KR0139132Y1 - Device spacing controlling apparatus for semiconductor device tester - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 소자검사시 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 위치결정블럭으로 이송시 소자의 간격을 위치결정블럭의 공간부 피치에 알맞게 조절하는 장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 슬라이더가 펼쳐진 상태에서 복수개 설치되는 픽업의 간격을 동일하게 유지할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a device that adjusts the distance of the device to the pitch of the space of the positioning block when transferring the device contained in the customer tray during the inspection of the semiconductor device to the positioning block, more specifically in the state that the slider is unfolded It is to be able to maintain the same spacing of a plurality of pickups installed.
이를 위해, 설치판(3)에 픽업블럭(5)을 승·하강가능하게 설치하고 상기 픽업블럭에는 복수개의 슬라이더(7)를 수평이동가능하게 설치함과 동시에 상기 슬라이더에 픽업(10)이 고정된 픽업헤드(11)를 결합하도록 된 것에 있어서,형상으로 이루어진 복수개의 링크(21)(22)에 슬라이더(7)와 고정되는 축(23)이 끼워지는 제 1 삽입공(21a)(22a)이 형성되고, 상기 제 1 삽입공의 일측에는 링크를 상호 연결시키는 핀(24)이 삽입되는 제 2 삽입공(21b)(22b)을 형성하여 슬라이더가(7) 내측으로 오므러 들거나, 펼쳐짐에 따라 링크(21)(22)가 상호 교차되거나, 평형상태를 유지하도록 구성된 것이다.To this end, the pickup block 5 is mounted on the mounting plate 3 so that the pickup block 5 can be lifted and lowered, and the pickup block 10 is fixed to the slider while a plurality of sliders 7 are horizontally moved to the pickup block. In the adapted to couple the pick-up head 11, First insertion holes 21a and 22a are formed in the plurality of links 21 and 22 formed in the shape, into which the slider 7 and the shaft 23 fixed to each other are fitted, and at one side of the first insertion hole. Forming a second insertion hole 21b, 22b into which the pins 24 for interconnecting the pins are inserted so that the slider is retracted inward, or as the links 21 and 22 cross each other, It is configured to maintain equilibrium.
Description
본 고안은 반도체 소자검사시 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 위치결정블럭으로 이송시 소자의 간격을 위치결정블럭의 공간부 피치에 알맞게 조절하는 장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 슬라이더가 펼쳐진 상태에서 복수개(약 8개 정도) 설치되는 픽업의 간격을 동일하게 유지할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a device that adjusts the distance of the device to the pitch of the space of the positioning block when transferring the device contained in the customer tray during the inspection of the semiconductor device to the positioning block, more specifically in the state that the slider is unfolded It is to keep the interval between pickups installed in plural (about 8) equally.
일반적으로 소자가 담겨져 보관되거나, 이송간에 사용되는 플라스틱재의 고객트레이는 생산업자마다 모양, 크기, 용량 및 소자가 담겨지는 공간부의 피치가 각각 다르게 제작되어 사용되고 있다.In general, the customer tray of the plastic material used to store the element, or used during the transfer is used to produce a different shape, size, capacity, and pitch of the space portion in which the element is contained for each manufacturer.
또한, 고객트레이에 형성된 공간부(소자가 담겨지는 부위)의 피치가 테스트시 소자가 담겨지는 테스트 트레이내에 형성된 공간부의 피치와 다르고 정밀도 또한 다르기 때문에 테스트 트레이내에 로딩된 소자를 테스트 콘택터와 완벽한 접촉이 이루어지도록 하기 위해서는 테스트 트레이에 형성된 공간부의 정밀도가 요구된다.In addition, the pitch of the space portion (where the element is contained) formed in the customer tray is different from the pitch of the space portion formed in the test tray in which the element is contained during the test and the precision is also different, so that the device loaded in the test tray is in perfect contact with the test contactor. In order to achieve this, the precision of the space portion formed in the test tray is required.
