KR100267973B1 - Organic electroluminescence device and method for producing thereof - Google Patents

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Abstract

유기전계발광소자(Organic Electroluminescent Device) 및 그 제조방법에 관한 것으로, 투명기판 위의 소정영역에 일정간격을 갖는 복수개의 연결선들을 형성한 후, 연결선들을 포함한 전면에 투명절연층을 형성하고 투명절연층의 소정영역을 식각하여 연결선의 양 끝이 노출되도록 비어홀들을 형성한다. 그리고, 비어홀들내에 전도성 물질을 채우고 투명절연층 위에 일방향으로 소정간격을 갖는 복수개의 제 1 전극들을 형성한 다음, 각 연결선 상부에 있는 제 1 전극 및 투명절연층을 연결선이 노출되지 않도록 제 1 전극에 대해 수직한 방향으로 제거하고, 제 1 전극 위에 유기전계발광층, 제 2 전극, 보호막을 순차적으로 형성함으로써, 제 1 전극과 제 2 전극간, 제 2 전극간의 전기 절연 효율을 극대화시킬 수 있고, 빛의 웨이브가이드를 줄여 발광효율을 높일 수 있으며, 전극의 저항을 줄일 수 있다.The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same. After forming a plurality of connecting lines having a predetermined interval in a predetermined region on a transparent substrate, a transparent insulating layer is formed on the entire surface including the connecting lines and the transparent insulating layer By etching a predetermined region of the via holes are formed so that both ends of the connection line is exposed. Then, the conductive material is filled in the via holes, and a plurality of first electrodes having a predetermined distance in one direction are formed on the transparent insulating layer, and then the first electrode and the transparent insulating layer on each connection line are not exposed to the first electrode. It is possible to maximize the electrical insulation efficiency between the first electrode, the second electrode, and the second electrode by sequentially removing the organic electroluminescent layer, the second electrode, and the protective film on the first electrode and removing the film in a direction perpendicular to the By reducing the wave guide of the light can increase the luminous efficiency, it is possible to reduce the resistance of the electrode.

Description

유기전계발광소자 및 그 제조방법Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof

본 발명은 디스플레이 소자에 관한 것으로, 특히 유기전계발광소자(Organic Electroluminescent Device) 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to display devices, and more particularly, to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same.

최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자의 요구가 증대되고 있는데, 이러한 평면표시소자중 하나로서 전계발광소자가 주목되고 있다.Recently, as the size of the display device increases, the demand for a flat display device having less space occupancy is increasing. As one of the flat display devices, an electroluminescent device is attracting attention.

이 전계발광소자는 사용하는 재료에 따라 무기전계발광소자와 유기전계발광소자로 크게 나뉘어진다.The electroluminescent device is largely divided into an inorganic electroluminescent device and an organic electroluminescent device according to the material used.

무기전계발광소자는 일반적으로 발광부에 높은 전계를 인가하고 전자를 이 높은 전계중에서 가속하여 발광 중심으로 충돌시켜 이에 의해 발광 중심을 여기함으로써 발광하는 소자이다.In general, an inorganic electroluminescent device is a device that emits light by applying a high electric field to a light emitting part, accelerating electrons in the high electric field, and colliding with the light emitting center to thereby excite the light emitting center.

또한, 유기전계발광소자는 전자주입전극(cathode)과 정공주입전극(anode)으로부터 각각 전자와 정공을 발광부내로 주입시켜 주입된 전자와 정공이 결합하여 생성된 엑시톤(exciton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 소자이다.In addition, the organic light emitting device is based on the exciton generated by combining electrons and holes injected by injecting electrons and holes from the electron injection electrode (cathode) and hole injection electrode (anode) into the light emitting unit, respectively. It is a device that emits light when falling into a state.

