KR0158642B1 - 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 RC 딜레이로 인한 신호 지연을 감소시키기 위하여, 게이트선 또는 데이타선과 교차되는 부분을 줄이도록 리페어선을 설계한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제1 부분, 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 데이타선의 반대쪽에 있는 제n 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제2 부분, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 연결되어 있는 제3 부분, 한쪽은 상기 제3부분과 연결되어 있으며 상기 제2 부분과 하나 이상의 가지선으로 연결되어 있는 제4 부분으로 이루어져 있는 리페어선을 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

액정 표시 장치 및 그 제조 방법

제1도는 종래의 액정 표시 장치의 리페어선을 도시한 평면도이고,

제2도는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 리페어선을 도시한 평면도이고,

제3a도-제3c도는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 리페어선을 형성하는 순서를 나타낸 평면도이고,

제4도는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 리페어선을 도시한 평면도이고,

제5a도-제5c도는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 리페어선을 형성하는 순서를 나타낸 평면도이다.

본 발명은 액정 표시 장치의 리페어선 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세히 말하자면, RC 딜레이로 인한 신호 지연을 감소시키기 위하여, 게이트선 또는 데이타선과 교차되는 부분을 줄이도록 리페어선을 설계한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치는, 박막 트랜지스터 및 화소 전극이 형성되어 있는 다수의 화소 단위가 행렬의 형태로 형성되어 있으며, 게이트선 및 데이타선이 각각 화소 행과 화소 열을 따라 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판, 공통 전극이 형성되어 있는 컬러 필터 기판, 그리고 그 사이에 봉입되어 있는 액정 물질을 포함하고 있다.

상기 박막 트랜지스터 기판의 게이트 전극은 상기 게이트선을 통해 게이트 구동 드라이브로부터 게이트 구동 신호를 전달받아 반도체층에 채널을 형성시키고, 이에 따라 데이타 구동 드라이브로부터의 데이타 신호가 상기 데이타선을 통해 소스 전극에 전달되고, 반도체층과 드레인 전극을 거쳐 화소 전극에 전달된다.

이와 같은 액정 표시 장치는 게이트선 및 데이타선의 오픈이 자주 발생하여 수율이 떨어지게 된다. 따라서 수율을 높이기 위해서는 상술한 게이트선 및 데이타선의 오픈 부분을 리페어할 수 있어야 한다.

제1도는 종래의 액정 표시 장치의 리페어선을 도시한 평면도이다.

제1도에 도시한 바와 같이, 종래의 리페어선(2)은 리페어선(2)을 액티브 영역 외곽으로 둘러싸게 형성시키고 데이타선(4)이 오픈되었을 경우 리페어 한다.

상기 제1도를 참고로 하여, 상기한 종래의 액정 표시 장치의 리페어선(2)의 형성 방법을 설명한다.

기판 위에 게이트 전극, 게이트선(1) 그리고 리페어선(2)을 동시에 형성시킨다. 그리고 양극 산화를 위한 쇼팅바(3)도 함께 형성한다.

다음, 상기 게이트 전극과 게이트선(1) 그리고 리페어선(2)을 양극 산화시킨다. 단, 게이트 패드 컨택 영역(5)은 포토 레지스트를 이용하여 양극 산화되지 않게 한다.

다음, 게이트 절연막, 비정질 실리콘막, n+ 비정질 실리콘막을 연속 증착하고 사진 식각하여 비정질 실리콘막과 n+ 비정질 실리콘막으로 이루어진 액티브막을 형성한다.

다음, 상기 게이트 전극보다 저항이 큰 금속을 적층하고 식각하여 소스/드레인 전극과 데이타선(4) 그리고 데이타 패드(40) 및 게이트 패드(10)를 형성한다.

상기와 같은 공정 순서에 의해 형성된 액정 표시 장치는 제1도에 도시한 바와 같이, 리페어선(2)이 데이타선(4)과 교차되어 겹치는 부분(4')과 게이트 패드(10)가 리페어선(2) 외부에 형성되어 있어 게이트선(1)과도 교차되어 겹치는 부분(1')이 많이 있다.

따라서, 상기와 같이 리페어선(2)이 형성되어 있는 액정 표시 장치는 제1도의 A부분에서 데이타선(4) 오픈이 일어났을 경우, 리페어선(2)의 B부분, C부분을 레이저로 쇼팅하여 리페어한다.

