KR0164660B1 - 압전부품 - Google Patents

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KR0164660B1
KR0164660B1 KR1019950003243A KR19950003243A KR0164660B1 KR 0164660 B1 KR0164660 B1 KR 0164660B1 KR 1019950003243 A KR1019950003243 A KR 1019950003243A KR 19950003243 A KR19950003243 A KR 19950003243A KR 0164660 B1 KR0164660 B1 KR 0164660B1
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다케토시 히노
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무라타 야스타카
가부시키가이샤 무라타 세이샤쿠쇼
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Abstract

본 발명은 진동자 상호의 간섭이 적고 스프리어스특성이 뛰어난 압전부품을 얻는데 그 목적이 있다. 압전체기판(2)에는 2개의 진동자(F1,F2)와 하나의 결합용량(C1)이 설치되어 있다. 진동자(F1)는 기판(2)상면에 형성된 진동전극(4a,4b)과 이에 대치해서 기판(2) 하면에 형성된 진동전극(4c)으로 구성되어 있다. 진동자(F2)는 기판(2) 상면에 형성된 진동전극(6a,6b)과 이에 대치되게 기판(2) 하면에 형성된 진동전극(6c)으로 구성되어 있다. 진동전극(4a,4b,6a,6b)으로부터 연장되어 있는 부진동의 전파로(15,16)는 압전체기판(2)의 외주변에 대해 경사져 있으면서 서로 평행해서 기판(2)내에서 교차되고 있지 않다.

Description

압전부품
제1도는 본 발명에 따른 압전부품의 제1실시예에 사용되는 압전체기판을 나타낸 평면도.
제2도는 본 발명에 따른 압전부품의 제1실시예를 나타낸 평면도.
제3도는 제2도에 나타낸 압전부품의 전기등가회로도.
제4도는 본 발명에 따른 압전부품의 제2실시예에 사용되는 압전체기판을 나타낸 평면도.
제5도는 본 발명에 따른 압전부품의 제3실시예에 사용되는 압전체기판을 나타낸 평면도.
제6도는 본 발명에 따른 압전부품의 제3실시예를 나타낸 평면도.
제7도는 제6도에 나타낸 압전부품의 전기등가회로도.
제8도는 본 발명에 따른 압전부품의 제4실시예에 사용되는 압전체기판을 나타낸 평면도.
제9도는 그 밖의 실시예를 나타낸 평면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 압전부품 2 : 압전체기판
4a,4b,4c,6a,6b,6c : 진동전극 11 : 입력단자
12 : 출력단자 13 : 공통단자
15,16 : 전파로(傳播路) 32 : 압전체기판
32a,32b : 절단부(切斷部) 33a,33b : 절단부
34a,34b,34c,36a,36b,36c : 진동전극 45,46 : 전파로
51 : 압전부품 52 : 압전체기판
54a,54b,54c,56a,56b,56c : 진동전극 65,66 : 전파로
82 : 압전체기판
84a,84b,84c,86a,86b,86c : 진동전극
95,96 : 전파로
F1,F2,F3,F4,F5,F6,F7,F8 : 압전진동자
[산업상의 이용분야]
본 발명은 압전부품 특히, 복수개의 압전진동자를 내장한 압전부품에 관한 것이다.
[종래의 기술 및 그 문제점]
종래부터 압전진동자를 복수개 설치한 압전체기판을 구비한 압전부품이 알려져 있다. 이 압전부품을 소형화하기 위해 압전체기판의 사이즈를 작게하면 각 압전진동자간의 거리도 짧아진다.
그러나, 압전진동자간의 거리가 짧아지면 압전진동자 상호가 간섭하기 쉽게 되며, 압전부품의 스프리어스 특성이 악회된다는 문제가 있었다. 즉, 하나의 압전진동자에 전압이 인가되면 이 압전진동자에 압전체기판의 두께 방향으로 진동하는 주진동이 발생함과 더불어 압전체기판의 표면방향으로 진동하는 부진동이 발생한다. 이 부진동은 진동파의 형태로 압전체기판의 표면을 감쇄하면서 전파(傳播)된다. 그러나, 압전진동자간의 거리가 짧아지면 부진동이 충분히 감쇄하지 않는 중에 다른 압전진동자가 설치된 위치에 도달하기 때문에 다른 압전진동자에서 발생하는 주진동에 간섭되어, 압전부품의 스프리어스특성을 악화시키는 것이다.