상기와 같은 동작원리를 갖는 무기전계발광소자는 높은 전계가 필요하기 때문에 구동전압으로서 100∼200V의 높은 전압을 필요로 하는 반면에 유기전계발광소자는 5∼20V정도의 낮은 전압으로 구동할 수 있다는 장점이 있어 연구가 활발하게 진행되고 있다.Since the inorganic electroluminescent device having the above operating principle requires a high electric field, a high voltage of 100 to 200 V is required as a driving voltage, whereas the organic electroluminescent device can be driven at a low voltage of about 5 to 20 V. There is an advantage, and research is being actively conducted.

또한, 유기전계발광소자는 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트(contrast) 등의 뛰어난 특징을 갖고 있으므로 그래픽 디스플레이의 픽셀(pixel), 텔레비젼 영상 디스플레이나 표면광원(surface light source)의 픽셀로서 사용될 수 있으며, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평면 디스플레이에 적합한 소자이다.In addition, the organic light emitting display device has excellent characteristics such as wide viewing angle, high speed response and high contrast, so it can be used as a pixel of a graphic display, a TV image display or a surface light source. They are thin, light, and have good color, making them suitable for next-generation flat panel displays.

이와 같은 용도로 사용되는 유기전계발광소자를 제작하는데 있어서, 픽셀을 형성하기 위한 방법으로는 도 1에 도시된 바와 같이, 투명 기판(1) 위에 제 1 전극(2)들을 띠(stripe) 형태로 형성한 다음, 제 1 전극(2)들 위에 유기전계발광층(3)을 진공증착방법으로 입힌 후, 제 1 전극(2)에 대해 수직한 방향으로 제 2 전극(4)들을 띠 형태로 형성하게 되는데, 여기에서 제 2 전극을 형성하는 방법으로는 여러 가지가 있다.In manufacturing an organic light emitting display device used for such a purpose, as a method for forming a pixel, as shown in FIG. 1, the first electrodes 2 are formed in a stripe shape on the transparent substrate 1. After forming, the organic electroluminescent layer 3 is coated on the first electrodes 2 by vacuum deposition, and then the second electrodes 4 are formed in a strip shape in a direction perpendicular to the first electrodes 2. Here, there are various methods of forming the second electrode.

그 중에서 일반적으로 많이 쓰이는 방법으로는 도 2에 도시된 바와 같이, 새도우 마스크(shadow mask)를 이용하는 방법과 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 전기 절연 격벽을 이용하는 방법이 있다.Among the commonly used methods, there is a method using a shadow mask as shown in FIG. 2 and a method using an electrically insulating partition as shown in FIGS. 3 and 4.

새도우 마스크를 이용하는 방법은 도 2에 도시된 바와 같이, 금속으로 이루어진 새도우 마스크에 제 2 전극용 패턴들을 만든 후에, 그 새도우 마스크의 패턴들을 통해 전극물질을 기판에 증착함으로써 띠 모양의 제 2 전극을 형성하는 방법이다.In the method using the shadow mask, as shown in FIG. 2, after forming patterns for the second electrode in the shadow mask made of metal, the strip-shaped second electrode is formed by depositing electrode material on the substrate through the patterns of the shadow mask. How to form.

그러나, 이 방법은 간단하기는 하지만, 제 2 전극을 증착시킬 경우 제 1 전극과 제 2 전극간의 쇼트(short)문제, 제 2 전극간의 쇼트문제가 심각하며, 미세 픽셀을 형성하기가 어렵다.However, this method is simple, but when the second electrode is deposited, a short problem between the first electrode and the second electrode and a short problem between the second electrode are serious, and it is difficult to form fine pixels.

또한, 전기 절연 격벽을 이용하는 방법은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 위에 띠 형태의 제 1 전극들을 형성한 다음, 그 위에 전기 절연 격벽들을 형성하고, 전기 절연 격벽을 포함한 전면에 유기전계발광층 및 제 2 전극을 순차적으로 증착시키는 방법이다.In addition, the method of using the electrically insulating partition wall, as shown in Figures 3 and 4, forming the first electrode in the form of a strip on the substrate, then forming the electrically insulating partition walls thereon, the organic insulating barrier on the front surface including the electrically insulating partition A method of sequentially depositing an electroluminescent layer and a second electrode.

