KR0123049Y1 - 반도체 제조를 위한 코팅공정용 포토레지스트 자동폐기장치 - Google Patents

반도체 제조를 위한 코팅공정용 포토레지스트 자동폐기장치

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KR0123049Y1
KR0123049Y1 KR92000452U KR920000452U KR0123049Y1 KR 0123049 Y1 KR0123049 Y1 KR 0123049Y1 KR 92000452 U KR92000452 U KR 92000452U KR 920000452 U KR920000452 U KR 920000452U KR 0123049 Y1 KR0123049 Y1 KR 0123049Y1
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Abstract

본 고안은 배액탱크에 셋팅치의 포토레지스트가 모이면 배액펌프가 작동해서 외부의 외부 폐기통으로 펌핑시키고, 상기 외부 폐기통이 가득차면 이를 알리는 풀시그날이 울려서 작업자가 인식할 수 있으며, 외부 폐기통의 교환시에도 공정을 계속 진행할 수 있으므로 인해, 종래와 같이 포토레지스트 배액 및 폐액처리로 인한 장치의 가동정지 및 펩의 오염이 발생되지 않을 뿐만 아니라 인력 및 시간의 소요가 대폭 경감되므로 장치의 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 것이다.
이를 위해, 본 고안은 배액탱크(2)와 캐비닛(4) 내의 포토레지스트를 담기위한 외부 폐기통(5)이 관(6)으로 연결되고 상기 관(6)의 중앙부에는 배액탱크(2)의 포토레지스트를 외부 폐기통(5)으로 펌핑시키는 배액펌프(7)가 설치되는 반도체 제조를 위한 코팅공정용 포토레지스트 자동폐기장치이다.