그러나, 리페어 후 상기 리페어선(2)과 게이트선(1) 그리고 리페어선(2)과 데이타선(4)의 교차되어 겹치는 부분은 캐패시터가 형성되므로 RC 딜레이에 의한 신호 지연이 일어나 리페어 후에도 라인 결함이 나타난다. 더욱이 액정 표시 장치가 고정세 대화면 되어 감에 따라 신호 지연은 더욱 심해진다. 즉, 데이터 신호가 제대로 전달되지 않으므로 게이트 신호와의 관계에서 불량이 발생한다.

그러므로 본 발명의 목적은 이러한 종래 기술의 문제점인 리페어에 따른 신호 지연의 단점을 해결하기 위하여, 리페어선의 배치 설계를 게이트선 또는 데이타선과 교차되게 겹치는 부분을 최소한으로 한 액정 표시 장치의 리페어선 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어선의 구성은,

인가되는 화상 신호에 따라 화상을 표시하는 표시 소자에 상기 화상 신호를 제공하는 표시 장치용 배선으로서,

상기 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선,

상기 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 제1단 및 그 반대쪽 끝인 제2단을 가지고 있으며, 상기 게이트선에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 다수의 데이타선,

상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 데이타선으로부터 일정거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제1부분,

상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 상기 제1 데이타선의 반대쪽에 있는 제n 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제2 부분,

상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 연결되어 있는 제3 부분,

한쪽은 상기 제3 부분과 연결되어 있으며 상기 제2 부분과 하나 이상의 가지선으로 연결되어 있는 제4 부분으로 이루어져 있는 리페어선,

상기 리페어선 내부에 상기 게이트선의 입력단과 연결되게 형성되어 있는 게이트 패드를 포함하고 있다.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어선의 제조 방법의 구성은,

기판 위에 도전 물질을 적층한 후 사진 식각하여, 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선을 형성하고, 동시에 상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 게이트선으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제1 부분을, 상기 게이트선 중에서 상기 제1 부분의 반대편 가장 외곽에 형성되어 있는 제n 게이트선으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제2 부분을, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 연결되게 제3 부분을, 상기 제3 부분과 연결되고 상기 제2 부분과 연결된 하나 이상의 가지선을 갖는 상기 제4 부분으로 이루어진 리페어선을 형성하고 동시에 상기 제1 부분, 제2부분, 제4부분과 연결되게 양극 산화에 이용하기 위한 쇼팅바를 형성하고, 는 제1단계,

포토 레지스트를 이용하여 상기 게이트선의 입력단과 연결되는 일부 영역을 제외하고 전면 양극 산화하여 양극 산화막을 형성하는 제2 단계,

절연막, 반도체막, 외인성 반도체막을 연속하여 적층하고 사진 식각하여 상기 반도체막과 상기 외인성 반도체막으로 이루어진 액티브막 형성하는 제3 단계,

상기 액티브막 위에 소스/드레인 전극 및 상기 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 상기 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있으며, 상기 게이트선에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 데이타선을 형성하는 제4단계를 포함하고 있다.

한편, 이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어선의 다른 구성은,

인가되는 화상 신호에 따라 화상을 표시하는 표시 소자에 상기 화상 신호를 제공하는 표시 장치용 배선으로서,

상기 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선,

상기 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 제1단 및 그 반대쪽 끝인 제2단을 가지고 있으며, 상기 게이트선에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 다수의 데이타선,

상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제1 부분,

상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 상기 제1 데이타선의 반대쪽에 있는 제n 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제2부분

상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 연결되어 있는 제3 부분,

상기 제3 부분과 평행하게 형성되어 있는 제4 부분,

한쪽은 상기 제3 부분과 연결되고 다른 한쪽은 상기 제4 부분과 연결되어 있으며 상기 제2 부분과 하나 이상의 가지선으로 연결되어 있는 제5 부분으로 이루어져 있는 리페어선,

상기 리페어선 외부에 상기 게이트선의 입력단과 연결되게 형성되어 있는 게이트 패드를 포함하고 있다.

또, 이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 리페어선의 제조 방법의 다른 구성은,

기판 위에 도전 물질을 적층한 후 사진 식각하여 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선을 형성하고 동시에 양극 산화에 이용하기 위한 쇼팅바를 형성하고, 동시에 상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 게이트선으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제1 부분을, 상기 게이트선 중에서 상기 제1 부분의 반대편 가장 외곽에 형성되어 있는 제n 게이트선으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제2부분을, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 연결되게 제3 부분, 상기 제3부분과 평행하게 제4부분을, 한쪽은 상기 제3 부분과 연결되고 다른 한쪽은 상기 제4부분과 연결되며 상기 제2 부분과 연결되는 하나 이상의 가지선을 갖는 제5 부분을 형성하여 리페어선을 형성하는 단계,

