JPH08290830A - Transfer device for customer tray of semiconductor element inspection machine - Google Patents
Transfer device for customer tray of semiconductor element inspection machineInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ローダ・アンロー
ダ部のスタッカーに、上下に積載された顧客トレーをロ
ーダ・アンローダ部のステージへ移送する、半導体素子
検査機の顧客トレー移送装置に関する。より具体的に
は、１個の移送手段で、素子を収容した顧客トレーをロ
ーダ・アンローダ部のステージへ移送させると同時に、
空き顧客トレーを、ローダ・アンローダ部のスタッカー
に移送させる顧客トレーの移送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a customer tray transfer device for a semiconductor device inspecting machine, which transfers customer trays vertically stacked on a stacker of a loader / unloader section to a stage of the loader / unloader section. More specifically, with one transfer means, the customer tray containing the elements is transferred to the stage of the loader / unloader section, and at the same time,
The present invention relates to a customer tray transfer device for transferring an empty customer tray to a stacker of a loader / unloader section.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年の部品の軽薄短小化の流れに従っ
て、半導体素子もまた、その厚さが次第に薄くなってき
ている。その中の代表的な素子にはTSOP（Thin Small
OutlinePackage、薄型スモールアウトラインパッケー
ジ）がある。2. Description of the Related Art With the recent trend toward lighter, thinner and smaller components, the thickness of semiconductor elements is also gradually decreasing. A typical element among them is TSOP (Thin Small
OutlinePackage, thin small outline package).
【０００３】上記のTSOPの厚さは１mm程度で、その製造
後には、ハンドラーによってその性能が検査される。TS
OPがハンドラーのテスト工程へ運ばれる間、取扱いの不
注意等により、その上面または下面に衝撃を受けた場
合、素子の特性が低下し、極端な場合には、モールディ
ングされたチップが破損する。従って、ハンドラーの内
部においてTSOPを移送したり、テストトレーの内部にお
いてTSOPをテストするとき、TSOPに衝撃が加えられない
ように、深く注意しなければならない。The thickness of the above TSOP is about 1 mm, and its performance is inspected by a handler after its manufacture. TS
If the top or bottom surface of the OP is impacted due to careless handling while the OP is transported to the test process of the handler, the characteristics of the device will deteriorate, and in extreme cases, the molded chip will be damaged. Therefore, when transferring the TSOP inside the handler or when testing the TSOP inside the test tray, great care must be taken not to impact the TSOP.
【０００４】このようなTSOPは、テストトレーにローデ
ィングされて、工程間を移送されながら、特性検査を受
ける。上記の素子は、工程間での移送中にプラスチック
材の顧客トレーに収容されて、ローダ部のスタッカーに
順次ロードされる。このような顧客トレーは、スタッカ
ーから順次分離されて、ローダ部のステージへ移送され
る。Such a TSOP is loaded on a test tray and is subjected to characteristic inspection while being transferred between processes. The above-mentioned elements are accommodated in a customer tray made of plastic material during transfer between processes and sequentially loaded on a stacker of a loader section. Such customer trays are sequentially separated from the stacker and transferred to the stage of the loader section.
【０００５】従来の装置では、ローダ部またはアンロー
ダ部のスタッカーに、素子を収容した顧客トレー、また
は、素子が収容されていない空き顧客トレーが、それぞ
れ順次ロードされる。素子が収容された顧客トレーをロ
ードした状態で、スタッカーの下方に設けられたストッ
パーが動作して、最下方から２番目に位置する顧客トレ
ーを保持する。その後、最下方に位置する顧客トレーを
スタッカーから離間させた後、別の移送手段によって、
ローダ部のステージへ移送する。In the conventional apparatus, the stacker of the loader section or the unloader section is sequentially loaded with customer trays containing elements or empty customer trays not containing elements. With the customer tray containing the elements loaded, a stopper provided below the stacker operates to hold the customer tray located second from the bottom. After that, after separating the customer tray located at the bottom from the stacker, by another transfer means,
Transfer to the stage of the loader section.
【０００６】また、顧客トレーに収容された素子がすべ
てテストトレーにローディングされると、前述した移送
手段とは別の移送手段が同様に作動されて、ローダ部の
ステージにあった空き顧客トレーを、アンローダ部に設
けられたスタッカーの最下部へ向かって押すことによ
り、そのスタッカー内にロードするようになっていた。Further, when all the elements accommodated in the customer tray are loaded on the test tray, another transfer means other than the above-mentioned transfer means is operated in the same manner to remove the empty customer tray on the stage of the loader section. By pushing toward the bottom of the stacker provided in the unloader section, the stacker is loaded into the stacker.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】このような従来の装置
では、顧客トレーがスタッカーの下方において分離され
たり、ロードされたりするので、分離された顧客トレー
を移送するための移送手段の移動範囲が広くなる。従っ
て、装置の設置面積が広くなることはもちろん、移送手
段の連続動作のため、作業に遅れが生じる。In such a conventional apparatus, since the customer trays are separated or loaded below the stacker, the moving range of the transfer means for transferring the separated customer trays is limited. Get wider Therefore, not only the installation area of the apparatus becomes large, but also the work is delayed due to the continuous operation of the transfer means.
