KR100187018B1

KR100187018B1 - 공구 간격 조절 장치

Info

Publication number: KR100187018B1
Application number: KR1019960013461A
Authority: KR
Inventors: 한점렬
Original assignee: 구자홍; 엘지전자주식회사
Priority date: 1996-04-29
Filing date: 1996-04-29
Publication date: 1999-04-15
Also published as: KR970072249A

Abstract

본 발명은 공구가 설치된 고정 블록 및 다수의 가동 블록과, 상기한 고정 블록 및 다수의 가동 블록간에 형성되는 상대적인 간격이 동일한 상태를 유지한 상태에서 상기 고정 블록 및 다수의 가동 블록 간의 절대적인 간격이 동시에 가변되도록 하는 다중 피치 볼 스크류와, 상기 볼 스크류를 구동하는 볼 스크류 구동 수단으로 구성된 공구 간격 조절 장치를 제공함으로써, 일정하게 배열된 다수의 부품에 적합한 간격으로 수시로 조절이 가능하도록 하여 배열된 다수의 부품을 다른 배열로 이동시키는 작업을 보다 효율적으로 실시할 수 있다.

Description

공구 간격 조절 장치

제1도는 본 발명에 따른 공구 간격 조절 장치의 사시도,

제2도는 다중 피치 볼 스크류의 개념도,

제3도는 본 발명이 적용될 일반적인 수평식 핸들러의 사시도,

제4도는 제3도의 수평식 핸들러에 사용되는 종래의 공구 설치 상태를 도시한 것으로서,

(a)도는 하나의 공구가 설치된 상태의 사시도,

(b)도는 두 개의 공구가 설치된 상태의 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1a, 1b : 가동 블록 2 : 다중 피치 볼 스크류

6 : 서보 모터 L : 나선의 형성 길이

n : 1부터 증가하는 자연수 P : 피치

본 발명은 공구 간격 조절 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체의 생산시 수평면상에 배열된 부품을 다른 수평면상에 다른 배열로 이동시킬 수 있는 수평식 핸들러에서 부품을 집고 옮기는 공구를 다수개 설치하여 이들의 간격을 조절하여 사용할 수 있도록 한 공구 간격 조절 장치에 관한 것이다.

일반적으로 수평식 핸들러는 하나의 기판상에 일정한 간격으로 배열된 다수의 부품을 다른 기판상에 다른 간격의 배열로 이송하는데에 사용하는 것으로서, 제3도에 도시된 바와 같이 베이스(50)와, 상기한 베이스(50)에 형성되어 제 1, 2 기판(51, 52)을 이송하는 제 1, 2기판 이송장치(53, 54)와 상기 제 1, 2 기판(51, 52)사이를 오가며 부품을 이송하는 로봇(55)과, 상기한 로봇(55)에 설치된 공구(60)로 구성되어 있다.

상기 공구(60)는 제4도의 (a)도에 도시된 바와 같이 로봇(55)에 형성된 고정 블록(56)에 고정된 수직 샤프트(61)와, 상기 수직 샤프트(61)의 하측에 고정된 흡착캡(62)으로 구성되고 상기 흡착캡(62)은 진공 장치(미도시)와 연결되어 부품을 흡착하여 이동시킬 수 있도록 되어 있다.

상기와 같이 구성된 수평식 핸들러는 제1기판(51)에 배열된 부품을 상기흡착캡(62)으로 흡착하여 로봇(55)의 작동에 의해 제2기판(52)으로 이동하여 설정된 간격에 따라 배열하게 된다.

또한, 제4도의 (b)도는 상기 (a)도에 도시된 것은 공구(60)가 한개이므로 작업 효율이 좋지 못한 점을 개선하고자 두 개 혹은 다수개이 공구(60)를 고정 블록에 설치하여 구성한 것으로서, 고정 블록(56)에 수직방향으로 이동 가능한 두개의 수직 샤프트(58, 59)를 설치하고, 상기 수직 샤프트에 각각 실린더(71, 72)를 연결하여 상기 고정블록(56)에 대하여 수직 방향으로 이동이 가능하도록 되어 있으며, 물론 상기 수직 샤프트(58, 59)의 하단에는 각각 흡착캡(73, 74)이 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 수평식 핸들러는 제1기판(51)에 배열된 부품을 상기 흡착캡(73, 74)에서 동시에 흡착하여 실린더(71, 72)로 수직 샤프트(58, 59)를 상승시킨 후, 로봇(55)에 의해 제2기판(52)으로 이동하여 원하는 간격의 배열로 배치하기 위해 상기 수직 샤프트(58, 59)를 한 개씩 하강시키고 흡착캡(73, 74)을 하나씩 제어하여 원하는 배열로 부품을 배치한다.

