KR100228968B1

KR100228968B1 - 액정 패널의 제조 방법 및 제조용 프레스 장치

Info

Publication number: KR100228968B1
Application number: KR1019960017984A
Authority: KR
Inventors: 요시노리 하라다; 요시히로 이즈미
Original assignee: 마찌다 가쯔히꼬; 샤프 가부시키가이샤
Priority date: 1995-06-28
Filing date: 1996-05-27
Publication date: 1999-11-01
Also published as: JP3059360B2; TW342465B; JPH0915612A; US5731860A; KR970002395A

Abstract

액정 패널의 제조 방법은 먼저 2개의 기판 위치를 상호 조정하고, 기판에 도포된 자외선 경화형 수지의 밀봉제를 가압하고, 이 밀봉제가 선정된 임시 고정 영역을 자외선 조사하여 경화시킨다. 이와 같이 해서 얻어진 임시 고정 기판을 본 경화프레스 장치의 스테이지 상에 배치하고, 임시 고정 기판 상에 표면에 미세한 요철 형상이 균일하게 형성된 엠보스 시트를 강화시켜 겹친다. 또, 스테이지와 엠보스 시트와의 간극을 밀패한 후, 그 간극을 진공 흡인하여 임시 고정 기판 전체를 대기압으로 균일하게 가압하고, 소망의 셀 갭을 균일하게 형성한 후, 자외선 램프에 의해 자외선 조사를 행하고, 밀봉제를 본 경화시킨다. 이것에 의해, 위치 정밀도 및 셀 갭 정밀도가 우수하고, 수율이 양호한 액정 패널을 제조할 수 있다.

Description

액정 패널의 제조 방법 및 제조용 프레스 장치

제1도는 본 발명의 제1 실시예의 본(本) 경화 프레스 장치의 종단면도.

제2도는 본 발명의 실시예의 가(假) 경화 프레스 장치의 종단면도.

제3(a)도는 엠보스 시트의 개략도이고, 제3(b)도는 그 일부 영역의 확대도.

제4도는 자외선 경화형 수지의 밀봉제의 도포 패턴 예를 도시하기 위한 기판의 개략도.

제5도는 엠보스 시트의 요철부가 공기의 통과를 양호하게 하는 것을 설명하기 위한 사시도.

제6(a)도 및 제6(b)도는 본 실시예의 본 경화 프레스 장치에 의한 프레스 동작을 설명하기 위한 종단면도로, 제6(a)도는 진공 흡인전의 상태를 도시하고, 제6(b)도는 진공 흡인시의 상태를 도시함.

제7도는 본 발명의 제2 실시예의 본 경화 프레스 장치의 종단면도.

제8도는 본 발명의 제3 실시예의 본 경화 프레스 장치의 종단면도.

제9도는 종래의 가 경화 프레스 장치의 사시도.

제10도는 종래의 본 경화 프레스 장치의 사시도.

제11(a)도 및 제11(b)도는 종래의 본 경화 프레스 장치에 의한 프레스 동작을 설명하기 위한 종단면도로, 제11(a)도는 흡인전의 상태를 도시하고, 제11(b)도는 진공 흡인시의 상태를 도시함.

제12도는 종래의 본 경화 프레스 장치에 의한 프레시스에 공기가 잔류하는 것을 도시하는 도면.

제13(a)도 및 제13(b)도는 프레스 동작 종료 후에 발생하는 기판에 대한 인장력을 위한 종단면도로, 제13(a)도는 진공 흡인시의 상태를 도시하고, 제13(b)도는 진공 흡인 해제시의 상태를 도시함.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

14 : 본 경화 프레스 장치 15 : 스테이지

16 : 엠보스 시트 17 : 고정 부재

18 : 스테이지 막대기 19 : 승강 가이드

20 : 밀폐 막대기 21 : 배기 구멍

22 : 배기구 23 : 자외선 램프

36 : 가이드 통

본 발명은 액정 표시 장치에 이용되는 액정 패널의 제조 방법 및 제조용 프레스 장치에 관한 것으로, 특히 대형 기판을 이용한 액정 패널의 제조 방법 및 제조용 프레스 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치 중, 예를 들면 TET(박막 트랜지스터) 칼라 액정 표시 장치의 제조 공정은 기판에 TFT 등을 형성하는 TFT 어레이 공정과, 패널 공정과, 패널에 주변 회로 등을 실장하는 모듈 공정의 3개로 크게 분류한다. 이 중, 패널 공정은 한 쌍의 기판에 도포된 밀봉제(sealing material)를 경화시켜 양 기판을 접착하고, 그 후 절단 분할, 액정 주입, 편광판 부착 등을 통해 액정 패널을 제조하는 공정이다. 이 패널 공정 중, 2개의 기판을 접착하는 공정에서는 2개의 기판간의 위치 맞춤을 정밀하게 행하고, 또한 양 기판 사이의 셀 갭이 기판 전체에 균일하게 되도록 고 정밀도로 접착해야 하는데, 이러한 정밀도 향상은 금후 액정 표시 장치의 보다 나은 대화면화, 고 정밀화를 실현하기 위해 중요하다.

상기 접착 공정은 일반적으로 가 경화 프레스 공정과 본 경화 프레스 공정의 2개로 크게 분류한다. 가 경화 프레스 공정에서는 먼저 한쪽의 기판에 밀봉제를 도포하고, 다른 쪽의 기판에 균일한 셀 갭을 유지하기 위한 스페이서를 도포한다. 다음에, 이들 한 쌍의 기판을 대향시킨 후, 얼라이먼트 마크라고 칭해지는 위치 맞춤 지표를 이용하여 양 기판간의 정밀한 위치 맞춤을 행한다. 그 후, 양 기판을 서로 근접시키면, 도포된 상기 밀봉제가 가압되어 양 기판이 임시 고정된다. 이 때, 다음 공정에서의 위치 어긋남을 방지하기 위해, 일반적으로 밀봉제의 일부를 자외선 조사 등에 경화되어 보다 정밀한 임시 고정을 행한다.

한편, 본 경화 프레스 공정에서는 프레스 장치를 이용하여 가 경화 프레스 공정에 의해 임시 고정된 양 기판의 셀 갭 형성을 행하고, 양 기판간의 셀 갭이 기판 전체에 균일하게 정해진 시점에서 밀봉제를 경화시킨다.