【０００８】本発明は、従来のこのような問題点を解決
するために案出したものである。本発明の目的は、一つ
の移送手段により、素子を収容した顧客トレーをローダ
部のステージへ移送させると同時に、ローダ部のステー
ジから素子がテストトレー側に運ばれた後の空き顧客ト
レーを、アンローダ部のスタッカーにアンローディング
させることが可能な顧客トレー移送装置を提供すること
にある。The present invention has been devised to solve such conventional problems. An object of the present invention is to transfer a customer tray containing an element to a stage of a loader section by one transfer means, and at the same time, empty customer tray after the element is carried from the stage of the loader section to the test tray side, An object of the present invention is to provide a customer tray transfer device capable of unloading the stacker of the unloader section.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の半導体素子検査
機の顧客トレー移送装置は、顧客トレーが選択的にロー
ディング及びアンローディングされるローダ・アンロー
ダ部と、上記のローダ・アンローダ部の下方に位置し、
多数個の顧客トレーをロードするスタッカーと、上記の
ローダ・アンローダ部のスタッカーの間で水平移動し、
選択的に顧客トレーの上面に接近移動して、スタッカー
から顧客トレーを１個ずつ保持及び分離するホールディ
ング装置と、ホールディング装置が分離した顧客トレー
を受け入れた後、ホールディング装置が水平移動によっ
てスタッカーから離間することにより、ローダ・アンロ
ーダ部から顧客トレーを上昇させる載置板から構成され
ている。A customer tray transfer device for a semiconductor device inspection machine according to the present invention comprises a loader / unloader section for selectively loading and unloading customer trays, and a loader / unloader section below the loader / unloader section. Position to,
Move horizontally between the stacker that loads a large number of customer trays and the stacker of the above loader / unloader section,
A holding device that selectively moves to the upper surface of the customer tray and holds and separates the customer trays one by one from the stacker, and after the holding device receives the separated customer tray, the holding device moves horizontally from the stacker. By doing so, it is composed of a mounting plate for raising the customer tray from the loader / unloader section.
【００１０】請求項２の発明によれば、前記ホールディ
ング装置は、スライダーによって水平移動し、第１シリ
ンダーの駆動によって昇降する顧客トレーホルダー板
と、前記顧客トレーホルダー板の下方に露出されるよう
設けられ、回動しながら顧客トレーの両側面を保持する
掛止片と、前記顧客トレーの上部に設けられ、前記掛止
片を回動させる回動手段とから構成されている。According to a second aspect of the present invention, the holding device is provided so as to be exposed below the customer tray holder plate which is horizontally moved by a slider and is moved up and down by driving the first cylinder. It is composed of a hooking piece which holds both side surfaces of the customer tray while rotating, and a rotating means which is provided on the upper part of the customer tray and rotates the hooking piece.
【００１１】請求項３の発明によれば、前記回動手段
は、前記顧客トレーホルダー板の上部に固定されたガイ
ドに沿つて水平移動し得るように結合されたスライダー
と、前記顧客トレーホルダー板の上部に固定されて、前
記スライダーを移動させる第２シリンダーと、前記スラ
イダーの両端にスライダーと共に進退し得るように設け
られた第１リンクと、前記第１リンクに一端がヒンジ結
合され、他端は前記掛止片に固定された第２リンクとか
ら構成されている。そして、前記第２シリンダーの駆動
により、前記スライダーがガイドに沿つて移動すること
によって、掛止片が回動する。According to the invention of claim 3, the rotating means is connected to the slider fixed to the upper part of the customer tray holder plate so as to be horizontally movable, and the customer tray holder plate. A second cylinder fixed to the upper part of the slider for moving the slider, first links provided at both ends of the slider so as to be able to move forward and backward together with the slider, and one end hinge-coupled to the first link and the other end Is composed of a second link fixed to the hooking piece. Then, by driving the second cylinder, the slider moves along the guide, whereby the latching piece rotates.
【００１２】請求項４の発明においては、顧客トレーホ
ルダー板と第１リンクとの間に弾性部材を連結してい
る。請求項５の発明においては、顧客トレーホルダー板
の底面に、顧客トレーの保持に際して、顧客トレーの位
置を決定する複数個の位置決定ピンを固定している。
請求項６の発明においては、ローダ・アンローダ部にて
作業が完了した顧客トレーを下方へ向かって移動させる
載置板と、その載置板から顧客トレーを保持及び分離し
た後、水平に移動させることにより、スタッカーから離
間して載置板が干渉を受けない部位へ移送された後、再
びスタッカーに接近して、顧客トレーをスタッカーにロ
ードするホールディング装置とを備えている。According to the invention of claim 4, an elastic member is connected between the customer tray holder plate and the first link. According to the fifth aspect of the invention, a plurality of position determining pins that determine the position of the customer tray when holding the customer tray are fixed to the bottom surface of the customer tray holder plate.