그러나, 도 3의 경우에는 유기전계발광층은 기판에 대해 수직한 방향으로 증착시키지만 제 2 전극은 증착각도를 약간 주어서 증착시키므로 막의 균일성에 문제가 있으며, 공정조건이 까다롭다.However, in the case of FIG. 3, the organic electroluminescent layer is deposited in a direction perpendicular to the substrate, but the second electrode is deposited by giving the deposition angle slightly, resulting in a problem of uniformity of the film and difficult process conditions.

그리고, 도 4의 경우에는 격벽으로 사용되는 물질이 포토레지스트(photoresist)와 같은 솔벤트(solvent)를 함유한 유기물이므로 소자를 제작한 후에 이 포토레지스트에서 발생되는 여러 가지 가스(gas)들에 의해서 유기전계발광층 및 전극 등이 손상을 입을 수 있어 소자의 수명을 단축시키고, 전기 절연 격벽에 결함이 있을 경우에는 절연이 잘 되지 않는다.In the case of FIG. 4, since the material used as the partition is an organic material containing a solvent such as a photoresist, the organic material is formed by various gases generated in the photoresist after fabrication of the device. The electroluminescent layer and the electrode may be damaged to shorten the life of the device, and the insulation may not be well performed if the electrical insulation partition is defective.

종래 기술에 따른 유기전계발광소자에는 다음과 같은 문제점이 있었다.The organic light emitting device according to the prior art had the following problems.

첫째, 종래의 구조에서는 제 2 전극간의 쇼트문제, 제 1 전극과 제 2 전극간의 쇼트문제 등이 발생되기 쉽다.First, in the conventional structure, a short problem between the second electrode, a short problem between the first electrode and the second electrode, and the like are likely to occur.

둘째, 제 1 전극과 기판의 매질이 다르므로 그에 따른 빛의 웨이브가이드(waveguide)로 인해 소자의 발광 효율이 저하된다.Second, since the medium of the first electrode and the substrate is different, the light emission efficiency of the device is lowered due to the waveguide of light.

셋째, 전극 물질의 저항 때문에 전극 띠(strip) 방향으로 발생하는 전압 강하(voltage drop)와 그에 따른 구동의 어려움을 들 수 있다.Third, the voltage drop occurring in the electrode strip direction due to the resistance of the electrode material, and thus the difficulty of driving.

즉, 대면적 평판 디스플레이를 제작하기 위해서는 전극의 길이가 상당히 길어지게 되므로, 전극의 저항(R)이 커져 전압강하가 커지게 되고, 유기전계발광층은 커패시터(C)로 작용되어 RC가 커지게 되므로 응답시간(response time)이 길어지게 된다.That is, in order to manufacture a large-area flat panel display, the length of the electrode becomes considerably longer, and thus the resistance R of the electrode becomes large, resulting in a large voltage drop. The response time is long.

본 발명은 이와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로 제 1 전극과 제 2 전극간, 제 2 전극간의 전기 절연 효율을 극대화시킬 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can maximize electrical insulation efficiency between a first electrode and a second electrode, and a second electrode.

본 발명의 다른 목적은 빛의 웨이브가이드를 줄일 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a method for manufacturing the same, which can reduce wave guide of light.

본 발명의 또 다른 목적은 전극의 저항을 줄일 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention to provide an organic light emitting device and a method for manufacturing the same that can reduce the resistance of the electrode.

도 1은 일반적인 유기전계발광소자를 보여주는 평면도1 is a plan view showing a typical organic light emitting display device

도 2, 도 3, 도 4는 종래 기술에 따른 유기전계발광소자를 보여주는 구조단면도2, 3, and 4 are structural cross-sectional views showing organic light emitting diodes according to the related art.

