KR100367502B1 - 반도체소자의 미세패턴 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체소자의 미세패턴 제조방법에 관한 것으로서, 스핀 도포되는 감광제를 30℃ 이상으로 온도를 상승시켜 도포하면 노광후 열처리가 지연되거나 고농도의 아민이 존재하는 분위기에서도 양호한 패턴을 형성하므로, 간단한 공정으로 아민에 의한 패턴 불량을 방지하여 아민 제거를 위한 설비가 불필요하고 공정수율이 향상된다.
Description
본 발명은 반도체소자의 미세패턴 제조방법에 관한 것으로서, 특히, 감광막 도포시의 간단한 온도 조작으로 노광후 지연(post exposure delay)에 대한 내성을 향상시켜 공정수율 및 소자동작의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 반도체소자의 미세패턴 제조방법에 관한 것이다.
반도체 제조의 미세 가공 공정에서 고감도를 달성하기 위해, 근래에는 화학증폭형 원자외선(DUV: Deep Ultra Violet) 포토레지스트가 각광을 받고 있으며, 그 조성은 광산 발생제(photoacid generator)와 산에 민감하게 반응하는 구조의 매트릭스 고분자 및 용매를 배합하여 제조한다.
이러한 포토레지스트의 작용 기전은, 비노광영역이 패턴이 되는 포지티브 포토레지스트의 경우, 광산발생제가 광원으로부터 자외선 빛을 받게 되면 산을 발생시키고, 이렇게 발생된 산에 의해 매트릭스 고분자의 주쇄 또는 측쇄가 반응하여 분해되거나 고분자의 극성이 크게 변하여, 현상액에 의해 용해되어 없어지게 된다. 반면, 빛을 받지 않은 부분은 본래의 구조를 그대로 갖기 때문에 현상액에 녹아 없어지지 않게 된다. 이렇게 하여 마스크의 상을 기판 위에 양화상으로 남길 수 있게 된다. 반면에, 노광 영역이 패턴이 되는 네가티브 포토레지스트의 경우, 광산발생제가 광원으로부터 자외선 빛을 받게 되면 산을 발생시키고, 이렇게 발생된 산에 의해 매트릭스 고분자의 주쇄 또는 측쇄와 가교제가 반응하여 가교결합이 생겨서 빛을 받은 부분의 현상액에 녹지 않게 된다. 이렇게 하여 마스크의 상을 기판 위에 음화상으로 남길 수 있게 된다.이와 같은 리소그래피 공정에서 해상도는 광원의 파장에 의존하여 광원의 파장이 작아질수록 미세 패턴을 형성시킬 수 있다.
일반적으로 포토레지스트는 우수한 에칭 내성과 내열성 및 접착성이 요구되며, 그 외에도 ArF 감광막으로 사용되는 포토레지스트는 2.38wt% 테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH) 수용액에 현상 가능한 것이 바람직하다. 그러나, 이들 모든 성질을 만족하는 중합체를 합성하기는 매우 어렵다. 예를 들어 주쇄가 폴리(아크릴레이트)계인 중합체의 합성은 쉬우나 에칭내성의 확보 및 현상 공정에 문제가 있다. 이러한 에칭 내성은 주쇄(main chain) 혹은 측쇄(side chain)에 지방족환 단위체를 넣어줌으로써 증가시킬 수 있으나 이는 실제 반도체 제조 공정에서 또 다른 문제를 발생시켰다.즉 노광후 지연이 있는 경우, 노광에 의해 발생된 산이 대기중의 아민(amine contamination)과 반응하여 소멸됨으로써 현상할 때 노광 부위의 표면이 녹지 않아 미세 패턴을 얻을 수 없거나 혹은 T-top이 발생되는 등의 문제점이 노출되었다. 이러한 현상은 특히, 대기중(environment)의 아민 농도가 30ppb 이상일 경우에는 더욱 두드러지게 나타나기 때문에 공정시에 대기의 아민량을 극소화하는 대책이 요구되었다.