According to the sixth aspect of the present invention, the loading tray is configured to move the customer tray, which has been completed by the loader / unloader unit, downward, and the customer tray is held and separated from the loading board, and then horizontally moved. As a result, after the stacking plate is moved away from the stacker to a position where the stacking plate is not interfered with, the stacking device approaches the stacker again and loads the customer tray onto the stacker.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を、図１乃
至図３を参考にして詳細に説明する。図１は、本発明を
示した平面図であり、図２は本発明の作動状態を説明す
るために示した縦断面図であり、図３は図２のＡ−Ａ線
断面図である。ローダ・アンローダ部１に、それぞれス
タッカー２が設けられている。上記のスタッカー２の内
部に、顧客トレー３または空き顧客トレー３ａを１ステ
ップずつ（１個の顧客トレーの高さ分に相当）上昇させ
るエレベーター板４が設けられ、そのエレベータ板４は
リニアモーター（図示略）によって昇降される。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 is a plan view showing the present invention, FIG. 2 is a vertical sectional view shown for explaining an operating state of the present invention, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA of FIG. A stacker 2 is provided in each of the loader / unloader unit 1. Inside the stacker 2, an elevator plate 4 for raising the customer tray 3 or the empty customer tray 3a by one step (corresponding to the height of one customer tray) is provided, and the elevator plate 4 is a linear motor ( It is raised and lowered by (not shown).
【００１４】上記のローダ・アンローダ部１の後方に設
けられた側板５には、スライド板６が水平LMガイド７に
沿つて水平方向に移動するように設けられている。第１
シリンダー８の駆動により、垂直LMガイド９に沿つて昇
降するように、顧客卜レーホルダー板１０の一端が上記
のスライド板６に結合されている。A slide plate 6 is provided on the side plate 5 provided behind the loader / unloader unit 1 so as to move horizontally along a horizontal LM guide 7. First
One end of the customer tray holder plate 10 is connected to the slide plate 6 so that the cylinder 8 is driven to move up and down along the vertical LM guide 9.
【００１５】上記のスタッカー２は、顧客トレー３を容
易に収容することができるようにするため、ガイドレー
ル（図示略）に沿つて、作業者の前方に引き出すことが
できるように設けられている。スタッカー２を本発明の
装置内に押し入れた状態においては、上記のスタッカー
２がガイドレールに向かって移動しないように、ロック
レバー１１でロックされる。そして、顧客トレーホルダ
ー板１０の底面には、顧客トレー３を保持する４個の掛
止片１２が設けられている。上記の掛止片１２は、掛止
片の回動手段（図示略）によって同時に回動される。上
記の掛止片１２は顧客トレー３の両側面に形成された掛
止溝３ｂに挿入される。The above-mentioned stacker 2 is provided so that it can be pulled out in front of an operator along a guide rail (not shown) so that the customer tray 3 can be easily accommodated. . When the stacker 2 is pushed into the apparatus of the present invention, the stacker 2 is locked by the lock lever 11 so as not to move toward the guide rail. Then, on the bottom surface of the customer tray holder plate 10, four hooking pieces 12 for holding the customer tray 3 are provided. The latching pieces 12 are simultaneously rotated by a rotating means (not shown) of the latching pieces. The hooking pieces 12 are inserted into the hooking grooves 3b formed on both side surfaces of the customer tray 3.
【００１６】顧客トレーホルダー板１０の直下には、支
持板１４に固定された第３シリンダー１５によって昇降
される載置板１３が設けられている。上記の載置板１３
は、顧客トレー３を、ホルダー板１０の直下と、ローダ
・アンローダ部１の各ステージとの間に形成された通孔
lａを通じて、各ステージの上部に露出させるようにす
る。上記の載置板１３の一端は、図３に示すように第３
シリンダー１５のロッドに固定されている。Immediately below the customer tray holder plate 10, a mounting plate 13 is provided which is moved up and down by a third cylinder 15 fixed to a support plate 14. The mounting plate 13 described above
Is a through hole formed in the customer tray 3 between directly below the holder plate 10 and each stage of the loader / unloader unit 1.
It should be exposed at the top of each stage through la. As shown in FIG. 3, one end of the mounting plate 13 has a third end.
It is fixed to the rod of the cylinder 15.
【００１７】上記の顧客トレーホルダー板１０の底面に
回動可能に設けられた掛止片１２のための回動手段を、
図１に示す。顧客トレーホルダー板１０の上部に固定さ
れたLMガイド１６にスライダー１７が結合されている。
第２シリンダー１８の駆動により、かつ、LMガイド１６
に案内されて、スライダー１７は水平方向に移動する。
上記のスライダー１７の両端には、スライダー１７の移
動方向と直交する長孔１９ａを形成した第１リンク１９
が設けられている。上記の長孔１９ａにはスライダー１
７の両端に形成された突起１７ａが挿入されており、上
記の各第１リンク１９の両端は、掛止片１２に固定され
た第２リンク２０に対してピン２１によりヒンジ結合さ
れている。従って、第２シリンダー１８の駆動によっ
て、スライダー１７がLMガイド１６に案内されて水平方
向に移動することにより、第１リンク１９が旋回運動
し、それにより、掛止片１２と固定された第２リンク２
０を回動させる。Rotating means for the hooking piece 12 rotatably provided on the bottom surface of the customer tray holder plate 10 is provided.
As shown in FIG. A slider 17 is connected to an LM guide 16 fixed to the upper part of the customer tray holder plate 10.
By driving the second cylinder 18, and the LM guide 16
Guided by, the slider 17 moves in the horizontal direction.