그러나 고객트레이에 형성된 공간부는 소자가 수용되기만 하면 되므로 그다지 정밀하게 가공되어 있지 않으므로 고객트레이내에 담겨진 소자를 테스트 트레이내의 공간부로 옮기기 위해서는 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 정밀하게 가공된 별도의 위치결정블럭으로 운반하여 위치를 재결정시킨 다음 테스트 트레이내에 옮겨야 한다.However, the space formed in the customer tray is not precisely processed because only the element needs to be accommodated. Therefore, in order to move the device contained in the customer tray to the space part of the test tray, the device contained in the customer tray is precisely processed as a separate positioning block. It must be transported to reposition and then moved into the test tray.
이를 위해 반도체 소자검사기에는 소자를 옮기는 역할을 하는 픽업이 장착된 이송 수단을 갖는다.To this end, the semiconductor device inspector has a transfer means equipped with a pickup that serves to move the device.
종래에는 고객트레이의 공간부내에 담겨진 소자를 위치결정블럭으로 옮기기 위해 1개의 픽업이 픽업블럭에 승강가능하게 장착되어 있어 실린더의 구동으로 상기 픽업이 하강하여 고객트레이내에 담겨진 소자를 흡착한 다음 위치를 옮겨가면서 위치결정블럭에 형성된 공간부내로 순차 이송시켰으므로 소자의 이송에 따른 시간이 지연되었고, 이에 따라 소자의 성능검사에 따른 작업능률이 저하되었다.Conventionally, one pickup is mounted on the pickup block so as to move the element contained in the space of the customer tray to the positioning block so that the pickup is lowered by driving the cylinder to adsorb the element contained in the customer tray. Since the transfer was sequentially transferred into the space formed in the positioning block, the time due to the transfer of the device was delayed, and thus the work efficiency was reduced due to the performance test of the device.
상기한 문제점을 개선하기 위해, 고객트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일함과 동시에 위치결정블럭에 형성된 공간부의 갯수와 동일한 갯수의 픽업이 장착된 또 다른 픽업헤드를 구비하고, 소자의 위치를 재정렬하는 위치결정블럭을 테스트 트레이의 공간부 피치와 일치시키는 간격조절수단이 구비된 장치가 개발되어 사용되고 있다.In order to solve the above problems, there is provided a pickup head which is equal to the pitch of the space portion formed in the customer tray and is equipped with the same number of pickups as the number of the space portions formed in the positioning block, and realigns the positions of the elements. An apparatus with a spacing control means for matching the positioning block with the pitch of the space portion of the test tray has been developed and used.
따라서 고객트레이에 담겨진 소자를 테스트 트레이에 로딩하기 위해 일측의 픽업헤드가 고객트레이측으로 이동되어와 정지하면 픽업이 하강하여 상기 고객트레이에 담겨진 복수개의 소자를 동시에 흡착한다.Therefore, when the pick-up head of one side is moved to the customer tray side and stops in order to load the elements contained in the customer tray into the test tray, the pick-up is lowered to simultaneously adsorb the plurality of elements contained in the customer tray.
그후, 픽업이 상승하고 나면 픽업헤드가 위치결정블럭의 직상부로 이동하여 픽업에 흡착된 소자를 간격이 고객트레이의 피치와 동일하게 조절된 위치결정블럭의 공간부내에 얹어놓게 된다.Then, after the pick-up, the pick-up head moves to the upper portion of the positioning block so that the element adsorbed on the pick-up is placed in the space portion of the positioning block whose spacing is adjusted equal to the pitch of the customer tray.
이와 같이 고객트레이내에 담겨진 소자가 픽업에 의해 위치결정블럭의 공간부내에 얹혀지고 나면 별도의 구동수단에 의해 상기 위치결정블럭이 테스트 트레이의 피치와 동일하게 펼쳐지게 되므로 테스트 트레이측에 설치된 픽업헤드가 위치결정블럭측으로 이송되어와 전술한 바와 같이 동작하여 소자를 테스트 트레이의 공간부내로 옮기게 된다.After the element contained in the customer tray is placed in the space of the positioning block by pick-up, the positioning block is unfolded in the same manner as the pitch of the test tray by a separate driving means. It is transferred to the decision block side and operated as described above to move the device into the space portion of the test tray.