상기 본 경화 프레스 공정에서 현재 주로 되고 있는 프레스 방법은 열반에 의한 프레스 방법(heat platen pressing)이다. 이 열반 프레스법은 밀봉제에 열 강화 수지를 사용하고, 프레스하는 정반(定盤)의 온도가 130 ∼ 170 ℃ 사이의 설정값 부근에서 균일하게 되도록 고 정밀도로 제한하면서, 압력 1 ㎏/㎠ 전후에서 기판 전체에 균일하게 가압하고 있는 방법이고, 접착력의 신뢰성이 높다. 그러나, 이 방법의 경우, 고온 처리에 의해 기판이 팽창하고, 이 기판의 팽창에 따라 위치 어긋남이나 셀 갭 불균일화가 발생하기 쉽다. 또, 이 방법은 밀봉제를 경화시키는 처리 시간이 비교적 길게 걸리는 것, 및 가압력 1 ㎏/㎠ 전후에서 프레스할 필요가 있기 때문에, 기판이 대형이 되면 수 ton 클라스의 하중이 필요하게 되고 장치가 크게 되는 것 등의 문제점을 갖고 있다.

그래서, 상기 열반 프레스법을 대신하는 수단으로서, 자외선 경화 수지를 밀봉제에 이용한 UV 프레스법이 주목되고 있다. 이 UV 프레스법에서는 온도 제어가 불필요하고, 열 팽창에 따른 기판의 위치 어긋남이나 셀 갭 불균일화가 발생하지 않아, 처리 사간도 비교적 짧다. 현재, 이 UV 프레스 법에는 UV 정반 프레스법과 UV 진공 프레스법이 제안되어 있다.

UV 정반 프레스법은, 프레스하는 정반은 열반만큼 면정밀도가 필요없고, 자외선 조도 향상을 위해 정반에 석영 글라스 등을 사용하고, 압력 1 ㎏/㎠ 전후에서 기판 전체에 균일하게 가압하고, 가압한 체 자외선 조도를 행하며, 자외선 경화 수지를 경화시키는 방법이다. 그러나, 이 방법에서도 열반 프레스법과 마찬가지로, 기판이 대형이 되면, 프레시스의 평행성, 균일성의 조정이 곤란하게 되고 장치도 크게 되는 등의 문제점을 갖고 있다.

한편, UV 진공 프레스법은 프레스 필요 압력값 1 ㎏/㎠을 대기압을 이용함으로써 용이하게 인출할 수 있기 때문에, 장치를 보다 소형화할 수 있다. 이 방법의 한 예로서, 예를 들면 특개소 63-311227호 공보에 도시되는 UV 진공 프레스법을 이용한 액정 패널의 제조 방법을 제9도 및 제10도에 기초하여 설명한다.

제9도는 가 경화 프레스 공정에서 사용되는 가 경화 프레스 장치(51)의 사시도이다. 제10도는 본 경화 프레스 공정에서 사용되는 본 경화 프레스 장치(52)의 사시도이다.

상기 가 경화 프레스 장치(51)에서, 흡착지그(53)에 흡착된 기판(54) 및 흡착지그(55)에 흡착된 기판(56)의 양 기판의 위치를 대물 렌즈(57) 등을 이용하여 서로 맞춘 후, 기판(54)를 강화하여 기판(56)과 겹친다. 다음에, 기판(54)의 흡착을 해제하여 에어 가압용 슬릿(58)로부터 에어를 흡출하여 가압을 행한다. 그 후, 이와 같이 가압되어 임시 고정된 임시 고정 기판(59)를 본 경화 프레스 장치(52)의 하우징(60) 내의 흡착 고정대(61)에 옮겨 놓고, 상부로부터 가압용 플라스틱 시트(62)를 덮고 시트 고정 막대기(63)을 이용하여 플라스틱 시트(62)를 하우징(60)에 기밀하게 고정한 후, 흡착 고정대(61)과 플라스틱 시트(62) 사이를 진공 흡인한다. 이것에 의해, 플라스틱 시트(62) 상의 대기압을 이용하여, 임시 고정 기판(59) 전체를 균일한 힘으로 가압한다. 이와 같이 고정 기판(59)를 진공 프레스하여 소망의 셀 갭을 형성한 상태에서, UV 조사 프레스(64)에 의해 자외선 조사를 행하여 밀봉제를 경화시키는 본 고정 기판을 완성한다.

상술한 UV 진공 프레스법에 의한 액정 패널의 제조 방법은 이하의 문제점을 갖고 있다.

1. 기판이 대형화되면, 제11(a)도, 제11(b)도 및 제12도에 도시하는 바와 같이, 진공 흡인시에 플라스틱 시트(62)와 임시 고정 기판(59)와의 간극에 공기(65)가 잔류하기 쉽고, 그 결과 임시 고정 기판(59) 전체에 균일한 가압이 가능하지 않게 되며, 셀 갭의 불균일화를 초래한다.

2. 진공 흡인시에, 급격한 진공 프레스는 임시 고정 기판(59)에 큰 스트레스를 가하기 때문에, 단계를 나누어 진공 흡입할 필요가 있고, 따라서 공정이 복잡해지고 가공 시간도 길어진다.

3. 제13(a)도에서 제13(b)도는 도시하는 바와 같이, 진공 흡인의 해제시에 발생외는 본 고정 기판(66)에 대한 인장력(68)이, 기판이 대형이 될 수록 커지게 되어, 그 결과 밀봉제(67)의 박리나 본 고정 기판(66)의 파손 등이 발생하고, 양품률이 저하한다.

이상과 같이, 종래의 진공 프레스법에 의한 제조 방법에서는 기판이 대형화 될수록 양 기판의 접착 정밀도가 저하되어, 양품률이 저하한다.

본 발명의 목적은 대형 기판에서도 접착 정밀도가 우수하고, 수율이 양호한 액정 패널의 제조 방법 및 제조용 프레스 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 광 경화형 밀봉제를 이용하여 한 쌍의 기판을 접착하는 단계를 포함하는 액정 패널의 제조 방법은 상기의 목적을 달성하기 위해,

(a) 적어도 어느 한쪽의 기판에 광 경화형 밀봉제를 도포하여 한 쌍의 기판을 임시 고정하는 공정과.