A first link 19 is formed at both ends of the slider 17 with elongated holes 19a that are orthogonal to the moving direction of the slider 17.
Is provided. The slider 1 is provided in the slot 19a.
The protrusions 17a formed at both ends of the first link 19 are inserted, and both ends of each of the first links 19 are hinged to the second links 20 fixed to the hooking pieces 12 by pins 21. Therefore, when the second cylinder 18 is driven, the slider 17 is guided by the LM guide 16 to move in the horizontal direction, so that the first link 19 pivotally moves, whereby the second piece fixed to the latching piece 12 is moved. Link 2
Rotate 0.
【００１８】上記の顧客トレーホルダー板１０の上部に
は図２に示すのように下方へ折り曲げられた折曲げ片２
２が固定されている。上記の各折曲げ片２２の内側に
は、顧客トレー３を感知する第１センサー２３が固定さ
れている。上記の載置板１３の下死点（顧客トレーの保
持位置）に位置するように、支持板１４には、載置板１
３に載せられた顧客トレー３を感知する第２センサー２
４が固定されている。これは顧客トレーホルダー板１０
及び載置板１３の下降を感知して、第１シリンダー８及
び第３シリンダー１５の駆動を制御するためである。On the upper part of the customer tray holder plate 10 is a bent piece 2 bent downward as shown in FIG.
2 is fixed. A first sensor 23 for detecting the customer tray 3 is fixed inside each of the bent pieces 22. The support plate 14 is mounted on the support plate 14 so as to be located at the bottom dead center of the mount plate 13 (holding position of the customer tray).
2nd sensor 2 for detecting the customer tray 3 placed on 3
4 is fixed. This is the customer tray holder plate 10
This is to detect the lowering of the mounting plate 13 and control the driving of the first cylinder 8 and the third cylinder 15.
【００１９】上記した顧客トレーホルダー板１０と第１
リンク１９との間には、引張スプリング等の弾性部材２
５が連結されている。これは第２シリンダー１８のロッ
ドが復帰する時、図１の右側に図示したとおりに、掛止
片１２がより安定的に顧客トレー３の掛止溝３ｂの内側
に向かって回動されるようにするためである。The above-mentioned customer tray holder plate 10 and the first
Between the link 19 and the elastic member 2 such as a tension spring
5 are connected. This is so that when the rod of the second cylinder 18 returns, as shown in the right side of FIG. 1, the hooking piece 12 is more stably rotated toward the inside of the hooking groove 3b of the customer tray 3. This is because
【００２０】上記のように、スタッカー２に収容された
顧客トレー３または載置板１３に載せられた空き顧客ト
レー３ａを保持する顧客トレーホールディング板１０
を、スライド板６に一つ設置することが可能である。し
かし、スタッカー２に保持した顧客トレー３を載置板１
３にローディングする前に、まず、上記の載置板１３に
載せられていた空き顧客トレー３ａ（すべての素子がロ
ードされた空き顧客トレー）を取り除くことにより、作
業能率が高まる。従って、本発明の一実施の形態におい
ては、２つの顧客トレーホルダー板１０ａ，１０ｂを設
置すると同時に、上記の各顧客トレーホルダー板を別々
に独立的に動作するようにした。すなわち、顧客トレー
３のローディングおよびアンローディングを同時に遂行
するように構成されている。As described above, the customer tray holding plate 10 for holding the customer tray 3 accommodated in the stacker 2 or the empty customer tray 3a placed on the placing plate 13 is held.
It is possible to install one on the slide plate 6. However, the customer tray 3 held by the stacker 2 is placed on the loading plate 1
Before loading on the mounting plate 3, first, the empty customer tray 3a (empty customer tray with all the elements loaded) mounted on the mounting plate 13 is removed, thereby improving the work efficiency. Therefore, in one embodiment of the present invention, two customer tray holder plates 10a and 10b are installed, and at the same time, each of the above-mentioned customer tray holder plates is operated independently. That is, the loading and unloading of the customer tray 3 is performed at the same time.
【００２１】上記の顧客トレーホルダー板１０の底面に
は、掛止片１２が顧客トレー３を保持する直前にスタッ
カー２および載置板１３に配置された顧客トレー３の位
置を決定する位置決定ピン２６が固定されている。これ
は顧客トレー３を保持する時に、掛止片１２が顧客トレ
ー３の両側面に形成された掛止溝３ｂに正確に挿入され
るようにするためである。On the bottom surface of the customer tray holder plate 10 described above, a position determining pin for determining the position of the customer tray 3 placed on the stacker 2 and the placing plate 13 immediately before the latching piece 12 holds the customer tray 3. 26 is fixed. This is so that when the customer tray 3 is held, the hooking pieces 12 are accurately inserted into the hooking grooves 3b formed on both side surfaces of the customer tray 3.
