KR100203519B1 - 회전식 기판세정장치 - Google Patents

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KR100203519B1
KR100203519B1 KR1019960011928A KR19960011928A KR100203519B1 KR 100203519 B1 KR100203519 B1 KR 100203519B1 KR 1019960011928 A KR1019960011928 A KR 1019960011928A KR 19960011928 A KR19960011928 A KR 19960011928A KR 100203519 B1 KR100203519 B1 KR 100203519B1
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마사미 오오타니
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이시다 아키라
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Abstract

연직방향의 제3축심주위로 회전하는 지지축에 제1 및 제2지지브라켓을 통하여 노즐을 설치하고, 노즐에서 분출되는 세정액의 기판표면에서의 도달점을 기판의 회전중심에서 바깥끝둘레로 이동시켜 회전가능하게 지지된 기판의 표면에, 노즐에서 세정액을 정확한 상태로 또 고압으로 분출공급하도록 구성하여, 제1지지브라켓에 노즐에서 기판표면의 회전중심으로 세정액을 분출하는 상태로, 회전중심과 노즐의 선단을 포함하는 면내에서 회전중심을 중심으로 하는 가상원의 아치형 구멍을 통하여 제2지지브라케트를 설치하고, 노즐의 경사각도를 변경하여도, 도달점이 기판의 회전중심을 반드시 통하도록 구성하여, 기판표면의 막의 두께나 막의 종류나 오염물의 종류 등에 따라 기판표면에 대한 노즐의 경사각도를 용이하게 변경한다.

Description

회전식 기판세정장치
제1도는 본 발명의 회전식 기판세정장치의 제1실시예를 나타내는 전체 개략 종단면도이고,
제2도는 전체 평면도이고,
제3도는 주요부의 확대 측면도이고,
제4도는 제2실시예의 주요부의 확대 측면도이고,
제5도는 제4도의 5-5선의 화살표 방향으로 본 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
4 : 기판유지수단 9 : 전동모터(노즐이동수단)
10 : 지지축(노즐이동수단) 11 : 노즐유지수단
12 : 노즐 13 : 아치형구멍(원호가이드)
20 : 대기포트 21 : 가이드부재(원호가이드)
C : 기판의 회전중심 F : 대기포트의 입구 개구면
W : 기판
본 발명은 반도체 웨이퍼, 포토마스크용 유리기판, 액정표시장치용 유기기판, 광디스크용 기판 등의 기판에, 순수 등의 세정액을 고압으로 분출 공급하여 세정처리하기 위해 기판을 연직방향의 축심 주위로 회전가능하게 유지하는 기판유지수단과, 기판표면에 세정액을 정밀한 상태로 또 고압으로 분출 공급하는 노즐과, 노즐에서 분출되는 세정액의 기판 표면에서의 도달점이 기판의 회전중심과 바깥 끝둘레 사이를 이동하도록 노즐을 이동시키는 노즐이동수단을 구비한 회전식 기판세정장치에 관한 것이다.
종래의 회전식 기판세정장치로서는, 예를들면 일본특허공개 평1-105376호 공보에 개시되어 있는 것이 알려져 있다. 이 종래예에 의하면, 기판 (공보에서는 디스크로 기재되어 있다)의 표면에 대해 경사져 세정액을 분출하는 고압제트 노즐을 설치하고, 기판을 연직방향의 축심주위로 회전시키면서 그 기판 표면에 세정액을 고압으로 분출 공급하여 미세한 오물을 제거하도록 구성되어 있다.
그러나, 종래예의 경우 기판표면에 대한 고압 제트 노즐의 경사각도는 일정하여, 기판표면의 막두께나 막종류 혹은 제거해야 할 오염물의 종류가 다른 경우에도 그것에 대응하여 경사 각도를 변경할 수 없었으므로 기판표면의 세정성을 높이는 데 개선의 여지가 있었다.
본 발명의 목적은, 기판표면의 막두께나 막종류, 오염물의 종류 등에 따라, 기판표면에 대한 노즐의 경사각도를 용이하게 변경할 수 있도록 하는데 있으며, 또 다른 목적은, 합리적인 배치구성에 의해, 대기위치에서 노즐로부터의 세정액을 받는 대기포트에 대한 위치조정을 하지 않고 노즐의 경사각도의 변경을 한층 용이하게 행할 수 있도록 하는데 있다. 또한 다른 목적은, 후술하는 실시예에서 명확히 나타날 것이다.