도 5a 내지 5c는 본 발명 제 1 실시예에 따른 유기전계발광소자의 제조공정을 보여주는 공정단면도5A through 5C are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명 제 2 실시예에 따른 유기전계발광소자를 보여주는 구조단면도6 is a structural cross-sectional view showing an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 7 및 도 8은 본 발명 제 3 실시예에 따른 유기전계발광소자를 보여주는 구조단면도7 and 8 are structural cross-sectional views showing an organic light emitting display device according to a third embodiment of the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

31 : 투명기판 32 : 연결선31: transparent substrate 32: connection line

33 : 투명절연층 33a : 제 1 투명절연층33: transparent insulating layer 33a: first transparent insulating layer

33b ; 제 2 투명절연층 34 : 비어홀33b; Second transparent insulating layer 34: via hole

35 : 제 1 전극 36 : 유기전계발광층35: first electrode 36: organic electroluminescent layer

37 : 제 2 전극 38 : 보호막37: second electrode 38: protective film

39 : 버퍼층39: buffer layer

본 발명에 따른 유기전계발광소자의 특징은 기판 위에 절연층이 형성되고, 절연층 위에 복수개의 제 1 전극 라인과, 유기 EL층, 제 1 전극 라인에 수직으로 형성된 복수개의 제 2 전극 라인이 차례로 형성되며, 복수개의 제 2 전극 라인은 제 1 전극과 절연층 위에 형성된 복수개의 홈에 의해서 서로 분리되고, 홈에 의해 분리된 제 1 전극 라인의 전기적 연결을 위해 연결선이 구성되는데 있다.An organic electroluminescent device according to the present invention is characterized in that an insulating layer is formed on a substrate, and a plurality of first electrode lines, an organic EL layer, and a plurality of second electrode lines formed perpendicular to the first electrode line are sequentially formed on the insulating layer. The plurality of second electrode lines are separated from each other by a plurality of grooves formed on the first electrode and the insulating layer, and a connection line is configured for electrical connection of the first electrode lines separated by the grooves.

본 발명에 따른 유기전계발광소자 제조방법의 특징은 투명기판 위의 소정영역에 일정간격을 갖는 복수개의 연결선을 형성하는 스텝과, 투명기판 위에 절연층을 형성하는 스텝과, 절연층 위에 복수개의 제 1 전극 라인을 형성하는 스텝과, 제 1 전극 및 절연층에 홈을 형성하는 스텝과, 홈이 형성된 기판 전면에 유기발광층과 제 2 전극을 차례로 형성하여 홈에 의해 서로 전기적으로 분리되도록 유기발광층 및 복수개의 제 2 전극 라인을 형성하는 스텝과, 홈에 의해 분리된 제 1 전극 라인을 연결선에 의해 전기적으로 연결하는 스텝으로 이루어지는데 있다.Features of the method for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention include the steps of forming a plurality of connecting lines having a predetermined interval in a predetermined region on the transparent substrate, forming an insulating layer on the transparent substrate, and a plurality of Forming an electrode line, forming a groove in the first electrode and the insulating layer, forming an organic light emitting layer and a second electrode on the entire surface of the substrate on which the groove is formed, and forming an organic light emitting layer so as to be electrically separated from each other by the groove; And a step of forming a plurality of second electrode lines and electrically connecting the first electrode lines separated by the grooves by connecting lines.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 첨부된 도면을 참조하여 실시예별로 설명하면 다음과 같다.The organic light emitting display device and the method of manufacturing the same according to the present invention having the above characteristics will be described with reference to the accompanying drawings as follows.

본 발명의 개념은 종래와 같은 격벽을 사용하지 않고 전극간의 전기적 절연을 확실하게 하는데 있다.The concept of the present invention is to ensure electrical insulation between the electrodes without using a partition wall as in the prior art.

즉, 기판 위에 소정간격을 갖는 띠형태의 절연층들을 형성하고, 그 위에 제 1 전극, 유기전계발광층, 제 2 전극을 형성한 다음, 각 절연층에 비어홀을 뚫어 절연층과 절연층 사이에 형성된 연결선에 각 절연층 위에 형성된 제 1 전극을 연결시킴으로써 전기 절연 효율을 높이는 것이다.That is, a strip-shaped insulating layers having a predetermined interval are formed on the substrate, and a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode are formed thereon, and a via hole is formed in each insulating layer to form a gap between the insulating layer and the insulating layer. The electrical insulation efficiency is improved by connecting the first electrode formed on each insulation layer to the connection line.