이것에 대한 대책으로서 일본국 실용신안 공개소 58-11316호 공보에 기재된 압전부품이 있다. 이 압전부품은 2개의 압전진동자를 각각의 부진동의 전파방향이 서로 대략 직교함과 더불어 압전체기판의 외주변에 대해 대략 45°가 되도록 배치한 것이다. 즉, 한쪽의 압전진동자를 다른 쪽의 압전진동자에서 발생된 부진동의 전파로부터 벗어난 위치에 배치되어 부진동에 의한 직접적인 간섭을 억제하는 것이다. 그러나, 이 구조에서는 부진동의 전파로가 교차(交差)되기 때문에 2개의 압전진동자에서 각각 발생된 부진동의 진동파가 전파로의 교차부에서 서로 간섭한다. 그리고, 간섭에 의해 발생된 불필요한 진동파가 전파되어 압전진동자의 주진동을 간섭(干涉)하고, 스프리어스 특성의 개선을 저해하는 것으로 생각되어 왔다.
[발명의 목적]
본 발명은 상기한 점을 감안하여 발명된 것으로, 압전진동자 서로의 간섭이 없고, 스프리어스특성이 뛰어난 압전부품을 제공함에 그 목적이 있다.
[발명의 구성 및 작용]
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 압전부품은 적어도 2개의 압전진동자에 있어서, 각각의 진동파의 전파로가 서로 거의 평행하면서 압전체기판내에서 교차되지 않는 것을 특징으로 한다.
이상의 구성에 있어서, 진동파는 압전진동자에서 발생된 부진동의 파이다. 부진동의 전파로가 교차되지 않기 때문에 부진동의 상호의 간섭이 없게 되어 압전진동자의 주진동을 간섭하는 일이 없다.
또한 본 발명에 따른 압전부품은 적어도 2개의 압전진동자에 있어서 각각의 진동전극으로부터 전파되는 진동파의 전파로가 압전체기판의 외주변에 대해 기울어져 있음과 더불어 서로 거의 평행하면서 압전체기판내에서 교차되지 않는 것을 특징으로 한다.
이상의 구성에 있어서 진동전극으로부터 전파되는 진동파는 압전전동자에서 발생된 부진동의 파이다. 이 부진동의 진동파는 압전체기판의 표면을 전파해서 압전체기판의 연단(緣端)에 도달하면 연단에서 반사되어 다시 압전진동자로 귀환한다. 그러나 전파로가 압전체기판의 외주변에 대해 기울어 있기 때문에 종래의 압전부품의 경우보다도 전파로가 길어지며, 부진동의 주파수가 저주파로 이동하고, 압전진동자에서 발생하는 주진동을 간섭할 염려가 없어진다. 더욱이, 부진동의 전파로가 교차하지 않기 때문에 부진동 상호의 간섭도 없게 되어 압전진동자의 주진동을 간섭하는 일도 없다.
또한 본 발명에 따른 압전부품은 적어도 2개의 압전진동자에 있어서, 각각의 진동전극으로부터 전파되는 진동파의 전파로에 압전체기판의 절단부가 배열 설치되어 있음과 더불어 상기 진동파의 전파로가 서로 거의 평행하면서 상기 압전체기판내에서 교차되지 않는 것을 특징으로 한다.
이상의 구성에 있어서 부진동의 진동파의 전파로내에 절단부가 설치되어 있기 때문에 종래의 압전부품의 경우보다도 전파로가 짧아지며, 부진동이 고주파로 이동하고, 압전진동자에서 발생하는 주진동을 간섭할 염려가 없어진다. 더욱이, 부진동의 전파로가 교차하지 않기 때문에 부진동 상호의 간섭도 없게 되어 압전진동자의 주진동을 간섭하는 일도 없다.
