KR100431352B1 - 온도센서 불량감지장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 온도조절장치에 관한 것으로, 특히 온도센서를 이용하여 온도를 조절하는 장치에서 온도센서의 고유저항의 변화를 감지하여 온도센서의 불량을 감지하는 기술이다. 온도센서의 불량상태를 감지하기 위해 반도체 제조공정 중 케미컬 용액 교환 시나 쳄버의 공정정지 시 설정된 시간동안 일정단위 시간마다 상기 온도센서의 온도 값을 검출하고, 상기 검출한 온도 값중에 최저온도와 상기 온도센서의 고유저항 변화를 감지하기 위해 미리 설정된 기준온도를 비교하여 상기 최저온도가 상기 기준온도를 벗어날 시 상기 온도센서의 불량으로 감지하여 불량상태 메시지를 표시하는 동시에 경보를 발생하도록 한다.
Description
본 발명은 온도조절장치에 관한 것으로, 특히 온도센서를 이용하여 온도를 조절하는 장치에서 온도센서의 고유저항의 변화를 감지하여 온도센서의 불량을 감지하는 온도센서 불량감지장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자는 다양한 단위공정을 수행함으로써 제조되고, 이러한 다양한 단위공정의 수행에서는 각종 케미컬(Chemical)을 이용한다. 여기서 상기 케미컬을 이용한 단위공정은 주로 상기 케미컬이 수용되는 베쓰를 이용하여 공정을 수행한다. 이러한 베쓰를 이용하는 반도체 제조공정에서는 불필요한 막을 제거하는 식각(Etching) 또는 웨이퍼의 표면세정(Cleaning)은 필수적인 공정이다.
여기서 세정 및 식각은 케미컬 베쓰의 순수, 케미컬 등을 흘러 넘치게 하여 공정이 수행되는 오버플로우 방식을 주로 이용한다.
상기와 같은 케미컬을 이용하는 습식장치인 웨트/크린스테이션(Wet/Clean Station)을 살펴보면, 먼저 세정을 위한 베쓰1및 베쓰2가 구비되고, QDR(Quick Drop Rinse)베쓰 및 파이널베쓰(Final Bath) 등이 구비된다.
이와 같은 베쓰에서 케미컬을 이용하여 세정공정이나 습식식각 공정을 수행할 시 해당 공정에 적합한 온도를 일정하게 유지시켜야만 원하는 공정효과를 얻을 수 있다. 즉, 케미컬의 특성상 온도와 식각율과의 관계는 비례하므로 온도가 상승 또는 하강하는 것에 따라 식각율이 달라져 오버에칭(overetching)이나 언에칭(unetching)이 발생하여 품질에 치명적인 악영향을 미치게 된다.
이러한 문제를 해결하기 위한 케미컬 온도조절장치가 대한민국 공개특허공보 1998-066186호에 개시되어 있다. 공개특허공보 1998-066186호를 참조하면, 주기적으로 상온의 온도 값을 측정하고 그 측정된 값에 따라 설정온도를 변화시켜 반도체 제조공정장비의 온도를 그 변환시킨 설정온도 값으로 유지시켜 최적의 공정조건온도로 제어하는 것을 개시하고 있다.
그런데 이러한 온도조절장치는 저항변화를 감지하여 온도가 높고 낮음을 표시하고 있다. 즉, 현재온도가 설정치보다 낮을 때 히터로 전원을 공급하여 히터를 구동시키고, 설정치보다 높을 때 히터로 전원를 차단하여 일정한 온도가 유지되도록 제어하고 있다. 이러한 온도조절장치는 온도센서로부터 검출되는 온도에 따라 히터를 온/오프하게 되는데, 히터가 온되는 상태를 역동작이라 하고 히터가 오프되어 냉각되는 것을 정동작이라 하면, 오옴의 법칙에 의해 전류(I)= 전압(V)/저항(R)이 되어 저항과 전류는 반비례동작을 한다. 이로 인해 역동작의 경우 도 1a와 같이 온도센서의 저항이 상승하면 전류가 하락하여 온도가 상승하고, 정동작의 경우 도 1b와 같이 온도센서의 저항이 하락하면 전류가 상승하여 온도가 하락한다.