이러한 장치는 전술한 장치에 비해 싸이클 타임이 짧아져 생산성을 향상시키게 되는 잇점을 갖게 되나, 고객트레이측과 테스트 트레이측에 각각 픽업헤드를 설치하여야 되므로 기기의 공간활용도가 줄어들게 됨은 물론 반드시 위치결정블럭에 간격 조절수단을 구비하여야 되는 구조적인 문제점이 있었다.This device has the advantage that the cycle time is shortened compared to the above-described device, thereby improving productivity. However, since the pickup heads must be installed on the customer tray side and the test tray side, the space utilization of the device is reduced as well as the positioning block. There was a structural problem to be provided with a gap adjusting means.
따라서 상기한 문제점을 해결하기 위해서 출원인에 의해 개발되어 실용신안 95-7512호로 출원된 기술이 제안된 바 있다.Therefore, in order to solve the above problems, a technology developed by the applicant and filed in Utility Model 95-7512 has been proposed.
상기 기술을 첨부된 도면 제1도 내지 제4도를 참고로 설명하면 다음과 같다.The above description is made with reference to FIGS. 1 through 4 of the accompanying drawings.
상판(1)에 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 수평 이동하도록 설치된 설치판(3)의 하방에 제 1 실린더(4)의 구동시 승·하강하는 픽업블럭(5)이 설치되어 있고 픽업블럭에는 설치판(3)의 이동방향과 동일한 방향으로 제 2 수평 LM가이더(6)를 따라 이동하는 복수개의 슬라이더(7)가 결합되어 있으며 상기 각 슬라이더에는 제 2 실린더(8)의 구동에 따라 수직 LM가이더(9)에 안내되어 승·하강하는 픽업(10)이 고정된 픽업헤드(11)가 결합되어 있다.A pickup block 5 is provided on the upper plate 1 under the mounting plate 3 installed to move horizontally along the first horizontal LM guider 2 when the first cylinder 4 is driven up and down. The block is coupled with a plurality of sliders 7 which move along the second horizontal LM guider 6 in the same direction as the moving direction of the mounting plate 3, and each of the sliders is driven by the driving of the second cylinder 8. The pick-up head 11 to which the pick-up 10 which guides to the vertical LM guide 9 and raises / lowers is fixed is combined.
그리고 복수개의 슬라이더(7) 상부에 핀(12)을 고정하여 상기 핀이 픽업블럭(5)의 상부에 형성된 장공(5a)을 통해 노출되도록 한 다음 상기 각 핀에 제 1 링크(13)를 힌지 결합하도록 되어 있고 상기 제 1 링크의 양단에는 제 2 링크(14)를 핀(15)으로 결합하도록 되어 있으며 상기 제 1 링크중 일측의 제 1 링크 끝단은 제 3 실린더(16)의 로드에 고정된 가이드편(17)의 가이드홈(17a)에 끼워지도록 돌기(18)가 형성되어 있다.The pins 12 are fixed to the plurality of sliders 7 so that the pins are exposed through the long holes 5a formed on the pick-up blocks 5, and then the first links 13 are hinged to the pins. The second link 14 is coupled to the pin 15 at both ends of the first link, and one end of the first link of the first link is fixed to the rod of the third cylinder 16. The protrusion 18 is formed so that the guide groove 17a of the guide piece 17 may be fitted.
따라서 고객트레이(19)의 공간부(19a)내에 담겨진 소자(20)를 흡착하기 위해 픽업블럭(5)이 상사점에 위치되고, 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 든 상태에서 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 이송되어 고객트레이(19)에 형성된 공간부의 1열과 일치되게 정지한다.Therefore, the pick-up block 5 is positioned at the top dead center to adsorb the element 20 contained in the space 19a of the customer tray 19, and the mounting plate 3 with the slider 7 retracted inward. ) Is transported along the first horizontal LM guider 2 and stops to coincide with one row of space portions formed in the customer tray 19.
