촬상화상에 소정의 화상처리를 실시하여 상기 마크(37a, 37b)의 상기 촬상화상위의 위치좌표(작업시의 좌표위치로 함)를 구한다. 여기서, 무인반송차(31)의 위치결정 정밀도는 일반적으로 낮기 때문에 상기 교시시에 구한 상기 교시좌표위치와 상기 작업시의 좌표위치는 일치하지않는 것이 많다. 이 경우에는, 상기 교시시의 좌표위치와 상기 작업시의 좌표위치의 오차량에 기하여 변환식을 구해 이 변환식에 의해 상기 암(32)의 교시데이터(작업대상위치를 나타내는 데이터)를 보정한다.
이상의 처리를 함에의해 무인반송차(31)의 정지위치의 오차량에 관계없이 상기 암(32)에 의한 작업을 정확히 하는 것이 가능하게 된다.
그렇지만, 상기 종래기술에 관한 방법에서는 무인반송차(31)가 작업대(35) 앞에 정지한 후, 상기 암(32)에 의해 실제의 작업을 개시하기 전에 이 암(32)을 동작시킴에 의해 아래의 처리를 할 필요가 있다.
① 암(32)을 동작시켜 촬상부(34)를 마크(37)의 위쪽으로 이동시킨다.
② 상기 촬상부(34)에 의한 마크(37)를 촬상하고, 화상처리를 한다.
③ 교시데이터의 보정을 한다.
이들 처리는 암(32)의 동작을 동반하기 위해 시간이 걸리고, 또 그 시간은 다음의 작업으로 옮겨질수 없으므로, 시스템 전체의 작업시간 증가의 요인으로 되고 있다.
통상, 암에는 링부와 구동부등의 제어오차의 원인이 되는 작용점에 가장 가까운 암 선단부에서 오차수정을 함이 정밀도상 이상적이고, 종래에도 그러한 사고에따른 상술한 바와같은 보정처리가 행해져 왔다. 그러나, 근년의 기술향상에 의해 상기 제어오차를 작게함이 가능하게 되고, 반드시 암 선단부에서만 오차수정을 할 필요가 없게 되었다는 배경도 있다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적으로하는 바는 시스템 전체의 작업시간을 증가시키지 않고 이동체의 정지위치의 오차에 의해 작업장치의 위치오차를 보정하여 항상 정확한 작업을 하는 것이 가능한 작업장치의 위치보정장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 장치는 작업장치를 탑재한 이동체를 규칙적인 패턴이 형성된 상면 위 소정의 작업위치에 정지시키고, 미리 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 교시된 상기 작업장치의 교시데이터에 따라 소정의 작업을 하는 작업장치의 위치보정장치에 있어서, 상기 이동체쪽의 상기 상면 근방에 설치되어 상기 이동체가 정지하는 상면 위의 화상을 촬상하는 촬상수단과, 상기 작업장치의 교시데이터의 교시시에 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 상기 촬상수단에 의해 얻어진 상기 규칙적인 패턴과 상면 위 상기 소정의 작업위치 근방에 설치된 인식마크와의 화상을 포함하는 교시시의 촬상화상을 취득하는 교시시의 화상취득수단과, 상기 이동체의 정지시에 그 정지위치에서 상기 촬상수단에 의해 얻어진 상기 규칙적인 패턴과 상기 인식마크와의 화상을 포함하는 정지시의 촬상화상을 취득하는 정지시의 화상취득수단과, 상기 교시시의 화상취득수단에 의해 얻어진 교시시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과, 상기 정지시의 화상취득수단에 의해 얻어진 정지시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과를 상기 인식마크의 위치에 기하여 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하는 교시데이터 보정수단과를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로하는 작업장치의 위치보정장치로서 구성되어 있다.
또한, 상기 교시데이터 보정수단은 상기 교시시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴으로 얻어진 소정의 위치정보 혹은 화상정보와, 상기 정지시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴으로 얻어진 소정의 위치정보 혹은 화상정보와를 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하도록 구성할 수 있다.