본 발명은, 상술한 목적을 달성하기 위하여 기판을 연직방향의 축심주위로 회전가능하게 유지하는 기판유지수단과, 기판표면에 세정액을 정밀한 상태로 또 고압으로 분출 공급하는 노즐과, 그 노즐에서 분출되는 세정액의 기판표면에서의 도달점이 기판의 회전중심과 바깥 끝둘레사이를 이동하도록 노즐을 이동하는 노즐이동수단을 구비한 회전식 기판세정장치에 있어서, 노즐이동수단에 설치되어 기판표면에 대한 경사각도를 변경할 수 있게 노즐을 유지하는 노즐유지수단과, 그 노즐유지수단에 설치되며 노즐에서 기판표면의 회전 중심으로 세정액을 분출하는 상태에서 기판표면의 회전중심과 노즐의 선단을 포함하는 면내에 회전중심을 중심으로 하는 가상의 원에 따라 노즐을 이동하는 원호가이드를 구비하여 구성한다.
본 발명에 의하면, 세정할 기판표면의 막두께나 막의 종류나 오염물의 종류 등에 따라 기판표면에 대한 노즐의 경사각도를 변경할 수 있다. 게다가, 이 노즐의 경사각도의 변경시에 원호 가이드에 의해 노즐을 이동시키므로 그 경사각도의 여부에 상관없이 노즐에서 분출되는 세정액의 기판표면에서의 도달점이 반드시 기판표면의 회전중심을 통하는 상태로 유지할 수 있어 기판의 회전중심을 남김없이 세정할 수 있다.
따라서, 기판표면에 대한 노즐의 경사각도를 변경할 수 있으므로, 세정할 기판표면의 막두께나 막의 종류나 오염물의 종류 등에 따라 기판표면에 대해 각각 최적의 경사각도로 세정액을 분출할 수 있어 세정효과를 높일 수 있다. 게다가, 노즐의 경사각도 변경시에, 원호가이드에 의해 자연히 노즐에서 분출되는 세정액의 기판표면에서의 도달점이 반드시 기판표면의 회전중심을 통하는 상태로 유지할 수 있으므로, 경사각도를 변경할 때마다 세정액의 분출방향이 기판표면의 기판회전중심에서 벗어나지 않도록 다시 조종하는 불편한 조작이 필요없고, 기판표면에 대한 노즐의 경사각도를 용이하게 변경할 수 있게 되었다.
또한, 본 발명의 회전식 기판세정장치에서는, 기판유지수단으로 유지된 기판에서 평면시야에서 떨어진 장소에 기판표면에 세정액을 공급하지 않는 대기위치로 노즐을 이동시킨 상태에서 노즐에서 분출되는 세정액을 받는 대기포트가 설치되고, 그 대기포트의 입구 개구면의 적어도 일부를 노즐에서 분츨되는 세정액의 도달점의 이동경로상에 위치함과 동시에 기판의 표면과 동일레벨이 되도록 배치한다.
이와 같이 구성하면, 기판표면에 대한 노즐의 경사각도의 변경여부에 상관없이 대기위치에 위치시킨 노즐에서 분출되는 세정액을 대기포트의 입구 개구면내에 받게 할 수 있다.
따라서, 대기포트의 입구 개구면의 적어도 일부를 노즐에서 분출되는 세정액의 도달점의 이동경로상에 위치시킴과 동시에 기판의 표면과 동일레벨이 되도록 한다는 합리적인 배치구성에 의해, 기판표면에 대한 노즐의 경사각도의 변경여부에 상관없이, 대기위치에 위치시킨 노즐에서 분출되는 세정액을 대기포트의 입구 개구면내에 받게 할 수 있으므로 경사각도의 변경에 따라 대기포트의 위치를 조정하는 것이 불필요하며, 노즐의 경사각도의 변경을 한층 용이하게 행할 수 있도록 되었다.