따라서 온도센서가 부식(단선)되거나 환경변화에 의해 온도센서의 고유저항이 상승하면 실제온도가 높아지는데 고유저항이 3.8Ω상승 시 10℃가 상승한다. 고유저항의 상승으로 인해 실제온도가 높아진 상태에서 설정되어 있는 온도까지 제어하게 되면 케미컬베쓰의 용액의 온도는 실제 설정된 온도에 도달되지 않게 된다. 그리고 온도센서가 부식(쇼트)되거나 환경변화에 의해 고유저항이 감소되면 실제온도가 낮아지며, 실제온도가 낮아진 상태에서 설정되어 있는 온도까지 제어하게 되면 케미컬베쓰의 용액의 온도는 실제 설정된 온도보다 높아진다. 그러므로 케미컬베쓰의 용액의 온도가 실제 설정된 온도보다 높거나 낮음에도 불구하고 용액이 설정된 온도에 도달한 것으로 인식하여 반도체 제조공정에서 불량이 발생하는 문제가 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 케미컬 베쓰내 또는 공정쳄버 내에 설치된 온도센서의 고유저항 변화값을 측정하여 온도센서의 불량을 감지하는 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 케미컬베쓰나 공정쳄버 내에 설치된 온도센서의 불량상태를 감지하여 경보를 발생하는 온도센서의 불량감지장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 부식(단선 또는 쇼트)되거나 외부환경의 변화로 인한온도센서의 고유저항값 변화를 감지하여 온도센서의 불량상태를 인식하는 온도세서의 불량감지장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
도 1a는 온도센서의 역동작의 원리를 나타낸 그래프
도 1b는 온도센서의 역동작의 원리를 나타낸 그래프
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 케미컬온도 제어장치의 구성도
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 온도센서의 불량을 감지하여 경보를 발생하기 위한 제어 흐름도
도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도센서의 정상상태의 고유저항에 대응하는 온도 특성을 나타낸 그래프
도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도센서의 부식상태의 고유저항에 대응하는 온도 특성을 나타낸 그래프
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 케미컬용액 교환 시 시간변화에 따른 온도센서의 고유저항 온도특성 변화상태 특성도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10: 케미컬 베쓰 12: 온도센서
14: 히터 16: 히터구동부
18: 온도제어부 20: 표시부
22: 알람발생부
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 온도제어장치의 온도센서 불량감지장치는, 케미컬베쓰의 하단에 설치되어 케미컬용액의 온도를 센싱하는 온도센서와, 상기 온도센서로부터 검출된 온도값을 표시하기 위한 제어신호를 출력하고, 상기 온도센서의 고유저항 값에 대응하는 설정기준온도를 저장하고 있으며, 케미컬용액 교환 시나 공정진행 정지 시 설정된 시간동안 일정 단위시간마다 상기 온도센서로부터 검출된 온도 값을 고유저항값에 대응하는 설정기준온도와 비교하고 상기 온도센서의 불량상태를 판별하여 불량상태 표시제어신호 및 경보제어신호를 출력하는 온도제어부를 포함함을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 온도센서의 불량감지방법은, 반도체 제조공정 중 케미컬 용액 교환 시나 쳄버의 공정정지 시 설정된 시간동안 일정단위 시간마다 상기 온도센서의 온도 값을 검출하고, 상기 검출한 온도 값중에 최저온도와 상기 온도센서의 고유저항 변화를 감지하기 위해 미리 설정된 기준온도를 비교하여 상기 최저온도가 상기 기준온도를 벗어날 시 상기 온도센서의 불량으로 감지함을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 온도센서의 불량감지방법은, 히팅온도의 검출동작을 수행한 후 히팅동작 정지 시 히팅 온도가 냉각되어 상온까지 떨어지는 설정된 시간동안 일정단위 시간마다 상기 온도센서의 온도 값을 검출하고, 상기 검출한 온도 값중에 최저온도와 상기 온도센서의 고유저항 변화를 감지하기 위해 미리 설정된 기준온도를 비교하여 상기 최저온도가 상기 기준온도를 벗어날 시 상기 온도센서의 불량으로 감지함을 특징으로 한다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 케미컬온도 제어장치의 구성도이다.