이를 위해 본 발명에서는 3가지 형태를 갖는 유기전계발광소자를 제안하였다.To this end, the present invention proposes an organic light emitting display device having three forms.

즉, 절연층만을 이용한 제 1 실시예, 버퍼층과 절연층을 이용한 제 2 실시예, 버퍼층과 제 1, 제 2 절연층을 이용한 제 3 실시예이다.That is, the first embodiment using only the insulating layer, the second embodiment using the buffer layer and the insulating layer, and the third embodiment using the buffer layer and the first and second insulating layers.

제 1 실시예First embodiment

도 5a 내지 5c는 본 발명 제 1 실시예에 따른 유기전계발광소자의 제조공정을 보여주는 공정단면도로서, 도 5a에 도시된 바와 같이, 투명기판(31) 위의 소정영역에 일정간격을 갖는 연결선(32)들을 형성하고, 그 연결선(32)들을 포함한 전면에 투명절연층(33)을 형성한다.5A through 5C are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to a first exemplary embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5A, connection lines having a predetermined interval in a predetermined region on a transparent substrate 31 ( 32 are formed, and a transparent insulating layer 33 is formed on the entire surface including the connecting lines 32.

여기서, 연결선(32)들은 후공정에서 형성될 제 1 전극과 동일한 물질로 형성하고, 투명절연층(33)은 빛을 투과할 정도의 투명성을 갖는 유기물은 폴리이미드(polyimide)와 같은 유기물이나 옥사이드 또는 나이트라이드와 같은 무기물로 형성한다.Here, the connecting lines 32 are formed of the same material as the first electrode to be formed in a later process, the transparent insulating layer 33 is an organic material having a transparency enough to transmit light is an organic material or oxide such as polyimide (polyimide) Or an inorganic material such as nitride.

이어, 투명절연층(33)의 소정영역을 식각하여 각 연결선(32)의 양 끝이 노출되도록 비어홀(34)들을 형성한 다음, 비어홀(34)들내에 전도성 물질을 채운다.Subsequently, the via holes 34 are formed to etch a predetermined region of the transparent insulating layer 33 so that both ends of each connection line 32 are exposed, and then the via holes 34 are filled with a conductive material.

그리고, 도 5b에 도시된 바와 같이, 투명절연층(33) 위에 일방향으로 소정간격을 갖는 복수개의 제 1 전극(35)들을 형성하고, 각 연결선(32) 상부에 있는 제 1 전극(35) 및 투명절연층(33)을 이방성 에칭으로 소정 깊이만큼 제거하여 홈을 형성한다.As shown in FIG. 5B, a plurality of first electrodes 35 having predetermined intervals in one direction are formed on the transparent insulating layer 33, and the first electrodes 35 on the connection lines 32 and The transparent insulating layer 33 is removed by anisotropic etching to a predetermined depth to form a groove.

여기서, 도 5bb에 도시된 것처럼, 홈은 제 1 전극(35)에 대해 수직한 방향으로 형성한다.Here, the groove is formed in the direction perpendicular to the first electrode 35, as shown in FIG.

그리고, 홈 형성시, 연결선(32)은 노출되지 않도록 형성하여야 한다.In addition, when the groove is formed, the connecting line 32 should be formed so as not to be exposed.

그 이유는 나중에 증착되는 제 2 전극과 연결선이 접촉되지 않아야 하기 때문이다.This is because the connecting line and the second electrode to be deposited later should not be in contact.

이와 같이, 발광되지 않는 영역에 홈을 형성함으로써 투명절연층(33) 위에 형성된 제 1 전극(35)은 끊어지게 된다.As such, the first electrode 35 formed on the transparent insulating layer 33 is cut off by forming the groove in the region where the light is not emitted.