더욱이, 본 발명에 따른 압전부품은 적어도 2개의 압전진동자에 있어서 각각의 진동전극에 형성되는 갭의 개구부로부터 전파되는 진동파의 전파로가 서로 거의 평행하면서 압전체기판내에서 교차되지 않는 것을 특징으로 한다.
이상의 구성에 있어서, 진동전극이 형성되는 갭의 개구부로부터 전파되는 진동파는 압전진동자에서 발생된 부진동의 파이다. 이 부진동의 전동파는 압전체기판의 표면을 전파되지만, 그 전파로로부터 벗어나 다른 쪽의 압전진동자가 배치되어 있기 때문에 부진동의 진동파가 다른 쪽의 압전진동자에서 발생하는 주진동을 간섭할 염려가 없어진다. 더욱이, 부진동의 전파로가 교차되지 않기 때문에 부진동 상호의 간섭도 없어져 압전진동자의 주진동을 간섭하는 일도 없다.
[실시예]
이하, 본 발명에 따른 압전부품의 실시예에 대해 예시도면을 참조하여 상세히 설명한다.
각 실시예는 압전부품으로서 필터를 예로서 설명한다.
[실시예 1(제1도~제3도)]
제1도에 나타낸 바와 같이 압전체기판(2)은 2개의 에너지 유폐형 압전진동자(F1,F2)와 하나의 결합용량(C1)을 설치한 것이다. 압전체기판(2)으로서는 Pb(ZrTi)O3, BaTiO3의 세라믹기판등이 사용된다.
압전진동자(F1)는 기판(2)의 좌측 상면에 형성되어 있는 진동전극(4a,4b)과 이것들에 대치해서 기판(2)의 하면에 형성되어 있는 진동전극(4c)으로 구성되어 있다. 마찬가지로 압전진동자(F2)는 기판(2)의 우측 상면에 형성되어 있는 진동전극(6a,6b)과 이것들에 대치해서 기판(2)의 하면에 형성되어 있는 진동전극(6c)으로 구성되어 있다. 진동전극(4a,4b)은 전기적으로 접속되어 있다.
진동전극(4a,4b,6a,6b)으로부터 연장되어 있는 부진동의 전파로(15,16)는 기판(2)의 외주변에 대해 기울어져 있고, 서로 평행하여 기판(2)내에서 교차되지 않고 있다.
결합용량(C1)은 기판(2)의 중앙부의 상하면에 대치해서 형성되어 있는 용량전극(8a,8b)으로 구성되어 있다. 용량전극(8a)은 진동전극(4a,6b)에 전기적으로 접속되고, 용량전극(8b)은 진동전극(4c,6c)에 전기적으로 접속되어 있다.
압전체기판(2)의 상면의 좌우단부에는 입력전극(9)과 출력전극(10)이 형성되어 있다. 전극(9,10)은 각각 진동전극(4b,6a)에 전기적으로 접속되어 있다.
더욱이, 사양에 맞춰 제2도에 나타낸 바와 같이 입력단자(11)와 출력단자(12) 및 공통단자(13)가 각각 입력전극(9)과 출력전극(10) 및 용량전극(8b)에 납땜된다. 다음에 압전진동자(F1,F2)를 덮도록 공동형성용(空洞形成用)의 왁스 또는 파라핀등을 압전체기판(2)의 표면에 도표한다. 다음에 테이핑등의 수단에 의해 용융된 외장용수지를 압전체기판(2)에 부착시킨다. 다음에 외장용수지를 열경화시켜 왁스 또는 파라핀을 용융시킴과 더불어 외장용수지에 흡수시켜 압전진동자(F1,F2)를 위한 공동(空洞; 21,22)을 내부에 설치한 외장재(20)를 형성한다. 외장재(20)의 재료로서는 내열성이 우수한 열경화형의 수지, 예컨대 에폭시수지등이 사용된다.
제3도는 이상의 구성으로 이루어진 압전부품(1)의 전기등가회로도이다. 압전진동자(F1,F2)가 결합용량(C1)을 사이로 해서 병렬관계에 있다. 이렇게 해서 얻어진 압전부품(1)은 전압필터로서 기능한다.