(b) 상기 한쌍의 기판을 놓음대 상에 배치하는 공정과,

(c) 표면에 미세한 요철 형상이 균일하게 형성된 가요성 시트체의 위에서 겹치는 공정과,

(d) 상기 놓음대와 상기 가요성 시트체와의 간극을 밀폐한 후에 진공 흡인하여, 기판 전체를 대기압에 의해 균일하게 가압하는 공정과,

(e) 상기 광 경화형 밀봉제를 광 조사에 의해 경화시키는 공정을 포함하고 있다.

상기의 제조 방법에서는 진공 흡인시 가요성 시트체의 표면 상에 균일하게 형성된 표면의 요철 형상이 사요성 시트체와 상측의 기판과의 간극에 있는 공기의 통과를 양호하게 하고, 이 간극에 공기가 잔류하지 않는다. 따라서, 가요성 시트체와 상측 기판과의 간극은 균일하게 감압되고, 그 결과 상기 간극내의 한 쌍의 기판은 가요성 시트체 상의 대기압에 의해 균일하게 가압된다. 이리하여, 상기 한 쌍의 기판에 균일한 셀 갭을 형성한 후, 상기 광 경화형 빌본제를 광 조사에 의해 본 경화시켜, 한 쌍의 기판을 접착시킨다. 이상의 방법에 의해, 대형 기판에서도 셀 갭 정밀도가 우수한 액정 패널을 제조할 수 있다.

또, 진공 흡인시에, 가요성 시트체와 상측의 기판과의 간극에 있는 공기는 균일하게 신속하게 배기된다. 따라서, 종래와 같이 감압 속도를 2단계 이상, 또는 감압 장치를 2종류 이상으로 나누어 진공 흡인할 필요가 없어지고, 일정한 감압 속도로 상기 한쌍의 기판에 스트레스를 가하지 않고, 신속하게 진공 흡인할 수 있다. 따라서, 공정을 간소화하고, 가공 시간을 단축할 수 있다.

또, 진공 흡인을 해제할 때에는 상기 가요성 시트체와 상측의 기판과의 사이에 공기가 신속하게 유입되고, 가요성 시트체와 상측 기판이 양호하게 분리된다. 따라서, 진공 흡인의 해제에 따라 발생하는 인장력이 감소하고, 접착 작업이 완료된 기판의 파손이나 밀봉제의 박리를 방지할 수 있다. 따라서, 대형 기판에서도, 액정 패널을 수율 좋게 제조할 수 있다.

바람직하게는, 상기 가요성 시트체는 광 투과성으로 형성된다. 이것에 의해, 상기 광 경화형 밀봉제를 광 조사에 의해 경화시킬 때에, 광 조사를 가요성 시트체 측으로부터 행할 수 있다.

또, 바람직하게는 상기 액정의 제조 방법은

(α) 상기 한 쌍의 기판의 상호간의 위치를 맞추는 공정과,

(β) 상기 한 쌍의 기판을 서로 근접시킴으로써 상기 광 경화형 밀봉제를 가압하는 공정과,

(ν) 상기 광 경화형 밀봉제의 선정된 임시 고정 영역을 광 조사에 의해 경화시키는 공정을 포함하고 있다.

상기의 공정 (α)∼(ν)에 의해, 상기 한 쌍의 기판은 상호간의 위치를 맞춘 상태에서 임시 고정된다. 그 후, 공정 (b) ∼ (e)에 의해, 광 경화형 밀봉제를 본 경화시켜, 균일한 셀 갭을 형성하여 상기 한 쌍의 기판의 접착 공정을 완료한다. 그 결과, 대형 기판에서도 위치 정밀도 및 셀 갭 정밀도가 우수한 액정 패널을 제조할 수 있다.

본 발명의 액정 패널 제조용 프레스 장치는 상기의 목적을 달성하기 위해,

그 상부에 한 쌍의 기판을 배치하기 위한 놓음대와,

상기 놓음대의 상부에 설치되고, 표면에 미세한 요철 형상이 균일하게 형성된 제1 가요성 시트체와,

상기 제1 가요성 시트체가 승강하기 위한 승강 수단과,

상기 제1 가요성 시트체가 강하할 때에 이 제1 가요성 시트체와 상기 놓음대와의 간극을 밀폐하는 밀폐 수단과,

상기 간극을 진공 흡인하기 위한 배기 수단과,

상기 한 쌍의 기판에 광 조사를 행하기 위한 광 조사 수단을 구비하고 있다.

상기 구성에 의해, 상술한 액정 패널의 제조 방법을 용이하게 실시가능한 프레스 장치를 제공할 수 있다. 또한, 대기압을 이용함으로써, 상기 한 쌍의 기판의 가압을 행하는 구성으로 되어 있기 때문에, 프레스 장치에 큰 강성이 필요없고, 따라서 소형화된 프레스 장치를 제공할 수 있다.

상기 제1 가요성 시트체는 광 투과성으로 형성되고, 이것에 대응하여 상기 광 조사 수단이 상기 제1 가요성 시트체의 상부에 설치되는 구성으로 하는 것은 바람직하다. 이것에 의해, 상기 광 경화형 밀봉제를 광 조사에 의해 경화시킬 때에, 광 조사를 제1 가요성 시트체 측으로부터 행할 수 있다.

선택적으로, 상기 놓음대는 광 투과성으로 형성되고, 이것에 대응하여 상기 광 조사 수단이 상기 놓음대의 하부에 설치되는 구성으로 하는 것도 바람직하다. 이것에 의해, 상기 경화형 밀봉제를 광 조사에 의해 경화시킬 때에, 광 조사를 놓음대 측으로부터 행할 수 있다. 또, 광 조사 수단은 놓음대의 하부에 설치되어 있기 때문에, 광 조사 수단이 가압용 시트체의 상부에 설치되어 있는 프레스 장치에 비해, 장치의 상부에서의 점유 공간이 보다 작게 되고, 따라서 보다 한층 소형화된 프레스 장치를 제공할 수 있다.