이러한 상태에서 설치판(3)에 고정된 제 1 실린더(4)의 구동으로 픽업블럭(5)이 하사점에 도달하면 각 슬라이더(7)에 고정되어 픽업헤드(11)를 승·하강시키는 제 2 실린더(8)가 동작하게 되므로 상기 픽업헤드(11)의 끝단에 고정된 픽업(10)이 제2도의 일점쇄선과 같이 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨진 소자(20)의 상면과 접속된다.In this state, when the pick-up block 5 reaches the bottom dead center by driving the first cylinder 4 fixed to the mounting plate 3, the pick-up block 5 is fixed to each slider 7 to raise and lower the pick-up head 11. Since the two cylinders 8 are operated, the pickup 10 fixed to the end of the pickup head 11 of the element 20 contained in the space 19a of the customer tray 19, as shown by the dashed line in FIG. It is connected to the upper surface.
그후, 공압에 의해 픽업(10)의 내부에 진공압이 걸리면 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨져 있던 소자(20)가 픽업(10)에 흡착된다.After that, when the vacuum pressure is applied to the inside of the pickup 10 by pneumatic pressure, the element 20 contained in the space 19a of the customer tray 19 is attracted to the pickup 10.
소자(20)가 흡착된 상태에서 전술한 바와는 반대로 제 2 실런더(8)와 제 1 실린더(4)가 순차적으로 동작하면 픽업헤드(11)와 픽업블럭(5)이 초기상태와 같이 각각 상사점에 도달하게 된다.When the second cylinder 8 and the first cylinder 4 are sequentially operated in the state in which the element 20 is adsorbed, the pick-up head 11 and the pick-up block 5 are operated as in the initial state, respectively. The top dead center is reached.
그후, 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 위치결정블럭측으로 이동할 때 픽업블럭(5)의 상부에 고정된 제 3 실런더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어주게 되므로 제4도와 같이 제 1 링크(13)의 일단에 고정된 핀(7a)이 상기 가이드편에 형성된 가이드홈(5a)을 따라 바깥측으로 이동하게 되고, 이에 따라 제1도 및 제4도에 도시한 바와 같이 상호 오므러져 있던 제 1,2 링크(13)(14)가 펼쳐져 픽업(10)이 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일해지게 된다.Then, when the mounting plate 3 moves along the first horizontal LM guider 2 to the positioning block side, the third cylinder 16 fixed to the upper part of the pickup block 5 is driven to drive the guide piece 17. Since it is pushed, the pin 7a fixed to one end of the first link 13 as shown in FIG. 4 is moved outward along the guide groove 5a formed in the guide piece, and accordingly, FIGS. 1 and 4 As shown in Fig. 2, the first and second links 13 and 14, which have been collapsed, are unfolded so that the pickup 10 is equal to the pitch of the space portion formed in the test tray.
이러한 상태에서 제 1 실린더(4)가 구동하여 픽업블럭(5)을 하사점에 위치시키고 나면 상기 픽업(10)에 흡착된 소자가 위치결정블럭의 공간부내에 위치되므로 상기 픽업에 작용하고 있던 진공압을 해제하여 소자가 자중에 의해 낙하되도록 하므로 상기 소자가 위치결정블럭의 공간부내에 정확히 위치 결정된다.In this state, after the first cylinder 4 is driven to position the pickup block 5 at the bottom dead center, the element adsorbed to the pickup 10 is located in the space portion of the positioning block. The air is released to cause the element to fall by its own weight, so that the element is accurately positioned in the space portion of the positioning block.