다음에 이상의 구성으로 얻어진 압전부품(1)의 작용효과에 대해 제1도를 참조하여 설명한다.
입력단자(11)를 매개로 압전진동자(F1)에 전압이 인가되면, 진동전극(4a,4b)과 진동전극(4c)과의 사이에 기판(2)의 두께 방향으로 진동하는 주진동이 발생한다. 동시에 압전체기판(2)의 표면방향으로 진동하는 부진동이 발생한다. 이 부진동은 진동전극(4a,4b)으로부터 진동파의 형상으로 전파로(15)를 전파한다. 부진동은 기판(2)의 연단(緣端)에 도달하고 거기에서 반사되어 다시 압전진동자(F1)로 귀환한다. 그러나, 전파로(15)는 기판(2)의 외주변에 대해 경사져 있기 때문에 종래의 압전부품의 경우보다도 전파로가 길어져, 부진동의 주파수가 저주파로 이동한다. 따라서 압전진동자(F1)로 귀환된 부진동은 압전진동자(F1)에서 발생된 주진동을 간섭하지 않는다. 마찬가지로 압전진동자(F2)에서 발생된 주진동도 압전진동자(F2)로 귀환된 부진동에 간섭되지 않는다.
더욱이, 전파로(15,16)는 교차되지 않기 때문에 압전진동자(F1,F2)의 각각의 부진동이 서로 간섭할 염려가 없고, 불필요한 진동파가 압전진동자의 주진동을 간섭하는 종래의 불합리한 경우가 해소된다.
이 결과 압전진동자 상호의 간섭이 없고 스프리어스 특성이 우수한 압전부품(1)을 얻을 수 있다.
[실시예 2(제4도)]
제4도에 나타낸 바와 같이 제2실시예의 압전부품에 사용되는 압전체기판(32)은 2개의 에너지 유폐형 압전진동자(F3,F4)와 하나의 결합용량(C2)을 설치한 것이다. 기판(32)의 좌우에는 절단부(32a,32b)가 설치되어 있다.
압전진동자(F3)는 기판(32)의 좌측 상면에 형성되어 있는 진동전극(34a,34b)과 이에 대치해서 기판(32)의 하면에 형성되어 있는 진동전극(34c)으로 구성되어 있다. 마찬가지로 압전진동자(F4)는 기판(32)의 우측 상면에 형성되어 있는 진동전극(36a,36b)과 이에 대치되어 기판(32)의 하면에 형성되어 있는 진동전극(36c)으로 구성되어 있다. 진동전극(34a,36a) 및 진동전극(34c,36c)은 전기적으로 접속되어 있다.
진동전극(34a,34b 및 36a,36b)으로부터 연장되어 있는 부진동의 전파로(45,46)는 기판(32)의 좌변(左邊(또는 우변))에 대해 평행하며, 기판(32)내에서 교차되어 있지 않다. 전파로(45,46)는 기판(32)의 절단부(32a,32b)에 의해 그 길이가 종래의 압전부품보다 짧게 되어 있다.
결합용량(C2)은 기판(32)의 중앙부의 상하면에 대치해서 형성되어 있는 용량전극(38a,38b)으로 구성되어 있다. 용량전극(38a)은 진동전극(34a,36a)에 전기적으로 접속되고, 용량전극(38b)은 진동전극(34c,36c)에 전기적으로 접속되어 있다.
압전체기판(32)의 상면의 좌우단부에는 입력전극(39)과 출력전극(40)이 형성되어 있다. 전극(39,40)은 각각 진동전극(34b,36b)에 전기적으로 접속되어 있다.
더욱이, 사양에 맞춰 상기 제1실시예와 마찬가지로 리드단자가 용량전극(38b) 및 전극(39,40)의 각각에 땜납등으로 전기적으로 접속되어 고정된 후, 압전진동자(F3,F4)를 위한 공동을 내부에 설치한 외장재가 형성되어 압전부품이 제작된다. 이 압전부품은 압전필터로서 기능한다.