이런 현상을 극복하기 위해, ① 감광제에 아민을 넣어주는 방법과 ② 스위트 광산발생제(sweet photoacid generator)를 사용하는 방법(Frank Houlihan et al., Journal of photopolymer science and technology, volume 11, number 3, 1998, 419∼430 page), 혹은 ③ 감광제의 수지 자체를 개량하는 방법(J. Byers et al., Journal of photopolymer science and technology, volume 11, number 3, 1998, 465∼474 page) 등이 사용되었으나, 이런 방법들은 외부 대기의 아민 농도가 적어도 5ppb 이하일 때 비로소 효과를 갖는 것이므로, 대기중의 아민농도를 제어하기 위해 별도의 추가공정이 요구되며, 이는 공정비용의 상승을 초래하였다.
종래 기술에 따른 반도체소자의 미세패턴 제조방법은, 아민 잔존량이 35ppb인 분위기에서 하기 화학식 1의 지방족환 단위체로만 구성된 수지 1g과, 광산 발생제인 트리페닐설포늄 트리플레이트(triphenyl sulfonium triflate) 0.012g을 프로필렌 글리콜 메틸에테르 아세테이트(propylene glycol methyl ether acetate) 용매 7g에 녹여 감광제를 형성한다.
<화학식 1>
그후, 상기 감광제를 헥사메틸디실라잔(hexamethyldisilazane; HMDS)으로 전처리된 웨이퍼 위에 감광제 온도를 23℃로 유지하는 통상의 방법으로 스핀코팅한 후, 150℃에서 90초간 소프트 베이크(soft bake) 한다.
그 다음 ArF 노광 장비를 이용하여 10∼29mJ/cm2까지 1mJ/cm2씩 노광양을 증가시켜 가면서 20개의 다이(Die)를 순차적으로 노광한후 웨이퍼를 20분간 지연시키다.
그후, 상기 웨이퍼를, 140℃에서 90초간 노광후 열처리(post exposure bake)하고, 2.38wt%의 TMAH 수용액으로 현상하여 감광막 패턴을 형성하였다.
상기와 같은 종래 기술에 따른 반도체소자의 미세패턴 형성방법은 상온 23℃에서 보관하는 감광제를 그 온도 그대로 기판상에 도포하고, 후속 공정을 진행하게 되는데, 선택 노광후에 바로 노광후 열처리를 실시하지 못하고, 작업이 지연되는 경우에는 10분 정도 지연되어도 작업 환경에서의 아민의 침투에 의해 도 1에서와 같이 윗 부분이 두꺼워지는 T-top 현상이 발생되거나 패턴이 무너지는 현상이 일어나는 문제점이 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 본원 발명은 고농도의 아민이 존재하는 분위기하에서도 우수한 포토레지스트 패턴을 얻을 수 있는 반도체소자의 미세패턴 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 반도체소자의 미세패턴이 형성되어있는 상태의 SEM 사진.
도 2는 본 발명에 따른 반도체소자의 미세패턴이 형성되어있는 상태의 SEM 사진.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자의 미세패턴 제조방법의 특징은,
반도체기판상에 감광막을 도포하고 사진 노광과 노광후 열처리 및 현상하여 감광막패턴을 형성하는 공정을 구비하는 반도체소자의 미세패턴 제조방법에 있어서,
상기 감광막의 도포 공정시에 감광제를 보관온도에서 30∼80℃의 온도로 상승시켜 도포하는 공정을 구비함에 있다.
본 발명의 다른 특징은,
반도체기판을 제공하는 단계와,
상기 반도체기판을 전처리하는 단계와,
상기 반도체기판에 감광제를 도포하되, 보관온도에서 30∼80℃의 온도로 상승시켜 도포하는 공정과,
상기 감광막을 선택 노광하는 공정과,
상기 감광막을 노광후 열처리하는 공정과,
상기 감광막을 현상하여 감광막패턴을 형성하는 공정을 구비함에 있다.
이하, 구체적인 실시예를 들어 본 발명에 따른 반도체소자의 미세패턴 제조방법에 관하여 보다 상세히 설명한다.