【００２２】このように構成された本発明の作用、効果
を次に説明する。まず、図３のスタッカー２のロックレ
バー１１を外して、上記のスタッカー２を作業者の前方
へ引き出した状態において、素子を収容した顧客トレー
３をスタッカー２内に順次ロードすると同時に、引き出
されたスタッカー２を押し戻して、ロックレバー１１に
よりロックする。その後、スタッカー２内の最上位の顧
客トレー３がセンサー（図示略）によって感知されるま
で、リニアモーターの駆動によって、エレベーター板４
が上昇する。リニアモーターの駆動が中断されると、エ
レベーター板４の上昇が中断され、それと同時に、スラ
イド板６が、側板５に固定された水平LMガイド７に沿つ
て、スタッカー２に収容された顧客トレー３の上方位置
まで移送される。その後、スライド板６の一側の顧客ト
レーホルダー板１０ａが顧客トレー３と一致する位置
で、移動を停止する。The operation and effect of the present invention thus constructed will be described below. First, in a state where the lock lever 11 of the stacker 2 in FIG. 3 is removed and the stacker 2 is pulled out to the front of the operator, the customer trays 3 containing the elements are sequentially loaded into the stacker 2 and at the same time pulled out. The stacker 2 is pushed back and locked by the lock lever 11. Then, the elevator plate 4 is driven by the linear motor until the uppermost customer tray 3 in the stacker 2 is detected by a sensor (not shown).
Rises. When the drive of the linear motor is interrupted, the lift of the elevator plate 4 is interrupted, and at the same time, the slide plate 6 is arranged along the horizontal LM guide 7 fixed to the side plate 5, and the customer tray 3 accommodated in the stacker 2 is accommodated. Is transferred to a position above. After that, the movement is stopped at the position where the customer tray holder plate 10a on one side of the slide plate 6 matches the customer tray 3.
【００２３】上記の動作時に、スライド板６に片腕ビー
ム状に結合された顧客トレーホルダー板１０ａは第１シ
リンダー８によって、図２の左側に示すように上死点に
配置される。第３シリンダー１５のロッドに片腕ビーム
状に固定された載置板１３は、図２の右側および図３に
一点鎖線で示したように、ローダ・アンローダ部１の底
面に密接される。従って、スタッカー２にロードされた
顧客トレー３は他の装置と干渉することがない。尚、図
中、右側に位置する顧客トレーホルダー板１０ｂも上死
点に配置可能であるが、動作状態を説明するために下死
点に配置された状態で図示した。At the time of the above operation, the customer tray holder plate 10a connected to the slide plate 6 in a one-arm beam shape is arranged by the first cylinder 8 at the top dead center as shown on the left side of FIG. The mounting plate 13 fixed to the rod of the third cylinder 15 in the form of a one-arm beam is brought into close contact with the bottom surface of the loader / unloader unit 1 as shown by the dashed line in the right side of FIG. 2 and in FIG. Therefore, the customer tray 3 loaded on the stacker 2 does not interfere with other devices. Although the customer tray holder plate 10b located on the right side in the figure can also be placed at the top dead center, it is shown in the state of being placed at the bottom dead center in order to explain the operating state.
【００２４】このように、一側（図２の右側）の顧客ト
レーホルダー板１０ａが顧客トレー３の直上に配置され
た状態で、第１シリンダー８が作動して、顧客トレーホ
ルダー板１０ａが引つ張られる。このとき、上記の顧客
トレーホルダー板１０ａが垂直LMガイド９に案内されて
下降する。顧客トレーホルダー板１０ａは、折曲げ片２
２に固定されたセンサー２３が載置板１３に載せられた
顧客トレー３を感知するまで下降する。すなわち、図２
の右側に示す状態まで下降する。このように、顧客トレ
ーホルダー板１０ａが下降して、掛止片１２が顧客トレ
ー３に形成された掛止溝３ｂと同一の平面上に配置され
ると、上記の顧客トレーホルダー板１０ａの底面に固定
された位置決定ピン２６によって、顧客トレー３の位置
が正確に補正される。As described above, with the one side (right side in FIG. 2) of the customer tray holder plate 10a arranged directly above the customer tray 3, the first cylinder 8 operates and the customer tray holder plate 10a is pulled. Stretched. At this time, the customer tray holder plate 10a is guided by the vertical LM guide 9 and descends. The customer tray holder plate 10a is a bent piece 2
The sensor 23 fixed to 2 descends until it detects the customer tray 3 placed on the placing plate 13. That is, FIG.
To the state shown on the right side of. In this way, when the customer tray holder plate 10a is lowered and the hooking pieces 12 are arranged on the same plane as the hooking grooves 3b formed in the customer tray 3, the bottom surface of the customer tray holder plate 10a is The position of the customer tray 3 is accurately corrected by the position determining pin 26 fixed to.
【００２５】一方、上記の顧客トレーホルダー板１０ａ
の底面には、顧客トレー３の空間部の中心と一致するよ
うに突起（図示略）が形成されていて、上記の突起が空
間部内に収容された素子の上面と接続される。従って、
顧客トレー３が保持された状態で、素子が顧客トレー３
の空間部内を移動することがない。On the other hand, the above-mentioned customer tray holder plate 10a
A protrusion (not shown) is formed on the bottom surface of the above so as to coincide with the center of the space of the customer tray 3, and the above-mentioned protrusion is connected to the upper surface of the element accommodated in the space. Therefore,
With the customer tray 3 held, the element is placed on the customer tray 3
It does not move inside the space.