이상의 구성으로 이루어진 압전부품에 있어서, 압전진동자(F3)에서 발생된 부진동의 진동파는 전파로(45)를 전파한다. 그러나, 전파로(45)는 절단부(34)에 의해 그 파장이 종래의 압전부품보다 짧게되어 있으므로 부진동의 주파수가 고주파로 이동한다. 따라서, 압전진동자(F3)로 귀환된 부진동은 압전진동자(F3)에서 발생된 주진동을 간섭하지 않는다. 마찬가지로 압전진동자(F4)에서 발생된 주진동도 압전진동자(F4)로 귀환한 부진동으로 간섭되지 않는다.
더욱이, 전파로(45,46)는 교차되지 않기 때문에 압전진동자(F3,F4)의 각각의 부진동이 서로 간섭할 염려가 없어 불필요한 진동파가 압전진동자의 주진동을 간섭하는 종래의 불합리한 경우가 해소된다.
이 결과 압전진동자 상호의 간섭이 없고 스프리어스 특성이 뛰어난 압전부품을 얻을 수 있다.
[실시예 3(제5도~제7도)]
제5도에 나타낸 바와 같이 압전체기판(52)은 2개의 에너지 유폐형 압전진동자(F5,F6)와 하나의 결합용량(C3)을 설치한 것이다.
압전진동자(F5)는 기판(52)의 좌측 상면에 형성되어 있는 진동전극(54a,54b)과 이에 대치되어 기판(52)의 하면에 형성되어 있는 진동전극(54c)으로 구성되어 있다. 마찬가지로 압전진동자(F6)는 기판(52)의 우측 상면에 형성되어 있는 진동전극(56a,56b)과 이에 대치되어 기판(52)의 하면에 형성되어 있는 진동전극(56c)으로 구성되어 있다. 진동전극(54a,56b) 및 진동전극(54c,56c)은 전기적으로 접속되어 있다.
진동전극(54a,54b)이 형성되는 갭(55) 및 진동전극(56a,56b)이 형성되는 갭(57)은 기판(52)의 외주변에 대해 각각 경사져 있고, 갭(55)과 갭(57)은 서로 평행한 관계를 갖추고 있다. 갭(55,57)의 개구부로부터 연장되어 있는 부진동의 전파로(65,66)는 서로 평행하면서 기판(52)내에 교차되어 있지 않다.
결합용량(C3)은 기판(52)의 중앙부의 상하면에 대치되어 형성되어 있는 용량전극(58a,58b)으로 구성되어 있다. 용량전극(58a)은 진동전극(54a,56b)에 전기적으로 접속되고, 용량전극(58b)은 진동전극(54c,56c)에 전기적으로 접속되어 있다.
압전체기판(52)의 상면의 좌우단부에는 입력전극(59)과 출력전극(60)이 형성되어 있다. 전극(59,60)은 각각 진동전극(54b,56a)에 전기적으로 접속되어 있다.
더욱이, 사양에 맞춰 제6도에 나타낸 바와 같이 입력단자(61)와 출력단자(62) 및 공통단자(63)가 각각 입력전극(59)과 출력전극(60) 및 용량전극(58b)에 납땜된다. 다음에 압전진동자(F5,F6)를 위한 공동(71,72)을 내부에 설치한 외장재(70)을 형성한다.
제7도는 이상의 구성으로 이루어진 압전부품(51)의 전기등가회로도이다. 압전진동자(F5,F6)가 결합용량(C3)을 사이로 해서 병렬관계에 있다. 이 압전부품(51)은 압전필터로서 기능한다.
다음에 이상의 구성으로 이루어지는 압전부품(51)의 작용효과에 대해 제5도를 참조해서 설명한다.