또한, 상기 소정의 패턴이 형성된 상면으로서는 반도체 크린룸(Clean Room)등에서 통상 이용되고 있는 펀칭(Punching)재 혹은 그래이팅(Grating)재를 그대로 이용할 수 있다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 방법은 작업장치를 탑재한 이동체를 규칙적인 패턴이 형성된 상면 위 소정의 작업위치에 정지시키고, 미리 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 교시된 상기 작업장치의 교시데이터에 따라 소정의 작업을 하는 작업장치의 위치보정장치에 있어서, 상기 작업장치의 교시데이터 교시시에 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 상기 이동체쪽의 상기 상면 근방에 설치된 촬상수단에 의해 상기 이동체가 정지하는 상면 위의 상기 규칙적인 패턴과 상면 위 상기 소정의 작업위치 근방에 설치된 인식마크와를 포함하는 화상을 촬상하는 정지시의 촬상공정과, 상기 이동체의 정지시에 그 정지위치에서 상기 촬상수단에 의해 상기 이동체가 정지하는 상면 위의 상기 규칙적인 패턴과 상기 인식마크와를 포함하는 화상을 촬상하는 정지시의 촬상공정과, 상기 교시시의 화상공정에서 얻어진 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과, 상기 정지시의 촬상공정에서 얻어진 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과를 상기 인식마크의 위치에 기하여 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하는 교시데이터 보정수단과를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로하는 작업장치의 위치보정방법으로서 구성되어 있다.
본 발명에 관한 작업장치의 위치보정장치에서는, 먼저 작업장치에 대해 작업지시시에 이동체를 작업위치인 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 촬상수단에 의해 규칙적인 패턴과 인식마크와의 화상을 포함하는 상면의 화상이 촬상되고, 이 촬상화상은 교시시의 화상취득수단에 의해 취득된다. 다음에, 실제의 작업시에는 이동체의 정지시에 그 정지위치에서 상기 촬상수단에 의해 규칙적인 패턴과 인식마크와의 화상을 포함하는 상면의 화상이 촬상되고, 이 촬상화상은 정지시의 화상취득수단에 의해 취득된다. 그리고, 교시데이터 보정수단에 의해 상기 교시시의 화상취득수단에 의해 얻어진 촬상화상중의 상기 규칙적인 패턴과, 상기 정지시의 화상취득수단에 의해 얻어진 촬상화상중의 상기 규칙적인 패턴이 상기 인식마크의 위치에 기하여 비교되어, 이 비교결과에 기하여 작업장치의 교시데이터가 보정된다. 이때, 상기 교시데이터 보정수단은 상기 교시시의 촬상화상중의 상기 규칙적인 패턴으로 얻어진 소정의 위치정보 혹은 화상정보와, 상기 정지시의 촬상화상중의 상기 규칙적인 패턴으로 얻어진 소정의 위치정보 혹은 화상정보와를 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정한다. 이상과같이 작업장치등의 가동부를 동작시키지 않고 이동체의 정지후 작업장치의 동작개시까지의 근소한 시간에 고속으로 보정처리가 행해진다. 따라서, 작업장치는 이미 보정된 교시데이터에 따라서 즉시 이동적재작업을 개시할수 있으므로 시스템 전체의 작업시간을 증가시키지 않는다.
이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태 및 실시예에 대하여 설명하여 본 발명의 이해를 돕고자 한다. 그러나, 이하의 실시형태 및 실시예는 본 발명을 구체화한 일예이므로 본 발명의 기술적 범위를 이들로만 한정하는 것은 아니다.
여기서, 도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 암부착 무인반송차(A1)의 개략구성을 도시한 모식도이고, 도 2는 상기 암부착 무인반송차(A1)에 의한 정지위치 보정처리의 순서를 도시한 플로어챠트이고, 도 3은 교시시의 위치정보{위치좌표(Ｘ0,Ｙ0), 회전각 θ0}의 산출방식의 일례를 도시한 설명도이고, 도 4는 작업시의 위치정보{위치좌표(Ｘ0,Ｙ0), 회전각 θ0}의 산출방식의 일례를 도시한 설명도이고, 도 5∼도 8은 펀칭상(Grating床)의 패턴의 일례를 도시한 도면이다.
본 실시의 형태에서는 반도체 크린룸내에 있어서, 반도체 제조장치간 혹은 반도체 제조장치 - 스토커(Stocker) 사이에서 웨이퍼의 반송 및 이동적재를 하는 암부착 무인반송차(A1)를 예로 들어 설명한다.