그러나 이러한 종래의 장치 또한, 고객트레이내에 담겨진 1열의 소자를 한꺼번에 흡착한 다음 위치결정블럭측으로 이송시 간격을 조절하여 위치결정한 후 위치결정 완료된 소자를 테스트 트레이측으로 로딩하는 동작을 1개의 이송장치로 구현하도록 되어 있으므로 위치결정에 따른 시간을 줄이게 됨은 물론 기기의 설치 공간을 최소화할 수 있다는 잇점을 갖게 되지만, 슬라이더(7)가 다수개의 제 1,2 링크(13)(14)에 의해 연결되어 동시에 연동되도록 구성되어 있으므로 슬라이더(7)가 최대한 펼쳐진 상태에서 양단에 위치되는 픽업(10)은 위치결정블럭 또는 테스트 트레이의 공간부 직하방에 정확히 위치되지만, 그 사이에 위치되는 픽업(10)은 각 링크의 길이기 비교적 길어 링크가 유동되기 때문에 링크의 끝단위치가 부정확하게 되고, 이에 따라 픽업(10)이 위치결정블럭에 위치된 소자를 정확히 홀딩하지 못하거나, 테스트 트레이의 공간부내에 홀딩된 소자를 정확히 로딩하지 못하게 되는 치명적인 문제점을 야기시켰다.However, such a conventional device also implements the operation of loading the completed device to the test tray after positioning by adjusting the spacing at the time of transporting to the positioning block side by adsorbing one row of elements contained in the customer tray at once. Since the time required for positioning is reduced and the installation space of the device can be minimized, the slider 7 is connected by a plurality of first and second links 13 and 14 to simultaneously operate. Since the pickup 10 positioned at both ends with the slider 7 fully extended, the pickup 10 is located directly below the space portion of the positioning block or the test tray, but the pickup 10 positioned therebetween is located at each link. Since the link length is relatively long and the link flows, the end position of the link becomes inaccurate, so that the pickup 10 It caused a fatal problem of not correctly holding the device positioned in the positioning block, or incorrectly loading the device held in the space portion of the test tray.
본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조를 간단히 하면서도 슬라이더가 펼쳐지거나, 오므러 들더라도 각 슬라이더의 간격이 정확히 유지될 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve such a problem in the related art, and its purpose is to simplify the structure and to maintain the interval of each slider accurately even if the slider is unfolded or retracted.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 설치판에 픽업블럭을 승·하강가능하게 설치하고 상기 픽업블럭에는 복수개의 슬라이더를 수평이동가능하게 설치함과 동시에 상기 슬라이더에 픽업이 고정된 픽업헤드를 결합하도록 된 것에 있어서,형상으로 이루어진 복수개의 링크에 슬라이더와 고정되는 축이 끼워지는 제 1 삽입공이 형성되고, 상기 제 1 삽입공의 일측에는 링크를 상호 연결시키는 핀이 삽입되는 제 2 삽입공을 형성하여 슬라이더가 내측으로 오므러 들거나, 펼쳐짐에 따라 링크가 상호 교차되거나, 평행상태를 유지하도록 됨을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, the pickup is mounted on the mounting plate so that the pickup block can be moved up and down, and the pickup block has a plurality of sliders to be horizontally movable and the pickup is fixed to the slider at the same time In that it is designed to join the head, A first insertion hole into which a shaft fixed to the slider is fitted is formed in the plurality of links having a shape, and on one side of the first insertion hole, a second insertion hole into which a pin connecting the links is inserted is formed, so that the slider is inward. Provided is a device spacing device for a semiconductor device inspector, characterized in that the links intersect with each other when they are collapsed or unfolded, or are kept in parallel.
제1도는 종래 장치의 일부를 절결하여 나타낸 종단면도.1 is a longitudinal cross-sectional view showing a part of a conventional device cut out.
제2도는 제1도의 일부를 절결하여 나타낸 측면도.FIG. 2 is a side view cut away from a portion of FIG. 1. FIG.
제3도는 슬라이더가 내측으로 오므러든 상태도.3 is a state in which the slider is retracted inward.