【００２６】このような状態において、顧客トレーホル
ダー板１０ａの上面に固定された第２シリンダー１８が
動作してスライダー１７が引っ張られると、上記のスラ
イダー１７の両側に結合された、第１リンク１９が図１
の矢印方向へ移動する。上記の第１リンク１９の両端に
は、掛止片１２に固定された第２リンク２０がピン２１
によってヒンジ結合されており、かつ、スライダー１７
の両端に形成された突起１７ａは第１リンク１９に形成
された長孔１９ａに挿入されているので、上記の第１リ
ンク１９が旋回運動をしながら、第２リンク２０を回動
させる。これによって、顧客トレー３に形成された掛止
溝３ｂの外側に位置する掛止片１２が、上記の掛止溝３
ｂの内側へ回動する。その結果、スタッカー２の最上位
に配置されていた１個の顧客トレー３が保持（ホールデ
ィング）される。In such a state, when the second cylinder 18 fixed to the upper surface of the customer tray holder plate 10a operates to pull the slider 17, the first link 19 connected to both sides of the slider 17 is connected. Is Figure 1
Move in the direction of the arrow. A second link 20 fixed to the hooking piece 12 is provided at both ends of the first link 19 with a pin 21.
Hinged by the slider 17
Since the protrusions 17a formed at both ends of the first link 19 are inserted into the long holes 19a formed in the first link 19, the first link 19 rotates the second link 20 while performing the turning motion. As a result, the hooking piece 12 positioned outside the hooking groove 3b formed on the customer tray 3 is not attached to the hooking groove 3b.
Rotate inside b. As a result, one customer tray 3 arranged at the top of the stacker 2 is held (holding).
【００２７】上記のように、第１リンク１９が矢印方向
へ移動されるとき、第１リンク１９は、顧客トレーホル
ダー板１０ａと第１リンク１９の間に引っ張り状態で連
結された弾性部材２５の復元力によって、安定して移動
される。As described above, when the first link 19 is moved in the direction of the arrow, the first link 19 has the elastic member 25 connected between the customer tray holder plate 10a and the first link 19 in a pulled state. Due to the restoring force, it can be moved stably.
【００２８】スタッカー２の上部に配置された１個の顧
客トレー３を、顧客トレーホルダー板１０ａに結合され
た掛止片１２が保持した後には、第１シリンダー８が動
作して、上記の顧客トレーホルダー板１０ａを上死点に
配置させる。その結果、スタッカー２から顧客トレー３
を分離する作業が完了する。After the one customer tray 3 arranged on the upper part of the stacker 2 is held by the latching piece 12 connected to the customer tray holder plate 10a, the first cylinder 8 is operated and the above customer The tray holder plate 10a is placed at the top dead center. As a result, stacker 2 to customer tray 3
The work of separating is completed.
【００２９】このように、顧客トレー３を分離させた
後、スライド板６が、水平LWガイド７に沿つて一側（載
置板１３の昇降に干渉しない部位）へ移動すると同時
に、支持板１４に固定された第３シリンダー１５が駆動
されるので、ローダ・アンローダ部１の底面に密接して
いた載置板１３が下降するようになる。載置板１３は、
支持板１４の両側に固定されたセンサー２４が載置板１
３に載せられた空き顧客トレー３ａを感知するまで、下
降する。In this way, after the customer tray 3 is separated, the slide plate 6 moves along the horizontal LW guide 7 to one side (a portion that does not interfere with the elevation of the mounting plate 13) and, at the same time, the support plate 14 Since the third cylinder 15 fixed to is driven, the mounting plate 13 that is in close contact with the bottom surface of the loader / unloader unit 1 comes down. The mounting plate 13 is
The sensors 24 fixed on both sides of the support plate 14 are mounted on the mounting plate 1.
It descends until it detects an empty customer tray 3a placed on 3.
【００３０】上記の載置板１３が下死点に到達すると、
一側へ移動されていたスライド板６が水平LMガイド７に
沿つて移送される。従って、顧客トレー３を保持してい
ない一側の顧客トレーホルダー板１０ｂが、空き顧客ト
レー３ａの直上に配置される。When the mounting plate 13 reaches the bottom dead center,
The slide plate 6 that has been moved to one side is transferred along the horizontal LM guide 7. Therefore, the customer tray holder plate 10b on one side that does not hold the customer tray 3 is arranged directly above the empty customer tray 3a.
【００３１】その後、前述したような動作で顧客トレー
ホルダー板１０ｂが下降して、掛止片１２により載置板
１３上の空き顧客トレー３ａを保持すると同時に、第１
シリンダー８の駆動によって上昇して、上死点に配置さ
れる。After that, the customer tray holder plate 10b descends by the above-described operation, and the empty customer tray 3a on the placing plate 13 is held by the hooking pieces 12, and at the same time, the first tray
When the cylinder 8 is driven, the cylinder 8 is lifted and placed at the top dead center.
【００３２】このように、空き顧客トレー３ａを一側の
顧客トレーホルダー板１０ｂが保持した後は、スライド
板６が一側へ１ステップ移動してからその移動を中止す
る。このとき、素子を収容した顧客トレー３を保持して
いる顧客トレーホルダー板１０ａが載置板１３の上部に
配置される。In this way, after the empty customer tray 3a is held by the customer tray holder plate 10b on one side, the slide plate 6 is moved to one side by one step, and then the movement is stopped. At this time, the customer tray holder plate 10 a holding the customer tray 3 accommodating the elements is arranged on the mounting plate 13.