케미컬용액을 저장하는 케미컬베쓰(10)와, 상기 케미컬베쓰(10)의 하단에 설치되어 케미컬용액의 온도를 센싱하는 온도센서(12)와, 상기 케미컬 베쓰(10)에 저장된 케미컬 용액을 가열하기 위한 히터(14)와, 상기 온도센서(12)로부터 센싱된 온도를 검출하여 미리 설정된 온도와 비교하여 히터구동 제어신호를 출력하며, 상기 온도센서(12)로부터 검출된 온도값을 표시하기 위한 제어신호를 출력하고, 상기 온도센서(12)의 고유저항값에 대응하는 설정기준온도를 저장하고 있으며, 케미컬용액 교환 시나 공정진행 정지 시 설정된 시간동안 일정 단위시간마다 상기 온도센서(12)로부터 검출된 온도값을 고유저항값에 대응하는 설정기준온도와 비교하고 상기 온도센서(12)의 불량상태를 판별하여 불량상태 표시제어신호 및 경보제어신호를 출력하는 온도제어부(18)와, 상기 온도제어부(18)의 제어를 받아 상기 히터(14)를 구동하기 위한 히터구동부(16)와, 상기 온도제어부(18)의 제어신호에 의해 상기 케미컬용액의 온도 및 상기 온도센서(12)의 불량상태 메시지를 표시하기 위한 표시부(20)와, 상기 온도제어부(18)로부터 온도센서(12)의 불량상태 판별에 따른 경보제어신호를 받아 경보를 발생하는 경보발생부(22)로 구성되어 있다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 온도센서의 불량을 감지하여 경보를 발생하기 위한 제어 흐름도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도센서의 정상상태의 고유저항에 대응하는 온도 특성을 나타낸 그래프이고,
도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도센서의 부식상태의 고유저항에 대응하는 온도 특성을 나타낸 그래프이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 케미컬용액 교환 시 시간변화에 따른 온도센서의 고유저항 온도특성 변화상태 특성도이다.
상술한 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 동작을 상세히 설명한다.
케미컬베쓰(10)는 케미컬용액을 저장한다. 이때 온도센서(12)는 상기 케미컬베쓰(10)의 하단에 설치되어 케미컬용액의 온도를 센싱하여 온도제어부(18)로 인가한다. 상기 온도제어부(18)상기 온도센서(12)로부터 센싱된 온도를 검출하여 케미컬용액의 온도를 일정온도로 유지하기 위해 미리 설정된 온도와 비교하여 히터구동 제어신호를 출력한다. 그러면 상기 히터구동부(16)는 온도제어부(18)의 제어를 받아 히터(14)를 구동한다. 히터(14)는 상기 케미컬 베쓰(10)에 저장된 케미컬 용액을 가열하여 설정된 온도로 조절한다. 그리고 온도제어부(18)는 온도센서(12)로부터 센싱된 온도값을 검출하여 케미컬용액의 온도를 일정온도로 유지하기 위해 미리 설정된 온도가 되면 히터구동부(16)를 오프시켜 케미컬베쓰(10)에 저장된 케미컬용액의 가열을 중단하도록 제어한다. 이렇게 하여 케미컬베쓰(10)에 저장된 케미컬용액이 일정온도를 유지하도록 온도를 조절한다.