입력단자(61)를 매개로 압전진동자(F5)에 전압이 인가되면, 진동전극(54a,54b)과 진동전극(54c)과의 사이에 기판(52)의 두께 방향으로 진동하는 주진동이 발생한다. 동시에 압전체기판(52)의 표면방향으로 진동하는 부진동이 발생한다. 이 부진동은 갭(55)의 개구부로부터 진동파의 형상으로 전파로(65)를 전파한다. 그러나, 다른 쪽의 압전진동자(F6)는 전파로(65)로부터 벗어난 위치에 배치되어 있으므로, 전파로(65)를 전파하는 부진동은 압전진동자(F6)에서 발생된 주진동을 간섭하지 않는다. 동시에 압전진동자(F6)에서 발생된 부진동도 갭(57)의 개구부로부터 진동파의 형상으로 전파로(66)를 전파하지만, 압전진동자(F5)는 전파로(66)로부터 벗어난 위치에 배치되어 있으므로, 전파로(66)를 전파하는 부진동은 압진진동자(F5)에서 발생된 주진동을 간섭하지 않는다.
더욱이, 전파로(65,66)는 교차되어 있지 않으므로 압전진동자(F5,F6)의 각각의 부진동이 상호 간섭할 염려가 없어 불필요한 진동파가 압전진동자의 주진동을 간섭하는 종래의 불합리한 경우가 해소된다.
이 결과 압전진동자 상호의 간섭이 없고 스프리어스 특성이 우수한 압전부품(51)을 얻을 수 있다.
[실시예 4(제8도)]
제8도에 나타낸 바와 같이 제4실시예의 압전부품에 사용되는 압전체기판(82)은 2개의 에너지 유폐형 압전진동자(F7,F8)와 하나의 결합용량(C4)을 설치한 것이다.
압전진동자(F7)는 기판(82)의 좌측 상면에 형성되어 있는 진동전극(84a,84b)과 이에 대치되어 기판(82)의 하면에 형성되어 있는 진동전극(84c)으로 구성되어 있다. 마찬가지로 압전진동자(F8)는 기판(82)의 우측 상면에 형성되어 있는 진동전극(86a,86b)과 이에 대치되어 기판(82)의 하면에 형성되어 있는 진동전극(86c)으로 구성되어 있다. 진동전극(84a,86a) 및 진동전극(84c,86c)은 전기적으로 접속되어 있다.
진동전극(84a,84b)이 형성되는 갭(85) 및 진동전극(86a)과 진동전극(86b)이 형성되는 갭(87)은 기판(82)의 상변에 대해 각각 평행한 관계를 갖추고 있다. 갭(85,87)의 개구부로부터 연장되어 있는 부진동의 전파로(95,96)는 서로 평행하면서 기판(82)내에서 교차되어 있지 않다.
결합용량(C4)은 기판(82)의 중앙부의 상하면에 대치되어 형성되어 있는 용량전극(88a,88b)으로 구성되어 있다. 용량전극(88a)은 진동전극(84a,86a)에 전기적으로 접속되고, 용량전극(88b)은 진동전극(84c,86c)에 전기적으로 접속되어 있다.
압전체기판(82)의 상면의 좌우단부에는 입력전극(89)과 출력전극(90)이 형성되어 있다. 전극(89,90)은 각각 진동전극(84b,86b)에 전기적으로 접속되어 있다.
더욱이, 사양에 맞춰 상기 제3실시예와 마찬가지로 리드단자가 용량전극(88b) 및 전극(89,90)의 각각에 땜납등으로 전기적으로 접속되어 고정된 후에 압전진동자(F7,F8)를 위한 공동을 내부에 설치한 외장재가 형성되고 압전부품이 제작된다. 이 압전부품은 압전필터로서 기능한다.
다음에 이상의 구성으로 얻어진 압전부품은 상기 제3실시예의 압전부품(51)과 동일한 작용효과를 이룬다.
[그 밖의 실시예]
본 발명에 따른 압전부품은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 그 요지의 범위내에서 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있다.
압전체기판상에 형성되는 압전진동자의 형상과 레이아웃은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 압전진동자를 3개 형성한 경우, 전체 압전진동자의 전파로가 압전체기판의 외주변에 대해 경사짐과 더불어 서로 거의 평행으로, 압전체기판내에서 교차되지 않도록 할 필요는 없으며, 그중 어느 하나가 2개의 압전진동자가 상기 조건을 만족하면 된다.