본 발명을 설명하기 위해 현재 적합하다고 생각되는 형태가 도시되어 있지만, 본 발명은 도시된 바와 같은 구성 및 방법에 한정되는 것은 아님을 이해해야 된다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
제1도, 제2도, 제3도에 나타내는 바와 같이 전동모터(1)의 구동에 의해 연직방향의 제1축심(P1) 주위로 회전하는 회전축(2)의 상단에, 기판(W)을 진공흡착 유지하는 회전대(3)가 일체 회전가능하게 설치되고, 기판(W)을 연직방향의 축심주위로 회전가능하게 유지하는 기판유지수단(4)이 구성되어 있다.
한편, 본 실시예에서는, 회전대(3)를 진공흡착식의 것으로서 기판유지수단(4)을 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것이 아니라, 예를들면 회전대(3)상에 기판(W)의 바깥둘레를 지지하는 기판지지부재를 복수 설치함과 동시에, 이 기판지지부재의 상단에 기판(W)의 수평방향의 위치를 규제하는 위치 결정핀을 설치하여 기판유지수단을 구성하고, 기판(W)을 회전대(3) 상면에서 이간시킨 상태로 회전가능하게 유지시키도록 하여도 된다.
기판유지수단(4) 및 그것에 의해 유지된 기판(W)의 주위는, 승강구동기구(도시하지 않음)에 의해 승강가능한 컵(5)으로 덮혀있다. 컵(5)의 횡외측방에, 기판(W)의 회전중심측을 향해 순수 등의 세정액을 저압으로 공급하는 저압노즐(6)이 설치되어 있다.
또한, 컵(5)의 횡외측방에, 앵글형상의 지지암(7)이 전동모터(도시하지 않음)에 의해 연직방향의 제2축심(P2) 주위로 회전가능하게 설치되고, 그 지지암(7)의 선단측 암부분(7a)의 하부에, 기판표면을 세정하는 세정기구(8)가 설치되어 있다.
게다가 컵(5)의 횡외측방의 기판유지수단(4)을 사이에 둔 지지암(7)과는 반대측의 위치에 있어서, 전동모터(9)에 의해 연직방향의 제3축심(P3) 주위로 구동회전가능하게 지지축(10)이 설치되고, 그 짖축(10)에 제1 및 제2지지브라켓(11a,11b)으로 이루어지는 노즐유지수단(11)이 설치됨과 동시에, 제2지지브라켓(11b)에 기판표면에 세정액을 정밀한 상태로 또 고압(30kg/㎠ 이상)으로 분출 공급하는 노즐(12)이 설치되어 있다.
제1지지브라켓(11a)에, 기판(W)의 표면과 제1축심(P1)이 교차하는 기판표면의 회전중심(C)으로 노즐(12)에서 세정액을 분출하는 상태(제2도 참조)에서, 그 회전중심(C)과 노즐(12)의 선단을 포함하는 면내에서 회전중심(C)을 중심으로 하는 소정의 지름의 원호상의 아치형구멍(13)이 형성되어 있다. 한편, 제2지지브라켓(11b)에, 아치형구멍(13)에 끼워넣는 한쌍의 나사축(14,14)이 돌출설치됨과 동시에 나사축(14,14) 각각에 너트(15)가 나사 결합되어 있다.
또한, 제2지지브라켓(11b)에 상술한 회전중심(C)을 향하는 직선모양의 직선형 구멍(16)이 형성되어 있다. 한편, 노즐(12)을 구비한 노즐본체(17)에, 직선형 구멍(16)에 끼워넣어지는 한쌍의 나사축(18,18)이 돌출설치됨과 동시에, 나사축(18,18) 각각에 너트(19)가 나사 결합되어 있다. 도시하지는 않았지만 노즐본체(17)에서 지지축(10)측에 걸쳐 노즐(12)에 접속되는 고압호스가 뻗어 있다.
상기 구성에 의해, 너트(15,15)를 풀어 나사축(14,14)을 아치형 구멍(13) 내에서 이동시키고, 소망의 위치에서 너트(15,15)를 조여 고정함으로써 노즐(12)의 경사각도를 노즐(12)에서 기판표면의 회전중심(C)으로 세정액을 분출하는 상태에서 그 회전중심(C)을 중심으로해서 변경할 수 있고, 경사각도의 변경 여부에 상관없이, 노즐(12)을 수평방향으로 이동시킬 때, 노즐(12)에서 고압으로 분출되는 세정액을 확실히 기판표면의 회전중심(C)에 공급할 수 있다. 그리고, 전동모터(9)로 지지축(10)을 회전하는 것에 의해, 노즐(12)에서 분출되는 세정액의 기판표면에서의 도달점을 회전중심(C)에서 기판(W)의 바깥끝둘레로 이동시켜, 기판(W) 회전과의 협동작용에 의해 세정할 기판표면의 막두께나 막의 종류나 오염물의 종류 등에 따라 최적의 경사각도로 조정하여 기판표면전면을 고압의 세정액으로 양호하게 세정할 수 있다.