하지만, 이 끊어진 제 1 전극(35)들은 전도성 물질로 채워진 비어홀(34)과 연결선(32)을 통해 전기적으로 연결되므로 아무런 문제가 되지 않고, 오히려 보조전극으로 사용되어 대면적 평판 디스플레이를 제작하는데 있어 문제가 되는 저항문제를 해결할 수 있다.However, since the broken first electrodes 35 are electrically connected to the via hole 34 filled with the conductive material through the connecting line 32, there is no problem, but rather, they are used as auxiliary electrodes in manufacturing a large area flat panel display. It can solve the problem of resistance problem.

그리고, 도 5c에 도시된 바와 같이, 제 1 전극(35) 위에 유기전계발광층(36), 제 2 전극(37), 보호막(38)을 순차적으로 형성하여 유기전계발광소자를 제작한다.As shown in FIG. 5C, the organic light emitting layer 36, the second electrode 37, and the protective film 38 are sequentially formed on the first electrode 35 to manufacture the organic light emitting diode.

즉, 본 발명은 투명절연층을 이방성 에칭함으로써 투명절연층은 윗면이 넓고 밑면이 좁은 역사다리꼴 모양이 이루어지고 그 위에 제 1 전극, 유기전계발광층, 제 2 전극이 형성된 구조이다.That is, in the present invention, the transparent insulating layer is anisotropically etched so that the transparent insulating layer has an inverted trapezoidal shape having a wide top surface and a narrow bottom surface, and a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode formed thereon.

이와 같은 구조는 종래처럼 격벽으로 인한 제 1 전극과 제 2 전극간의 절연 문제를 완벽하게 막을 수 있으며 제 2 전극간의 절연도 막을 수 있다.Such a structure can completely prevent the insulation problem between the first electrode and the second electrode due to the partition, and also prevent the insulation between the second electrode.

제 2 실시예Second embodiment

도 6은 본 발명 제 2 실시예에 따른 유기전계발광소자를 보여주는 도면으로서, 도 6은 도 5c와 구조가 거의 비슷하고, 버퍼층(39)이 추가된다는 점에서 차이가 있다.FIG. 6 is a view showing an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention. FIG. 6 is similar in structure to that of FIG. 5C, and differs in that a buffer layer 39 is added.

즉, 복수개의 연결선(32)이 형성된 투명기판(31) 전면에 버퍼층(39)을 형성하고 제 1 실시예와 동일한 방법으로 유기전계발광소자를 제작한다.That is, the buffer layer 39 is formed on the entire surface of the transparent substrate 31 on which the plurality of connection lines 32 are formed, and the organic light emitting diode is manufactured in the same manner as in the first embodiment.

이 버퍼층(39)은 제 2 전극(37) 증착시, 홈이 형성된 영역의 연결선(32)과 제 2 전극(37)이 접촉되지 않도록 하기 위해 형성되는 것이다.The buffer layer 39 is formed so that the connection line 32 and the second electrode 37 in the grooved region do not come into contact with each other when the second electrode 37 is deposited.

제 3 실시예Third embodiment

도 7은 본 발명 제 3 실시예에 따른 유기전계발광소자를 보여주는 도면으로서, 도 7에서는 투명절연층을 2층 이상을 사용한 경우이다.FIG. 7 is a diagram illustrating an organic light emitting display device according to a third exemplary embodiment of the present invention. In FIG. 7, two or more transparent insulating layers are used.

즉, 투명기판(31) 위에 식각선택비가 서로 다른 물질로 이루어진 제 1 투명절연층(33a)과 제 2 투명절연층(33b)을 연속적으로 증착하여 식각공정을 수행하면 홈이 형성될 때, 제 2 투명절연층(33b)보다 제 1 투명절연층(33a)이 더 넓게 제거되어 오버-행(over-hang)을 갖는 구조가 된다.That is, when the etching process is performed by continuously depositing the first transparent insulating layer 33a and the second transparent insulating layer 33b made of materials having different etching selectivity on the transparent substrate 31, the grooves are formed. The first transparent insulating layer 33a is removed more widely than the second transparent insulating layer 33b, resulting in a structure having an over-hang.