포토 레지스트를 이용하여 상기 게이트선의 입력단의 일부 영역과 상기 게이트선 끝단의 일부 영역과 상기 쇼팅바와 상기 게이트선의 끝단 사이의 일부 영역을 제외하고 전면 양극 산화하여 양극 산화막을 형성하는 단계,

절연막, 반도체막, 외인성 반도체막을 연속하여 적층하고 사진 식각하여 상기 반도체막과 상기 외인성 반도체막으로 이루어진 액티브막 형성하는 단계,

절연막, 반도체막, 외인성 반도체막을 연속하여 적층하고 사진 식각하여 상기 반도체막과 상기 외인성 반도체막으로 이루어진 액티브막 형성하는 단계,

상기 액티브막 위에 소스/드레인 전극 및 상기 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 상기 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있으며, 상기 게이트선에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 데이타선을 형성하는 단계,

상기 데이터선 패턴 형성 후, 포토 레지스트를 벗기기전에 상기 게이트선의 입력단의 일부 영역과 상기 게이트선 끝단의 일부 영역과 상기 쇼팅바와 상기 게이트선의 끝단 사이의 일부 영역에 남아 있는 도전 물질을 전면 에칭하여 제거하는 단계를 포함하고 있다.

첨부한 도면을 참고로 하여, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 제1 실시예를 상세하게 설명한다.

제2도는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 리페어선을 도시한 평면도이고, 제3a도-제3c도는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 리페어선을 형성하는 순서를 나타낸 평면도이다.

먼저, 제3a도에 도시한 바와 같이, 기판 위에 도전 물질을 적층한 다음, 상기 도전막을 사진 식각하여 다음 패턴을 형성한다.

첫째, 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선(1)을 형성한다.

둘째, 상기 게이트선(1) 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 게이트선(1-1)으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제1부분(100)과, 상기 게이트선(1)중에서 상기 제1 부분(100)의 반대편 가장 외곽에 형성되어 있는 제n 게이트선(1-2)으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제2 부분(200)과, 상기 제1 부분(100) 및 상기 제2 부분(200)과 연결되게 제3 부분(300)과, 상기 제3 부분(300)과 연결되며 상기 제2 부분과 연결되게 형성된 제4 부분(400)로 이루어진 리페어선(2)을 형성한다.

셋째, 양극 산화에 이용하기 위한 쇼팅바(3)를 상기 제1 부분(100), 제2 부분(200), 제4부분(400)과 연결되도록 게이트 패드(10) 바깥쪽으로 형성한다.

단, 상기 게이트선(1), 쇼팅바(3), 리페어선(2)은 하나의 마스크를 사용하여 동시에 패터닝한다.

다음, 제3b도에 도시한 바와 같이, 포토 레지스트를 이용하여 상기 게이트선(1)의 입력단과 연결되는 일부 영역인 게이트 패드 컨택 영역(5)을 제외하고 전면 양극 산화하여 양극 산화막을 형성한다. 양극 산화용 쇼팅바(3)는 액정 공정 진행시 쇼팅바 절단선(7)을 따라 잘라 분리시킨다.

다음, 절연막, 반도체막, 외인성 반도체막을 연속하여 적층하고 사진 식각하여 상기 반도체막과 상기 외인성 반도체막으로 이루어진 액티브막을 형성한다.

다음, 제3c도에 도시한 바와 같이, 상기 액티브막 위에 상기 게이트선(1)보다 저항이 큰 도전 물질을 적층한 후 사진 식각하여 다음 패턴을 형성한다.

첫째, 소스/드레인 전극을 형성한다.

둘째, 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 상기 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지는 상기 게이트선(1)에 수직하게 교차되게 데이타선(4)을 형성하고 데이터 패드(40)도 동시에 형성한다. 이때 상기 데이타선(4)의 끝단은 상기 리페어선(2)의 제2 부분(200)을 지나고 제4부분(400)은 지나지 않도록 형성한다.

세째, 게이트 패드 컨택 영역(5)을 이용하여 도시한 바와 같이 게이트패드선(10)을 형성한다.

단, 상기 소스/드레인 전극, 상기 데이타선(4), 데이터 패드(40), 게이트 패드선(10)은 하나의 마스크를 사용하여 동시에 패터닝한다.

상기와 같이 리페어선(2)이 형성되어 있는 액정 표시 장치는 제2도의 A부분에서 데이타선(4) 오픈이 일어났을 경우, 리페어선(2)의 F부분, C부분, G부분, E부분을 절단하고 B부분 D부분을 레이저로 쇼트하여 리페어 한다. 따라서 리페어선(2)과 데이타선(4)의 겹치는 부분을 줄일 수 있다.