또한, 너트(19)를 풀어 나사축(18,18)을 직선형 구멍(16)내에서 이동시키는 것에 의해 세정할 기판(W) 표면의 막두께나 막의 종류나 오염물의 종류 등에 따라 노즐(12)의 선단에서 기판표면까지의 거리를 적절히 조정할 수 있다.
또한, 기판유지수단(4)으로 유지된 기판(W)에서 평면시야에서 떨어진 장소에 대기포트(20)가 설치되고, 기판표면에 세정액을 공급하지 않는 대기위치로 노즐(12)을 이동시킨 상태에서 노즐(12)에서 상시 분출되는 세정액을 받고, 기판표면을 오염시키는 파티클의 원인이 되는 박테리아 등이 세정액 공급원과의 배관중에 발생하는 것을 방지할 수 있도록 구성되어 있다.
대기포트(20)의 입구 개구면(F)이 노즐(12)에서 분출되는 세정액의 도달점의 이동경로상에 위치함과 동시에 기판(W)의 표면과 동일레벨이 되도록 구성되어 상술한 노즐(12)의 경사각도의 변경여부에 상관없이 대기위치로 이동한 상태에 있어서 노즐(12)에서 분출되는 세정액을 받을 수 있도록 구성되어 있다.
제4도 및 제5도는 제2실시예에서 나타내는 제1지지브라켓(11a)에 기판(W)의 표면과 제1축심(P1)이 교차하는 기판표면의 회전중심(C)으로 노즐(12)에서 세정액을 분출하는 상태에서 그 회전중심(C)과 노즐(12)의 선단을 포함하는 면내에서 그려지는 회전중심(C)을 중심으로 하는 소정 지름의 원호를 따라 곡면을 이루는 원호가이드면(F1)을 가지는 가이드 부재(21)가 연이어 접속되어 있다. 한편, 제2지지브라켓(11b)에 원호가이드면(F1)에 미끄럼 접합하여 회전하는 한쌍의 가이드로울러(22,22)가 설치됨과 동시에, 가이드부재(21)의 원호가이드면(F1)과 반대측면의 면에 압접하여 고정하는 조임볼트(23)가 설치되어 있다. 다른 구성은 제1실시예와 같다.
상기 제2실시예에 의하면, 조임볼트(23)를 풀고, 가이드 로울러(22,22)를 원호가이드면(F1)에 미끄럼 접합하여 회전시키는 것에 의해, 노즐(12)의 경사각도를, 노즐(12)에서 기판표면의 회전중심(C)으로 세정액을 분출하는 상태에서 그 회전중심(C)을 중심으로 하여 변경할 수 있다.
상기 제1실시예에서 아치형 구멍(13)과, 제2실시예에서의 원호가이드면(1)을 가지는 가이드부재(21)가 원호가이드이다.
또한, 상기 제1 및 제2실시예에서는, 회전중심(C)과 노즐(12)의 선단을 포함하는 면이 연직면이 되도록 구성하고 있지만, 회전중심(C)과 노즐(12)의 선단을 연결하는 가상선 주위로 회전한 상태의 경사면이 되도록 구성하여도 된다.
또한, 상기 실시예에서는, 노즐(12)에서 분출되는 세정액의 기판표면에서의 도달점을 회전중심(C)에서 기판(W)의 바깥끝 둘레로 이동시키는데 전동모터(9)에 의해 지지축(10)을 연직방향의 제3축심(P3) 주위로 회전시키도록 구성하고 있지만, 에어 실린더 등에 의해 지지축(10)을 연직방향으로 이동시키도록 구성하여도 되며, 그들의 구성이 노즐이동수단이다.