상기 암부착 무인반송차(A1)에서는 도 1에 도시한 바와 같이 무인반송차(1 ; 이동체의 일례)의 상부에서 선단부에 핸드(3)를 가지는 암(2 ; 작업장치의 일례)이 탑재되어 있다. 이 암(2)은 상기 종래기술의 암(32 ; 도 9)과 동일한 작업을 하도록 구성되어 있지만, 촬상부(34)는 설치되어 있지 않다. 또한, 상기 무인반송차(1)의 하부 중앙부근(조명등의 영향을 받기쉬운 위치)에는 상면(9)에 대향하도록 링상의 조명장치(5)를 가지는 촬상부(4)가 고정적으로 설치되어 있고, 게다가 화상처리부(6), 기억부(7) 및 교시데이터보정부(8)가 설치되어 있다. 또한, 반도체 크린룸등에서는 통상 행해지고있는 바와같이, 상기 상면(9)에는 도 5∼도 8에 도시한 소정의 패턴에서 천공된 펀칭상이 격설되어 있다(이하의 설명에서는 도 5에 도시한 펀칭상재(床材)를 이용한다). 도 5에 도시한 바와같이, 이 펀칭상(9)에는 천공(11)에 의해 직행하는 횡테(12)와 종테(13)가 각각 평행으로 복수 형성되어 있다. 더구나 이 펀칭상(9)에는 상기 무인반송차(1)의 정지위치 부근이고 또 임의의 상기 횡테(12)와 종테(13)의 교차부(14)부근에 도 5에 도시한 바와같은 인식마크(10)가 설치되어 있다. 이 인식마크(10)는 상기 교차부(14)을 특정할 수 있을 정도로 이 교차부(14) 부근에 적당히 설치되면 좋다.
상기 각 구성요소에 대하여 보다 상세히 설명한다.
상기 암(2)에는 미리 소정의 작업위치에 상기 무인반송차(1)를 정지시킨 상태에서 웨이퍼(도시하지 않음)를 무인반송차(1)에서 작업대(도시하지 않음)로 이동적재하는 동작이 교시된다. 실제의 이동적재작업시에는 상기 암(2)은 그 교시데이터에 따라 작업을 한다.
상기 촬상부(4)에서는 상기 암(2)의 동작교시시 및 이동적재작업시 소정의 작업위치에서의 정지시에 상기 인식마크(10)를 포함하는 상기 펀칭상(9)의 화상이 촬상된다.
상기 화상처리부(6)에서는 상기 촬상부(4)에 의해 촬상후, 상기 촬상부(4)에서 취입된 촬상화상에 화상처리가 실시됨에 의해 상기 인식마크(10)가 설치된 교차부(14)를 형성하고 있는 횡테(12) 및 종테(13)로부터 직선 H, 직선 V가 각각 추출되고, 촬상화상위의 국소좌표계에서 상기 직선 H, 직선 V의 교점 Q의 위치좌표 및 회전각(이하 위치정보라 함)이 구해진다. 상기 암(2)의 동작 교시시에 얻어진 상기 위치정보는 기억부(7)에 기억된다.
상기 교시데이터보정부(8)에서는 이동적재작업시 상기 무인반송차(1)가 작업위치에 정지하여 상기 화상처리부(6)에 의해 처리가 된후, 상기 기억부(7)에 미리 기억된 상기 위치정보와 이번의 상기 화상처리부(6)에 의해 얻어진 위치정보와의 차, 즉 상기 무인반송차(1)의 정지위치의 오차량에 기하여 상기 암(2)의 교시데이터의 보정이 행해진다.
이하, 암부착 무인반송차(A1)에서 위치보정 동작에 대하여 도 2에 도시한 플로어챠트를 이용하여 보다 구체적으로 설명한다.