Description

반도체 제조를 위한 코팅공정용 포토레지스트 자동폐기장치
제1도의 (a) 및 (b)는 종래의 포토레지스트 폐기장치를 유형별로 개략적으로 나타낸 사시도
제2도는 본 고안의 설치 상태를 나타낸 요부사시도
제3도는 본 고안에 따른 PR배액시스템을 나타낸 구성도
제4도는 제3도의 자동배액 콘트롤러의 조작반 조작시의 모드 전환 과정을 설명하기 위한 흐름도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1:코터 2:배액탱크
3:코팅모듈 4:캐비닛
5:외부 폐기통 6:관
7:배액펌프 10a:버퍼중량센서
10b:주중량센서 11:알람셋팅게이지
12:자동배액 콘트롤러 13:솔레노이드
14:외부 폐기통 유·무 검출센서 15:배액 가이드 업 센서
16:배액 가이드
본 고안은 포토레지스트 자동폐기장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 포토레지스트(Photoresist ; PR이라고 약칭 하기도 함)를 폐기(drain)시킬 때에 발생되는 코팅 시스템의 가동불능이나 팹(Fab)의 오염을 방지할 수 있으며, 폐(廢)포토레지스트를 간편하게 처리할 수 있도록 한 것이다.
종래에는 제1도의 (a)에 나타낸 바와 같이 코터(Coater)(1)내부에 배액탱크(2)가 설치되고 상기 배액탱크(2)의 상부에는 코팅모듈(3)이 설치되며, 상기 배액탱크(2)하부에는 정전용량센서 또는 중량센서(10)가 설치되고, 그 센서단에 알람세팅 게이지(11)가 설치되어, 셋팅치까지 포토레지스트가 차게 될 경우에는 상기 알람셋팅게이지(11)에 의해 액위가 검출되어 코팅 시스템이 인터록 작용에 의해 정지하게 된다.
그러나, 상기한 바와 같은 유형의 장치는 포토레지스트 코터(1)내부에만 배액탱크(2)를 부착한 경우에 상기 배액탱크(2)의 용량이 작으므로 인해서 자주 작업자가 수작업을 통해 배액탱크를 비워주어야 하고, 이때마다 코팅시스템의 가동을 전체적으로 중단시켜야만 하는 단점이 있었다.
또한, 배액작업을 위해 배액탱크(2)를 코팅모듈로부터 분리시키는 과정 및 장착하는 과정에서 포토레지스트가 팹(fab) 실의 플로워에 떨어져 팹실 전체를 오염시키는 등의 문제점이 있었다.
요컨데, 시스템의 다운(down)이 잦고, 폐포토레지스트의 폐기 및 배액탱크 교환에 따른 시간 및 인력의 낭비가 많으며, 팹의 오염이 발생하게 되는 문제점이 있었다.
한편, 제1도의 (b)에 나타낸 바와 같이, 코터(1)내부에 배액탱크(2)가 없는 대신, 코터 내부의 코팅모듈(3)로부터 폐포토레지스트를 공장의 대형 메인배액탱크로 바로 배액시키는 경우에는 시스템의 가동 정지시간은 적게 걸리는 반면에 배액라인이 길어지므로 장시간 사용하지 않을때에는 관(5)의 막힘이 발생하게 되는 문제점이 있었다.
뿐만 아니라, 대형 메인배액탱크로 폐포토레지스트를 보내기 위한 펌프(도시는 생략함) 등의 장치에 고장이 발생시에는 전 코팅시스템의 가동이 정지되며, 대형인 메인배액탱크에서 포토레지스트를 재수거하는 작업이 난이하므로 인해 폐기 절차상 어려움을 겪게 되는 등의 문제점이 있었다.
본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안은 포토레지스트를 폐기시에도 시스템의 가동을 정지시키지 않아도 될 뿐만 아니라, 팹의 오염을 방지할 수 있으며, 나아가 폐포토레지스트의 종말(終末)처리시에도 작업상의 어려움없이 간편하게 수거 및 처리할 수 있는 포토레지스트 자동폐기장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안은 배액탱크와 캐비닛 내의 포토레지스트를 담기위한 외부 폐기통이 관으로 연결되어 상기 관의 중앙부에는 배액탱크의 포토레지스트를 외부 폐기통으로 펌핑시키는 배액펌프가 설치된 포토레지스트 자동폐기장치이다.
이하, 본 고안은 일실시예를 첨부된 도면 제2도 내지 제3도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 고안의 설치상태를 나타낸 요부사시도이고, 제3도는 본 고안에 따른 배액시스템을 나타낸 구성도로서, 포토레지스트액을 도포하는 코팅모듈(3)이 설치되고, 상기 코팅모듈(3) 하부에는 배액탱크(2)가 설치된다.
또한, 코터(1) 외부에 캐비닛(cabinet)(4)이 설치되고, 상기 캐비닛(4)의 내부에는 폐포토레지스트를 담기 위한 외부 폐기통(5)이 설치되며, 배액탱크(2)와 외부 폐기통(5)은 관(6)으로 연결되고, 상기 관(6)의 중앙부에는 배액펌프(7)가 설치된다.
또한, 상기 배액탱크(2) 하부에는 배액탱크(2)로 드레인된 폐포토레지스트의 액위를 배액탱크(2)의 중량 측정을 통해 검출하게 되는 버퍼중량센서(buffer weight sensor)(10a)가 설치되고, 상기 배액탱크(2)에는 상기 배액탱크 내에 저장된 폐포토레지스트를 압송시키게 되는 배액펌프(7)가 연결된다.