【００３３】次いで、第１シリンダー８が動作して、顧
客トレーホルダー板１０ａを下死点に配置させると同時
に、第２シリンダー１８が動作してスライダー１７を前
進させる。スライダー１７の直線運動が第１、第２リン
ク１９，２０によって回動運動に変換されて、掛止片１
２を回動させる。従って、顧客トレー３の保持が解除さ
れて顧客トレー３が載置板１３の上部に載せられる。Next, the first cylinder 8 operates to place the customer tray holder plate 10a at the bottom dead center, and at the same time, the second cylinder 18 operates to move the slider 17 forward. The linear motion of the slider 17 is converted into a rotational motion by the first and second links 19 and 20, and the hooking piece 1
Rotate 2. Therefore, the holding of the customer tray 3 is released and the customer tray 3 is placed on the top of the placing plate 13.
【００３４】上記のような動作で、スタッカー２にロー
ドされた顧客トレー３が載置板１３の上面に載せられた
後、第１シリンダー８の駆動によって、顧客トレーホル
ダー板１０ａが上死点に配置されると同時に、スライド
板６が水平LMガイド７に沿つて、載置板１３の上昇中に
干渉が生じない一側部へ移動する。After the customer tray 3 loaded in the stacker 2 is placed on the upper surface of the placing plate 13 by the above operation, the first tray 8 is driven to move the customer tray holder plate 10a to the top dead center. Simultaneously with the placement, the slide plate 6 moves along the horizontal LM guide 7 to one side where interference does not occur during the lifting of the mounting plate 13.
【００３５】このように、スライド板６が一側部に移動
した時には、第３シリンダー１５が動作して載置板１３
がローダ・アンローダ部１の底面に密接するように上死
点に配置される。このとき、上記の載置板１３に載せら
れた顧客トレー３がローダ・アンローダ部１の通孔１ａ
を通じて各ステージの上面に露出する。露出した顧客ト
レーからは、ピックアップ手段（図示略）によって素子
を取り出して、テストトレー（図示略）の空間部へ運ぶ
ことができるようになる。In this way, when the slide plate 6 moves to one side, the third cylinder 15 operates and the mounting plate 13 moves.
Is arranged at the top dead center so as to be in close contact with the bottom surface of the loader / unloader unit 1. At this time, the customer tray 3 placed on the placing plate 13 is passed through the through hole 1a of the loader / unloader unit 1.
Exposed on the upper surface of each stage. From the exposed customer tray, the element can be taken out by the pick-up means (not shown) and carried to the space of the test tray (not shown).
【００３６】一方、一側の顧客トレーホルダー板１０ｂ
に保持されていた空き顧客トレー３ａは、水平LMガイド
７に沿つて、アンローダ部の空き顧客トレー用のスタッ
カーの上部に向かって移送される。移送された空き顧客
トレーはスタッカー２の内部に収容される。空き顧客ト
レー３ａをロードした顧客トレーホルダー板１０ｂは初
期状態に復帰し、よって、連続的な顧客トレー３の移送
作業が可能になる。On the other hand, the customer tray holder plate 10b on one side
The empty customer tray 3a held by is transferred along the horizontal LM guide 7 toward the upper part of the stacker for empty customer trays in the unloader section. The transferred empty customer tray is housed inside the stacker 2. The customer tray holder plate 10b loaded with the empty customer tray 3a is returned to the initial state, so that the continuous transfer operation of the customer tray 3 becomes possible.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ローダ
部のスタッカー内にロードされた顧客トレーをローダ部
のステージに順次供給すると同時に、ローダ部のステー
ジに配置されていた空き顧客トレーを、アンローダ部の
スタッカーに移送させることができる。従って、顧客ト
レーの移送によるサイクルタイムを減らして生産性を向
上させることはもちろん、その構造が簡単になるので、
装置の空間活用度を最大化することができる。As described above, according to the present invention, the customer trays loaded in the stacker of the loader section are sequentially supplied to the stages of the loader section, and at the same time, the empty customer trays placed on the stages of the loader section are removed. , Can be transferred to the stacker of the unloader section. Therefore, not only the cycle time due to the transfer of the customer tray is reduced to improve the productivity, but also its structure is simplified,
The space utilization of the device can be maximized.
【図１】本発明の装置を示す平面図。FIG. 1 is a plan view showing an apparatus of the present invention.
【図２】本発明の装置の作動状態を示す縦断面図。FIG. 2 is a vertical sectional view showing an operating state of the device of the present invention.
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2;
１…ローダ・アンローダ部、２…スタッカー、３…顧客
トレー、４…エレベーター板、５…側板、６…スライド
板、８…第１シリンダー、１０…顧客トレーホルダー
板、１２…掛止片、１３…載置片、１７…スライダー、
１８…第２シリンダー、１９…第１リンク、２０…第２
リンク、２２…折曲げ片、２６…位置決定ピン。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Loader / unloader part, 2 ... Stacker, 3 ... Customer tray, 4 ... Elevator plate, 5 ... Side plate, 6 ... Sliding plate, 8 ... 1st cylinder, 10 ... Customer tray holder plate, 12 ... Latching piece, 13 … Mounting piece, 17… Slider,
18 ... 2nd cylinder, 19 ... 1st link, 20 ... 2nd
Link, 22 ... Bending piece, 26 ... Positioning pin.