또 바람직하게는, 상기 놓음대는 적어도 한 쌍의 기판을 배치한 영역에, 미세한 요철 형상을 균일하게 갖고 있다. 이것에 의해, 놓음대와 하측의 기판과의 밀착을 방지할 수 있고, 접착 작업이 완료된 한 쌍의 기판을 떠어 낼 때 등에 발생하는 기판의 파손이나 밀봉제의 박리를 장지할 수 있다. 따라서, 액정 패널을 수율 좋게 제조할 수 있다.

또, 상기 놓음대의 상기 한 쌍의 기판을 배치한 면 상에 미세한 요철 형상이 균일하게 형성된 제2 가요성 시트체를 구비하는 것도 바람직하다. 이것에 의해, 놓음대의 표면이 평활해도, 제2 가요성 시트체에 의해 하측의 기판의 놓음대와의 밀착을 방지할 수 있고, 접착 작업으로 인해, 완료된 기판을 떼어낼 때 등에 발생하는 기판의 파손이나 밀봉제의 박리를 방지할 수 있다. 따라서, 액정 패널을 수율 좋게 제조할 수 있다. 또, 제2 가요성 시트체를 광 투과성으로 함으로써 광 경화형 밀봉제를 광 조사에 의해 경화시킬 때에 광 조사를 놓음대 측으로부터 행할 수 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 특징 및 우수한 점은 이하에 도시하는 기재에 의해 충분히 알 수 있다. 또, 본 발명의 이점은 첨부 도면을 참조한 다음의 설명에서 명백하게 된다.

본 발명의 제1 실시예에 대해 제1도 내지 제6도에 기초하여 설명하면, 이하와 같다.

제1도는 본 발명의 제1 실시예의 본 경화 프레스 장치(14)의 종단면이고, 제 2도는 본 발명의 실시예의 가 경화 프레스 장치(4)의 종단면이다.

제1도에 도시하는 바와 같이, 본 경화 프레스 장치(14)는 스테이지(놓음대 : 15), 엠보스 시트(제1 가요성 시트체 : 16), 스테이지 막대기(밀폐 수단 : 18), 고정부재(17), 승강 가이드9승강 수단 : 19), 가이드 통(36), 밀폐 막대기(밀폐수단 : 20) 배기 구멍(재기 수단 : 21), 배기구(배기 수단 : 22) 및 자외선 램프(광 조사 수단 : 23)을 구비하고 있다. 스테이지(15)는 그 상부에 임시 고정 기판(13)을 배치할 수 있다. 엠보스 시트(16)은 스테이지(15)의 상부에 설치되어, 강하될 때에 스테이지(15)상에 배치된 상기 임시 고정 기판(13)을 덮는다. 스테이지(15)를 둘러싸는 스테이지 막대기(18)는 자유롭게 승강될 수 있다. 고정 부대(17)은 엠보스 시트(16)의 주변을 스테이지 막대기(18)에 고정한다. 자유롭게 승강되는 승강 가이드(19)가 설치되어, 스테이지 막대기(18)을 단부에 고정한다. 가이드 통(36)은 승강 가이드(19)를 평활하게 승강시키기 위해 설치된다. 밀폐 막대기(20)은 스테이지 막대기(18)이 강하할 때에 이 스테이지 막대기(18)과 함께, 엠보스 시트(16)과 스테이지(15)와의 간극을 밀폐한다. 배기 구멍(21) 및 배기구(22)는 밀폐된 엠보트 시트(16)과 스테이지(15)와의 간극을 진공 흡인하기 위해 설치된다. 또, 자외선 램프(23)은 엠보스 시트(16)의 상부에 설치되어, 상기 임시 고정 기판(13)에 자외선 조사를 행한다.

상기 엠보스 시트(16)은 가요성 및 광 투과성을 갖는, 예를 들면 두께가 약 75 ㎛인 폴리에스테르로 실현되는 플라스틱 필름이다. 또, 엠보스 시트(16)은 제3(a)도에 도시하는 바와 같이 표면에 미세한 요철 형상을 균일하게 갖고 있고, 그 요철 폭 B는 제3(b)도에 도시하는 바와 같이 약 10 ∼ 200 ㎛이고, 후술하는 진공 흡인시에 엠보스 시트(16)과 임시 고정 기판(13) 상측의 기판과의 간극에 존재하는 공기가 잔류하지 않게 신속하게 배기되는 형상으로 되어 있다.

또, 제2도에 도시한 바와 같이 가 경화 프레스 장치(4)는 상부 스테이지(5), 하부 스테이지(6), 화상 처리 시스템(도시하지 않음), X축 가이드(7), Y축 가이드(8), Z축 가이드(9), θ축 가이드(10), 승강용 볼 나사(11), 및 스폿 조사용 자외선 램프(12)를 구비하고 있다. 상부 스테이지(5)와 하부 스테이지(6)은 각각 기판(1)과 기판(2)를 흡착한다. 또, 상부 스테이지(5)는 승강자재로, 또한, 기판(1)의 흡착면이 평탄하게 설치되고, 하부 스테이지(6)은 기판(2)의 흡착면이 평탄하게 설치되어 있다. 화상 처리 시스템은 각각의 기판(1, 2) 상에 인가된 얼라이먼트 마크를 인식하고, 기판(1, 2)의 위치 정보를 얻는다. X축 가이드(7), Y축 가이드(8), Z축 가이드(9) 및 θ축 가이드(10)은 얻어진 위치 정보에 따라 기판(1, 2)의 위치 조정(얼라이먼트)을 행한다. 승강용 볼 나사(11)은 상부 스테이지(5)를 승강시키기 위해 설치된다.

본 실시예의 액정 패널의 제조 방법은 먼저 양 기판(1, 2)에 배향막 처리를 행한 후, 기판(1)에, 예를 들면 제4도와 같은 패턴으로 자외선 경화형 수지의 밀봉제(3a, 3b)를 도포한다. 밀봉제(3a)는 가 경화 프레스 공정으로 양 기판(1, 2)를 임시 고정하기 위한 것이고, 밀봉제(3b)는 본 경화 프레스 공정으로 소망의 셀 갭을 형성한 후에 경화시키기 위한 것이다. 또, 기판(2)에는 균일한 셀 갭을 보유하기 위한 스페이서를 도포한다.