이런 공정과정을 진행한 후 일정주기가 되면 공정동작을 정지하고 케미컬을 교환하여야 하는데, 케미컬용액 교환 시 케미컬 용액을 배출하고 새로운 케미컬용액을 케미컬베쓰(10)에 공급하여 설정된 시간이 경과하면 케미컬용액은 최저온도(예를 들어 상온인 25℃)로 떨어지게 된다. 그런 후 다시 온도제어부(18)가 히터구동부(16)를 제어하여 히터(14)를 구동시켜 케미컬용액의 온도를 상승시키게 된다. 이때 온도제어부(18)는 상기 온도센서(12)로부터 검출된 온도값을 표시하기 위한 제어신호를 출력하여 표시부(20)에 검출된 케미컬용액의 온도를 표시한다. 그리고 온도제어부(18)는 상기 온도센서(12)의 고유저항 값에 대응하는 설정기준온도를 저장하고 있으며, 케미컬용액 교환 시나 공정진행 정지 시 설정된 시간동안(예를 들어 180초) 일정 단위시간(예를 들어 10초)마다 상기 온도센서(12)로부터 검출된 온도값을 검출하여 저장한다. 그런 후 온도제어부(18)는 상기 온도센서(12)로부터 검출된 온도의 최저 값이 검출된 후 설정된 시간(예를 들어 180초)이 경과하여 히터(14)의 구동에 의해 케미컬용액이 서서히 온도가 상승할 때 미리 저장되어 있는 고유저항 값에 대응하는 설정기준온도와 상기 검출된 최저 온도값을 비교하여 상기 설정기준온도보다 높거나 낮게 되면 상기 온도센서(12)의 불량상태로 판별한다. 상기 온도제어부(18)는 상기 온도센서(12)의 불량상태로 판별되면 표시부(20)를 제어하여 불량상태 메시지를 표시하는 동시에 알람발생부(22)를 제어하여 경보를 발생한다. 상기 고유저항 값에 대응하는 설정기준온도는 케미컬용액 교환 시나 공정정지 시 정상적인 온도센서(12)를 이용하여 최저 온도 값으로 떨어지는 온도 값을 여러 번 반복 실험에 의해 정한다. 온도센서(12)가 정상일 경우 예를 들어 110.6Ω일 때 케미컬용액의 온도가 25℃가 되어 도 4a와 같이 설정기준온도가 된다. 그러나 온도센서(12)가 부식되는 경우 예를 들어 도 4b와 같이 고유저항이 1.155Ω상승하게 되면 측정온도는 3℃하락하여 22℃가 되고, 반대로 고유저항이 1.155Ω하락하게 되면 측정온도는 3℃상승하여 28℃가 된다. 따라서 온도제어부(18)에서 케미컬 교환 시 온도센서(12)의 온도를 검출하여 표시부(20)에 표시하는 상태가 도 5에 도시되어 있다. 도 5를 참조하면, 케미컬베쓰(10)내에 저장되어 있는 케미컬용액을 교환하기 위해 배출을 시작하면 온도제어부(18)는 설정된 시간단위 예를 들어 10초단위로 온도센서(12)로부터 온도값을 검출한다. 이때 온도센서(12)로부터 검출된 온도값은 시간이 경과함에 따라 서서히 하강하면서 온도센서(12)의 고유저항에 대응하는 최저온도(25±0.3℃)까지 떨어진다. 이때 온도센서(12)가 정상상태이면 도 5의 A와 같이 최저온도가 25℃까지 떨어진 후 설정된 시간 예를 들어 180초가 경과되면 다시 히터(12)가 구동되어 온도가 상승하도록 하고 있다.
그러나 온도센서(12)의 저항에 리크가 발생되어 고유저항이 하락하면 도 5의 B와 같이 최저온도가 21.5℃까지 떨어진 후 설정된 시간 예를 들어 180초가 경과되면 다시 히터(12)가 구동되어 온도가 상승하도록 하고 있다. 그리고 온도센서(12)의 단선등에 의해 도 5의 C와 같이 최저온도가 28℃까지 떨어진 후 설정된 시간 예를 들어 180초가 경과되면 다시 히터(12)가 구동되어 온도가 상승하도록 하고 있다. 따라서 온도제어부(18)는 최저온도가 도 5의 B, C와 같이 설정된 기준온도 예를 들어 25℃보다 낮거나 높게 검출된 후 히터(14)가 구동되어 온도가 상승할 경우 온도센서(12)의 불량으로 판별한다.