또한, 상기 실시예에서는 세정액의 기판표면에서의 도달점이, 기판(W)의 회전중심(C)에서 바깥 끝둘레로 편방향으로의 이동이 되도록 노즐(12)에서 세정액의 분출을 노즐유지수단(11)의 축심(P3) 주위의 정역회전의 움직임에 대해 간헐적인 분출로 하고 있지만, 세정액의 기판표면에서의 도달점이 기판(W)의 바깥 끝둘레에서 회전중심(C)으로 이동하도록 노즐(12)에서의 세정액의 분출을, 노즐유지수단(11)의 축심(P3) 주위의 정역회전의 움직임에 대해 연속적으로 분출하도록 하여도 된다.
더우기, 세정액의 기판표면에서의 도달점이 기판(W)의 바깥 끝둘레에서 기판(W)의 회전중심(C)을 통과하여, 그대로 기판(W)의 바깥 끝둘레에서 빠져나가는 궤적을 그리듯이 노즐(12)을 이동시켜 연속적으로 세정액을 분출하도록 하여도 된다.
또한, 상기 실시예에서는 대기포트(20)의 입구 개구면(F)의 전면을 기판표면과 동일레벨이 되는 수평면으로 구성하고 있지만, 입구 개구면(F)을 경사지게 해도 되며, 중요한 점은 입구 개구면(F)의 적어도 일부를, 바람직하게는 입구 개구면의 중심에 상당하는 장소가 노즐(12)에서 분출되는 세정액의 도달점의 이동경로상에 위치함과 동시에 기판(W)의 표면과 동일레벨이 되도록 구성하는 것이라면 된다.
본 발명은, 상술한 실시예의 원형 기판에 한정되지 않고, 각형 기판에 대한 회전식 기판세정장치에도 적용할 수 있다.
본 발명은 그 사상 또는 본질에서 이탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으며, 따라서 본 발명의 범위를 나타내는 것으로서 이상의 설명이 아닌 부가된 청구항을 참조해야 할 것이다.

Claims (14)

  1. 기판을 연직방향의 축심주위로 회전가능하게 유지하는 기판유지수단과, 기판표면에 세정액을 정확한 상태로 또 고압으로 분출공급하는 노즐과, 상기 노즐에서 분출되는 세정액의 기판표면에서의 도달점이 기판표면의 회전중심과 바깥 끝둘레 사이를 이동하도록 상기 노즐을 이동하는 노즐이동수단을 구비한 회전식 기판 세정장치에 있어서, 상기 노즐 이동수단에 설치되어 기판표면에 대한 경사각도를 변경가능하게 상기 노즐을 유지하는 노즐유지수단과, 상기 노즐유지수단에 설치되어, 상기 노즐에서 상기 기판 표면의 회전중심으로 세정액을 분출하는 상태에서, 기판표면의 회전중심과 상기 노즐의 선단을 포함하는 면내에서 상기 회전중심을 중심으로 하는 가상원을 따라 상기 노즐을 이동하는 원호가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판유지수단으로 유지된 기판에서 펑면시야에서 떨어진 장소에, 기판표면에 세정액을 공급하지 않는 대기위치로 노즐을 이동시킨 상태에서 상기 노즐에서 분출되는 세정액을 받는 대기포트가 설치되고, 상기 대기포트의 입구 개구면의 적어도 일부를 상기 노즐에서 분출되는 세정액의 도달점의 이동경로상에 위치함과 동시에 상기 기판의 표면과 동일레벨이 되도록 배치하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 노즐유지수단을, 연직방향의 축심 주위로 회전가능한 지지축에 설치된 제1지지브라켓과, 상기 노즐을 설치한 제2지지브라켓으로 구성하고, 상기 원호가이드를 상기 노즐에서 기판표면의 회전중심으로 세정액을 분출하는 상태에서, 상기 회전중심과 상기 노즐의 선단을 포함하는 면내에서 상기 회전중심을 중심으로 하는 소정 지름의 원호상이 되도록 상기 제1브라켓트에 형성한 아치형 구멍으로 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 노즐유지수단을, 연직방향의 축심주위로 회전가능한 지지축에 설치한 제1지지브라켓과, 상기 노즐수단을 설치한 제2지지브라켓으로 구성하고, 상기 원호가이드를 상기 노즐에서 기판표면의 회전중심으로 세정액을 분출하는 상태에서, 상기 회전중심과 상기 노즐의 선단을 포함하는 면내에서 상기 회전중심을 중심으로 하는 소정 지름의 원호상이 되도록 상기 제1브라켓트에 형성한 아치형 구멍으로 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제2지지브라켓에, 상기 회전중심을 향하는 직선모양의 