가 경화 프레스 공정에서는 먼저 상기 가 경화 프레스 장치(4)의 상부 스테이지(5)에 기판(1)을 흡착하고, 하부 스테이지(6)에 기판(2)을 흡착한다. 다음에, 화상 처리 시스템을 이용하여 각각의 기판(1, 2) 상의 얼라이먼트 마크로부터 양 기판(1, 2)의 위치 정보를 얻어, 얻어진 위치 정보에 따라 양 기판(1, 2)의 위치를 X축 가이드(7), Y축 가이드(8), Z축 가이드(9) 및 θ축 가이드(10)으로 조정하고, 양 기판(1, 2)의 위치를 상호 조정한다. 그 후, 승강용 볼 나사(11)를 회전 구동하여 상부 스테이지(5)를 내리고 있을 때, 기판(1)을 기판(2)에 근접시킴으로써, 양 기판(1, 2) 사이에 거의 소망의 셀 갭이 형성되기까지, 소정 압력(0.03 ∼ 0.04 ㎏/㎠)으로 상기 밀봉제(3a, 3b)를 가압한다. 가압된 밀봉제(3a, 3b) 중 임시 고정을 행하기 위한 밀봉제(3a)만을 스폿 조사용 자외선 램프(12)에 의해 자외선 조사하고, 이 밀봉제(3a)를 경화시켜 임시 고정 기판(13)을 얻는다.

본 경화 프레스 공정에서는, 먼저 상기 본 경화 프레스 장치(14)의 스테이지(15) 상에 상기 임시 고정 기판(13)을 스테이지(15) 상에 설치된 핀(27)으로 위치를 결정하여 배치시킨다. 다음에, 승강 가이드(19)에 의해 스테이지 막대기(18)을 하강시킬 때, 이 스테이지 막대(19)의 하부면을 밀폐 막대기(20)에 압착시키고, 엠보스 시트(16)과 스테이지(15)와의 간극을 밀폐한 후, 밀폐된 간극을 진공 흡인한다. 이 진공 흡인에 의해, 상기 간극 내의 임시 고정 기판(13)은 엠보스 시트(16) 상의 대기압으로 가압된다.

이 진공 흡인시에, 엠보스 시트(16)에 균일하게 형성된 표면의 요철 형상이 제5도의 화살 부호 C로 도시하는 바와 같이, 엠보스 시트(16)과 임시 고정 기판(13)과의 간극에 있는 공기의 관통을 양호하게 하여, 상기 제11(a)도, 제11(b)도 및 제12도에 도시하는 바와 같은 상기 간극에 공기가 잔류하지 않는다. 따라서, 제6(a)도 내지 제6(b)도에 도시하는 진공 흡인시에 대기압이 임시 고정 기판(13)의 전면에 걸쳐 균일하게 가해지게 된다. 따라서, 임시 고정 기판(13)에 균일한 셀 갭을 형성할 수 있다.

또, 진공 흡인시에, 급격한 진공 흡인은 기판으로서 급격한 가압을 따라 이 기판에 큰 스트레스를 가하기 때문에, 종래는 완만하게 200 Torr 정도까지 감압하고, 그 후 400 Torr 이하로 감압하고 있다는 2단계 이상의 가압 속도, 또는 2종류 이상의 감압 장치로 감압하고 있지만, 본 실시예의 본 경화 프레스 장치(14)에서는 엠보스 시트(16)에 형성된 표면의 요철 형상에 의해 엠보스 시트(16)과 임시 고정 기판(13)과의 간극에 있는 공기가 균일하게 신속하게 배기되기 때문에, 감압 속도를 2단계 이상, 또는 감압 장치를 2종류 이상으로 나눌 필요가 없어지고, 일정한 감압 속도에서 400 Torr 정도로 감압함으로써 임시 고정 기판(13)에 스트레스를 가하지 않고 신속하게 진공 흡입할 수 있다.

또, 종래의 정반을 이용한 프레스 장치에서는 균일한 셀 갭 형성을 행하기 위해 1 ㎏/㎠ 정도의 가압이 필요했지만, 감압 프레스 장치에서는 가압이 매우 균일하게 할 수 있기 때문에, 400 Torr 정도의 감압으로 충분히 균일한 셀 갭 형성이 가능하게 된다.

상술한 바와 같이, 임시 고정 기판(13)에 균일한 셀 갭을 형성한 후, 엠보스 시트(16) 측으로부터 상기 자외선 램프(23)에 의해 임시 고정 기판(13) 전체에 자외선을 조사하여, 상기 밀봉재(3b)를 경화시켜, 기판(1)과 기판(2)을 접착한 본 고정 기판을 얻는다. 이 때, 액정 패널의 표면 영역에 자외선이 조사됨으로써 배향막의 불량, TFT 특성의 열화 등이 발생하고, 표시 품질의 저하를 초래하는 경우는 마스크 기판을 이용하여 부분적으로 자외선 조사를 행한다.

기판(1, 2)를 접착한 후, 엠보스 시트(16)과 스테이지(15)와의 간극의 진공 흡인을 해제한다. 이 때, 엠보스 시트(16)에 형서왼 표면의 요펄 형상에 의해 엠보스 시트(16)과 상기 본 고정 기판 사이에 공기가 신속하게 유입되고, 엠보스 시트(16)과 본 고정 기판이 양호하게 분리될 수 있다. 따라서, 진공 흡인의 해제에 따라 발생하는 기판에 대한 인장력이 감소하고, 밀봉제(3b)의 박리나 본 고정 기판의 파손이 발생하는 것도 거의 없다.

상술한 바와 같이 제조된 본 고정 기판이 또 절단 분할, 액정 주입, 편광판 부착 등의 공정을 통함으로써, 액정 패널이 완성한다. 이리하여 제조된 액정 패널은 이상과 같이 본 경화 프레스 장치(14)에 의해 균일한 셀 갭이 형성되고, 또 본 경화에 대해 가 경화 프레스 장치(4)에 의해 기판(1, 2)의 위치를 상호 조정하여 임시 고정되기 때문에, 위치 정밀도 및 셀 갭 정밀도가 우수하게 되어 있다.