한편, 제4도는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 리페어선을 도시한 평면도이고,

제5a도-제5c도는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 리페어선을 형성하는 순서를 나타낸 평면도이다.

먼저, 제5a도에 도시한 바와 같이, 기판 위에 도전 물질을 적층한 다음, 상기 도전막을 사진 식각하여 다음 패턴을 형성한다.

첫째, 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지는 다수의 게이트선(1)을 형성한다.

둘째, 양극 산화에 이용하기 위한 쇼팅바(3)를 형성한다.

셋째, 상기 게이트선(1) 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1게이트선(1)으로부터 일정거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제1 부분(100)을 형성하고, 상기 게이트선(1) 중에서 상기 제1 부분(100)의 반대편 가장 외곽에 형있되어 있는 제n 게이트선(1)으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제2 부분(200)을 형성하고, 상기 제1 부분(100) 및 상기 제2 부분(200) 연결되게 제3 부분(300)을 형성하고, 상기 제3 부분(300)과 평행하게 제4 부분(400)을 형성하고, 한쪽은 상기 제3 부분(300)과 연결되고 다른 한쪽은 상기 제4 부분(400)과 연결되며 상기 제2부분과 연결되는 하나 이상의 가지선을 갖는 제5 부분(500)을 형성하여 리페어선(2)을 형성한다.

단, 상기 게이트선(1), 상기 쇼팅바(3), 상기 리페어선(2)은 하나의 마스크를 사용하여 동시에 패터닝 한다.

다음, 제5b도에 도시한 바와 같이, 포토 레지스트를 이용하여 상기 게이트선(1)의 입력단의 일부 영역인 게이트 패드 컨택홀(5)과 상기 게이트선(1) 끝단의 일부 영역과 상기 쇼팅바(3)와 상기 게이트선(1)의 끝단 사이의 일부 영역인 게이트선(1) 절단 홀(5-1) 그리고 상기 쇼팅바(3)와 상기 리페어선(2)의 제3 부분(300) 사이의 일부 영역인 쇼팅바(3) 절단 홀(5-2)을 제외하고 전면 양극 산화하여 양극 산화막을 형성한다.

다음, 절연막, 반도체막, 외인성 반도체막을 연속하여 적층하고 사진 식각하여 상기 반도체막과 상기 외인성 반도체막으로 이루어진 액티브막 형성하는 제4단계,

다음, 제5c도에 도시한 바와 같이, 상기 액티브막 위에 소스/드레인 전극 및 상기 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 상기 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있으며, 상기 게이트선(1)에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 데이타선(4) 및 데이터 패드(40), 게이트 패드(10)를 형성한다.

다음, 제5c도에 도시한 바와 같이, 상기 데이타선(4) 패턴 형성 후, 포토 레지스트를 벗기기전에 상기 게이트선(1)의 입력단의 일부 영역(5)과 상기 게이트선(1) 끝단의 일부 영역(5-1)과 상기 쇼팅바(3)와 상기 게이트선(1)의 끝단 사이의 일부 영역(5-2)에 남아있는 도전 물질을 전면 에칭하여 제거한다.

상기와 같이 리페어선(2)이 형성되어 있는 액정 표시 장치는 제4도의 A부분에서 데이타선(4) 오픈이 일어났을 경우, 리페어선(2)의 F부분, C부분, G부분, E부분을 절단하고 B부분, D부분을 레이저 쇼팅하여 리페어한다. 따라서 리페어선(2)과 데이타선(4)의 겹치는 부분을 줄일 수 있다.