본 발명자들은 노광후 지연(post exposure delay)에 강한 감광제를 제조하는 방법에 대해 중점적으로 연구한 결과 감광제의 도포 공정에서 온도를 올려주는 간단한 조작으로 노광후 지연에 대한 내성이 강한 감광제를 만들 수 있다는 놀라운 사실을 알게 되었다.
먼저, 아민 잔존량이 35ppb인 분위기하에서, 상기 화학식 1의 지방족환 단위체로만 구성된 수지 1g과, 광산 발생제인 트리페닐설포늄 트리플레이트(triphenyl sulfonium triflate) 0.012g을 프로필렌 글리콜 메틸에테르 아세테이트(propylene glycol methyl ether acetate) 용매 7g에 녹여 감광제를 형성하고, HMDS로 전처리한 웨이퍼를 준비한다.
그다음 상기 감광제 온도를 보관 온도인 23℃에서 분사노즐로 가는 도중에 가열 수단을 이용하여 30∼80℃ 정도의 온도로 가열한 상태에서 통상의 방법으로 스핀코팅한 후, 150℃에서 90초간 소프트 베이크(soft bake) 한다.
그다음 ArF 노광 장비를 이용하여 10∼29mJ/cm2까지 1mJ/cm2씩 노광양을 증가시켜 가면서 20개의 다이(Die)를 순차적으로 노광한후 웨이퍼를 20분간 지연시킨다.
그후, 상기 웨이퍼를, 140℃에서 90초간 노광후 열처리(post exposure bake)하고, 2.38wt%의 TMAH 수용액으로 현상하여 감광막 패턴을 형성하면, 도 2에서와 같은 양호한 수직 패턴을 얻을 수 있다.
상기에서 지방족환 단위체가 많이 도입된 수지들을 웨이퍼 위에 코팅시키면 분자들 사이에 커다란 빈공간(공극)이 많이 생기며, 이러한 공극들은 노광에 의해 발생된 산을 감광막 위로 배출되기 쉽게 하고 또한 노광에 의해 발생된 산을 없애 주는 아민의 침투를 용이하게 한다. 따라서 노광후 지연이 발생되면 외부 아민이 광원에 의해 발생된 산을 중화시키고 또한 현상 직전에 산의 확산을 위해 고온에서 구워줄 때(bake) 산이 증발하여 화학 증폭 역할을 수행치 못하여 미세패턴 형성을 불가능하게 하는데, 본 발명에서와 같이 도포시의 감광제의 온도를 올려주는 것에 의해 공극이 크기가 감소되어 양호한 패턴이 형성된다.
본 발명에 따른 반도체소자의 미세패턴 제조방법은, 스핀 도포되는 감광제를 보관조에서 분사노즐로 이동되는 동안에 30℃ 이상으로 온도를 상승시켜 도포하면 노광후 열처리가 지연되거나 고농도의 아민이 존재하는 분위기에서도 양호한 패턴을 형성하였으므로, 간단한 공정으로 아민에 의한 패턴 불량을 방지하여 아민 제거를 위한 설비가 불필요하고 공정수율이 향상되는 효과가 있다.
Claims (2)
- 반도체기판상에 감광막을 도포하고 노광과 노광후 열처리 및 현상하여 감광막패턴을 형성하는 공정을 구비하는 반도체소자의 제조방법에 있어서,상기 감광막의 도포 공정시에 감광제를 보관온도에서 30∼80℃의 온도로 상승시켜 도포하는 공정을 구비하는 반도체소자의 제조방법.
- 반도체기판을 제공하는 단계와,상기 반도체기판을 전처리하는 단계와,상기 반도체기판에 감광제를 도포하되, 보관온도에서 30∼80℃의 온도로 상승시켜 도포하는 공정과,상기 감광막을 선택 노광하는 공정과,상기 감광막을 노광후 열처리하는 공정과,상기 감광막을 현상하여 감광막패턴을 형성하는 공정을 구비하는 반도체소자의 미세패턴 제조방법.
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