직선형 구멍을 설치하고, 상기 노즐을 구비한 노즐 본체를 상기 직선형 구멍에 따라 고정위치를 변경가능하게 설치하여, 상기 노즐의 선단과 상기 회전중심과의 거리를 변경 가능하게 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제2지지브라켓에, 상기 회전중심을 향하는 직선모양의 직선형 구멍을 설치하고, 상기 노즐을 구비한 노즐본체를 상기 직선형 구멍에 따라 고정위치를 변경가능하게 설치하여, 상기 노즐의 선단과 상기 회전중심과의 거리를 변경가능하게 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 노즐유지수단을, 연직방향의 축심주위로 회전가능한 지지축에 설치된 제1지지브라켓과, 상기 노즐을 설치한 제2지지브라켓으로 구성하고, 상기 원호가이드를 상기 노즐에서 기판표면의 회전중심으로 세정액을 분출하는 상태에서, 상기 회전중심과 상기 노즐의 선단을 포함하는 면내에서 그려지는 상기 회전중심을 중심으로 하는 소정 지름의 원호를 따른 곡면을 이루는 원호가이드면을 가지도록 상기 제1지지브라켓에 연이어 접한 가이드 부재로 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 노즐유지수단을, 연직방향의 축심주위로 회전가능한 지지축에 설치된 제1지지브라켓과, 상기 노즐을 설치한 제2지지브라켓으로 구성하고, 상기 원호가이드를 상기 노즐에서 기판표면의 회전중심으로 세정액을 분출하는 상태에서, 상기 회전중심과 상기 노즐의 선단을 포함하는 면내에서 그려지는 상기 회전중심을 중심으로 하는 소정 지름의 원호를 따른 곡면을 이루는 원호가이드면을 가지도록 상기 제1지지브라켓에 연이어 접한 가이드 부재로 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제2지지브라케트에, 상기 회전중심을 향하는 직선모양의 직선형 구멍을 설치하고, 상기 노즐을 구비한 노즐 본체를 상기 직선형 구멍에 따라 고정위치를 변경가능하게 설치하여, 상기 노즐의 선단과 상기 회전중심과의 거리를 변경 가능하게 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제2지지브라케트에, 상기 회전중심을 향하는 직선모양의 직선형 구멍을 설치하고, 상기 노즐을 구비한 노즐본체를 상기 직선형 구멍에 따라 고정위치를 변경가능하게 설치하여, 상기 노즐의 선단과 상기 회전중심과의 거리를 변경 가능하게 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 제2지지브라켓에, 상기 원호가이드면에 미끄럼 접합하여 회전하는 한쌍의 가이드 로울러와, 상기 가이드 부재의 상기 원호가이드면과 반대측의 면에 압접하여 상기 제2지지브라켓을 상기 제1지지브라켓에 고정하는 조임볼트를 설치하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  12. 제8항에 있어서, 상기 제2지지브라켓에, 상기 원호가이드면에 미끄럼 접합하여 회전하는 한쌍의 가이드 로울러와, 상기 가이드 부재의 상기 원호가이드면과 반대측의 면에 압접하여 상기 제2지지브라켓을 상기 제1지지브라켓에 고정하는 조임볼트를 설치하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 제2지지브라켓에, 상기 회전중심을 향하는 직선모양의 직선형 구멍을 설치하고, 상기 노즐을 구비한 노즐 본체를 상기 직선형 구멍에 따라 고정위치를 변경가능하게 설치하여, 상기 노즐의 선단과 상기 회전중심과의 거리를 변경 가능하게 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  14. 제12항에 있어서, 상기 제2지지브라켓에, 상기 회전중심을 향하는 직선모양의 직선형 구멍을 설치하고, 상기 노즐을 구비한 노즐본체를 상기 직선형 구멍에 따라 고정위치를 변경가능하게 설치하여, 상기 노즐의 선단과 상기 회전중심과의 거리를 변경 가능하게 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
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