제4도는 제 3 실린더의 구동으로 슬라이더가 펼쳐진 상태도.4 is a state in which the slider is unfolded by the driving of the third cylinder.
제5도는 본 고안의 요부를 나타낸 분해 사시도.5 is an exploded perspective view showing the main part of the present invention.
제6도는 제5도의 작동상태를 설명하기 위한 평면도 및 종단면도로써,6 is a plan view and a longitudinal cross-sectional view for explaining the operating state of FIG.
제6a도는 링크가 접혀진 상태도.Figure 6a is a state in which the link is folded.
제6b도는 링크가 펼쳐진 상태도.Figure 6b is a state in which the link is expanded.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
3 : 설치판 5 : 픽업블럭3: mounting plate 5: pickup block
7 : 슬라이더 10 : 픽업7: slider 10: pickup
11 : 픽업헤드 21,22 : 링크11: pickup head 21, 22: link
21a,22a : 제 1 삽입공 21b,22b : 제 2 삽입공21a, 22a: first insertion hole 21b, 22b: second insertion hole
23 : 축 24 : 축23: axis 24: axis
이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 제5도 및 제6도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 5 and 6 as an embodiment.
첨부된 제5도는 본 고안의 요부를 나타낸 분해 사시도이고 제6도는 제5도의 작동상태를 설명하기 위한 평면도 및 종단면도로써, 본 고안의 구성중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로 한다.5 is an exploded perspective view illustrating main parts of the present invention, and FIG. 6 is a plan view and a longitudinal sectional view for explaining the operating state of FIG. 5, and the same parts as those of the conventional structure of the present invention are omitted without the description. A sign is given.
본 고안은형상으로 이루어진 복수개의 링크(21)(22)에 슬라이더(7)와 고정되는 축(23)이 끼워지는 제 1 삽입공(21a)(22a)이 형성되어 있고 상기 제 1 삽입공의 일측에는 링크(21)(22)를 상호 연결시키는 핀(24)이 삽입되는 제 2 삽입공(21b)(22b)이 형성되어 있어 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 들거나, 펼쳐짐에 따라 링크(21)(22)가 상호 교차되거나, 평행상태를 유지하도록 구성되어 있다.This design First insertion holes 21a and 22a are formed in the plurality of links 21 and 22 formed in the shape, into which the slider 7 and the shaft 23 fixed to each other are fitted, and on one side of the first insertion hole. The second insertion holes 21b and 22b into which the pins 24 for interconnecting the 21 and 22 are inserted are formed so that the slider 7 can be retracted inward or unfolded so that the links 21 ( 22) are configured to intersect or stay parallel.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation, effects of the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 고객트레이의 공간부내에 담겨진 소자를 흡착하기 위해 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 든 상태, 즉, 제 6a도에서는 각 링크(21)(22)를 연결하는 핀(24)이 슬라이더(7)에 고정된 축(23)과 근접하게 위치하여 링크가 상호 교차되므로 복수개의 슬라이더(7)가 밀착된 상태를 유지하게 된다.First, in the state where the slider 7 is retracted inward to adsorb the elements contained in the space part of the customer tray, that is, in FIG. 6A, the pins 24 connecting the respective links 21 and 22 are the slider ( Since the links intersect with each other by being located in close proximity to the shaft 23 fixed to 7), the plurality of sliders 7 remain in close contact.
이러한 상태에서 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 이송되어 고객트레이(19)에 형성된 공간부의 1열과 일치되게 정지한다.In this state, the mounting plate 3 is transported along the first horizontal LM guider 2 and stopped to coincide with one row of space portions formed in the customer tray 19.