그리고, 상기 배액펌프(7) 후방에는 상기 배액펌프(7)에 의해 펌핑된 배액탱크(2)의 폐포토레지스트가 다시 저장되는 외부 폐기통(5)이 연결되고, 상기 외부 폐기통(5) 하부에는 상기 외부 폐기통(5)으로 다시 드레인된 폐포토레지스트의 액위를 검출하되 되는 주중량센서(10b)가 설치된다.
또한, 상기 버퍼중량센서(10a) 및 주중량센서(10b)에는 상기 센서들로부터 액위 검출신호를 받아 상기 배액펌프(7)의 펌핑작용을 제어하게 되는 자동배액 콘트롤러(120가 각각 연결되어 구성된다.
한편, 상기 캐비닛(4)의 외부 폐기통 일측면으로는 캐비닛 내에 외부 폐기통이 있는지 없는지의 여부를 검출하는 외부 폐기통 유·무 검출센서(14)가 설치되고, 상기 외부 폐기통(5) 상부에는 폐포토레지스트의 폐기통으로의 유입을 안내하는 배액 가이드(16)의 정확한 위치로의 셋팅 양·불량 여부를 검출하는 배액 가이드 업 센서(15)(Exhaust guide up sensor)가 설치된다.
이 때, 상기 외부 폐기통 유·무 검출센서(14) 및 배액 가이드업 센서(15)는 자동배액 콘트롤러(12)에 연결됨은 물론이다.
이와 같이 구성된 본 고안은 제2도 내지 제3도에 나타낸 바와 같이, 코터(1)내의 배액 탱크(2)에 셋팅치의 폐포토레지스트가 모이면, 배액펌프(7)가 작동해서 상기 배액탱크(2)에 모인 폐포토레지스트를 캐비닛(4)내에 구비된 외부 폐기통(5)으로 압송시키게 된다.
한편, 배액작용의 반복으로 인해 캐비닛(4) 내의 외부 폐기통(5)에 폐포토레지스트가 가득차게 되면 자동배액 콘트롤러(12)에 연결된 시그널 타워(signal tower)(8)의 램프가 점등됨과 동시에 부저(Buzzer)(9)가 울리므로, 작업자는 캐비닛(4)을 열어서 상기 캐비닛(4) 내의 외부 폐기통(5)을 교환해 주면 된다.
또한, 외부 폐기통(5)을 새로운 외부 폐기통으로 교환할때에도 코터(1) 내의 배액탱크(2)는 비어 있으므로 공정은 계속 진행할 수 있게 된다.
즉, 외부 폐기통(5)을 교환할 때에 배액펌프(7)는 작동하지 않고 배액탱크(2)는 비어있으므로 공정의 정상적인 진행이 가능한 것이다.
한편, 폐포토레지스트 배액을 위한 자동배액 콘트롤러(12)의 패널 조작 과정을 도 5를 참조하여 설명하면 후술하는 바와 같다.
먼저, 전원을 투입하면 조작반의 오프모드 알람램프(도시는 생략함)가 점등되어 오프모드가 된다.
이 때, 상기 배액탱크(2)에 연결됨 배액펌프(7)는 구동하지 않는다.
이 상태에서 오프 스위치를 1회 누르면 자동과 수동모드를 알리는 램프가 각각 점멸하게 되며, 이 때에는 원하는 모드의 선택이 가능하게 된다.
즉, 자동모드 알람램프(도시는 생략함)와 수동모드 알람램프(도시는 생략함)가 모두 점멸하고 있는 상태에서 자동 스위치를 누를 경우, 자동모드 알람램프는 점멸(點滅)상태에서 점등(點燈)상태로 바뀌게 되고, 수동모드 알람램프는 꺼지게 되며, 오프모드 알람램프 또한 꺼지게 된다.
이와 같이하여 자동모드가 선택되면, 코터(1) 내에 설치된 배액탱크(2) 내의 폐포토레지스트의 액위가 셋팅치에 도달할 경우, 버퍼중량센서(10a)가 이를 검출하여 검출신호를 자동배액 콘트롤러(12)로 보내게 되고, 상기 자동배액 콘트롤러(120는 솔레노이드(13)에 구동신호를 보내므로써 상기 솔레노이드(13)에 연결된 배액펌프(7)를 구동시키게 된다.
그리고, 자동모드 선택시, 외부의 외부 폐기통(5)으로 두레인된 폐포토레지스트의 액위가 상한치(上限値)에 도달한 경우에는 배액펌프(7)는 정지하게 되고 이에 따라 배액탱크(2)측의 폐포토레지스트의 외부 폐기통(5)측으로의 배액작용은 중단된다.
한편, 자동모드 알람램프와 수동모드 알람램프가 모두 점멸하고 있는 상태에서 수동 스위치를 누를 경우에는 수동모드 알람램프는 점멸(點滅)상태에서 점등(點燈)상태로 바뀌게 되고, 자동모드 알람램프는 꺼지게 된다.
이와 같이하여 수동모드가 선택되면, 버퍼중량센서(10a)에 의한 배액탱크(2) 내의 폐포토레지스트에 대한 액위 검출 여부에 관계없이 배액펌프(7)가 동작하게 되며 외부 폐기통(5)의 폐포토레지스트의 액위가 상한치에 도달함에 따라 배액펌프(7)의 구동이 정지되며, 꺼져 있던 조작반의 오프모드 알람램프는 다시 켜지게 되어 새로이 자동 또는 수동모드 선택이 가능하게 된다.
이상에서와 같이, 본 고안의 배액시스템은 배액탱크(2)에 셋팅치의 폐포토레지스트가 모이면 배액펌프(7)가 작동해 캐비닛(4)의 외부 폐기통(5)으로 배액탱크(2) 내의 폐포토레지스트를 송출하고, 상기 외부 폐기통(5)이 가득차면 이를 알리는 풀 시그날(Full Signal)이 울려서 사용자가 인식할 수 있도록 하며, 외부 폐기통(5)의 교환시에도 공정은 계속 진행할 수 있게 된다.
따라서, 폐포토레지스트의 배액 및 폐액처리로 인한 장치의 다운 및 팹의 오염이 발생되지 않고, 인력 및 시간이 소요가 대폭 경감되므로 포토레지스트 코팅 시스템의 시스템 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 매우 유용한 고안이다.