그 위에 제 1, 제 2 실시예와 마찬가지로 제 1 전극(35), 유기전계발광층(36), 제 2 전극(37)을 형성하여 유기전계발광소자를 제작한다.Similarly to the first and second embodiments, the first electrode 35, the organic light emitting layer 36, and the second electrode 37 are formed thereon to fabricate the organic light emitting device.

그리고, 제 2 전극(37)과 연결선(32)의 접촉을 막아주는 버퍼층(39)을 제 2 실시예처럼 전면에 형성하지 않고 홈이 형성되는 영역에만 형성한다.The buffer layer 39 which prevents contact between the second electrode 37 and the connecting line 32 is not formed on the entire surface as in the second embodiment, but only in the region where the groove is formed.

이 버퍼층(39)은 도 8에 도시된 바와 같이, 홈이 형성된 영역 중에서 제 2 전극이 증착되는 일부분에만 형성할 수도 있다.As shown in FIG. 8, the buffer layer 39 may be formed only in a portion in which the second electrode is deposited.

이와 같이 본 발명은 투명절연층의 층수와 만드는 방법, 그리고 버퍼층의 구조에 따라 홈의 모양을 여러 가지로 만들 수 있는데, 가장 중요한 점은 이 투명절연층이 오버-행을 가져야 하고, 이 오버-행 위로 제 1 전극/유기전계발광층/제 2 전극이 형성되어야 한다는 점이다.As described above, according to the present invention, the shape of the grooves may be variously formed depending on the number of layers and the method of making the transparent insulating layer, and the structure of the buffer layer. The first electrode / organoluminescent layer / second electrode must be formed over the row.

또한, 홈이 형성된 영역의 연결선은 나중에 증착되는 제 2 전극과 접촉이 되지 말아야 하며, 기판, 절연층, 버퍼층 등이 빛을 투과할 정도의 투명성을 갖는 물질로 제작되어야 한다는 것이다.In addition, the connecting line of the grooved region should not be in contact with the second electrode to be deposited later, and the substrate, the insulating layer, the buffer layer, etc. should be made of a material having transparency enough to transmit light.

그리고, 본 발명과 같은 구조에서는 제 1 전극과 제 2 전극을 바꾸어 사용하여도 가능하며, 제 1 전극을 이어주는 비어홀은 여러 개를 사용할 수도 있다.In the structure of the present invention, the first electrode and the second electrode may be used interchangeably, and a plurality of via holes connecting the first electrode may be used.

물론, 비어홀의 개수에 따라 연결선의 폭은 조절되어야 한다.Of course, the width of the connection line should be adjusted according to the number of via holes.

본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.The organic light emitting display device and its manufacturing method according to the present invention have the following effects.

첫째, 종래와 같이 격벽을 사용하지 않고 홈을 형성하여 유기전계발광소자를 제작하므로 제 2 전극간의 절연문제, 제 1 전극과 제 2 전극간의 절연문제 등을 확실하게 막아줄 수 있다.First, since the organic light emitting diode is manufactured by forming a groove without using a partition wall, the insulation problem between the second electrode and the insulation problem between the first electrode and the second electrode can be reliably prevented.

둘째, 픽셀영역의 구조가 역사다리꼴 모양으로 형성되므로 빛이 옆으로 퍼지는 현상인 빛의 웨이브가이드(waveguide)를 방지할 수 있어 소자의 발광 효율이 좋다.Second, since the structure of the pixel region is formed in an inverted trapezoidal shape, it is possible to prevent a waveguide of light, which is a phenomenon in which light spreads laterally, so that the light emitting efficiency of the device is good.

셋째, 제 1 전극을 이어주는 비어홀 및 연결선이 보조전극으로 작용하여 대면적 평판 디스플레이에서 발생하는 전극의 저항 문제를 해결할 수 있다.Third, the via hole connecting the first electrode and the connecting line serve as an auxiliary electrode, thereby solving the resistance problem of the electrode generated in the large area flat panel display.