또, 가 경화 프레스 장치(4)는 전술한 바와 같이 큰 가압력을 필요로 하지 않고, 본 경화 프레스 장치(14)도 가압력으로 대기압을 이용하기 있기 때문에, 양 장치(4, 14)라 할지라도 큰 강성이 필요하지 않고, 소형화된 장치를 실현할 수 있다.

상술한 방법에 의해 제조된 액정 패널의 수율을 종래의 평탄한 플라스틱 시트를 이용한 진공 프레스법에 의해 제조된 액정 패널의 수율과 비교한 결과는 표1에 도시한다. 또, 여기에서는 셀 갭의 오차가 패널 전면에서 ±0.3 ㎛ 이내의 조건을 만족하는 액정 패널을 양품이라고 판정했다. 표1에 도시하는 바와 같이, 종래의 평탄한 플라스틱 시트를 이용하여 제조된 액정 패널의 수율은 패턴 사이즈가 크게됨에 따라 악화되고, 특히 패널 사이즈가 320 ㎜ × 400 ㎜ 이상 크게 되면, 양품수가 현저하게 감소한다. 한편, 본 실시예의 엠보스 시트(16)을 이용하여 제조된 액정 패널의 수율은 패턴 사이즈가 크게 되어도 거의 변화하지 않아 양호하다.

[표 1]

또, 본 실시예에서는 상기 엠보스 시트(16)의 재질로서, 내약품성, 항구성, 투광성 및 내열성(융점 255 ∼ 260 ℃)이 우수한 폴리에스테르를 이용했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 폴리에틸렌, 염화 비닐 또는 폴리프로필렌 등을 이용할 수도 있다. 또, 엠보스 시트(16)의 두께는 약 75 ㎛로 했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 약 9 ㎛ ∼ 약 1 ㎜ 중 어느 두께라도 좋다. 또, 표면의 요철 형상은 진공 흡인시에, 엠보스 시트(16)과 임시 고정 기판(13)과의 간극에 있는 공기의 관통이 양호하게 되는 형상으로 형성되면 되기 때문에, 제3(a)도와 같은 형상 대신에, 예를 들면 격자 형상, 파목(波目) 형상, 목목(木目) 형상 또는 당송 모양 형상 등일 수도 있다.

본 발명의 제2 실시예에 대해, 제7도에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또, 설명의 편의상, 전술한 실시예와 동일하거나 유사하게 대응하는 부분에는 동일 참조 부호를 부여하여 그 설명을 생략한다.

제7도는 본 발명의 제2 실시예의 본 경화 프레스 장치(28)의 종단면도이다. 이러한 본 경화 프레스 장치(28)에서는 임시 고정 기판(13)을 그 상부에 배치하기 위한 스테이지(놓음대 : 29)는 제1 실시예의 본 경화 프레스 장치(14)와 달리 임시 고정 기판(3)을 배치한 영역에 미세한 요철 가공이 실시되고 있고, 보다 구체적으로는 스테이지(29)의 긴쪽 방향으로 100 ㎛ 정도의 홈이 힘줄 형상으로 설치되어 있다. 또, 스테이지(29)의 재질에는 광 투과성이 좋고, 강성이 있으며, 평행 정밀도가 나타나는 석영 글라스를 사용하고 있다.

또, 상기 본 경화 프레스 장치(28)은 엠보스 시트(16)의 상부에 자외선 램프(23)을 설치하고 있는 제1 실시예의 본 경화 프레스 장치(14)와 달리 자외선 램프(광 조사 수단 : 30)이 상기 스테이지(29)의 하부에 설치되어 있다.

상기 구성에 의해 본 경화 프레스 장치(28)은 스테이지(29) 측으로부터 임시 고정 기판(13)에 자외선 조사를 행하는 것이 가능하게 되고, 예를 들면 임시 고정 기판(13)의 상측의 기판에 차광 패턴이나 메탈 배선이 많이 존재하는 등의 이유로, 자외선 조사를 행하는 표면이 제한되는 경우에 유효한 구성으로 되어 있다.

상기 본 경화 프레스 장치(28)에 의한 본 경화 프레스 공정에서는 먼저 제1 실시예와 마찬가지로 가 경화 프레스 공정을 행하고, 얻어진 임시 고정 기판(13)을 스테이지(29)에 이 스테이지(29) 상에 설치된 핀(27)에 의해 위치 결정하여 옮겨 놓는다. 다음에, 승강 가이드(19)에 의해 스테이지 막대기(18)을 내릴 때, 이 스테이지 막대기(18)은 하면을 밀폐 막대기(20)에 압착시켜 엠보스 시트(16)와 스테이지(29)와의 간극을 밀폐한 후, 이 간극으로부터 진공 흡인을 행한다. 이 진공 흡인에 의해 이 간극 내의 임시 고정 기판(13)은 엠보스 시트(16) 상의 대기압으로 가압된다.

상술한 바와 같이, 임시 고정 기판(13)이 진공 프레스되고, 소망의 셀 갭을 저면에 걸쳐 균일하게 형성한 후, 스테이지(29) 측으로부터 상기 자외선 램르(30)에 의해 임시 고정 기판(13) 전체에 자외선 조사를 행한다. 스테이지(29)는 광 투과성으로 형성되고 있기 때문에, 자외선은 스테이지(29)를 투과하여 밀봉제(3b)를 경화시킬 수 있다. 이리하여, 소마의 셀 갭을 형성하고, 기판(1, 2)를 접착하여 얻어진 본 고정 기판이 또 절단 분할, 액정 주입, 편광판 부착 등의 공정을 통과함으로써 액정 패널이 완성한다.

기판(1, 2)를 접착한 후, 엠보스 시트(16)과 스테이지(29)와의 간극의 진공 흡인을 해제한다. 이 때, 제1 실시예와 마찬가지로, 엠보스 시트(16)에 형성된 표면의 요철 형상에 의해 엠보스 시트916)과 본 고정 기판과의 사이에 공기가 신속하게 유입되기 때문에, 진공 흡인의 해제에 따라 발생하는 인장력이 감소하고, 밀봉제(3b)의 박리나 본 고정 기판의 파손은 거의 발생하지 않는다.