상기와 같은 방법에 의해 온도제어부(18)에서 온도센서(12)의 온도를 검출하여 온도센서의 불량상태를 검출하여 경보를 발생하는 동작을 도 3의 흐름도를 참조하여 설명하면, 101단계에서 케미컬 용액 교환 시나 공정 진행 정지 시 온도제어부(18)는 온도센서(12)로부터 온도값을 검출하고 102단계로 진행한다. 상기 102단계에서 온도제어부(18)는 상기 검출한 온도 값을 표시부(20)에 표시하도록 하고 103단계로 진행한다. 상기 103단계에서 온도제어부(18)는 온도검출을 위한 설정시간(예를 들어 10초)이 경과되었는가 검사하여 설정된 시간이 경과되었으면 104단계로 진행한다. 상기 104단계에서 온도제어부(18)는 다시 온도센서(12)로부터 온도 값을 검출하여 내부 메모리에 저장하고 102단계로 돌아간다. 이러한 동작을 반복적으로 수행하여 설정된 시간 예를들어 10초단위로 온도센서(10)로부터 온도 값을 검출하여 내부 메모리에 저장한다. 그런 후 105단계에서 온도센서(10)의 고유저항 변화에 대응하는 온도를 검출하기 위한 시간이 경과되었는가 검사한다. 상기 고유저항 변화에 대응하는 온도 검출을 위한 시간은 케미컬용액 교환 시나 공정진행 정지 중에 상온에서 최저온도로 하강하는 온도를 검출하기 위한 시간이다. 상기 고유저항 변화에 대응하는 온도 검출을 위한 시간이 경과되지 않았으면 103단계로 돌아가 계속해서 온도센서(12)의 온도를 검출한다. 그러나 고유저항 변화에 대응하는 온도 검출을 위한 시간이 경과되었으면 106단계로 진행하여 온도제어부(18)는 상기 검출되어 내부 메모리에 저장한 온도 값중의 최저온도가 상기 기준온도이상인가 검출한다. 상기 최저온도가 상기 기준온도이상이면 107단계로 진행하여 도 5의 C상태로 인식하여 표시부(20)를 제어하여 온도센서(12)의 고유저항이 상승 변화된 상태를 표시부(20)에 표시한다. 고유저항에 대응하는 기준온도는 온도센서(12)가 정상적인 상태에서 케미컬용액 교환 시나 공정진행 정지 중에 상온에서 최저온도로 하강하는 온도를 나타낸다. 그런 후 108단계에서 온도제어부(18)는 알람발생부(22)를 제어하여 온도센서(12)의 불량상태를 알리기 위한 경보를 발생한다. 상기 최저온도가 상기 기준온도이상이 아니면 109단계로 진행하여 온도제어부(18)는 상기 최저온도가 기준온도이하인가 검사하여 기준온도이상이면 110단계로 진행한다. 상기 110단계에서 온도제어부(18)는 도 5의 B상태로 인식하여 표시부(20)를 제어하여 온도센서(12)의 고유저항이 하강 변화된 상태를 표시부(20)에 표시한다. 그런 후 111단계에서 온도제어부(18)는 알람발생부(22)를 제어하여 온도센서(12)의 불량상태를 알리기 위한 경보를 발생한다. 그러나 상기 검출된 최저온도가 기준온도이하도 아니면 112단계로 진행하여 온도제어부(18)는 상기 검출되어 내부 메모리에 저장한 온도 값중의 최저온도가 상기 기준온도와 동일한가 검사한다. 상기 검출된 최저온도가 상기 기준온도와 동일하면 113단계로 진행하여 온도제어부(18)는 도 5의 A상태로 인식하여 표시부(20)를 제어하여 온도센서(12)의 고유저항이 정상상태임을 표시부(20)에 표시한다.