또한 상기 제2실시예에 있어서, 압전체기판의 절단부의 형상은 임의이며, 예컨대 제9도에 나타낸 바와 같이 전파로(45,46)내에서만 형성된 절단부(33a,33b)이어도 된다. 더욱이, 전파로(45,46)가 기판(32)의 좌변(또는 우변)에 대해 평행일 필요는 없으며, 기울어져 있어도 좋다.
[발명의 효과]
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 적어도 2개의 압전진동자의 진동파의 전파로가 서로 평행하고, 압전체기판내에서 교차되지 않도록 했으므로 부진동의 전파로가 교차되지 않고, 부진동 상호의 간섭이 없게 되며, 압전진동자의 주진동을 간섭하는 일이 해소된다.
또한 본 발명에 의하면, 적어도 2개의 압전진동자의 진동전극으로부터 전파되는 진동파의 전파로가 압전체기판의 외주변에 대해 경사짐과 더불어 서로 대략 평행하게 압전체기판내에서 교차되지 않도록 했기 때문에 한쪽의 압전진동자에서 발생하는 부진동의 진동파가 다른 쪽의 압전진동자에서 발생하는 주진동을 간섭할 염려가 없어진다. 더욱이 부진동의 전파로가 교차되지 않기 때문에 부진동 상호의 간섭도 없게 되고, 압전진동자의 주진동을 간섭하는 것도 해소된다.
또한 본 발명에 의하면, 적어도 2개의 압전진동자의 진동전극으로부터 전파되는 진동파의 전파로내에 압전체기판의 절단부가 설치되어 있음과 더불어 진동파의 전파로가 서로 거의 평행으로, 압전체기판내에서 교차되지 않도록 했으므로, 한쪽의 압전진동자에서 발생된 부진동의 진동파가 다른 쪽의 압전진동자에서 발생하는 주진동을 간섭할 염려가 없어진다. 더욱이, 부진동의 전파로가 교차되지 않기 때문에 부진동 상호의 간섭도 없게 되어 압전진동자의 주진동을 간섭하는 것도 해소된다.
또한 본 발명에 의하면 적어도 2개의 압전진동자의 진동전극이 형성되는 갭의 개구부로부터 전파되는 진동파의 전파로를 상호 평행하면서 압전체기판내에서 교차되지 않도록 했으므로한쪽의 압전진동자에서 발생된 부진동의 진동파가 다른 쪽의 압전진동자에서 발생되는 주진동을 간섭할 염려가 없어진다. 더욱이 부진동의 전파로가 교차되지 않기 때문에 부진동 상호의 간섭도 없게 되며, 압전진동자의 주진동을 간섭하는 것도 해소된다.
이 결과 압전진동자 상호의 간섭이 없고 스프리어스 특성이 뛰어난 압전부품을 얻을 수 있다.

Claims (3)

  1. 진동전극으로 구성된 압전진동자를 복수개 설치한 압전체기판을 구비한 압전부품에 있어서, 상기 압전진동자의 적어도 2개는 각각의 상기 진동전극으로부터 전파되는 진동파의 전파로가 상기 압전체기판의 외주변에 대해 경사져 있음과 더불어 서로 거의 평행해서, 상기 압전체기판내에서 교차되지 않는 것을 특징으로 하는 압전부품.
  2. 진동전극으로 구성된 압전진동자를 복수개 설치한 압전체기판을 구비한 압전부품에 있어서, 상기 압전진동자의 적어도 2개는 각각의 상기 진동전극으로부터 전파되는 진동파의 전파로에 상기 압전체기판의 절단부가 배열 설치되어 있음과 더불어 상기 진동파의 전파로가 서로 거의 평행해서, 상기 압전체기판내에서 교차되지 않는 것을 특징으로 하는 압전부품.
  3. 진동전극으로 구성된 압전진동자를 복수개 설치한 압전체기판을 구비한 압전부품에 있어서, 상기 압전진동자의 적어도 2개는 각각의 상기 진동전극이 형성되는 갭의 개구부로부터 전파되는 진동파의 전파로가 서로 평행하면서 상기 압전체기판내에 교차되지 않는 것을 특징으로 하는 압전부품.
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