먼저, 실제의 이동적재작업에 앞서서, 소정의 작업위치에 무인반송차(1)를 정지시킨 상태로 상기 암(2)에 대하여 웨이퍼(도시하지 않음)를 무인반송차(1)에서 작업대로 이동적재하는 동작이 교시된다. 이때, 촬상부(4)에 의해 펀칭상(9)의 화상이 촬상된다(스텝 S1). 이어서, 화상처리부(6)에서 상기 촬상부(4)로부터 취입된 촬상화상에 화상처리를 실시함에 의해 상기 인식마크(10)가 설치된 교차부(14)를 형성하고 있는 횡테(12) 및 종테(13)에서 직선 H, 직선V가 각각 추출되고, 촬상화상위의 국소좌표계에서 상기 직선 H와 직선V와의 교점 Q의 위치정보{위치좌표(Ｘ0,Ｙ0), 회전각 θ0}가 구해진다(스텝 S2). 이 위치정보는 도 3에 도시한 바와같이, 촬상영역 P의 국소좌표계 CS에서 상기 교점 Q의 위치좌표(X0, Y0) 및 상기 직선 H와 상기 국소좌표계 CS의 X축과 이루는 회전각 θ0의 형으로 구해진다. 이리하여 구해진 상기 위치정보는 기억부(7)에 기억된다(스텝 S3).
다음에, 실제의 작업시에서는, 무인반송차(1)가 소정의 작업위치에 정지한때, 촬상부(4)에 의해 펀칭상(9)의 화상이 촬상된다(스텝 S4).
이어서, 화상처리부(6)에서 상기 촬상부(4)로부터 취입된 촬상화상에 화상처리를 실시함에의해 상기 인식마크(10)가 설치된 교차부(14)를 형성하고 있는 횡테(12) 및 종테(13)에서 직선 H, 직선V가 각각 추출되고, 촬상화상위의 국소좌표계에서 상기 직선 H와 직선V와의 교점 Q의 위치정보{위치좌표(Ｘ1, Ｙ1), 회전각 θ1}가 구해진다(스텝 S5). 이 위치정보는 상기 스텝 S2와 동일하게 도 4에 도시한 바와같이, 촬상영역 P의 국소좌표계 CS에서 상기 교점 Q의 위치좌표(Ｘ1, Ｙ1) 및 상기 직선 H와 상기 국소좌표계 CS의 Ｘ축과 이루는 회전각 θ1의 형으로 구해진다. 여기서, 무인반송차(1)의 위치결정 정밀도는 일반적으로 낮기때문에 상기 교시시의 스텝 S2에서 구한 상기 위치정보{위치좌표(Ｘ0, Ｙ0), 회전각 θ0}와, 이번 스텝 S5에서 구한 위치정보{위치좌표(Ｘ1, Ｙ1), 회전각 θ1}는 일치하지 않는 것이 많다. 그래서, 교시데이터보정부(8)에서 상기 교시시의 스텝 S2에서 구해져 기억부(7)에 기억된 위치정보{위치좌표(Ｘ0, Ｙ0), 회전각 θ0}와 이번 스텝 S5에서 구한 위치정보{위치좌표(Ｘ1, Ｙ1), 회전각 θ1}와의 차, 즉 무인반송차(1)의 교시시와 작업시의 정지위치의 오차량이 구해져 이에기해 상기 암(2)의 교시데이터가 수정된다(스텝 S6). 상기 암(2)은 스텝 S6에서 보정된 교시데이터에 따라서 이동적재작업을 한다(스텝 S7). 이후, 무인반송차(1)가 이동할시 상기 스텝 S4∼스텝 S7이 반복된다.
이상 설명한 바와같이. 본 실시의 형태에관한 암 부착 무인반송차(A1)는 무인반송차(1)의 상면 근방에 설치된 촬상부(4)에 의해 얻어진 상면인 촬상화상을 이용하여 암(2)의 교시데이터가 보정되므로, 암(2)등의 가동부의 동작을 수반하지않고 고속으로 수정처리가 된다. 또한, 상기 교시데이터의 보정처리는 무인반송차(1)가 정지하고부터 암(2)이 이동적재동작을 개시하기까지 사이에 존재하는 동작절환 시간안에 행해질수 있고, 또 암(2)은 이미 보정된 교시데이터에 따라서 이동적재작업을 개시할 수 있기때문에 시스템 전체의 작업시간을 증가시키지 않는다.
또한, 반도체 크린룸등에서 통상 이용되고 있는 펀칭상의 패턴과, 이 펀칭상에 설치된 인식마크를 이용하므로 반도체 제조장치등의 작업대상위치 부근에 인식마크등을 설치할 필요가 없어서 공간효율이 향상된다.