그후, 종래의 장치와 마찬가지로 설치판(3)에 고정된 제 1 실린더(4)의 구동으로 픽업블럭(5)이 하사점에 도달하여 픽업헤드(11)를 하강시키게 되므로 끝단에 고정된 픽업(10)이 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨진 소자(20)를 흡착하게 된다. 상기한 동작으로 픽업(10)에 소자(20)가 흡착되면 전술한 바와는 반대로 제 2 실린더(8)와 제 1 실런더(4)가 순차적으로 동작하여 픽업헤드(11)와 픽업블럭(5)을 초기상태와 같이 각각 상승시킴과 동시에 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 위치결정블럭측으로 이동할 때 제 3 실린더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어주므로 오므러져 있던 링크(21)(22)가 펼쳐진다.After that, as in the conventional apparatus, the pickup block 5 reaches the bottom dead center to lower the pickup head 11 by driving the first cylinder 4 fixed to the mounting plate 3, so that the pickup fixed to the end ( 10) absorbs the element 20 contained in the space 19a of the customer tray 19. When the element 20 is adsorbed to the pickup 10 by the above-described operation, the second cylinder 8 and the first cylinder 4 are sequentially operated, in contrast to the above, so that the pickup head 11 and the pickup block 5 are operated. 3) is driven to push the guide piece 17 when the mounting plate 3 is moved to the positioning block side along the first horizontal LM guider 2 at the same time as Linked links 21 and 22 are opened.
이에 따라 상기 링크에 각각 고정된 슬라이더(7)가 펼쳐지게 되므로 픽업(10)에 흡착된 소자가 테스트트레이에 형성된 공간부의 간격과 일치된다.As a result, the sliders 7 fixed to the links are opened, so that the elements adsorbed on the pickup 10 coincide with the spacing of the spaces formed in the test tray.
상기한 바와 같은 동작시 제6b도와 같이 각 링크(21)(22)를 연결하는 핀(24)이 슬라이더(7)에 고정된 축(23)과 근접하게 위치되므로 복수개의 슬라이더(7) 간격이 일정하게 유지하게 된다.In the above-described operation, as shown in FIG. 6B, the pins 24 connecting the links 21 and 22 are positioned close to the shaft 23 fixed to the slider 7, so that a plurality of sliders 7 are separated. Will remain constant.
즉, 픽업(10)이 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일해지게 되므로 제 1 실린더(4)에 의해 픽업블럭(5)을 하사점에 위치시킨 다음 상기 픽업에 작용하고 있던 진공압을 해제하여 소자가 자중에 의해 위치결정블럭의 공간부내에 정확히 위치결정되도록 하므로써, 소자의 로딩이 완료되는 것이다.That is, since the pickup 10 becomes equal to the pitch of the space formed in the test tray, the pickup block 5 is positioned at the bottom dead center by the first cylinder 4, and then the vacuum pressure acting on the pickup is released. Loading of the device is completed by allowing the device to be accurately positioned within the space portion of the positioning block by its own weight.
본 고안은 슬라이더(7)와 고정되는 축(23)이 링크(21)(22)의 연결부위인 핀(24)에 근접되어 있으므로 링크의 길이에 구애받지 않고, 이에 따라 슬라이더(7)가 완전히 펼쳐진 상태에서 픽업(10)사이의 간격을 일정하게 유지하게 위치결정블럭 또는 테스트 트레이의 공간부 직하방에 정확히 위치시키게 된다.In the present invention, since the shaft 23 fixed to the slider 7 is close to the pin 24, which is a connection portion of the links 21 and 22, regardless of the length of the link, the slider 7 is thus completely In the unfolded state, it is accurately positioned directly below the space portion of the positioning block or the test tray to keep the interval between the pickups 10 constant.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960022005U KR0139132Y1 (en) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | Device spacing controlling apparatus for semiconductor device tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960022005U KR0139132Y1 (en) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | Device spacing controlling apparatus for semiconductor device tester |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980009708U KR980009708U (en) | 1998-04-30 |
| KR0139132Y1 true KR0139132Y1 (en) | 1999-04-15 |
Family
ID=19462264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019960022005U KR0139132Y1 (en) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | Device spacing controlling apparatus for semiconductor device tester |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0139132Y1 (en) |
-
1996
- 1996-07-25 KR KR2019960022005U patent/KR0139132Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR980009708U (en) | 1998-04-30 |
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