또, 스테이지(29)의 본 고정 기판을 배치한 영역에 미세한 요철 가공이 실시되어 있기 때문에, 본 고정 기판과 스테이지(29)와의 밀착을 방지할 수 있고, 따라서 진공 흡인을 해제한 후에 본 고정 기판을 떠어 낼 때 등에 발생하는 이 본 고정 기판의 파손이나 밀봉제(3b)의 박리를 방지할 수 있다. 따라서, 액정 패널을 수율좋게 제조할 수 있다.

또, 상기 자외선 램프(30)이 스테이지(29)의 하부에 설치되어 있기 때문에, 자외선 램프(23)이 엠보스 시트(16)의 상부에 설치되어 있는 제1 실시예의 본 경화 프레스 장치(14)에 비해 장치의 상부에서의 점유 공간이 보다 작게 되고, 따라서, 보다 한층 소형화된 본 경화 프레스 장치(28)을 제공할 수 있다.

또, 본 실시예에서는 스테이지(29)의 재질로 석영 글라스를 이용했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 솔더 석회 글라스, 사각형 산 글라스, 알루미늄형 산 글라스 또는 연(鉛) 글라스 등 광 투과성이 좋고, 강성이 있으며, 평행 정밀도가 나타나는 다른 재료를 사용할 수도 있다.

또, 본 실시예에서는 스테이지(29)의 긴쪽 방향으로 깊이 100 ㎛ 정도의 홈을 힘줄 형상으로 설치함으로써, 스테이지(29)에 미세한 요철 형상을 설치했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 격자 형상, 파목 현상, 목목 형상 또는 당송 모양 형상 등 이 스테이지(29)의 광 투과성, 강성 및 평행 정밀도를 손상하지 않은 형상이면 된다.

또, 본 실시예의 본 경화 프레스 장치(28)에서, 스테이지(29)의 임시 고정 기판(13)을 배치한 영역에 미세한 요철 가공이 실시되고 있는 구성을, 예를 들면 제1 실시예의 본 경화 프레스 장치(14)와 같이 엠보스 시트(16)의 상부에 자외선 램프(23)을 구비한 구성과 조합시켜 이용할 수도 있다.

본 발명의 제3 실시예에 대해서, 제8도를 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또, 설명의 편의상, 전술한 실시예에 동일 또는 유사하게 대응하는 부분에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

제8도는 본 발명의 제3 실시예의 본 경화 프레스 장치(32)의 종단면도이다. 이 본 경화 프레스 장치(32)에서는 제2 실시예의 본 경화 프레스 장치(28)와 달리, 스테이지(놓음대 : 35)의 임시 고정 기판(13)을 배치한 영역에 미세한 요철 가공이 실시되지 않는 대신에, 스테이지(35) 상에 제2 엠보스 시트(제2 가요성 시트체 : 33)가 핀(34, 37)에 의해 고정되어 있다. 이 제2 엠보스 시트(33)는 광 투과성을 갖고, 또 표면에 미세한 요철 형상을 균일하게 갖고 있으며, 그 재질, 두께, 요철 형상, 요철 폭 및 성질 등은 전술한 엠보스 시트(16)과 마찬가지이다.

또, 스테이지(35)의 재질에는 광 투과성이 좋고, 강성이 있으며, 평행 정밀도가 나타나는 석영 글라스를 사용하고 있다.

상기 구성에 의해 본 경화 프레스 장치(32)는 스테이지(35) 측으로부터 임시 고정 기판(13)에 자외선 조사를 행하는 것이 가능하게 되고, 예를 들면 임시 고정 기판(13)의 상측의 기판에 차광 패턴이나 메탈 배선이 많이 존재하는 등의 이유로, 자외선 조사를 행하는 면이 제한되는 경우에는 유효한 구성으로 되어 있다.

상기 본 경화 프레스 장치(32)에 의한 본 경화 프레스 공정에서는 먼저 제1 및 제2 실시예와 마찬가지로 가 경화 프레스 공정을 행하고, 얻어진 임시 고정 기판(13)을 스테이지(35)에 고정되어 있는 제2 엠보스 시트(33) 상에, 스테이지(35) 상에 설치된 핀(37)에 의해 위치 결정하여 옮겨 놓는다. 다음에, 승강 가이드(19)에 의해 스테이지 막대기(18)를 내릴 때, 이 스테이지 막대기(18)의 하면을 밀폐 바닥기(20)에 압착시키고, 엠보스 시트(16)과 스테이지(35)와의 간극을 밀폐한 후, 이 간극으로 부터 진공 흡인을 행한다. 이 진공 흡인에 의해, 이 간극 내의 임시 고정 기판(13)은 엠보스 시트(16) 상의 대기압으로 가압된다.

상술한 바와 같이, 임시 고정 기판(13)이 진공 프레스되고, 소망의 셀 갭을 전면에 걸쳐 균일하게 형성한 후, 스테이지(35) 측으로부터 상기 자외선 램프(30)에 의해 임시 고정 기판(13) 전체에 자외선 조사를 행한다. 스테이지(35)는 광 투과성으로 형성되고, 제2 엠보스 시트(33)은 광 투과성을 갖고 있기 때문에, 자외선은 스테이지(35) 및 제2 엠보스 시트(33)을 투과하여, 밀봉제(3b)를 경화시킬 수 있다. 이리하여 소망의 셀 갭을 형성하고, 지판(1, 2)를 접착하여 얻어진 본 고정 기판에, 절단 분할, 액정 주입, 편광판 부착 등의 공정을 가함으로써, 액정 패널이 완성한다.

기판(1, 2)를 접착한 후, 엠보스 시트(16)과 스테이지(35)와의 간극의 진공 흡인을 해제한다. 이 때, 제1 및 제2 실시예와 마찬가지로, 엠보스 시트(16)에 형성된 표면의 요철 형상에 의해, 엠보스 시트(16)과 본 고정 기판과의 사이에 공기가 신속하게 유입되기 때문에, 진공 흡인 해제시에 발생하는 인장력이 감소하고, 밀봉제(3b)의 박리나 본 고정 기판의 파손이 발생하는 것은 거의 없다.