물론, 상기 제1기판(51)과 제2기판(52)의 역할은 서로 반대로하여 제2기판(52)에 배열된 부품을 제1기판(51)으로 옮기는데에도 동일한 방법으로 작동할 수 있으며 상기 두 개의 공구(60)는 더 많은 수량으로 설치할 수도 있다.

그러나, 상기한 바와 같이 구성되어 동작하는 수평식 핸들러는 공구(60)가 하나만 설치된 경우에는 너무 효율이 떨어지고, 다수개의 공구(60)가 일정한 간격으로 고정되어 있는 경우에는 비교적 효율이 우수하지만, 수직 샤프트의 배열 간격이 일정하여 다른 배열의 부품에 사용할 수 없고, 흡착시의 부품 배열과는 다른 배열로 부품을 배치하기 위해 수직 샤프트를 하나씩 조작하게 되므로 작업이 그다지 효율적이지 못하다는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다수의 공구를 설치하고 그 간격을 일정한 범위내에서 조절이 가능하도록 하여 여러가지 간격으로 배열된 부품에 고루 사용할 수 있음과 아울러 부품 흡착시의 부품 간격와 부품을 재배치할 때의 부품 간격이 달라도 자동적으로 간격을 조절하여 배치하도록 할 수 있는 공그 간격 조절 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 공구가 설치된 고정 블록 및 다수의 가동 블록과, 상기한 고정 블록 및 다수의 가동 블록간에 형성되는 상대적인 간격이 동일한 상태를 유지한 상태에서 상기 고정 블록 및 다수의 가동 블록 간의 절대적인 간격이 동시에 가변되도록 하는 다중 피치 볼 스크류와, 상기 볼 스크류를 구동하는 볼 스크류 구동 수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 일 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

제1도는 본 발명에 따른 공구 간격 조절 장치를 도시한 것으로서, 상기한 수평식 핸들러의 로봇(55)에 취부되어 작동되는 것이며, 그 구성은 공구가 설치된 고정 블록(56) 및 다수의 가동 블록(1a, 1b)과, 상기한 고정 블록(56) 및 다수의 가동 블록(1a. 1b)간에 형성되는 상대적인 간격이 동일한 상태를 유지한 상태에서 상기 고정 블록(56) 및 다수의 가동 블록(1a, 1b)간의 절대적인 간격이 동시에 가변되도록 하는 다중 피치 볼 스크류(2)와, 상기 다중 피치 볼 스크류(2)를 구동하는 볼 스크류 구동 수단으로 구성되어 있다.

물론, 상기 고정 블록(56)은 로봇(55)에 연결되며, 상기 공구는 반도체를 흡착할 수 있는 흡착캡(3, 3a, 3b)과, 상기 흡착캡(3, 3a, 3b)을 지지하며 고정 블록(56) 및 가동 블록(1a, 1b)에서 상하로 이동되는 수직 샤프트(4, 4a, 4b)와, 상기 수직 샤프트(4, 4a, 4b)를 상하로 이동시키도록 고정 블록(56) 및 가동 블록(1a, 1b)에 형성된 실린더(5, 5a, 5b)로 구성되어 반도체를 이송할 수 있도록 되어 있다.

상기 다중 피치 볼 스크류(2)는 가동 블록(1a, 1b)의 개수가 M이고, 피치가 P이며, 나선의 형성 길이가 L이고, n은 1부터 증가하는 자연수라고 하면, 다중 피치 볼 스크류(2)의 작동 가능 범위의 고정 블록(56) 인접측으로부터 타측을 향하여 n이 M과 같아질 때 까지 nP피치의 나선이 nL 길이만큼 연달아 형성되어 있다.

즉, 제1도에 도시된 것에 따라 설명하면 상기 고정 블록(56)의 공구 설치 부위에 가깝게 설치된 가동 블록을 제1가동 블록(1a)이라하고, 나머지 하나의 가동 블록을 제2가동 블록(1b)이라 하면, 제2가동 블록(1b)이 이동될 수 있는 이동 범위는 제1가동 블록(1a)이 이동될 수 있는 이동 범위의 2배이며 그 피치는 제1가동 블록(1a)의 범위에 형성된 피치의 2배로 형성되어 있다.