Claims (10)

기판 위에 절연층이 형성되고,An insulating layer is formed on the substrate, 상기 절연층 위에 복수개의 제 1 전극 라인과,A plurality of first electrode lines on the insulating layer, 유기 EL층, 상기 제 1 전극 라인에 수직으로 형성된 복수개의 제 2 전극 라인이 차례로 형성되며,An organic EL layer and a plurality of second electrode lines formed perpendicular to the first electrode line are sequentially formed; 상기 복수개의 제 2 전극 라인은 상기 제 1 전극과 절연층 위에 형성된 복수개의 홈에 의해서 서로 분리되고, 상기 홈에 의해 분리된 제 1 전극 라인의 전기적 연결을 위해 연결선이 구성된 것을 포함하는 구조를 특징으로 하는 유기전계발광소자.The plurality of second electrode lines are separated from each other by a plurality of grooves formed on the first electrode and the insulating layer, and a structure including a connection line configured for electrical connection of the first electrode lines separated by the grooves. An organic light emitting display device. 제 1 항에 있어서, 상기 홈은 오버행 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the groove has an overhang structure. 제 1 항에 있어서, 상기 연결선은 홈에 분리된 제 1 전극 라인 양측에 형성된 비어홀과 상기 비어홀을 연결하는 연결선으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the connection line comprises a via hole formed at both sides of the first electrode line separated from the groove, and a connection line connecting the via hole. 제 1 항에 있어서, 상기 기판과 절연층 사이에 버퍼층을 갖는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 1, further comprising a buffer layer between the substrate and the insulating layer. 제 4 항에 있어서, 상기 홈 부위에 형성된 연결선 위에만 버퍼층을 갖는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device of claim 4, wherein the organic light emitting display device has a buffer layer only on a connection line formed in the groove portion. 투명기판 위의 소정영역에 일정간격을 갖는 복수개의 연결선을 형성하는 스텝;Forming a plurality of connecting lines having a predetermined interval in a predetermined area on the transparent substrate; 상기 투명기판 위에 절연층을 형성하는 스텝;Forming an insulating layer on the transparent substrate; 상기 절연층 위에 복수개의 제 1 전극 라인을 형성하는 스텝;Forming a plurality of first electrode lines on the insulating layer; 상기 제 1 전극 및 절연층에 홈을 형성하는 스텝;Forming a groove in the first electrode and the insulating layer; 상기 홈이 형성된 기판 전면에 유기발광층과 제 2 전극을 차례로 형성하여 상기 홈에 의해 서로 전기적으로 분리되도록 유기발광층 및 복수개의 제 2 전극 라인을 형성하는 스텝;Forming an organic light emitting layer and a plurality of second electrode lines to be electrically separated from each other by the groove by sequentially forming an organic light emitting layer and a second electrode on the entire surface of the substrate on which the groove is formed; 상기 홈에 의해 분리된 제 1 전극 라인을 상기 연결선에 의해 전기적으로 연결하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.And electrically connecting the first electrode line separated by the groove by the connection line. 제 6 항에 있어서, 상기 홈을 형성하는 방법은 이방성 식각에 의해서 오버행 구조를 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 6, wherein the groove is formed to have an overhang structure by anisotropic etching. 제 6 항에 있어서, 상기 홈을 형성하는 스텝은 상기 절연층을 식각비가 서로 다른 복수의 층으로 구성하여 그 식각비 차이에 의해서 오버행 구조를 갖도록 하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.7. The organic light emitting display of claim 6, wherein the forming of the groove further comprises: forming the insulating layer with a plurality of layers having different etching ratios to have an overhang structure due to the difference in etching ratios. Device manufacturing method. 제 8 항에 있어서, 상기 기판과 절연층 사이에 버퍼층을 추가로 형성하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 8, further comprising forming a buffer layer between the substrate and the insulating layer. 제 9 항에 있어서, 상기 버퍼층은 연결선 상부에만 형성되도록 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 9, wherein the buffer layer comprises a step of being formed only on a connection line.
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