또, 제2 엠보스 시트(33)에 의해 본 고정 기판과 스테이지(35)와의 밀착을 방지할 수 있고, 따라서 진공 흡인을 해제한 후에 본 고정 기판을 떼어 낼 때 등에 발생하는 이 본 고정 기판의 파손이나 밀봉제(3b)의 박리를 방지할 수 있다. 따라서, 액정 패널을 수율 좋게 제조할 수 있다.

또, 상기 자외선 램프(30)이 스테이지(35)의 하부에 설치되어 있기 때문에, 자외선 램프(23)이 엠보스 시트(16)의 상부에 설치되어 있는 제1 실시예의 본 경화 프레스 장치(14)에 비해 장치의 상부에서의 점유 공간이 보다 작게 되고, 따라서 보다 소형화된 본 경화 프레스 장치(32)를 제공할 수 있다.

또, 본 실시예에서는 스테이지(35)의 재질로 석영 글라스를 이용했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 솔더 석회 글라스, 사각형 산 글라스, 알루미나형 산 글라스 또는 연(鉛) 글라스 등 광 투과성이 좋고, 강성이 있으며, 평행 정밀도가 나타나는 다른 재료를 사용할 수도 있다.

또, 본 실시예에서는 상기 제2 엠보스 시트(33)의 제질로서, 폴리에스테르를 이용했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 폴리에틸렌, 염화 비닐 또는 폴리프로필렌 등을 이용할 수도 있다. 또, 제2 엠보스 시트(33)의 두께는 약 75 ㎛로 했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 약 9 ㎛ ∼ 약 1 ㎜ 중 어느 두께라도 좋다. 또, 표면의 요철 형상은 제2 엠보스 시트(33)와 본 고정 기판과의 밀착을 방지할 수 있는 형상으로 형성되면 되기 때문에, 제3(a)도와 같은 형상 대신에, 예를 들면 격자 형상, 파목 형상, 목목 형상 또는 당송 모양 형상 등일 수도 있다.

또, 본 실시예의 본 경화 프레스 장치(32)에서 스테이지(35) 상에 제2 엠보스 시트(33)운 핀(34, 37)에 의해 고정되어 있는 구성을, 예를 들면 제1 실시예의 본 경화 프레스 장치(14)와 같이 엠보스 시트(16)의 상부에 자외선 램르(23)을 구비한 구성으로 조합시켜 이용할 수도 있다.

발명의 상세한 설명의 항에서 구체적인 실시 상태 또는 실시예는 어디까지나 본 발명의 기술 내용을 명호가하게 하는 것으로, 그와 같은 구체 예에서만 한정하여 협의하게 해것되어야 하는 것도 없고, 본 발명의 정신과 다음에 기재하는 특허 청구 사항의 범위 내에서 여러가지로 변경하여 실시할 수 있는 것이다.

Claims

광 경화형 밀봉제를 이용하여 한 쌍의 기판을 접착하는 단계를 포함하는 액정 패널의 제조 방법에 있어서,

적어도 어느 한쪽의 기판에 광 경화형 밀봉제를 도포하여 한 쌍의 기판을 임시 고정하는 공정;

상기 한 쌍의 기판을 놓음대(placement plate)상에 배치하는 공정;

표면에 미세한 요철 형상이 균일하게 형성된 가요성 시트체(flexible sheet member)를 위에서부터 겹치는 공정;

상기 놓음대와 상기 가요성 시트체의 간극을 밀폐한 후에 진공 흡인하여 기판 전체를 대기압에 의해 균일하게 가압하는 공정; 및

상기 광 경화형 밀봉제를 광 조사에 의해 경화시키는 공정

을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 가요성 시트체는 광 투과성을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 가요성 시트체는 플라스틱 필름인 것을 특징으로 하는 액정 패널의 제조 방법.
제3항에 있어서, 상기 가요성 시트체는 폴리에스테르로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 한 쌍의 기판의 상호 위치를 맞추는 공정;

상기 한 쌍의 기판을 서로 근접시킴으로써 상기 광 경화형 밀봉제를 가압하는 공정; 및

상기 광 경화형 밀봉제의 선정된 임시 고정 영역을 광 조사에 의해 경화시키는 공정

을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 제조 방법.
액정 패널 제조용 프레스 장치에 있어서,

그 상부에 한 쌍의 기판을 배치하기 위한 놓음대;

상기 놓음대의 상부에 설치되고, 표면에 미세한 요철 형상이 균일하게 형성된 제1 가요성 시트체;

상기 제1 가요성 시트체는 승강시키기 위한 승강 수단;

상기 제1 가요성 시트체가 강화될 때에 상기 제1 가요성 시트체와 상기 놓음대의 간극을 밀폐하는 밀폐 수단;

상기 간극을 진공 흡인하기 위한 배기 수단; 및

상기 한 쌍의 기판에 광 조사를 행하기 위한 광 조사 수단

을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제6항에 있어서, 상기 제1 가요성 시트체는 플라스틱 필름인 것을 특징으로 하는 액정 제조용 프레스 장치.
제7항에 있어서, 상기 제1 가요성 시트체는 폴리에스테르로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제6항에 있어서, 상기 제1 가요성 시트체는 광 투과성을 가지며, 상기 광 조사 수단은 상기 제1 가요성 시트체의 상부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제6항에 있어서, 상기 놓음대는 광 투과성으로 형성되고, 상기 광 조사 수단은 상기 놓음대의 하부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제10항에 있어서, 상기 놓음대는 석영 글라스로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제6항에 있어서, 상기 놓음대는 적어도 상기 한 쌍의 기판을 배치한 영역에 미세한 요철 형상을 균일하게 갖고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제6항에 있어서, 상기 놓음대의 상기 한 쌍의 기판을 상부에 배치하는 면 상에 미세한 요철 형상이 균일하게 형성된 제2 가요성 시트체를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제13항에 있어서, 상기 제2 가요성 시트체는 광 투과성을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제13항에 있어서, 상기 제2 가요성 시트체는 플라스틱 필름인 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.
제15항에 있어서, 상기 제2 가요성 시트체는 폴리에스테르로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 패널 제조용 프레스 장치.