Claims (3)

  1. 포토레지스트액을 도포하기 위한 코터(1) 내부에 설치되며 상기 코터로부터 배출된 폐포토레지스트액이 일차적으로 저장되는 배액탱크(2)와, 상기 배액탱크(2) 하부에 설치되어 상기 배액탱크로 드레인된 폐포토레지스트의 액위를 배액탱크의 중량 측정을 통해 검출하게 되는 버퍼중량센서(10a)와, 상기 배액탱크에 연결되어 상기 배액탱크 내에 저장된 폐포토레지스트를 압송시키게 되는 배액펌프(7)와, 상기 배액펌프에 연결되는 배액펌프 구동용 솔레노이드(13)와, 상기 배액펌프 후방에 연결되어 상기 배액펌프에 의해 펌핑된 배액탱크의 폐포토레지스트가 다시 저당되는 외부 폐기통(5)과, 상기 외부 폐기통 하부에 설치되어 상기 외부 폐기통으로 다시 드레인된 폐포토레지스트의 액위를 검출하게 되는 주중량센서(10b)와, 상기 외부 폐기통(5) 외측에 설치되며 외부 폐기통 및 주중량센서가 그 내부에 설치되는 캐비닛(4)과, 상기 버퍼중량센서 및 주중량센서에 각각 연결되어 상기 센서들로부터 액위 검출신호를 받아 상기 배액펌프의 펌핑작용을 제어하게 되는 자동배액 콘트롤러(12)를 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조를 위한 코팅 공정용 포토레지스트 자동폐기장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 주중량센서(10b)에 의해 측정된 외부 폐기통(5)의 중량이 상기 외부 폐기통 내의 폐포토레지스트의 액위가 상한치일 때의 중량에 해당하는 경우, 주중량센서(10b)의 검출신호가 자동배액 콘트롤러(12)로 보내짐에 따라 상기 자동배액 콘트롤러가 배액펌프 구동용 솔레노이드(13)를 제어하여 배액펌프(7)를 정지시키게 됨을 특징으로 하는 반도체 제조를 위한 코팅공정용 포토레지스트 자동폐기장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 캐비닛(4)의 외부 폐기통 일측면으로는 상기 캐비닛 내에 외부 폐기통이 있는지 없는지의 여부를 검출하는 외부 폐기통 유·무 검출센서(14)가 설치되고, 상기 외부 폐기통(5) 상부에는 폐포토레지스트의 외부 폐기통으로의 유입을 안내하는 배액 가이드(16)의 정확한 위치로의 센팅 양·불량 여부를 검출하는 배액 가이드 업 센서(15)가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조를 위한 코팅공정용 포토레지스트 자동폐기장치.
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