그리고, 상기 볼 스크류 구동 수단은 다중 피치 볼 스크류(2)를 회전시키기 위해 서보 모터(6)를 고정 블록(56)에 설치하여 구성한다.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.

제1기판(51)에 이동시키기를 원하는 부품이 배열된 간격을 제1간격(S1)이라하고, 제2기판(52)에 부품이 배열될 간격을 제2간격(S2)이라하면, 상기 제1기판(51)에 배열된 부품을 흡탁하기 위하여 상기 서보모터(6)를 구동하여 다중 피치 볼 스크류(2)를 회전시킴으로써 상기 제1, 2 가동블록(1a, 1b)이 고정 블록(56) 및 제1, 2 가동 블록(1a, 1b)간의 상대적인 거리는 항상 같은 상태를 유지하면서 그 거리의 크기가 변화하여 상기 제1간격(1S)으로 배열된다.

상기와 같이 제1간격(1S)으로 고정 블록(56)과 가동 블록(1a, 1b)이 조절된 상태에서 다수의 실린더(5, 5a, 5b)를 동시에 작동하여 수직 샤프트(4, 4a, 4b)를하강시키고, 각 흡착캡(3, 3a, 3b)으로 부품을 동시에 흡착한 후, 실린더(5, 5a, 5b)를 다시 구동하여 일정한 높이로 부품을 들어올리고 로봇(55)을 작동하여 흡착된 부품을 제2기판(52)의 상부에 위치시킨다.

부품의 간격을 제2기판(52)에 배열할 제2간격(S2)으로 조절하는 것은 상기 제1기판(51)에서 제1간격(S1)으로 조절할 때와 마찬가지로 서보모터(6)를 구동하여 다중 피치 볼 스크류(2)를 회전시킴으로써 원하는 간격으로 부품을 재배열 할 수 있으며, 상기와 같이 부품의 간격이 조절된 후 상기 실린더(5, 5a, 5b)를 동시에 작동하여 수직 샤프트(4, 4a, 4b)를 하강시키고 부품을 제2기판(52)위에 놓음으로써 간단한 동작으로 부품의 재배치가 가능하게 된다.

이상과 같이 본 발명은 공구가 설치된 고정 블록 및 다수의 가동 블록과, 상기한 고정 블록 및 다수의 가동 블록간에 형성되는 상대적인 간격이 동일한 상태를 유지한 상태에서 상기 고정 블록 및 다수의 가동 블록 간의 절대적인 간격이 동시에 가변되도록 하는 다중 피치 볼 스크류와, 상기 볼 스크류를 구동하는 볼 스크류 구동 수단으로 구성된 공구 간격 조절 장치를 제공함으로써, 일정하게 배열된 다수의 부품에 적합한 간격으로 수시로 조절이 가능하도록 하여 배열된 다수의 부품을 다른 배열로 이동시키는 작업을 보다 효율적으로 실시할 수 있는 효과가 있다.

Claims

공구가 설치된 고정 블록 및 다수의 가동 블록과, 상기한 고정 블록 및 다수의 가동 블록간에 형성되는 상대적인 간격이 동일한 상태를 유지한 상태에서 상기 고정 블록 및 다수의 가동 블록 간의 절대적인 간격이 동시에 가변되도록 하는 다중 피치 볼 스크류와, 상기 볼 스크류를 구동하는 볼 스크류 구동 수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 공구 간격 조절 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 다중 피치 볼 스크류는 가동 블록의 개수가 M이고, 피치가 P이며, 나선의 형성 길이가 L이고, n은 1부터 증가하는 자연수라고 하면, 다중 피치 볼 스크류의 작동 가능 범위의 고정 블록 인접측으로부터 타측을 향하여 n이 M과 같아질 때 까지 nP피치의 나선이 nL 길이만큼 연달아 형성된 것을 특징으로 하는 공구 간격 조절 장치.
상기 공구는 반도체를 흡착할 수 있는 흡착캡과, 상기 흡착캡을 지지하며 고정 블록 및 가동 블록에서 상하로 이동되는 수직 샤프트와, 상기 수직 샤프트를 상하로 이동시키도록 고정 블록 및 가동 블록에 형성된 실린더로 구성되어 반도체를 이송할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 공구 간격 조절 장치.
상기 볼 스크류 구동 수단은 고정 블록에 고정되어 다중 피치 볼 스크류를 회전시키는 서보 모터임을 특징으로 하는 공구 간격 조절 장치.