게다가, 촬상부(4)가 조명등의 영향을 받기쉬운 무인반송차(1)의 하부에 설치되므로 조명조건을 일정하게 할 수 있어 안정된 화상이 얻어지고 항상 정확한 처리가 가능하게 된다.
[실시예]
상기 실시의 형태에서는 교시시 및 작업시에 각각 촬상화상에서 얻어진 위치정보(위치좌표 및 회전각)를 구하여 기억하고, 이들 차에 기하여 암(2)의 교시데이터의 수정이 행해지지만, 교시시 및 작업시의 촬상화상의 위치정보 그것을 기억하고, 이 화상정보를 직접비교하여 그 차를 구해 이에기해 암(2)의 교시데이터의 수정을 하도록 해도 좋다.
또한, 상기 실시의 형태에서는 반도체 크린룸등에 통상 이용되는 펀칭상의 패턴과, 그 일부에 설치된 인식마크를 이용하여 상기 위치정보(위치좌표 및 회전각)를 구했지만, 이에 한하지 않고, 상면에 대한 촬상영역의 위치와 경사짐이 특정될 수 있는 것이라면 좋다. 예를들면, 2개의 점, 장방형, 화살표등의 인식마크를 무인반송차의 정지위치 근방에만 설치해도 좋다.
이상 설명한 바와같이, 본 발명은 작업장치를 작업장치를 탑재한 이동체를 규칙적인 패턴이 형성된 상면 위 소정의 작업위치에 정지시키고, 미리 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 교시된 상기 작업장치의 교시데이터에 따라 소정의 작업을 하는 작업장치의 위치보정장치에 있어서, 상기 이동체쪽의 상기 상면 근방에 설치되어 상기 이동체가 정지하는 상면 위의 화상을 촬상하는 촬상수단과, 상기 작업장치의 교시데이터의 교시시에 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태로 상기 촬상수단에 의해 얻어진 상기 규칙적인 패턴과 상면 위 상기 소정의 작업위치 근방에 설치된 인식마크와의 화상을 포함하는 교시시의 촬상화상을 취득하는 교시시의 화상취득수단과, 상기 이동체의 정지시에 그 정지위치에서 상기 촬상수단에 의해 얻어진 상기 규칙적인 패턴과 상기 인식마크의 화상을 포함하는 정지시의 촬상화상을 취득하는 정지시의 화상취득수단과, 상기 교시시의 화상취득수단에 의해 얻어진 교시시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과, 상기 정지시의 화상취득수단에 의해 얻어진 정지시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과를 상기 인식마크의 위치에 기하여 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하는 교시데이터 보정수단과를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로하는 작업장치의 위치보정장치로서 구성되어 있으므로, 작업장치들의 가동부의 동작을 수반하지 않아서 고속으로 보정처리가 된다. 또한, 상기 교시데이터의 보정처리는 이동체가 정지하고부터 작업장치가 동작을 개시하기까지 사이에 존재하는 동작절환 시간을 이용하여 행해질수 있기때문에, 또 작업장치는 이미 보정된 교시데이터에 따라서 이동적재작업을 개시할 수 있기때문에 시스템 전체의 작업 시간을 증가시키지 않는다. 또한, 조명조건을 일정하게 할 수 있어 안정된 화상이 얻어지고 항상 정확한 처리가 가능하게 된다. 게다가, 작업대 상부위치 부근에 인식마크등을 설치할 필요가 없어서 공간효율이 향상된다.
또한, 상기 교시데이터 보정수단이 상기 교시시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴으로 얻어진 소정의 위치정보 혹은 화상정보와, 상기 정지시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴으로 얻어진 소정의 위치정보 혹은 화상정보와를 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하므로 용이하고도 고속으로 처리가 가능하게 된다.
또한, 상기 소정의 패턴이 형성된 상면으로서는 반도체 크린룸등에서 이용되고 있는 펀칭재 혹은 그래이팅재를 그대로 이용하면 특별한 공사등은 필요없다.