Claims (6)
アンローディングされるローダ・アンローダ部と、 前記ローダ・アンローダ部の下方に位置し、多数個の顧
客トレーを収容するスタッカーと、 前記ローダ・アンローダ部のスタッカーの間で水平移動
し、選択的に顧客トレーの上面に接近移動して、スタッ
カーから顧客トレーを１個ずつ保持及び分離するホール
ディング装置と、 ホールディング装置が分離した顧客トレーを受け入れた
後、ホールディング装置が水平移動によってスタッカー
から離間するとき、ローダ・アンローダ部から顧客トレ
ーを上昇させる載置板とから構成されたことを特徴とす
る半導体素子検査機の顧客トレーの移送装置。1. A loader / unloader section for selectively loading and unloading customer trays, a stacker located below the loader / unloader section for accommodating a large number of customer trays, and the loader / unloader section. After moving horizontally between the stackers of the stacker and selectively moving to the upper surface of the customer tray to hold and separate the customer trays one by one from the stacker, and after the holding device receives the separated customer trays, A transfer device for a customer tray of a semiconductor device inspecting machine, characterized in that the holding device comprises a mounting plate that raises the customer tray from the loader / unloader section when the holding device is separated from the stacker by horizontal movement.
によって昇降する顧客トレーホルダー板と、 前記顧客トレーホルダー板の下方に露出されるよう設け
られ、回動しながら顧客トレーの両側面を保持する掛止
片と、 前記顧客トレーの上部に設けられ、前記掛止片を回動さ
せる回動手段とから構成されることを特徴とする請求項
１に記載の半導体素子検査機の顧客トレーの移送残置。2. The holding device is provided to be exposed horizontally below a customer tray holder plate that is horizontally moved by a slider and is moved up and down by driving a first cylinder, and is exposed below the customer tray holder plate. 2. The semiconductor device according to claim 1, further comprising: a latching piece that holds both side surfaces of the tray, and a pivoting unit that is provided on an upper portion of the customer tray and that pivots the latching piece. Leftover transfer of customer tray of inspection machine.
沿つて水平移動し得るように結合されたスライダーと、 前記顧客トレーホルダー板の上部に固定されて、前記ス
ライダーを移動させる第２シリンダーと、 前記スライダーの両端にスライダーと共に進退し得るよ
うに設けられた第１リンクと、 前記第１リンクに一端がヒンジ結合され、他端は前記掛
止片に固定された第２リンクとから構成され、前記第２
シリンダーの駆動により、前記スライダーがガイドに沿
つて移動することによって、掛止片が回動するようにす
ることを特徴とする請求項２に記載の半導体素子検査機
の顧客トレーの移送装置。3. The slider is coupled to the upper part of the customer tray holder plate so as to be horizontally movable along a guide fixed to the upper part of the customer tray holder plate, and is fixed to the upper part of the customer tray holder plate. A second cylinder for moving the slider, a first link provided at both ends of the slider so as to be able to move forward and backward together with the slider, one end hinged to the first link, and the other end fixed to the latching piece. And a second link that is
3. The transfer device for a customer tray of a semiconductor device inspection machine according to claim 2, wherein the slider is moved along the guide by the driving of the cylinder so that the latching piece is rotated.
に弾性部材を連結したことを特徴とする請求項３に記載
の半導体素子検査機の顧客トレーの移送装置。4. The transfer device for a customer tray of a semiconductor device inspection machine according to claim 3, wherein an elastic member is connected between the customer tray holder plate and the first link.
ーの保持に際して、顧客トレーの位置を決定する複数個
の位置決定ピンを固定したことを特徴とする請求項２に
記載の半導体素子検査機の顧客トレーの移送装置。5. The semiconductor device inspection machine according to claim 2, wherein a plurality of position determining pins for determining the position of the customer tray when holding the customer tray are fixed to the bottom surface of the customer tray holder plate. Customer tray transfer device.
顧客トレーを下方へ向かって移動させる載置板と、 その載置板から顧客トレーを保持及び分離した後、水平
に移動させることにより、スタッカーから離間して載置
板が干渉を受けない部位へ移送された後、再びスタッカ
ーに接近して、顧客トレーをスタッカーにロードするホ
ールディング装置とを備えたことを特徴とする請求項１
に記載の半導体素子検査機の顧客トレーの移送装置。6. A placing plate for moving a customer tray, which has been completed by the loader / unloader section, downward, and a holding plate for holding and separating the customer tray from the placing plate, and then horizontally moving the tray. 3. A holding device for loading the customer tray onto the stacker after the stacking plate is moved away from the stacker to a position where it is not interfered with, and then approaches the stacker again.
A transfer device for a customer tray of the semiconductor device inspection machine according to 1.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019950008975A KR0143334B1 (en) | 1995-04-17 | 1995-04-17 | The customer tray conveyor for the tester of semiconductor device |
| KR1995-8975 | 1995-04-17 |
Publications (1)
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| JPH08290830A true JPH08290830A (en) | 1996-11-05 |
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ID=19412320
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Country Status (4)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH08290830A (en) |
| KR (1) | KR0143334B1 (en) |
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