그러므로 본 발명은 리페어선의 배치 설계를 게이트선 또는 데이타선과 교차되게 겹치는 부분을 최소한으로 리페어에 따른 신호 지연의 단점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 인가되는 화상 신호에 따라 화상을 표시하는 표시 소자에 상기 화상 신호를 제공하는 표시 장치용 배선으로서, 상기 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선, 상기 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 제1단 및 그 반대쪽 끝인 제2단을 가지고 있으며, 상기 게이트선에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 다수의 데이타선, 상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제1 부분, 상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 상기 제1 데이타선의 반대쪽에 있는 제n 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제2 부분, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 연결되어 있는 제3 부분, 한쪽은 상기 제3 부분과 연결되어 있으며 상기 제2 부분과 하나 이상의 가지선으로 연결되어 있는 제4부분으로 이루어져 있는 리페어선, 상기 리페어선 내부에 상기 게이트선의 입력단과 연결되게 형성되어 있는 게이트 패드를 포함하는 표시 장치용 배선,
2. 기판 위에 도전 물질을 적층한 후 사진 식각하여, 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선을 형성하고, 동시에 상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 게이트선으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제1 부분을, 상기 게이트선 중에서 상기 제1 부분의 반대편 가장 외곽에 형성되어 있는 제n 게이트선으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제2 부분을, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 연결되에 제3부분을, 상기 제3 부분과 연결되고 상기 제2 부분과 연결된 하나 이상의 가지선을 갖는 상기 제4 부분으로 이루어진 리페어선을 형성하고 동시에 상기 제1 부분, 제2 부분, 제4부분과 연결되게 양극 산화에 이용하기 위한 쇼팅바를 형성하는 제1 단계, 상기 게이트선의 입력단과 연결되는 일부 영역을 제외하고 전면 양극 산화하여 양극 산화막을 형성하는 제2 단계, 절연막, 반도체막, 외인성 반도체막을 연속하여 적층하고 사진 식각하여 상기 반도체막과 상기 외인성 반도체막으로 이루어진 액티브막을 형성하는 제3단계, 상기 액티브막 위에 소스/드레인 전극 및 상기 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 상기 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있으며, 상기 게이트선에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 데이타선을 형성하는 제4 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
3. 인가되는 화상 신호에 따라 화상을 표시하는 표시 소자에 상기 화상 신호를 제공하는 표시 장치용 배선으로서, 상기 화상신호가 입력되도록 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선, 상기 화상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 제1단 및 그 반대쪽 끝인 제2단을 가지고 있으며, 상기 게이트선에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 다수의 데이타선, 상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제1 부분, 상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 상기 제1 데이타선의 반대쪽에 있는 제n 데이타선으로부터 일정 거리 떨어져 있으며 평행하게 형성되어 있는 제2 부분, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 연결되어 있는 제3 부분, 상기 제3 부분과 평행하게 형성되어 있는 제4 부분, 한쪽은 상기 제3 부분과 연결되고 다른 한쪽은 상기 제4 부분과 연결되어 있으며 상기 제2부분과 하나 이상의 가지선으로 연결되어 있는 제5 부분으로 이루어져 있는 리페어선, 상기 리페어선 외부에 상기 게이트선의 입력단과 연결되게 형성되어 있는 게이트 패드를 포함하는 표시 장치용 배선,
4. 기판 위에 도전 물질을 적층한 후 사진 식각하여 화상 신호가 입력되도록 하는 구동 신호의 통로이며 상기 구동 신호가 입력되는 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있는 다수의 게이트선을 형성하고 동시에 양극 산화에 이용하기 위한 쇼팅바를 형성하고, 동시에 상기 게이트선 중에서 가장 외곽에 형성되어 있는 제1 게이트선으로부터 일정 거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제1 부분을, 상기 게이트선 중에서 상기 제1 부분의 반대편 가장 외곽에 형성되어 있는 제n 게이트선으로부터 일정거리 떨어져 있는 위치에 평행하게 제2부분을, 상기 제1부분 및 상기 제2부분 연결되게 제3 부분, 상기 제3부분과 평행하게 제4부분을, 한쪽은 상기 제3부분과 연결되고 다른 한쪽은 상기 제4부분과 연결되며 상기 제2부분과 연결되는 하나 이상의 가지선을 갖는 제5 부분을 형성하여 리페어선을 형성하는 단계, 포토 레지스트를 이용하여 상기 게이트선의 입력단의 일부 영역과 상기 게이트선 끝단의 일부 영역과 상기 쇼팅바와 상기 게이트선의 끝단 사이의 일부 영역을 제외하고 전면 양극 산화하여 양극 산화막을 형성하는 단계, 절연막, 반도체막, 외인성 반도체막을 연속하여 적층하고 사진 식각하여 상기 반도체막과 상기 외인성 반도체막으로 이루어진 액티브막을 형성하는 단계, 상기 액티브막 위에 소스/드레인 전극 및 상기 와상 신호가 입력되는 통로이며 상기 화상 신호가 입력되는 상기 입력단 및 그 반대쪽 끝인 끝단을 가지고 있으며, 상기 게이트선에 수직하게 교차되게 형성되어 있는 데이타선을 형성하는 단계, 상기 데이터선 패턴 형성 후, 포토 레지스트를 벗기기전에 상기 게이트선의 입력단의 일부 영역과 상기 게이트선 끝단의 일부 영역과 상기 쇼팅바와 상기 게이트선의 끝단 사이의 일부 영역에 남아있는 도전 물질을 전면 에칭하여 제거하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.