도 1은 본 발명에 관한 암이 붙은 무인반송차의 개략구성을 도시한 모식도,
도 2는 상기 암이 붙은 무인반송차에 의한 정지위치 보정처리의 순서를 도시한 플로어챠트,
도 3은 교시(敎示)시의 위치정보{위치좌표(Ｘ0, Ｙ0), 회전각 θ0}의 산출방법을 예시한 설명도,
도 4는 작업시의 위치정보{위치좌표(Ｘ1, Y1, 회전각 θ1}의 산출방법을 예시한 설명도,
도 5내지 도 9는 각각 펀칭상(Grating床)의 패턴의 예시도이다.
* 도면의 주요부호에 대한 설명
1. 무인반송차(이동체의 1예) 2. 암(Arm; 작업장치의 1예)
3. 핸드(Hand) 4. 촬상부(撮像部) 5. 링(Ling)상 조명장치
6. 화상처리부(교시시의 화상취득수단, 정지시의화상취득수단을 구성)
7. 기억부 8. 교시데이터 보정부 9. 상면(床面 ; 펀칭상) 10. 인식마크

Claims (5)

  1. 작업장치를 탑재한 이동체를 규칙적인 패턴이 형성된 상면 위 소정의 작업위치에 정지시키고, 미리 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 교시된 상기 작업장치의 교시데이터에 따라 소정의 작업을 하는 작업장치의 위치보정장치에 있어서,
    상기 이동체쪽의 상기 상면 근방에 설치되어 상기 이동체가 정지하는 상면 위의 화상을 촬상하는 촬상수단과,
    상기 작업장치의 교시데이터의 교시시에 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 상기 촬상수단에 의해 얻어진 상기 규칙적인 패턴과 상면 위 상기 소정의 작업위치 근방에 설치된 인식마크와의 화상을 포함하는 교시시의 촬상화상을 취득하는 교시시의 화상취득수단과,
    상기 이동체의 정지시에 그 정지위치에서 상기 촬상수단에 의해 얻어진 상기 규칙적인 패턴과 상기 인식마크와의 화상을 포함하는 정지시의 촬상화상을 취득하는 정지시의 화상취득수단과,
    상기 교시시의 화상취득수단에 의해 얻어진 교시시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과, 상기 정지시의 화상취득수단에 의해 얻어진 정지시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과를 상기 인식마크의 위치에 기하여 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하는 교시데이터 보정수단과를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로하는 작업장치의 위치보정장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 교시데이터 보정수단이 상기 교시시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴으로 얻어진 소정의 위치정보와, 상기 정지시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴으로 얻어진 소정의 위치정보와를 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하는 것을 특징으로하는 작업장치의 위치보정장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 교시데이터 보정수단이 상기 교시시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴의 화상정보와, 상기 정지시의 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴의 화상정보와를 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하는 것을 특징으로하는 작업장치의 위치보정장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항중 어느하나에 있어서, 상기 규칙적인 패턴이 형성된 상면이 펀칭(Punching)재 혹은 그래이팅(Grating)재에 의해 구성된 것임을 특징으로하는 작업장치의 위치보정장치.
  5. 작업장치를 탑재한 이동체를 규칙적인 패턴이 형성된 상면 위 소정의 작업위치에 정지시키고, 미리 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 교시된 상기 작업장치의 교시데이터에 따라 소정의 작업을 하는 작업장치의 위치보정장치에 있어서,
    상기 작업장치의 교시데이터 교시시에 상기 이동체를 상기 작업위치의 기준정지위치에 정지시킨 상태에서 상기 이동체쪽의 상기 상면 근방에 설치된 촬상수단에 의해 상기 이동체가 정지하는 상면 위의 상기 규칙적인 패턴과 상면 위 상기 소정의 작업위치 근방에 설치된 인식마크와를 포함하는 화상을 촬상하는 정지시의 촬상공정과,
    상기 이동체의 정지시에 그 정지위치에서 상기 촬상수단에 의해 상기 이동체가 정지하는 상면 위의 상기 규칙적인 패턴과 상기 인식마크와를 포함하는 화상을 촬상하는 정지시의 촬상공정과,
    상기 교시시의 화상공정에서 얻어진 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과, 상기 정지시의 촬상공정에서 얻어진 촬상화상중 상기 규칙적인 패턴과를 상기 인식마크의 위치에 기하여 비교하고, 이 비교결과에 기하여 상기 작업장치의 교시데이터를 보정하는 교시데이터 보정공정과를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로하는 작업장치의 위치보정방법.
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