본 발명의 일 실시예에서는 온도센서의 불량을 감지하기 위해 반도체 제조공정에 사용되는 케미컬베쓰(10)내에 설치된 온도감지센서를 예를 들어 설명하였으나, 반도체 제조공정에 사용되는 쳄버내에 설치된 온도감지센서도 상술한 방법에 의해 온도센서의 불량상태를 감지할 수 있다. 또한 반도체제조공정에 사용되는 온도센서뿐만 아니라 온도센서를 사용하는 모든 장치에서 상술한 방법에 의해 온도감지센서의 불량상태를 판별하여 온도제어의 오동작을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에서 반도체제조 공정 중 케미컬용액 교환 시나 쳄버공정 정지 시 온도센서의 불량을 감지하도록 하였으나, 본 발명의 다른 실시 예로는 온도센서에 의해 히팅온도의 검출동작을 수행한 후 히팅동작 정지 시 히팅 온도가 냉각되어 상온까지 떨어지는 설정된 시간동안 일정단위 시간마다 상기 온도센서의 온도 값을 검출하고, 상기 검출한 온도 값중에 최저온도와 상기 온도센서의 고유저항 변화를 감지하기 위해 미리 설정된 기준온도를 비교하여 상기 최저온도가 상기 기준온도를 벗어날 시 상기 온도센서의 불량으로 감지하는 것도 구현 가능하다.
상술한 바와 같이 본 발명은 온도제어장치에서 고유저항 값에 대응하는 기준온도를 설정하여 놓은 후 온도센서로부터 검출된 최저온도를 비교하여 검출된 최저온도가 기준온도 값을 벗어날 경우 온도센서의 단선 등으로 인한 불량상태를 인식할 수 있으며, 이렇게 온도센서의 불량상태를 인식하여 반도체 제조공정 등에서 케미컬 용액이나 쳄버내의 온도를 정확하게 제어하므로 웨이퍼 불량발생을 방지할 수있는 이점이 있다.
Claims (7)
- (삭제)
- (정정) 온도제어장치의 온도센서 불량감지장치에 있어서,케미컬베쓰에 저장된 케미컬용액의 온도를 센싱하는 온도센서와,상기 온도센서로부터 검출된 온도값을 표시하기 위한 제어신호를 출력하고, 상기 온도센서의 고유저항 값에 대응하는 설정기준온도를 저장하고 있으며, 케미컬용액 교환 시나 공정진행 정지 시 설정된 시간동안 일정 단위시간마다 상기 온도센서로부터 검출된 온도 값을 고유저항 값에 대응하는 설정기준온도와 비교하고 상기 온도센서의 불량상태를 판별하여 불량상태 표시제어신호 및 경보제어신호를 출력하는 온도제어부와,상기 온도제어부의 제어신호에 의해 상기 케미컬용액의 온도 및 상기 온도센서의 불량상태 메시지를 표시하기 위한 표시부를 포함함을 특징으로 하는 온도센서의 불량감지장치.
- 제2항에 있어서,상기 온도제어부로부터 온도센서의 불량상태 판별에 따른 경보제어신호를 받아 경보를 발생하는 경보발생부를 더 포함함을 특징으로 하는 온도센서의 불량감지장치.
- 온도센서의 불량감지방법에 있어서,반도체 제조공정 중 케미컬 용액 교환 시나 쳄버의 공정정지 시 설정된 시간동안 일정단위 시간마다 상기 온도센서의 온도 값을 검출하고, 상기 검출한 온도 값중에 최저온도와 상기 온도센서의 고유저항 변화를 감지하기 위해 미리 설정된 기준온도를 비교하여 상기 최저온도가 상기 기준온도를 벗어날 시 상기 온도센서의 불량으로 감지함을 특징으로 하는 온도센서 불량감지방법.
- 제4항에 있어서,상기 온도센서의 불량으로 감지할 시 불량상태를 나타내는 메시지를 표시함을 특징으로 하는 온도센서 불량감지방법.
- 제4항에 있어서,상기 온도센서의 불량으로 감지할 시 불량상태를 나타내는 경보를 발생함을 특징으로 하는 온도센서 불량감지방법.
- 온도센서의 불량감지방법에 있어서,히팅온도의 검출동작을 수행한 후 히팅동작 정지 시 히팅 온도가 냉각되어 상온까지 떨어지는 설정된 시간동안 일정단위 시간마다 상기 온도센서의 온도 값을 검출하고, 상기 검출한 온도 값중에 최저온도와 상기 온도센서의 고유저항 변화를감지하기 위해 미리 설정된 기준온도를 비교하여 상기 최저온도가 상기 기준온도를 벗어날 시 상기 온도센서의 불량으로 감지함을 특징으로 하는 온도센서 불량감지방법.
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